KR101658151B1 - 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법 - Google Patents

평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101658151B1
KR101658151B1 KR1020100040877A KR20100040877A KR101658151B1 KR 101658151 B1 KR101658151 B1 KR 101658151B1 KR 1020100040877 A KR1020100040877 A KR 1020100040877A KR 20100040877 A KR20100040877 A KR 20100040877A KR 101658151 B1 KR101658151 B1 KR 101658151B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
vacuum
imprinting mold
imprinting
grippers
substrate
Prior art date
Application number
KR1020100040877A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20110121325A (ko
Inventor
조성필
송태준
당 권
조항섭
김호수
장두희
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020100040877A priority Critical patent/KR101658151B1/ko
Publication of KR20110121325A publication Critical patent/KR20110121325A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101658151B1 publication Critical patent/KR101658151B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
    • H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
    • H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
    • H01L21/0274—Photolithographic processes
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1326—Liquid crystal optical waveguides or liquid crystal cells specially adapted for gating or modulating between optical waveguides
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

본 발명은 기판과 임프린팅용 몰드의 분리를 용이하게 실시 할 수 있는 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법에 관한 것으로, 기판 상에 박막 패턴을 형성하기 위해 상기 기판과 합착되는 임프린팅용 몰드와; 다수의 진공홀을 가지는 흡착패드를 통해 상기 임프린팅용 몰드를 진공흡착하는 다수의 그립퍼를 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD OF FABRICATING FLAT DISPLAY DEVICE}
본 발명은 기판과 임프린팅용 몰드의 분리를 용이하게 실시 할 수 있는 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.
최근 임프린팅용 몰드를 이용한 패터닝 공정을 통해 평판 표시 소자의 박막을 형성할 수 있는 연구가 진행되고 있다.
이러한 패터닝 공정은 다음과 같은 순서로 진행된다. 먼저, 기판 상에 액상 수지를 도포한 후 홈과 돌출부를 가지는 임프린팅용 몰드와 임프린팅용 수지를 접촉시킨다. 그러면, 임프린팅용 몰드의 홈과 돌출부가 임프린팅용 수지에 반전전사된다. 그리고 경화 공정을 통해 반전전사된 임프린팅용 수지를 경화시킴으로써 기판 상에 원하는 박막 패턴이 형성된다.
여기서, 박막 패턴이 형성된 후 임프린팅용 몰드와 기판을 분리하는 공정이 필수적이다. 이를 위해 종래의 임프린팅용 제조 장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 임프린팅용 몰드(1)를 진공흡착하는 흡착패드(5)와, 흡착패드(5)와 체결되어 수직이동 하는 진공핀(5)을 구비하였다. 여기서 흡착패드(3)는 원형이고 흡착패드(3)의 중앙부에서 진공핀(5)과 체결된다. 이에 따라, 흡착패드(3)를 수직 상승시키는 힘의 작용점이 흡착패드(3)의 중앙부에 위치한다.
이러한 흡착패드(3)는 임프린팅용 몰드(1)의 모서리를 진공흡착 할 때 임프린팅용 몰드(1)의 엣지부와 이격된 거리가 발생하게 된다. 이때, 임프린팅용 몰드(1)의 엣지부와 흡착패드(3)의 거리에 따라 흡착패드(3)를 수직 상승시키는 힘의 작용점도 임프린팅용 몰드(1)의 엣지부와 이격된다. 이 경우, 흡착패드(3)를 수직 상승시키는 힘이 임프린팅용 몰드(1)의 엣지부에 효율적으로 전달되지 않는다. 따라서, 임프린팅용 몰드(1)와 기판의 분리시 높은 기계적인 힘이 필요로 하고, 높은 기계적인 힘으로 인해 임프린팅용 몰드(1)가 파손되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기판과 임프린팅용 몰드의 분리를 용이하게 실시할 수 있는 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 평판 표시 소자의 제조 장치는 기판 상에 박막 패턴을 형성하기 위해 상기 기판과 합착되는 임프린팅용 몰드와; 다수의 진공홀을 가지는 흡착패드를 통해 상기 임프린팅용 몰드를 진공흡착하는 다수의 그립퍼를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 다수의 그립퍼는 상기 흡착패드와 결합되며 상기 다수의 진공홀과 연결된 진공통로을 구비한 몸체부와; 상기 진공통로와 상기 다수의 진공홀 사이의 진공유로를 선택적으로 개폐하는 차단밸브와; 상기 진공통로와 연결되며, 상기 몸체부의 상부에 위치하며, 상기 그립퍼를 승강시키는 진공핀을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 차단밸브는 상기 진공홀과 상기 임프린팅용 몰드가 중첩되는 영역에서 상기 진공통로와 상기 진공홀간의 진공유로를 유지하고, 상기 진공홀과 상기 임프린팅용 몰드가 비중첩되는 영역에서 상기 진공통로와 상기 진공홀간의 상기 진공유로를 폐쇄하는 것을 특징으로 한다.
