CN106455478A - 检查装置、安装装置及检查方法 - Google Patents

Abstract

通过简单的处理，高精度地对部件有无向基板搭载进行检查。一种检查装置(60)，其根据对部件向基板的搭载面搭载前后进行拍摄得到的部件的搭载前图像和搭载后图像，对有无搭载部件进行检查，该检查装置具备：阈值设定部(62)，其根据搭载前图像的亮度值，对能够识别基板的阈值进行设定；以及掩盖图像生成部(63)，其根据阈值生成从搭载前图像将除了基板以外掩盖的掩盖图像，该检查装置构成为通过使用掩盖图像对搭载前图像及搭载后图像的基板的相当于搭载面的特定区域进行比较，从而对有无搭载部件进行检查。

Description

检查装置、安装装置及检查方法

技术领域

本发明涉及对有无向基板搭载部件进行检查的检查装置、安装装置及检查方法。

背景技术

作为安装装置，已知具备检查装置的安装装置，该检查装置使用搭载于安装头的拍摄装置，对有无向基板搭载部件进行检查(例如，参照专利文献1)。在专利文献1记载的检查装置中，在部件的搭载前后对基板的搭载面进行拍摄，求出搭载前图像和搭载后图像的亮度差分，由此对在基板的搭载区域是否搭载有部件进行检查。在利用上述的搭载前后的亮度差分进行的检查中，有时除了部件以外的部位的亮度差分会造成影响。因此，通常为了将部件的周边噪声去除，对拍摄图像实施了噪声切除。

专利文献1：日本特开2014－110335号公报

此外，在部件的本体部分映出与基板相同程度的亮度的情况下，部件的搭载前图像和搭载后图像的亮度差分小。在该情况下，为了产生所需的亮度差分，在部件的本体打印的文字变得重要。但是，如果在部件的本体打印的文字颜色浅或细，则由于对搭载后图像实施噪声切除而导致文字从部件的本体消失。因此，无法得到搭载前图像和搭载后图像的充分的亮度差分，尽管在基板的搭载面搭载有部件，也可能误判定为没有搭载部件。

发明内容

本发明就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于，提供一种能够通过简单的处理，高精度地对有无向基板搭载部件进行检查的检查装置、安装装置及检查方法。

本发明的检查装置根据对部件向基板的搭载面搭载前后进行拍摄得到的所述部件的搭载前图像和搭载后图像，对有无搭载所述部件进行检查，该检查装置的特征在于，具备：阈值设定部，其根据所述搭载前图像的亮度值，对能够识别所述基板的阈值进行设定；以及掩盖图像生成部，其根据所述阈值生成从所述搭载前图像将除了所述基板以外掩盖的掩盖图像，该检查装置通过使用所述掩盖图像对所述搭载前图像及所述搭载后图像的所述基板的相当于所述搭载面的特定区域进行比较，从而对有无搭载所述部件进行检查。

本发明的检查方法根据对部件向基板的搭载面搭载前后进行拍摄得到的所述部件的搭载前图像和搭载后图像，对有无搭载所述部件进行检查，该检查方法的特征在于，具备下述步骤：根据所述搭载前图像的亮度值，对能够识别所述基板的阈值进行设定；根据所述阈值生成从所述搭载前图像将除了所述基板以外掩盖的掩盖图像；以及通过使用所述掩盖图像对所述搭载前图像及所述搭载后图像的所述基板的相当于所述搭载面的特定区域进行比较，从而对有无搭载所述部件进行检查。

根据这些结构，由于通过掩盖图像对除了基板以外的区域进行掩盖，因此在将搭载前图像和搭载后图像的相当于搭载面的特定区域彼此进行比较时，不会受到除了基板以外的区域的亮度的影响。另外，由于也不会如噪声切除那样将图像整体的亮度切除，因此能够将搭载前图像和搭载后图像的特定区域彼此适当地进行比较，能够通过简单的处理高精度地对有无搭载部件进行检查。