상기 흡착패드의 재질은 EPDM(ethylene prolylene diene monomer)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 다수의 그립퍼중 상기 임프린팅용 몰드의 가장자리 영역에 대응하는 상기 그립퍼의 상기 진공핀은 상기 임프린팅용 몰드의 모서리에 대응되도록 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 평판 표시 소자의 제조방법은 기판 상에 박막 패턴을 형성하기 위해 돌출부와 홈을 가지는 임프린팅용 몰드와 상기 기판을 합착하는 단계와; 상기 임프린팅용 몰드 상부에 다수의 진공홀을 가지는 흡착패드를 구비한 다수의 그립퍼를 정렬하는 단계와; 상기 다수의 그립퍼를 이용해 상기 임프린팅용 몰드와 상기 기판을 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 다수의 그립퍼를 마련하는 단계는 상기 흡착패드와 결합되며 상기 다수의 진공홀과 연결된 진공통로을 구비한 몸체부와; 상기 진공통로와 상기 다수의 진공홀 사이의 진공유로를 선택적으로 개폐하는 차단밸브와; 상기 진공통로와 연결되며, 상기 몸체부의 상부에 위치하며, 상기 다수의 그립퍼를 승강시키는 진공핀을 마련하는 단계인 것을 특징으로 한다.
상기 임프린팅용 몰드와 상기 기판을 분리하는 단계는 상기 차단 밸브를 이용하여 상기 진공홀과 상기 임프린팅용 몰드가 중첩되는 영역에서 상기 진공통로와 상기 진공홀간의 진공유로를 유지하고, 상기 진공홀과 상기 임프린팅용 몰드가 비중첩되는 영역에서 상기 진공통로와 상기 진공홀간의 상기 진공유로를 폐쇄하여 상기 임프린팅용 몰드에 상기 다수의 그립퍼를 진공흡착하는 단계와; 상기 진공핀을 통해 상기 그립퍼 및 상기 임프린팅용 몰드를 수직 상승시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 임프린팅용 몰드를 상기 다수의 그립퍼에 진공흡착하는 단계는 상기 임프린팅용 몰드의 가장자리 영역에 위치하는 상기 다수의 그립퍼의 상기 진공핀이 상기 임프린팅용 몰드의 모서리에 대응되는 것을 특징으로 한다.
상기 흡착패드의 재질은 EPDM(ethylene prolylene diene monomer)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법은 다수의 진공홀을 가지는 흡착패드를 통해 임프린팅용 몰드를 진공흡착하는 다수의 그립퍼를 구비한다. 이때, 임프린팅용 몰드의 모서리에 위치한 그립퍼의 진공핀이 임프린팅용 몰드의 모서리에 대응되도록 형성된다. 이에 따라, 그립퍼를 수직 상승시키는 힘의 작용점이 진공핀에 대응하는 임프린팅용 몰드의 모서리에 위치한다. 따라서, 그립퍼를 수직 상승시키는 힘이 임프린팅용 몰드의 모서리에 잘 전달되고, 종래의 흡착패드를 이용할 때 보다 적은 힘으로 기판으로부터 임프린팅용 몰드를 분리할 수 있다. 이때, 기판과 임프린팅용 몰드의 분리시 필요한 힘이 줄어들면 임프린팅용 몰드의 파손을 줄일 수 있다. 또한, 기판과 임프린팅용 몰드의 분리시 공정 시간을 줄일 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 종래의 임프린팅용 제조 장치를 나타내는 평면도.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 임프린팅용 제조 장치를 나타내는 단면도.
도 3은 도 2에 도시된 그립퍼를 구체적으로 나타낸 평면도 및 단면도.
도 4a 내지 도 4c는 도 2 및 도 3에 도시된 임프린팅용 제조 장치를 이용한 박막 패턴의 제조 방법을 나타낸 단면도.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판과 임프린팅용 몰드의 분리 방법을 나타낸 단면도.
도 6는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 기판과 임프린팅용 몰드의 분리 방법을 나타낸 단면도.
도 7은 도 4a 내지 도 4c의 제조 방법에 의해 형성된 박막 패턴을 가지는 액정 표시 패널을 나타내는 사시도.
이하, 본 발명의 실시 예에 따른 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법을 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 임프린팅용 제조 장치를 나타내는 단면도이다.
도 2을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 임프린팅용 제조 장치는 박막 패턴(6)이 형성되는 기판(4)이 안착되는 스테이지(2)와, 박막 패턴(6)을 형성하는 임프린팅용 몰드(12)와, 임프린팅용 몰드(12)를 진공흡착하는 다수의 그립퍼(26)를 구비한다.
스테이지(2)는 진공 라인(20)을 통해 기판(4)을 흡착/고정한다. 기판(4) 상에는 임프린팅용 몰드(12)에 의해 가압/접촉됨으로써 패터닝 되는 박막 패턴(6)이 형성된다. 이러한 박막 패턴(6)은 임프린팅용 몰드(12)의 홈과 돌출부 각각과 반전전사된 형태로 형성된다.
임프린팅용 몰드(12)는 박막 패턴(6)을 형성하기 위한 홈과 돌출부를 구비한 몰드부(8)와, 몰드부(8)를 지지하는 백플레인(10)을 구비한다.
다수의 그립퍼(26)는 흡착패드(14)와 결합되며 내부에 진공통로(23)를 구비한 몸체부(18)와, 다수의 진공홀(22)을 구비해서 임프린팅용 몰드(12)를 진공흡착하는 흡착패드(14)와, 진공통로(23)와 각 진공홀(22)간의 진공유로를 선택적으로 개방 또는 폐쇄하는 차단밸브(24)와, 몸체부(18)와 결합되고 수직 이동하는 진공핀(16)을 구비한다.
몸체부(18)는 흡착패드(14) 및 진공핀(16)과 결합되도록 형성된다. 이러한 몸체부(18)의 내부에는 흡착패드(14)에 형성된 다수의 진공홀(22)과 진공핀(16)을 연결하는 진공통로(23)가 형성된다. 여기서, 진공통로(23)는 진공핀(16)을 통해 제공된 진공압을 다수의 진공홀(22)에 중계한다.
흡착패드(14)는 몸체부(18)의 진공통로(23)와 연결된 다수의 진공홀(22)을 구비해서 몸체부(18)의 하부에 결합된다. 여기서 진공홀(22)에 진공압이 제공되면, 진공홀(22)과 인접한 흡착패드(14)는 임프린팅용 몰드(12)를 진공흡착 한다. 한편, 흡착패드(14)는 EPDM(ethylene prolylene diene monomer)재질로 형성되어 임프린팅용 몰드(12)와 흡착시 밀착력 및 진공유지가 좋으며, 수축 및 복원이 용이하다.
차단밸브(24)는 진공통로(23)와 각 진공홀(22)의 사이에 형성되어, 진공통로(23)와 각 진공홀(22)간의 진공유로를 선택적으로 개방 또는 폐쇄한다. 이러한 차단밸브(24)는 진공홀(22)에 임프린팅용 몰드(12)가 진공흡착되면 진공통로(23)와 진공홀(22)간의 진공유로를 개방해서 진공홀(22)의 진공압을 유지한다. 이에 따라 진공홀(22)은 임프린팅용 몰드(12)를 진공흡착하는 상태를 유지할 수 있다. 또한, 차단밸브(24)는 진공홀(22)에 임프린팅용 몰드(12)가 진공흡착되지 않으면 진공통로(23)와 진공홀(22)간의 진공유로를 폐쇄한다. 이에 따라, 일부 진공홀(22)에 임프린팅용 몰드(12)가 진공흡착되지 않아도 임프린팅용 몰드(12)가 진공흡착된 나머지 진공홀(22)이 진공압을 유지할 수 있다.
진공핀(16)은 몸체부(18)의 상부에서 몸체부(18)와 결합된다. 이러한 진공핀(16)의 내부는 진공통로(23)와 연결되어 진공통로(23)에 진공압을 제공한다. 또한, 진공핀(16)은 수직 이동을 함으로써 그립퍼(26)를 수직 이동시킨다. 이때, 그립퍼(26)가 수직 상승하면 임프린팅용 몰드(12)가 기판(4)으로부터 분리된다.