在上述的检查装置中，具备：差分图像生成部，其根据所述搭载前图像和所述搭载后图像，生成差分图像；以及特定区域提取部，其从所述差分图像利用所述掩盖图像而提取所述特定区域，该检查装置基于所述特定区域的亮度值，对有无搭载所述部件进行检查。根据该结构，能够根据搭载前图像和搭载后图像的差分图像中的特定区域的亮度，高精度地对有无搭载部件进行检查。

在上述的检查装置中，所述阈值设定部生成表示所述搭载前图像的每个亮度值的像素数的直方图，基于该直方图的峰值对所述阈值进行设定。根据该结构，载置前图像是对搭载部件前的基板进行拍摄得到的，因此，取直方图的峰值的亮度值表示基板的平均的亮度值。由此，通过基于该峰值对阈值进行设定，从而能够对基板和除了基板以外进行识别。

在上述的检查装置中，所述掩盖图像生成部通过使用所述阈值对所述搭载前图像进行二值化，从而生成所述掩盖图像。根据该结构，能够通过简单的处理，根据搭载前图像而生成掩盖图像。

本发明的安装装置的特征在于，具备：上述的检查装置；安装头，其向所述搭载面搭载所述部件；以及拍摄装置，其对通过所述安装头实现的部件的搭载前后进行拍摄。根据该结构，由拍摄装置对通过安装头实现的部件的搭载前后的安装面进行拍摄，能够根据搭载前图像和搭载后图像立即检测出通过安装头实现的部件的搭载错误。

通过将使检查装置执行上述的检查方法的程序安装于检查装置，从而能够将有无搭载部件的高精度的检查功能向检查装置追加。

发明的效果

根据本发明，通过将搭载前图像及搭载后图像的相当于搭载面的特定区域保留，并利用掩盖图像进行覆盖，从而能够将搭载前图像和搭载后图像的特定区域彼此进行比较而高精度地对有无搭载部件进行检查。

附图说明

图1是表示本实施方式所涉及的安装装置整体的示意图。

图2是表示本实施方式所涉及的安装头周边的示意图。

图3是表示对比例所涉及的部件的搭载前图像及搭载后图像的一个例子的图。

图4是本实施方式所涉及的检查装置的框图。

图5是表示本实施方式所涉及的检查处理的一个例子的流程图。

图6是表示本实施方式所涉及的部件的搭载前图像及搭载后图像的一个例子的图。

图7是表示本实施方式所涉及的阈值设定处理的一个例子的图。

图8是表示本实施方式所涉及的掩盖图像的一个例子的图。

图9是表示本实施方式所涉及的差分图像的一个例子的图。

图10是表示本实施方式所涉及的差分图像的特定区域的一个例子的图。

标号的说明

1 安装装置

40 安装头

48 部件拍摄部(拍摄装置)

60 检查装置

62 阈值设定部

63 掩盖图像生成部

64 差分图像生成部

65 特定区域提取部

73 搭载面

74 文字

75 光泽

P 部件

W 基板

具体实施方式

下面，参照附图，对本实施方式所涉及的安装装置进行说明。图1是表示本实施方式所涉及的安装装置整体的示意图。图2是表示本实施方式所涉及的安装头周边的示意图。图3是表示对比例所涉及的部件的搭载前图像及搭载后图像的一个例子的图。此外，本实施方式所涉及的安装装置只不过是一个例子，能够适当变更。

如图1所示，安装装置1构成为，将从带式供给器等部件供给单元20供给的部件P(参照图2)，通过一对安装头40搭载于基板W的搭载面。在基板W的表面设置有配线图案、电极焊盘等，在配线图案、电极焊盘等上附着有用于通过后序的回流焊工序与部件P的端子接合的焊膏。此外，基板W只要是能够搭载部件P的基板即可，形状、种类不特别地限定。另外，作为部件P例示出IC芯片而进行说明，但只要是向基板W搭载的部件即可，并不特别限定于电子部件。