한편, 임프린팅용 몰드(12)의 모서리에 위치한 그립퍼(26)는 도 3에 도시된 바와 같이, 진공핀(16)이 임프린팅용 몰드(12)의 모서리에 대응되도록 형성된다. 따라서, 임프린팅용 몰드(12)의 모서리에 위치한 그립퍼(26)는 진공핀(16)을 기준점으로 해서 그립퍼(26)의 일부 영역은 임프린팅용 몰드(12)와 중첩되고, 나머지 영역은 임프린팅용 몰드(12)와 중첩되지 않는다. 그리고 임프린팅용 몰드(12)의 모서리에 위치한 그립퍼(26)는 차단밸브(24)를 이용해서 임프린팅용 몰드(12)와 중첩된 영역은 진공통로(23)와 진공홀(22)간의 진공유로를 개방하고, 임프린팅용 몰드(12)와 중첩되지 않는 영역은 진공통로(23)와 진공홀(22)간의 진공유로를 폐쇄한다. 이에 따라, 임프린팅용 몰드(12)의 모서리에 위치한 그립퍼(26)는 일부 영역이 임프린팅용 몰드(12)와 중첩되지 않아도 임프린팅용 몰드(12)를 진공흡착 할 수 있다.
또한, 임프린팅용 몰드(12)의 모서리에 위치한 그립퍼(26)는 기판(4)과 임프린팅용 몰드(12)의 분리시 그립퍼(26)를 수직 상승시키는 힘의 작용점이 진공핀(16)에 대응하는 임프린팅용 몰드(12)의 모서리에 위치한다. 따라서, 그립퍼(26)를 수직 상승시키는 힘이 임프린팅용 몰드(12)의 모서리에 잘 전달되고, 종래의 흡착패드를 이용할 때 보다 적은 힘으로 기판(4)으로부터 임프린팅용 몰드(12)를 분리할 수 있다. 이때, 기판(4)과 임프린팅용 몰드(12)의 분리시 필요한 힘이 줄어들면 임프린팅용 몰드(12)의 파손을 줄일 수 있다. 또한, 기판(4)과 임프린팅용 몰드(12)의 분리시 공정 시간을 줄일 수 있어 생산성을 향상 시킬 수 있다.
한편, 도 2 및 도 3에서는 기판(4)으로부터 임프린팅용 몰드(12)의 분리시 그립퍼(26)가 임프린팅용 몰드(12)의 전면을 진공흡착하였지만, 임프린팅용 몰드(12)의 외곽 영역은 그립퍼(26)가 진공흡착하고, 임프린팅용 안쪽 영역은 종래의 흡착패드가 진공흡착할 수 있다.
이러한 임프린팅용 제조 장치를 이용한 박막 패턴(6)의 제조 방법을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
도 4a내지 도 4c는 도 1 및 도 2에 도시된 임프린팅용 제조 장치를 이용한 박막 패턴의 제조 방법을 나타낸 단면도이다.
먼저, 기판(4) 상에 임프린팅용 수지가 스핀 코팅, 스핀리스 코팅 또는 적하(dropping)등의 방법으로 도포된다. 임프린팅용 수지가 도포된 기판(4)은 진공 라인(20)을 통해 스테이지(2)에 흡착/고정된다. 또한, 홈과 돌출부를 갖는 임프린팅용 몰드(12)는 에 의해 임프린팅용 수지와 합착되고, 열 또는 광을 통해 경화된다. 이에 따라, 임프린팅용 수지 내의 용매가 임프린팅용 몰드(12) 표면으로 흡수되면서 임프린팅용 수지가 임프린팅용 몰드(12)의 홈내로 이동하게 되므로 기판(4) 상에 박막 패턴(6)이 형성된다. 이러한 박막 패턴(6)은 임프린팅용 몰드(12)의 홈과 반전전사된 형태를 갖는다.
이어서, 도 4a에 도시된 바와 같이, 박막 패턴(6)이 형성된 후에 다수의 그립퍼(26)는 임프린팅용 몰드(12)의 전면을 흡착/고정시키거나, 외곽 영역만 흡착/고정시킨다. 다수의 그립퍼(26)가 임프린팅용 몰드(12)의 외곽 영역을 흡착/고정시킬 경우, 도 5에 도시된 바와 같이 임프린팅용 몰드(12)의 안쪽 영역은 제 2 진공핀(15)과 연결된 제 2 흡착패드(17)가 흡착/고정시킨다. 그리고 다수의 그립퍼(26)와, 제 2 흡착패드(17)를 통해 임프린팅용 몰드(12)와 기판(4)이 분리된다. 한편, 도 5에 도시된 제 2 흡착 패드(17)는 다수의 진공홀(22)을 가지는 그립퍼(26)의 흡착패드(14)와 달리 하나의 진공홀을 가진다. 또한, 도 5에 도시된 제 2 흡착 패드(17)는 임프린팅용 몰드(12)와 기판(4)의 합착공정시 임프린팅용 몰드(12)의 전면을 흡착/고정한다.
이하에서는, 다수의 그립퍼(24)가 임프린팅용 몰드(12)의 전면을 흡착/고정시키는 것을 예를 들어 설명하기로 한다.
다수의 그립퍼(26)가 임프린팅용 몰드(12)의 전면을 흡착/고정한 후 도 4b 및 도 4c에 도시된 바와 같이 임프린팅용 몰드(12)의 일측에서 타측으로 순차적으로 그립퍼(24)가 수직 상승한다. 이를 구체적으로 설명하면, 먼저 도 4b에 도시된 바와 같이, 임프린팅용 몰드(12)의 일측에 위치하는 그립퍼(24)가 수직 상승하고, 이에 따라 임프린팅용 몰드(12)의 일측이 기판(4)과 분리된다. 이때, 임프린팅용 몰드(12)의 일측에 위치하는 그립퍼(24)는 진공핀(16)이 임프린팅용 몰드(12)의 모서리에 대응되도록 형성된다. 이에 따라, 그립퍼(24)를 수직 상승시키는 힘의 작용점이 진공핀(16)에 대응하는 임프린팅용 몰드(12)의 모서리에 위치한다. 따라서, 그립퍼(26)를 수직 상승시키는 힘이 임프린팅용 몰드(12)의 모서리에 잘 전달되고, 종래의 흡착패드를 이용할 때 보다 적은 힘으로 기판(4)으로부터 임프린팅용 몰드(12)를 분리할 수 있다.
임프린팅용 몰드(12)의 일측이 기판(4)과 분리된 후 도 4c에 도시된 바와 같이, 수직 상승하지 않은 나머지 그립퍼(24)가 일측에서 타측으로 순차적으로 수직 상승한다. 이에 따라, 임프린팅용 몰드(12)가 기판(4)의 일측에서부터 타측으로 순차적으로 분리된다. 여기서, 임프린팅용 몰드(12)와 기판(4)의 분리를 원활하게 하기 위해 기판(4)과 합착된 임프린팅용 몰드(12)의 측면에서 N2가스를 불어준다.
한편, 도 4b 및 도 4c에서는 기판(4)으로부터 임프린팅용 몰드(12)를 일측에서 타측으로 순차적으로 분리하였지만 도 6에 도시된 바와 같이, 박막 패턴(6)이 형성된 후에 임프린팅용 몰드(12)를 기판(4)의 양쪽 측면에서 가운데 영역으로 순차적으로 분리할 수도 있다.
한편, 본 발명에 따른 임프린팅용 몰드(12)로 형성된 박막 패턴(6)은 도 7에 도시된 액정 표시 패널에 적용된다. 구체적으로, 도 7에 도시된 본 발명에 따른 액정 표시 패널은 액정층(60)을 사이에 두고 서로 대향하여 합착된 박막 트랜지스터 기판(30) 및 컬러 필터 기판(50)을 구비한다.
컬러 필터 기판(50)은 상부기판(52) 상에 빛샘 방지를 위해 형성된 블랙매트릭스(58), 컬러 구현을 위한 컬러필터(54), 화소 전극과 전계를 형성하는 공통 전극(56), 평탄화를 위한 오버 코트층과, 오버 코트층 상에 형성되며 셀갭 유지를 위한 컬럼 스페이서와, 컬럼 스페이서와 이들을 덮는 상부 배향막(미도시)을 구비한다.