在安装装置1配置有基板输送单元10，该基板输送单元10沿X轴方向输送基板W。基板输送单元10利用一对输送带11和一对导轨12形成输送路径，该输送带11输送基板W，该导轨12沿各输送带11对基板W的输送进行引导。输送带11从X轴方向的一端侧将部件搭载前的基板W向安装头40的下方搬入并进行定位，将部件搭载后的基板W向X轴方向的另一端侧搬出。一对导轨12的上部向内弯折(参照图2)。通过升降机构(未图示)，使基板W和一对输送带11朝向该弯折部分上升，将基板W定位。

在部件供给单元20，可自由装卸地安装带盘21，在带盘21卷绕有将多个部件P封装的载料带。各部件供给单元20通过带盘21的旋转，朝向要被安装头40拾取的交接位置依次抽出部件P。在安装头40的交接位置，从载料带将表面的外封带剥离，载料带的袋内的部件P向外部露出。此外，在本实施方式中，作为部件供给单元20而例示出带式供给器，但也可以由球状供给器等其他部件供给单元20构成。

一对安装头40通过移动机构30使安装头40沿X轴方向、Y轴方向移动，将从部件供给单元20拾取的部件P安装在基板W上的搭载面。移动机构30在沿Y轴方向延伸的一对Y轴驱动部31上，以双臂支撑方式支撑有沿X轴方向延伸的一对X轴驱动部32。在一对Y轴驱动部31，能够沿Y轴方向移动地设置有一对X轴驱动部32，在各X轴驱动部32，能够沿X轴方向移动地设置有安装头40。一对安装头40通过X轴驱动部32和Y轴驱动部31，在部件供给单元20和基板W之间往复移动。

如图2所示，安装头40构成为，在由X轴驱动部32(参照图1)支撑的安装头主体41设置多个吸嘴42(在本实施方式中仅图示1个)。各吸嘴42经由吸嘴驱动部43而由安装头主体41支撑，通过吸嘴驱动部43沿Z轴方向上下移动，并且使吸嘴42绕Z轴旋转。各吸嘴42与吸引源(未图示)连接，通过来自吸引源的吸引力，对部件P进行吸附保持。在吸嘴42设置有螺旋弹簧，一边使螺旋弹簧收缩、一边将由吸嘴42吸附的部件P搭载于基板W。

在安装头主体41设置有：高度传感器(未图示)，其对相距基板W的高度进行检测；以及姿态识别部45，其对由吸嘴42吸附的部件P的姿态进行检测。在高度传感器中，对从基板W至吸嘴42为止的距离进行检测，基于检测结果对吸嘴42的上下方向的移动量进行控制。在姿态识别部45中，使横向排成一列的发光元件46和受光元件47在水平方向上相对，来自各发光元件46的激光被部件P遮挡，各受光元件47的受光状态改变，由此对部件P的吸附姿态进行识别。根据该姿态识别部45的识别结果，对吸嘴42的吸附位置、吸附朝向进行校正。

在安装头主体41设置有：基板拍摄部(未图示)，其从正上方对基板W上的BOC标记进行拍摄；以及部件拍摄部48(拍摄装置)，其从斜上方对由吸嘴42实现的部件P的搭载动作进行拍摄。在基板拍摄部中，基于BOC标记的拍摄图像对基板W的位置、翘曲等进行识别，基于这些识别结果，对部件P相对于基板W的搭载位置进行校正。在部件拍摄部48中，除了拍摄相对于部件供给单元20的部件P吸附前后以外，还拍摄相对于基板W的搭载面的部件P搭载前后。根据这些拍摄图像，对吸嘴42有无吸附部件P、基板W有无搭载部件P进行检查。

另外，在安装装置1设置有：控制装置50，其对装置各部进行集中控制；以及检查装置60，其对吸嘴42有无吸附部件P、有无向基板W搭载部件P进行检查。这些装置由执行各种处理的处理器、存储器等构成。存储器根据用途由ROM(Read Only Memory)、RAM(RandomAccess Memory)等一个或多个存储介质构成，存储有安装装置1的控制程序、用于使检查装置60执行检查方法的程序等、有无搭载部件P的判定阈值等各种参数。

在如上述地构成的安装装置1中，使安装头40移动至部件供给单元20(参照图1)，通过吸嘴42拾取从部件供给单元20供给的部件P，将部件P搭载于基板W的期望的搭载面。在通过该吸嘴42实现的部件P的搭载动作中，有时部件P相对于基板W的搭载失败，在基板W上没有搭载部件P。因此，如上所述，以单色图像对部件P相对于基板W的搭载面的搭载前后进行拍摄，由检查装置60根据部件P的搭载前图像和搭载后图像，对基板W上有无搭载部件P进行检查。

在对有无搭载部件P进行检查时，根据搭载前图像和搭载后图像生成差分图像，基于针对差分图像所设定的判定窗口内的各像素的亮度，对有无搭载部件P进行检查。但是，在安装装置1中，由于装置的振动等，在搭载前图像和搭载后图像产生偏移。如果在像基板W上的如丝状物(silk)、电极焊盘的光泽等这样的、亮度的对比度明确的部位产生偏移，则在差分图像的判定窗口中除了部件P以外的部位的影响变大。因此，尽管在搭载后图像中没有搭载部件P，亮度的变化也变大，有可能误判定为搭载有部件P。

因此，通常对判定窗口整体实施噪声切除，抑制了搭载前图像和搭载后图像的偏移的影响。然而，如图3A所示，在将较大的部件P搭载于基板W时，判定窗口69内的部件P所占的比例大。另外，在单色图像中，有时部件P的本体部分映出与基板W相同程度的亮度。在这样的情况下，通过在部件P的本体部分打印的文字74而得到亮度差分。但是，如图3B所示，如果部件P的文字74由颜色浅的线或细线描绘，则由于对判定窗口69实施的噪声切除而将文字74去除，尽管搭载有部件P，也得不到充分的亮度。

因此，在本实施方式所涉及的检查装置60中，不对差分图像实施噪声切除，而是从差分图像将相当于部件P的搭载面的特定区域分离出，基于该特定区域的亮度对有无搭载部件P进行检查。由此，不会将部件P的本体部分的文字74消除，能够抑制除了部件P以外对比度明确的部位的亮度的影响，能够高精度地对有无向基板W搭载部件P进行检查。

下面，对有无搭载部件的检查处理进行说明。图4是本实施方式所涉及的检查装置的框图。图5是表示本实施方式所涉及的检查处理的一个例子的流程图。图6是表示本实施方式所涉及的部件的搭载前图像及搭载后图像的一个例子的图。图7是表示本实施方式所涉及的阈值设定处理的一个例子的图。图8是表示本实施方式所涉及的掩盖图像的一个例子的图。图9是表示本实施方式所涉及的差分图像的一个例子的图。图10是表示本实施方式所涉及的差分图像的特定区域的一个例子的图。

首先，参照图4，对检查装置60的控制结构简单地进行说明。检查装置60构成为与部件拍摄部48连接，能够取得由部件拍摄部48拍摄到的搭载前图像及搭载后图像。检查装置60具备：匹配部61、阈值设定部62、掩盖图像生成部63、差分图像生成部64、特定区域提取部65、计算部66、判定部67。在匹配部61中，实施搭载前图像和搭载后图像的对位的匹配处理。在阈值设定部62中，根据搭载前图像的亮度值实施能够识别搭载面的阈值的设定处理。

在掩盖图像生成部63中，实施掩盖图像的生成处理，该掩盖图像是根据阈值从搭载前图像将除了搭载面以外的部分掩盖的图像。在差分图像生成部64中，根据搭载前图像和搭载后图像实施差分图像的生成处理。在特定区域提取部65中，实施从差分图像利用掩盖图像提取相当于搭载面的特定区域的提取处理。在计算部66中，实施特定区域的各像素的差分平方和的计算处理。在判定部67中，通过将计算结果和判定阈值比较，从而实施有无搭载部件的判定处理。此外，对检查装置60简略地进行了记载，设为检查装置60具备通常所具备的结构。

下面，参照图5至图10，对检查装置的检查处理的流程进行说明。此外，在图5的流程图的说明中，适当使用在图4的各模块标注的标号而进行说明。如图5所示，从部件拍摄部48向检查装置60输入搭载前图像及搭载后图像(步骤S01)。如图6A所示，搭载前图像是搭载部件P前的基板W被部件拍摄部48从斜上方拍摄的单色图像。在搭载前图像中映出有：在基板W印刷的丝状物71、在丝状物71的内侧配置有3个电极焊盘72的搭载面73。

如图6B所示，搭载后图像是搭载部件P后的基板W被部件拍摄部48从斜上方拍摄的单色图像。在搭载后图像中映出有在基板W的搭载面73的电极焊盘72上载置的部件P。此外，所谓单色图像，是无彩色或有彩色的通过单色的浓淡表现的图像，包含灰度等级(grayscale)。然后，通过匹配部61实施匹配处理(步骤S02)。在匹配处理中，考虑在部件P的搭载时产生的基板W的翘曲、挠曲，实施搭载前图像和搭载后图像的对位。

然后，通过阈值设定部62实施阈值的设定处理(步骤S03)。如图7所示，在阈值的设定处理中，生成表示搭载前图像的每个亮度值的像素数的直方图，基于直方图的峰值设定阈值。在该情况下，由于载置前图像是对搭载部件P前的基板W进行拍摄而得到的，因此，由表示基板W的像素占据了搭载前图像的大部分。由此认为：取直方图的峰值的亮度值表示基板W的平均的亮度值。然后，将阈值设定为比该峰值高规定亮度的亮度值，以直方图的山形部的半山腰为界，识别出基板W和除了基板W以外。

然后，通过掩盖图像生成部63实施掩盖图像的生成处理(步骤S04)。在掩盖图像的生成处理中，针对搭载前图像的各像素，将小于或等于阈值的亮度值的像素识别为基板W，将大于阈值的亮度值的像素识别为除了基板W以外。而且，将小于或等于阈值的亮度值的像素设为黑色，将大于阈值的亮度值的像素设为白色，将搭载前图像通过黑白2灰阶而进行二值化。然后，如图8所示，对二值化图像实施噪声切除及黑白反转处理，生成从搭载前图像将除了基板W以外掩盖的掩盖图像。

然后，通过差分图像生成部64实施差分图像的生成处理(步骤S05)。如图9所示，在差分图像的生成处理中，取得匹配后的搭载前图像和搭载后图像的亮度差分的绝对值而生成差分图像。在差分图像中，除了有无搭载部件P以外，还明确地表现出搭载前图像和搭载后图像中的电极焊盘72的光泽75的差异。针对该差分图像设定判定窗口69，基于判定窗口69内的亮度值对有无搭载部件P进行判定，但电极焊盘72的光泽75的影响大。在差分图像残留的电极焊盘72的光泽75有可能成为对有无搭载部件P进行错误判定的原因。此外，判定窗口69的大小根据部件P的大小而设定。

然后，通过特定区域提取部65实施特定区域的提取处理(步骤S06)。如图10所示，在特定区域的提取处理中，使用掩盖图像从判定窗口69内的差分图像仅提取相当于搭载面的特定区域。即，从判定窗口69内的差分图像仅分离出掩盖图像的白色部分。由此，在判定窗口69内残留的光泽75被掩盖图像去除，在判定窗口69内仅映出部件P。此外，在搭载后图像没有映出部件P的情况下，判定窗口69内变为全黑。

然后，通过计算部66实施差分平方和的计算处理(步骤S07)。在差分平方和的计算处理中，对特定区域的各像素的亮度值的平方的合计进行计算。由此，搭载前图像和搭载后图像的特定区域的亮度差被突出，在部件P的搭载时和非搭载时计算结果的差异变得明确。在该情况下，仅在部件P的本体部分标注的文字74的部分，计算结果变高。另外，由于从特定区域将表示光泽75(参照图10)的像素被去除，因此，不会由于光泽75的像素的亮度值而使计算结果过度地变高。

然后，通过判定部67实施有无搭载部件P的判定处理(步骤S08)。在有无搭载部件P的判定处理中，将计算部66的计算结果和预先设定的判定阈值进行比较。如果计算结果大于或等于判定阈值，则判定为“有部件”，如果计算结果小于判定阈值，则判定为“没有部件”。在本实施方式中，由于在特定区域映出了部件P，因此计算部66的计算结果变高而判定为“有部件”。如上所述，通过着眼于在搭载部件P后本体部分所处的区域，求出部件P的搭载前后的亮度差分，从而与亮度差分变大对应地而判定变得容易。

此外，在上述的说明中，说明了根据在部件P搭载时拍摄到的搭载前图像，设定基板识别用的阈值而生成掩盖图像的结构，但阈值的设定定时、掩盖图像的生成定时并不限定于部件P搭载时。例如，也可以根据事先拍摄到的搭载前图像，设定阈值而生成掩盖图像。即，阈值的设定定时及掩盖图像的生成定时也可以在搭载部件P前设定。上述的流程图只不过表示一个例子，能够适当调换顺序。

如上所述，本实施方式所涉及的检查装置60，由于通过掩盖图像将除了基板W以外的区域掩盖，因此在将搭载前图像和搭载后图像的相当于搭载面的特定区域彼此进行比较时，不会受到除了基板W以外的电极焊盘72的光泽75等的亮度的影响。另外，由于也不会如噪声切除那样将图像整体的亮度切除，因此，在部件P的本体部分由颜色浅的线或细线描绘的文字不会被去除。由此，能够将搭载前图像和搭载后图像的特定区域彼此适当地进行比较，能够通过简单的处理高精度地对有无搭载部件P进行检查。

此外，本发明并不限定于上述实施方式，能够进行各种变更而实施。在上述实施方式中，并不限定于附图所图示的大小、形状等，在发挥本发明的效果的范围内能够适当变更。除此以外，只要不脱离本发明的目的的范围，则能够适当变更而实施。

例如，在本实施方式中，利用掩盖图像从搭载前图像和搭载后图像的差分图像提取特定区域，利用针对特定区域的各像素的亮度值的差分平方和而对有无搭载部件P进行检查，但并不限定于该结构。对于有无搭载部件P，只要是使用掩盖图像并通过搭载前图像和搭载后图像的特定区域的比较进行检查即可。例如，也可以通过在从搭载前图像和搭载后图像各自中利用掩盖图像进行提取的特定区域的匹配处理(步骤S02)中计算出的相关值，对有无搭载部件P进行检查。

另外，在本实施方式中，对检查装置60设置于安装装置1的结构进行了说明，但并不限定于该结构。检查装置60也可以设置在需要有无搭载部件的检查的加工装置中。另外，检查装置60也可以是与安装装置1分体的检查专用的装置。

另外，在本实施方式中，是作为拍摄装置的部件拍摄部48从斜上方对基板W进行拍摄的结构，但并不限定于该结构。拍摄装置只要能够对搭载前图像和搭载后图像以可比较的方式进行拍摄即可，例如，也可以从正上方对基板W进行拍摄。可以使用上述的设置于安装头主体41的从正上方对基板W上的BOC标记进行拍摄的基板拍摄部进行拍摄。此外，从斜上方对基板W进行拍摄的部件拍摄部48对其拍摄区域进行了设定，以使得无需在部件刚搭载后使安装头主体41移动，就能够对搭载于基板的电子部件周边的图像进行拍摄。

另外，在本实施方式中，搭载前图像及搭载后图像是以单色图像拍摄到的，但并不限定于该结构。搭载前图像及搭载后图像也可以以彩色图像进行拍摄。通过阈值设定部62指定基板W的颜色(例如，绿色)，根据该指定颜色的亮度值(绿色的强度)对能够识别搭载前图像内的基板W的阈值进行设定。而且，基于特定区域的指定颜色的亮度差对有无搭载部件P进行检查。在该情况下，在部件P和基板W为不同的颜色的情况下，根据部件P的有无而差分值变大，因此还能够省略针对特定区域的差分平方和。

另外，在本实施方式中，阈值设定部62将基板识别用的阈值设定为比表示搭载前图像的每个亮度值的像素数的直方图的峰值高规定亮度的亮度值，但并不限定于该结构。阈值设定部62只要将阈值设定为直方图的能够对基板W和除了基板W以外进行识别的亮度值即可。例如，在白色基板的情况下，阈值设定部62也可以将阈值设定为比直方图的峰值低规定亮度的亮度值，将大于或等于阈值的亮度值的像素识别为基板W，将小于阈值的亮度值的像素识别为除了基板W以外。

另外，在本实施方式中，是阈值设定部62根据直方图对基板识别用的阈值进行设定的结构，但并不限定于该结构。阈值设定部62只要基于搭载前图像的亮度值对阈值进行设定即可，也可以不根据搭载前图像生成直方图。

另外，在本实施方式中，采用了判定部67基于针对特定区域的各像素的亮度值进行差分平方和的计算结果，判定有无搭载部件P的结构，但并不限定于该结构。判定部67只要是基于特定区域的亮度值对有无搭载部件P进行判定的结构。例如，判定部67可以通过特定区域的各像素的亮度值的合计对有无搭载部件P进行判定，也可以通过针对特定区域的各像素的亮度值进行差分立方和的计算结果，对有无搭载部件P进行判定。

另外，在本实施方式中，基板W并不限定于印刷基板，也可以是搭载在工具基板上的柔性基板。

并且，也可以将能够使检查装置执行上述的检查方法的程序作为已有的检查程序的重试处理而进行追加。例如在已有的检查处理中产生“没有搭载”的判定的情况下，通过执行上述的程序，从而能够进一步提高检查精度。对于有无实施重试处理，可以根据部件尺寸、形状等自动地进行选择，也可以采用能够由用户自由设定的结构。

工业实用性

如以上说明所述，本发明具有下述效果，即，能够通过简单的处理，高精度地对有无向基板搭载部件进行检查，特别地，适用于对在部件的本体部分由颜色浅的线或细线描绘有文字的部件有无搭载进行检查的检查装置、安装装置及检查方法。

Claims (6)

1.一种检查装置，其根据对部件向基板的搭载面搭载前后进行拍摄得到的所述部件的搭载前图像和搭载后图像，对有无搭载所述部件进行检查，

该检查装置的特征在于，具备：

阈值设定部，其根据所述搭载前图像的亮度值，对能够识别所述基板的阈值进行设定；以及

掩盖图像生成部，其根据所述阈值生成从所述搭载前图像将除了所述基板以外掩盖的掩盖图像，

该检查装置通过使用所述掩盖图像对所述搭载前图像及所述搭载后图像的所述基板的相当于所述搭载面的特定区域进行比较，从而对有无搭载所述部件进行检查。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，具备：

差分图像生成部，其根据所述搭载前图像和所述搭载后图像，生成差分图像；以及

特定区域提取部，其从所述差分图像利用所述掩盖图像提取所述特定区域，

该检查装置基于所述特定区域的亮度值，对有无搭载所述部件进行检查。

3.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述阈值设定部生成表示所述搭载前图像的每个亮度值的像素数的直方图，基于该直方图的峰值对所述阈值进行设定。

4.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述掩盖图像生成部通过使用所述阈值对所述搭载前图像进行二值化，从而生成所述掩盖图像。

5.一种安装装置，其特征在于，具备：

权利要求1至4中任一项所述的检查装置；

安装头，其向所述搭载面搭载所述部件；以及

拍摄装置，其对通过所述安装头实现的部件的搭载前后进行拍摄。

6.一种检查方法，其根据对部件向基板的搭载面搭载前后进行拍摄得到的所述部件的搭载前图像和搭载后图像，对有无搭载所述部件进行检查，

该检查方法的特征在于，具备下述步骤：

根据所述搭载前图像的亮度值，对能够识别所述基板的阈值进行设定的步骤；

根据所述阈值生成从所述搭载前图像将除了所述基板以外掩盖的掩盖图像的步骤；以及

通过使用所述掩盖图像对所述搭载前图像及所述搭载后图像的所述基板的相当于所述搭载面的特定区域进行比较，从而对有无搭载所述部件进行检查的步骤。