박막 트랜지스터 기판(30)은 하부 기판(32) 위에 서로 교차하게 형성된 게이트 라인(36) 및 데이터 라인(34)과, 그 교차부에 인접한 박막 트랜지스터(38)와, 그 교차 구조로 마련된 화소 영역에 형성된 화소 전극(40) 및 이들을 덮는 하부 배향막(미도시)을 구비한다.
이러한 액정 표시 패널의 컬러필터(54), 블랙 매트릭스(58) 및 컬럼 스페이서, 박막 트랜지스터(38), 게이트 라인(36), 데이터 라인(34) 및 화소 전극(40) 등은 각각의 패턴과 대응하는 홈을 가지는 상술한 임프린팅용 몰드를 이용한 패터닝 공정을 통해 형성될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법은 임프린팅용 몰드(12)의 모서리에 위치한 그립퍼(26)의 진공핀(16)이 임프린팅용 몰드(12)의 모서리에 대응되도록 형성된다. 이에 따라, 그립퍼(26)를 수직 상승시키는 힘의 작용점이 진공핀(16)에 대응하는 임프린팅용 몰드(12)의 모서리에 위치한다. 따라서, 그립퍼(26)를 수직 상승시키는 힘이 임프린팅용 몰드(12)의 모서리에 잘 전달되고, 종래의 흡착패드를 이용할 때 보다 적은 힘으로 기판(4)으로부터 임프린팅용 몰드(12)를 분리할 수 있다. 이때, 기판(4)과 임프린팅용 몰드(12)의 분리시 필요한 힘이 줄어들면 임프린팅용 몰드(12)의 파손을 줄일 수 있다. 또한, 기판(4)과 임프린팅용 몰드(12)의 분리시 공정 시간을 줄일 수 있어 생산성을 향상 시킬 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
2: 스테이지 4: 기판
6: 박막 패턴 12: 임프린팅용 몰드
14: 흡착패드 22: 진공홀
26: 그립퍼

Claims (10)

  1. 기판 상에 박막 패턴을 형성하기 위해 상기 기판과 합착되는 임프린팅용 몰드와;
    다수의 진공홀을 가지는 흡착패드를 통해 상기 임프린팅용 몰드를 진공흡착하는 다수의 그립퍼를 포함하고,
    상기 다수의 그립퍼는 상기 흡착패드와 결합되며 상기 다수의 진공홀과 연결된 진공통로를 구비한 몸체부와; 상기 진공통로와 상기 다수의 진공홀 사이의 진공유로를 선택적으로 개폐하는 차단밸브와; 상기 진공통로와 연결되며, 상기 몸체부의 상부에 위치하며, 상기 그립퍼를 승강시키는 진공핀을 포함하며,
    상기 차단밸브는 상기 진공홀과 상기 임프린팅용 몰드의 중첩영역에서 상기 진공통로와 상기 진공홀간의 진공유로를 유지하고, 상기 진공홀과 상기 임프린팅용 몰드의 비중첩영역에서 상기 진공통로와 상기 진공홀간의 상기 진공유로를 폐쇄하는 평판 표시 소자의 제조장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 흡착패드의 재질은 EPDM(ethylene propylene diene monomer)을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 제조장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 다수의 그립퍼중 상기 임프린팅용 몰드의 가장자리 영역에 대응하는 상기 그립퍼의 상기 진공핀은 상기 임프린팅용 몰드의 모서리에 대응되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 제조장치.
  6. 기판 상에 박막 패턴을 형성하기 위해 돌출부와 홈을 가지는 임프린팅용 몰드와 상기 기판을 합착하는 단계와;
    상기 임프린팅용 몰드 상부에 다수의 진공홀을 가지는 흡착패드를 구비한 다수의 그립퍼를 정렬하는 단계; 및
    상기 다수의 그립퍼를 이용해 상기 임프린팅용 몰드와 상기 기판을 분리하는 단계를 포함하고,
    상기 다수의 그립퍼를 마련하는 단계는 상기 흡착패드와 결합되며 상기 다수의 진공홀과 연결된 진공통로을 구비한 몸체부와; 상기 진공통로와 상기 다수의 진공홀 사이의 진공유로를 선택적으로 개폐하는 차단밸브와; 상기 진공통로와 연결되며, 상기 몸체부의 상부에 위치하며, 상기 다수의 그립퍼를 승강시키는 진공핀을 마련하는 단계를 포함하며,
    상기 임프린팅용 몰드와 상기 기판을 분리하는 단계는 상기 차단 밸브를 이용하여 상기 진공홀과 상기 임프린팅용 몰드가 중첩되는 영역에서 상기 진공통로와 상기 진공홀간의 진공유로를 유지하고, 상기 진공홀과 상기 임프린팅용 몰드가 비중첩되는 영역에서 상기 진공통로와 상기 진공홀간의 상기 진공유로를 폐쇄하여 상기 임프린팅용 몰드에 상기 다수의 그립퍼를 진공흡착하는 단계와; 상기 진공핀을 통해 상기 그립퍼 및 상기 임프린팅용 몰드를 수직 상승시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 제조 방법.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 임프린팅용 몰드를 상기 다수의 그립퍼에 진공흡착하는 단계는
    상기 임프린팅용 몰드의 가장자리 영역에 위치하는 상기 다수의 그립퍼의 상기 진공핀이 상기 임프린팅용 몰드의 모서리에 대응되는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 제조방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 흡착패드의 재질은 EPDM(ethylene propylene diene monomer)을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판 표시 소자의 제조방법.
KR1020100040877A 2010-04-30 2010-04-30 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법 KR101658151B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100040877A KR101658151B1 (ko) 2010-04-30 2010-04-30 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100040877A KR101658151B1 (ko) 2010-04-30 2010-04-30 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110121325A KR20110121325A (ko) 2011-11-07
KR101658151B1 true KR101658151B1 (ko) 2016-09-21

Family

ID=45392234

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100040877A KR101658151B1 (ko) 2010-04-30 2010-04-30 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101658151B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101502239B1 (ko) * 2013-11-29 2015-03-19 엘지디스플레이 주식회사 기판분리장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100814264B1 (ko) * 2007-05-18 2008-03-18 주식회사 아바코 임프린트 리소그래피 공정에서의 스탬프와 임프린트된기판과의 분리 방법

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08198467A (ja) * 1995-01-30 1996-08-06 Hoya Corp 板状体剥離装置
KR20070100563A (ko) * 2006-04-07 2007-10-11 주식회사 에이디피엔지니어링 기판 합착기 및 기판 합착 방법
KR100891277B1 (ko) * 2008-02-27 2009-04-03 임계영 시설물 보수용 기계장치의 표면 흡착시스템 및 그 흡착방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100814264B1 (ko) * 2007-05-18 2008-03-18 주식회사 아바코 임프린트 리소그래피 공정에서의 스탬프와 임프린트된기판과의 분리 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR20110121325A (ko) 2011-11-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101695289B1 (ko) 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법
KR101552729B1 (ko) 플렉서블 표시장치의 제조 방법
US7963217B2 (en) Apparatus and method for producing display panel
CN104122710B (zh) 一种显示面板及其制造方法
TWI538812B (zh) Panel attachment method and panel attachment
TWI427357B (zh) 顯示面板的製造方法
KR20160073666A (ko) 보조 기판의 박리 방법
KR102028913B1 (ko) 기판 탈착 장치 및 이를 이용한 평판표시장치의 제조방법
KR20100092774A (ko) 포토마스크의 글로벌 평탄도를 개선하는 장비 및 이용 방법
KR20190122281A (ko) 기재 부착 방법 및 기재 부착 장치
US8189166B2 (en) Apparatus for transferring liquid crystal display panel
KR101658151B1 (ko) 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법
TWI280436B (en) Method of producing liquid crystal display devices
KR20100130113A (ko) 패턴형성장치 및 패턴형성방법
KR101658152B1 (ko) 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법
JP2015187648A (ja) 貼合方法および貼合装置
JP2004279679A (ja) 基板貼り合わせ装置
JP2009282411A (ja) 液晶表示パネルの製造方法および製造装置
KR20130103962A (ko) 반도체 소자들을 픽업하기 위한 장치
KR101329965B1 (ko) 평판 표시 소자의 제조 장치 및 방법
TW201637874A (zh) 積層體之剝離裝置及剝離方法與電子裝置之製造方法
US8236225B2 (en) Device and method for fabricating flat display device
KR101471002B1 (ko) 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
JP2008093739A (ja) 基板研磨装置及びそれを用いた基板研磨方法
JP2000305059A (ja) 基板加圧装置と加圧方法及びそれを用いた基板貼り合わせ装置と基板貼り合わせ方法

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant