CN106449965A - 薄片转换器及用于薄片转换器的致动器条 - Google Patents

薄片转换器及用于薄片转换器的致动器条 Download PDF

Info

Publication number
CN106449965A
CN106449965A CN201610653591.1A CN201610653591A CN106449965A CN 106449965 A CN106449965 A CN 106449965A CN 201610653591 A CN201610653591 A CN 201610653591A CN 106449965 A CN106449965 A CN 106449965A
Authority
CN
China
Prior art keywords
thin slice
converters
electrode
multilayer
composite construction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201610653591.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106449965B (zh
Inventor
克里西亚·德·卡瓦略·罗德盖里
马塞尔·康斯坦丁
诺姆·南希
彼得·克里普纳
迪特尔·宾兹
拉尔夫·沙伊贝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Buerkert Werke GmbH and Co KG
Original Assignee
Buerkert Werke GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Buerkert Werke GmbH and Co KG filed Critical Buerkert Werke GmbH and Co KG
Publication of CN106449965A publication Critical patent/CN106449965A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106449965B publication Critical patent/CN106449965B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/4097—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by using design data to control NC machines, e.g. CAD/CAM
    • G05B19/4099—Surface or curve machining, making 3D objects, e.g. desktop manufacturing
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
    • F16K31/025—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic actuated by thermo-electric means
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01—Manufacture or treatment
    • H10N30/06—Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/063—Forming interconnections, e.g. connection electrodes of multilayered piezoelectric or electrostrictive parts
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • H10N30/501—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure having a non-rectangular cross-section in a plane parallel to the stacking direction, e.g. polygonal or trapezoidal in side view
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • H10N30/503—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure having a non-rectangular cross-section in a plane orthogonal to the stacking direction, e.g. polygonal or circular in top view
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/872—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/49—Nc machine tool, till multiple
    • G05B2219/49023—3-D printing, layer of powder, add drops of binder in layer, new powder
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/857—Macromolecular compositions

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Prostheses (AREA)
  • Computer Graphics (AREA)
  • Software Systems (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)

Abstract

本发明涉及一种薄片转换器(2)，该薄片转换器具有：保持件(50)；电活性的多层‑复合结构(10)；该多层‑复合结构具有至少两个可变形的载体(12)，所述载体分别在至少一侧上被涂覆有面状的电极(14)，其中，多层‑复合结构具有伸长的基本形状且在其较短侧上被夹紧在保持件(50)中的固定部分(52)中，而较长侧是自由的，其中，多层‑复合结构(10)的电极(14)交替地在被夹紧在保持件(50)中的端部上与接触元件(60)连接，该接触元件被布置在固定部分(52)中。本发明也涉及一种用于这样的薄片转换器(2)的致动器条(18)。

Description

薄片转换器及用于薄片转换器的致动器条
技术领域
本发明涉及一种薄片转换器以及用于薄片转换器的致动器条。
背景技术
薄片转换器可用于将电能转换成机械功。例如已知将薄片转换器用作为致动器。
薄片转换器具有电活性的复合结构，简而言之，该复合结构由薄片形式的可弹性变形的电介体构成，薄片作为载体用于两个电极。电极被置于薄片的上侧和下侧上。当在两个电极之间产生电场时，在电极之间出现引力使得导致电极之间的距离减小。由此，载体被压缩。因为载体的材料是基本不可压缩的，通过载体的厚度减小导致长度增大。由此，例如当负荷作用件被弹簧在确定方向上施压时，可产生负荷作用件的行程。
现有技术中，保持件通常被实施成封闭的环或框，其全方位包围复合结构。该框和载体例如可在俯视图中具有圆形或矩形形状。注意，保持件的该形状对于不同应用不是最佳的。
发明内容
本发明的目的在于，改进已知的薄片转换器，使得产生负荷作用件的更好的调整性能。
为了实现该目的，根据本发明提供薄片转换器，该薄皮转换器具有：保持件；电活性的多层-复合结构；至少一个且优选多个可变形的载体，所述载体分别在至少一侧上被涂覆有面状电极，其中，多层-复合结构具有伸长的矩形的基本形状且在其较短侧上被夹紧在保持件中的固定部分中，而较长侧是自由的，其中，多层-复合结构的电极交替地在被夹紧在保持件中的端部上与接触元件连接，该接触元件被布置在固定部分中。本发明基于下述基本思路，即，使用条形的复合结构，该复合结构具有由载体和电极构成的多个相互堆叠的层。因为多层-复合结构在保持件中仅在两个相互远离的端部上被固定，因此条在两个端部之间的中间部分特别可非常好地形变，因为较长侧可不受损地移动离开保持件。另一优点在于，薄片转换器构建成窄的且因此特别好地适用于下述应用，即，在其中提供少的结构空间。
优选地，在固定部分中布置弹簧元件，多层-复合结构的在那里被夹紧的端部通过该弹簧元件被压缩。弹簧元件用于弹性预紧张，使得复合结构也在出现移动且可能出现放置时可靠地保持在固定部分中被夹紧。
优选地提出，接触元件是接触剑状物(Kontaktschwert：接触插板)，且被插入保持件中的凹槽中。复合结构被固定在固定部分中之后，电极可以可靠地与接触剑状物触点接通。
在最佳效率方面，电极交替地在一个和另一个固定部分中被触点接通。这使得在堆叠方向看特别节省空间的结构，因为不是针对每个载体使用两个电极，而被布置在多层-复合结构内的电极既用于之上的载体也用于之下的载体。由此可行的是，使用同载体正好一样多个的电极(其中，载体在多层-复合结构的外侧的一个上露出且可不被激活)，或存在比载体正好多一个的待使用电极。
根据本发明的一设计方案提出，多层-复合结构的被夹紧在保持件的固定部分中的端部相对于其延伸方向在两个固定部分之间被弯曲。由此，电极大致垂直于载体的面延伸，使得多层-复合结构的外侧上提供用于电极的触点接通的大的面。
在此优选地，电极被布置在载体的下述侧上，即，该侧在弯曲之后配设于接触元件。该接触元件在多层-复合结构外延伸，使得载体不受机械损伤或必须被穿破。
根据一设计方案提出，电极在多层-复合结构的一端部上延伸直至载体的边缘，且在对置端部上与该边缘间隔开地结束。由此在结构方面确保电极交替地被触点接通。
根据本发明的一设计方案提出，载体设有接触舌，该接触舌被涂覆有电极。接触舌可被布置在对于接触有利的位置上。
在此可行的是，接触舌在俯视图中成阶梯地被布置。这使得可以侧向并排地布置弯曲的接触舌，使得不出现接触舌的过厚的包部，其可能很差地被弯曲。
根据本发明的一设计方案提出，多层-复合结构的载体具有不同的长度，且被层叠使得其端部在俯视图中成阶梯地被布置。由此也可避免在弯曲涂覆有电极的载体的端部时出现很差操作的、厚的包部。
也可提出，电极设有接触凸起部，该接触凸起部在相应的固定部分中被触点接通。这在下述情况下提供，即，当期望更多材料触点接通时，例如当接触凸起部应相互焊接时。
也可使用导电胶，电极通过该导电胶相互导电地粘接。
优选地，存设有电子电路，该电子电路与接触元件连接。通过该方式可产生集成构件，该集成构件除了在能量供给和数据传导方面自给自足。
电子电路可被集成到保持件中，例如被合适地注入，使得其很好地被保护。
根据本发明的一个优选实施方式，设置安装板，保持件被安置在该安装板上。该安装板作为用于薄片转换器的增强部和/或覆盖部，使得薄片转换器很好地被保护且可以可靠地被安装。
电子电路也可被安置在安装板上被或集成到安装板中，使得其很好地被保护。
优选地，弹簧元件被布置在安装板与负荷作用件之间。该弹簧元件在偏移方向上对多层-复合结构施压，使得精确地限定薄片转换器的行程方向。
在可多层-复合结构上在固定部分之间布置负荷作用件。在该负荷作用件上，力可被导入多层-复合结构或从多层-复合结构被去除。在此，负荷作用件确保多层-复合结构不被损伤。
负荷作用件可以是板或推杆。
在紧凑设计方案方面提出，推杆延伸通过安装板且通过弹簧元件。推杆也可被实施成杯形且将弹簧元件容纳在其内部中。
根据一设计方案提出，负荷作用件是滑块，该滑块在保持件中可移动地被引导，且弹簧元件支撑在该滑块上。在该设计方案中，多层-复合结构在侧向方向上被引导。
根据本发明的一设计方案提出，保持件由硬度高于多层-复合结构的材料构成。因此出现作用力的情况下保持件可被看成刚性的。
优选地，载体是电介体，特别是介电聚合物。该聚合物的特征在于高可形变性。
用于载体的合适材料是由聚合物、硅酮、丙烯酸脂或聚氨酯制成的薄片或薄膜。
在此可提出，电介体是印制构件，该印制构件特别通过丝网印刷法、移印法、3D打印法被制造成薄膜。通过这样的方法可灵活制造具有分别期望尺寸的载体。
电介体也可以是浇注构件，其例如被制造成旋转涂层。
被布置在载体上的电极可由基体材料、传导材料、溶剂及添加物的混合物构成。这确保电极可很好地形变。
弹性体材料也可用作为用于电极的基体材料，例如是硅酮、丙烯酸脂或聚氨酯。这些材料的特征在于高可形变性和很好的抗老化性。
用于电极的传导材料是炭黑、碳纳米管、传导聚合物、纳米金属丝或这些材料的混合物。这些材料当其嵌入基体材料中确保在同时很好的可形变性的情况下的高的导电性。
根据本发明的一设计方案提出，电极是印制构件，该印制构件特别通过丝网印刷法、移印法、3D打印法、层压法、喷墨打印法或气溶胶喷射法被施加成薄层。通过这些方法，电极可通过较低成本以分别所期望的几何形状被安置在载体上。
也可行的是，电极分开地被制造且然后与载体粘接。
薄片转换器可用于将电能转换成机械功。在该情况下薄片转换器用作为致动器。
也可行的是，使用薄片转换器将机械能转换成电能。在此在下述情况下电极之间的距离改变，即，当负荷作用件从外被移动时。类似于充电的电容器的情况，在其中，电容器板相互间的距离改变，则在该情况下在薄片转换器中电极之间的电压改变。即，薄片转换器可类似于传感器或发电机被使用。
保持件可以是印制构件，例如通过丝网印刷法、移印法或3D打印法被制造。由此可根据各应用情况灵活地制造不同的几何形状。
也可行的是，保持件是压铸件，其可成本有利地被大量制造。
特别地，环氧树脂适合作为用于保持件的材料。
根据本发明的一实施方式提出，多层-复合结构类似于在蹦床中地紧张地被安置在保持件中。多层-复合结构实施下述行程，即，该行程基本垂直于多层-复合结构的延伸方向且由此也垂直于其伸展方向。整体而言，由此产生小的结构高度。
根据一替选的实施方式提出，多层-复合结构类似环圈地延伸。换而言之：多层-复合结构在固定部分之间松弛(也当其可被紧张时)，即，延伸远离下述平面，即，该平面延伸通过两个固定部分。由此，多层-复合结构的伸展方向与行程方向重合，使得可实现更大的行程。此外，致动器的结构宽度变小。
根据一优选的实施方式提出，多层-复合结构在中间设有操纵部分。该操纵部分可与阀座共同作用，且根据薄片转换器的激活状态关闭或释放阀座。
在此优选地提出，操纵部分无电极。电极仅被设置在用于改变致动器的长度的部分中。
根据一设计方案提出，保持件是环。这使得可以均匀地夹紧多层-复合结构，其不由单一的、直线延伸的条构成，而具有复杂的形状。
特别地，多层-复合结构可具有星形的形状，例如具有三个与操纵部分相同间距向外延伸的部分。这使得可以提高操纵力，而操纵部分被均匀施压。
本发明也涉及一种用于如前文所述的薄片转换器的致动器条，其中，致动器条包括：载体，载体由可弹性变形的塑料薄片构成且在俯视图中具有通常伸长的矩形形状；以及面状电极，该电极与载体固定连接且在载体的两个较短侧边缘中的一个上形成触点接通部分。从这样的致动器条可通过下述方式以较低成本制造多层-复合结构，即，单个条被相互粘接或相互层压。在此，“矩形”如针对薄片转换器的相同方式地特别表示，有两个更长的侧边和两个更短的侧边。例如，更长的侧边的长度至少是更短的侧边的长度的两倍。“矩形”不必须表示，薄片结构强制性具有直的侧边和/或角。薄片结构可具有“靴子形状”、肾形状等。
为了简化触点接通，触点接通部分可具有在纵向方向上突出的接触凸起部。
也可提出，触点接通部分是接触舌，该接触舌与电极导电连接。这使得接触舌可相互焊接。
优选地，载体由介电聚合物构成，使得其可很好地形变。
优选地，电极由弹性的、导电的塑料构成。由此，电极可如载体一样很好地形变，使得形成可整体非常好地弹性变形的致动器条。
为了实现上述目的，根据本发明也提出一种用于触点接通多层-复合结构的电极从而产生薄片转换器的方法，其中，至少一个致动器条被布置在保持件中，使得致动器条通过其触点接通部分突出超过保持件的固定部分。然后，触点接通部分相对于致动器条的朝向在固定部分之间被弯曲，且触点接通部分被触点接通。通过该方式，能够以较小的成本可靠地接触复合结构中的大量致动器条。
优选地，多个致动器条堆叠，其中，触点接通部分交替地在复合结构的相对侧上。不必分开触点接通每个致动器条，而一方面所有“奇数”致动器条且另一方面所有“偶数”致动器条分别被置于一个且相同的电势。
不同的方法适用于触点接通。可提出，为了触点接通而插入接触剑状物，该接触剑状物触点接通所有在保持件的相应侧上的触点接通部分。也可提出，触点接通部分借助于导电胶接触。替选地，触点接通部分可以相互焊接。
附图说明
下文中根据在附图中所示的不同实施方式描述本发明。附图中：
图1以透视图示出根据本发明的第一实施方式的薄片转换器；
图2以分解透视图示出图1中的薄片转换器；
图3以剖面透视图示出图1中的薄片转换器；
图4示出图3中的细节IV；
图5以俯视图示出在图1中的薄片转换器中使用的、第一类型的设有电极的载体；
图6以俯视图示出第二类型的载体；
图7以侧视图示出图6中的载体；
图8示出图7中的细节VIII；
图9以透视图示出图8中的细节VIII；
图10以俯视图示出根据第一实施方式变型的设有电极的载体；
图11以俯视图示出根据第二实施方式变型的设有电极的载体；
图12以俯视图示出根据第三实施方式变型的设有电极的载体；
图13示出多层-复合结构，其由在图12中所示的实施方式变型中的不同变型形成；
图14以俯视图示出根据第四实施方式变型的设有电极的载体；
图15示出多层-复合结构，其由在图14中所示的实施方式变型中的不同变型形成；
图16以透视剖面图示出根据第二实施方式的薄片转换器；
图17以分解透视图示出图16中的薄片转换器；
图18以透视剖面图示出根据本发明的第三实施方式的薄片转换器；
图19以分解图示出图18中的薄片转换器；
图20以纵剖面示出在非激活状态下的图18中的薄片转换器；
图21以纵剖面示出在激活状态下的图18中的薄片转换器；
图22以透视剖面图示出根据本发明的第四实施方式的薄片转换器；
图23示出图22中的薄片转换器，其中，为了更好地清晰性未示出安装板；
图24以放大的比例示出图23中的细节XXIV；
图25以示意图示出根据本发明的第五实施方式的薄片转换器；
图26以俯视图示出具有根据本发明的第六实施方式的薄片转换器的阀；
图27示出沿着图26中的面XXVII-XXVII的剖面，其中，阀处于关闭状态；
图28示出图27中的缺口截面，其中，阀处于打开状态；
图29示出沿着图26中的面XXVIII-XXVIII的剖面；
图30以俯视图示出根据第六实施方式的薄片转换器；
图31以剖视图示出图30中的薄片转换器；
图32以透视图示出图30中的薄片转换器；
图33以透视图示出图30中的薄片转换器的框；
图34以透视图示出用于图30中的薄片转换器的多层-复合结构；
图35以透视图示出根据第六实施方式的薄片转换器的一个变型；以及
图36以分解图示出图35中的薄片转换器。
具体实施方式
在图1至9中示出根据第一实施方式的薄片转换器2。该薄片转换器包括多层-复合结构10和保持件50。
多层-复合结构10是由交替布置的载体12和面状电极14构成的堆叠。
每个载体12(特别参见图5和图6)具有伸长的、矩形的基本形状。该载体由可弹性变形的绝缘材料构成的薄片或薄膜构成。
特别地，可弹性变形的绝缘材料是电活性的聚合物，是硅酮、丙烯酸脂或聚氨酯。
面状的电极14通过相同的方式如载体12是可弹性变形的。基本上可行的是，与载体分开地制造电极且然后通过下述方式连接电极与载体，即，例如粘接或层压电极。然而优选地，电极14通过下述方式被实施成载体的涂层，即，例如电极直接被印制。
电极由诸如硅酮、丙烯酸脂或聚氨酯的基体材料构成，其设有诸如炭黑、碳纳米管、传导聚合物、纳米金属丝或这些材料的混合物的导电材料。
如特别可从图5和图6中看到的那样，有两个不同类型的载体。在图5所示的第一类型中，电极14延伸直至到载体的左侧边缘上，而右侧边缘空置。在图6所示的第二类型中正好相反，电极延伸直至载体12的右侧边缘，而左侧边缘空置。
涂覆有电极的载体的图5和图6中所示的类型的不同实际上仅在其在薄片转换器2中的朝向方面；其实际上在几何结构方面是相同的。
每个设有电极14的载体12被设有负荷作用件16，力之后通过负荷作用件可被导入多层-复合结构10或可从其被除去。负荷作用件16可被实施成在载体12或电极14上构建的加强板，或由未涂层(有电极)的区域或由下述开口构成，固定件延伸通过该开口，该固定件相互连接两个外置的板，多层-复合结构10被夹紧在所述板之间。
多层-复合结构10由更大数量的设有电极14的载体12构成，其中，第一和第二类型分别交替。
可提出，涂覆有电极14的载体12在其纵向方向看轻微相互交替被移动地被布置，使得在每侧上矩形载体的更短的侧边进一步突出所形成的堆叠，在其中，电极14延伸直至载体12的最外边缘。
设有电极14的载体12可被制造成分开的致动器条18，其然后相互连接成多层-复合结构。对此，致动器条可相互粘接或相互层压。也可行的是，以层的方式印制载体和电极，且通过该方式分层地制造多层-复合结构10。
复合结构10被夹紧在保持件50内。根据在此有上部50A和下部50B构成的长框的类型实施保持件50。
保持件50在其更短的侧边处分别具有固定部分52，其用于机械夹紧和保持多层-复合结构10的更短的侧边。对此，在下部50B中设置底座54，多层-复合结构10的外边缘被上部50A挤压抵靠该底座。
上部50A在此设有两个弹簧元件56，所述弹簧元件弹性地挤压多层-复合结构10的薄片堆叠抵靠底座54。弹簧元件可通过一体地被实施有上部50A的弹簧吊耳形成或通过滑块形成，该护板被分开的弹簧施压。
保持件50的两个固定部分52通过两个连接部分58相互连接，其沿着多层-复合结构10的更长的侧边延伸。
如特别可在图3中看到的那样，多层-复合结构被保持在保持件50的固定部分52之间在纵向方向上被张紧，而多层-复合结构侧向(即，沿着更长的侧边)空置(参见在复合结构10的更长的侧边与保持件50的连接部分58之间的空隙s)。
多层-复合结构10的电极14交替地在保持件50的相对侧上电接触，即，电极1、3、5、…例如在图1中右侧布置的固定部分52上，且电极2、4、6、8、…在图1中左侧布置的固定部分52上。
为了接触在此使用接触元件60(特别参见图2)，接触元件被插入固定部分52中的容纳部且电接触位于此的电极。在此，载体12连同位于其上的电极14被弯曲(特别参见图4和图8)，使得接触元件不面对由载体和电极构成的致动器条的外置的正侧，而面对“上侧”，即，电极。由此确保电极的大面积接触。
在此，接触元件60被实施成接触剑状物。
每个由载体12和电极14构成的致动器条的弯曲的端部部分由此形成触点接通部分62。
为了控制薄片转换器使用例如可被集成到保持件中的电子电路。该电路与接触元件60连接，使得可在接触元件60之间构建所期望的电势。
在图10中示出针对图5和图6中所示的致动器条18的一实施方式变型。
与图5和图6的致动器条的不同之处在于，在图10所示的实施方式变型中使用接触凸起部20，其是被安置在致动器条18上的分开的构件，即，使得该构件与电极14导电连接。
接触凸起部20在载体12的更短的边侧中的一个上突出超过载体。
接触凸起部20可由薄的金属片构成。由此提供材料足以当接触凸起部叠加弯曲时相互焊接在侧面上布置的接触凸起部。
基本上，电极14可覆盖载体12的整个表面。如可在图10中看到的，电极然而也可与载体的外边缘间隔开地结束。
在图11中示出第二实施方式变型。该实施方式变型与在图5和图6中已知的变型的不同在于，电极14在载体12的四个侧边缘中的三个上与其间隔开地结束，即，载体在此空置，而电极仅在下述侧边缘上延伸至载体12的外边，即，触点接通部分62被形成在所述侧边缘上。
在图12中示出另一实施方式变型。
在图12中所示的致动器条18的基本特征在于，触点接通部分62通过接触舌22被形成，该接触舌在致动器条18的更短的侧边的一个上在纵向方向上突出。
接触舌22在致动器条18的横向方向上看可被布置在不同的位置上(参见图13)，例如在外边缘上，在中间以及在对置的外边缘上。通过该分级的布置，不是所有的触点接通部分62相对对置，如这可在图4中看到的那样，而触点接通部分可并排使得其可单个地被接触元件60接触。
在图14中示出致动器条18的另一实施方式变型。在该变型中，电极14延伸直至直接至矩形的、条形的载体12的更短的外边缘。
当在图14所示的实施方式变型中的致动器条18在纵向方向上看被相互错开层叠时，每个第二电极在每侧上空置，使得其可被触点接通。
额外地可提出，致动器条18被实施具有不同的长度，特别具有分级增大的长度。通过该方式产生在图15中所述的多层-复合结构10，在其中，触点接通部分62分级地空置，且由此可特别好地被触点接通。
在图16和17中示出薄片转换器的一实施方式，在其中，薄片转换器被实施成致动器。
相同的参考标记用于通过第一实施方式已知的构件，且就此点参考上文中的说明。
设置被安装到保持件50上的安装板70。
在此，负荷作用件16被实施成推杆，其通过头部72支撑在多层-复合结构10的面对安装板70的一侧上。负荷作用件16的杆74延伸通过安装板70的开口76，使得推杆的正侧在安装板70远离的保持件50一侧上空置。
在推杆的头部72与安装板70之间布置弹簧元件78，该弹簧元件在此被实施成螺旋弹簧。该螺旋弹簧被布置在推杆杆74上。
安装板70也可被设有用于控制薄片转换器的电子电路。在此优选地，在安装板70内布置电导体电路，接触元件60可借助于电导体电路被电接触。对此，接触元件60延伸到安装板70的合适的空隙80中。
在初始状态下，推杆16大致在图16中所示的位置上。当薄片转换器2被控制时，即，在接触元件60之间产生电势时，在两个电极14之间的载体12被轻微压缩，由此致动器条18变长。由此对于弹簧元件78来说可相对于图16向上移动推杆16。
当在接触元件60之间无(或有更小的)电势时，致动器条18再次缩短，使得推杆16抵抗弹簧元件78的作用被朝向初始位置调整。
在图18至图21中示出第三实施方式，在其中，薄片转换器2是致动器的部分。
相同的参考标记用于通过上述实施方式已知的构件，且就此点参考上文中的说明。
一般而言，在第二和第三实施方式之间的不同在于，在第三实施方式中，负荷作用件16完全被布置在安装板70与多层-复合结构10之间。
在第三实施方式中，安装板70可插入移动引导部82，该移动引导部被集成到保持件50的上部50A中。安装板70在其面对复合结构10的一侧上具有套筒形的引导部84，弹簧元件78被布置在该套筒形的引导部内。该弹簧元件在此再次被实施成螺旋压力弹簧。
负荷作用件16在引导部84上被引导，该负荷作用件在此被实施成杯形的推杆。推杆16被弹簧元件78挤压抵靠多层-复合结构10(特别参见图20和图21)。
在初始状态下(参见图20)，多层-复合结构10相对紧绷地被保持在保持件50的两个固定部分52之间，可与蹦床的帆布兜进行比较。由此，弹簧元件78更强烈地被预张紧。
当电势在第一与第二电极之间作用时，多层-复合结构10的致动器条18变长，使得弹簧元件78可以将推杆16压离安装板70(参见图21)。
当再次移除该电势时，推杆在多层-复合结构10的作用下恢复在图20中所示的初始状态。
可直接通过下述方式使用推杆16的行程，即，多层-复合结构10的远离推杆16的一侧直接与阀座共同作用，使得阀座被关闭或打开。替选地，多层-复合结构10的远离推杆16的一侧上固定安置另一负荷作用件或施加弹簧负载，使得该行程可用于在各应用中所期望的操纵。
在图22至图24中示出第四实施方式。
相同的参考标记用于通过上述实施方式已知的构件，且就此点参考上文中的说明。
第四实施方式在布置安装板70和布置弹簧元件78方面对应于第三实施方式。与第三实施方式的不同在于，弹簧元件78支撑在滑块90上，该滑块侧向地在滑块引导部92中被引导，该滑块引导部被安置在保持件50上。滑块90完全包围多层-复合结构10，使得多层-复合结构在侧向方向上被引导。在此，滑块在侧向方向上是宽的，使得可接受复合结构横向于纵向方向的宽度的(轻微)增大。由此，复合结构也在被移动状态下被保持成平的。
滑块90远离弹簧元件78的下侧在此可直接被用作为空置的负荷作用件16。
在图25中示出根据第五实施方式的薄片转换器。相同的参考标记用于通过上述实施方式已知的构件，且就此点参考上文中的说明。
在第五实施方式与例如在图18至图21中所示的第三实施方式之间的基本不同在于，在第五实施方式中多层-复合结构10在初始状态下未紧绷地被保持在保持件50中，而类似于环圈(Schlaufe)地下垂。负荷作用件16作用在环圈的顶点上。由于负荷作用件16，多层-复合结构10实际上非松懈地下垂，而被保持紧绷。
由于多层-复合结构10相对于调整方向的环线状布置，介电薄片材料的伸展方向与行程方向重合。由此可实现更大的行程。另一优点在于，通过该几何形状可实现更窄的结构，例如用于阀的更窄的操纵机构。结构宽度在该应用情况下通常小于结构高度。在图25中所示的实施方式的另一优点在于，通过大致加倍的致动器长度提供大致加倍的力。
在图26至图29中示出阀100，在其中使用根据本发明的第六实施方式的薄片转换器。相同的参考标记用于通过上述实施方式已知的构件，且就此点参考上文中的说明。
阀100具有介质流入部102和介质流入部104。介质流入部102汇入阀座108中的阀室106。在图30至图34中详细示出的根据第六实施方式的薄片转换器配设于阀座108。
当接头102、104被相反连接时，基本上也可以将接头104用作为介质入口。
第六实施方式与前述实施方式之间的基本不同在于，多层-复合结构10在第六实施方式中未被实施成连续伸长的条，而在多层-复合结构上在中间设置操纵部分110。在所示的实施例中，以相同角距布置的三个条致动器112从操纵部分110开始延伸(特别参见图34)。由此，多层-复合结构10在想象中包括三个致动器条，所述三个致动器条分别包括两个相互成角度布置的条致动器112以及在其之间的操纵部分110。
在此，保持件50被实施成圆环，三个安装臂114从圆环延伸进入内部空间。在该圆环上三个条致动器112既被机械安置也被电接触。操纵能通过从保持件50向外延伸的接触凸起部116被提供。
在此优选地，操纵部分110由与每个条致动器112的载体相同的弹性体材料构成。替选地可设想，分开地制造条致动器112，且然后与操纵部分110固定连接。
条致动器112中的每个以如在前述实施方式中的相同方式被构建有多个载体和电极的交替位置。
密封环118由与载体相同的材料或由另一弹性体材料实施，该密封环配设于保持件50。该密封环118用于将薄片转换器密封地布置在两个外壳半部120A、120B之间，壳体半部组装形成阀100的外壳。
当薄片致动器被布置在两个壳体半部120A、120B之间时，操纵部分110配设于阀座108。在未流通的初始状态下(参见图27)，操纵部分110封闭阀座108。
当要求更高的关闭力时，可额外地使用弹簧元件，其被布置在远离阀座108的一侧上，且挤压操纵部分110抵靠阀座108。
在激活状态下，条致动器112变长，使得操纵部分110可从阀座108升起。当不使用阀件时，操纵部分110单独由此从阀座108升起，条致动器112在激活状态下变长。若相反地使用弹簧元件，从而提高关闭力，则介质压力必须克服弹簧力，由此操纵部分110从阀座108升高。
在操纵部分110的区域中可使用填充件122，该填充件由比用于条致动器112的材料的硬度更大的材料构成。特别地，填充件122可以是自身稳定的。
在图35和图36中示出针对在图30至图34中已知的薄片转换器的一实施方式变型。不同之处在于，在此条致动器112被实施成长的，使得其延伸直至保持件50。该保持件在此由单个的环50A、50B构成，在下述情况下条致动器112的径向外置的端部被夹紧在单个环之间，即，单个环可被组装成保持件50时。在此，在每个环50A、50B中设置合适的接触部130，条致动器112的相应的电极可借助于接触部而被接触。
在薄片转换器的所有实施方式中，可弹性变形的绝缘层可被施加到电极上。
绝缘层可通过化学气相沉积被施加。
绝缘层可被层压到电极上。
绝缘层可以是印制构件，其特别通过丝网印刷法、移印法或3D打印法被施加。
绝缘层的硬度小于复合结构的硬度。
绝缘层由硅酮、丙烯酸脂或聚氨酯构成。

Claims (59)

1.一种薄片转换器(2)，该薄片转换器具有：保持件(50)；电活性的多层-复合结构(10)；该多层-复合结构具有至少两个可变形的载体(12)，所述载体分别在至少一侧上被涂覆有面状电极(14)，其中，多层-复合结构具有伸长的基本形状且在其较短侧上被夹紧在保持件(50)中的固定部分(52)中，而较长侧是自由的，其中，多层-复合结构(10)的电极(14)交替地在被夹紧在保持件(50)中的端部上与接触元件(60)连接，该接触元件被布置在固定部分(52)中。
2.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，在固定部分(52)中布置有弹簧元件(56)，多层-复合结构(10)的在那里被夹紧的端部通过该弹簧元件被压缩。
3.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，接触元件(60)是接触剑状物，该接触剑状物被插入保持件(50)中的凹槽中。
4.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，电极(14)交替地在一个和另一个固定部分(52)中被触点接通。
5.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，多层-复合结构(10)的被夹紧在保持件(50)中的固定部分(52)中的端部相对于其延伸方向在所述两个固定部分(52)之间被弯曲。
6.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，电极(14)被布置在载体(12)的下述侧上，即，该侧在弯曲之后配设于接触元件(60)。
7.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，电极(14)在多层-复合结构(10)的一端部上延伸直至载体(12)的边缘，且在对置端部上与该边缘间隔开地结束。
8.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，载体(12)设有接触舌(20)，该接触舌被涂覆有电极(14)。
9.根据权利要求8所述的薄片转换器(2)，其特征在于，接触舌(20)在俯视图中成阶梯地被布置。
10.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，多层-复合结构(10)的载体(12)具有不同的长度，且被层叠使得其端部在俯视图中成阶梯地被布置。
11.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，电极(14)设有接触凸起部(20)，该接触凸起部在相应的固定部分(52)中被触点接通。
12.根据权利要求11所述的薄片转换器(2)，其特征在于，接触凸起部(20)相互焊接。
13.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，存在导电胶，电极(14)通过该导电胶相互导电地粘接。
14.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，设有电子电路，该电子电路与接触元件(60)连接。
15.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，电子电路被集成到保持件(50)中。
16.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，保持件(50)被安置在安装板(70)上。
17.根据权利要求14结合权利要求16所述的薄片转换器(2)，其特征在于，电子电路被安置在安装板(70)上或被集成到安装板中。
18.根据权利要求16所述的薄片转换器(2)，其特征在于，弹簧元件(78)被布置在安装板(70)与负荷作用件(16)之间。
19.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，多层-复合结构(10)在固定部分(52)之间与负荷作用件(16)耦接。
20.根据权利要求19所述的薄片转换器(2)，其特征在于，负荷作用件(16)是板。
21.根据权利要求19所述的薄片转换器(2)，其特征在于，负荷作用件(16)是推杆。
22.根据权利要求21所述的薄片转换器(2)，其特征在于，推杆(16)延伸通过安装板(70)且通过弹簧元件(78)。
23.根据权利要求19所述的薄片转换器(2)，其特征在于，负荷作用件(16)是杯形的推杆，弹簧元件(78)被布置在该推杆中。
24.根据权利要求19所述的薄片转换器(2)，其特征在于，负荷作用件是滑块(90)，该滑块在保持件(50)中可移动地被引导，且弹簧元件(78)支撑在该滑块上。
25.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，保持件(50)由硬度高于多层-复合结构(10)的材料构成。
26.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，载体(12)是电介体，特别是介电聚合物。
27.根据权利要求26所述的薄片转换器(2)，其特征在于，载体(12)是由聚合物、硅酮、丙烯酸脂或聚氨酯制成的薄片或薄膜。
28.根据权利要求26所述的薄片转换器(2)，其特征在于，电介体是印制构件，该印制构件特别通过丝网印刷法、移印法、3D打印法被制造成薄膜。
29.根据权利要求26所述的薄片转换器(2)，其特征在于，电介体是浇注构件，该浇注构件特别被制造成旋转涂层。
30.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，电极(14)由基体材料、传导材料、溶剂及添加物的混合物构成。
31.根据权利要求30所述的薄片转换器(2)，其特征在于，基体材料是弹性体材料，例如是硅酮、丙烯酸脂或聚氨酯。
32.根据权利要求30所述的薄片转换器(2)，其特征在于，传导材料是炭黑、碳纳米管、传导聚合物、纳米金属丝或这些材料的混合物。
33.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，电极(14)是印制构件，该印制构件特别通过丝网印刷法、移印法、3D打印法、层压法、喷墨打印法或气溶胶喷射法被施加成薄层。
34.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，电极(14)与载体(12)粘接。
35.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，薄片转换器用于将电能转换成机械功。
36.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，薄片转换器用于将机械能转换成电能。
37.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，保持件(50)是印制构件。
38.根据权利要求37所述的薄片转换器(2)，其特征在于，保持件(50)通过丝网印刷法、移印法或3D打印法被印制。
39.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，保持件(50)是压铸件。
40.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，保持件(50)由环氧树脂构成。
41.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，多层-复合结构(10)类似于在蹦床中地紧张地被安置在保持件中。
42.根据权利要求40所述的薄片转换器(2)，其特征在于，多层-复合结构(10)类似环圈地延伸。
43.根据权利要求1所述的薄片转换器(2)，其特征在于，多层-复合结构(10)在中间设有操纵部分。
44.根据权利要求43所述的薄片转换器(2)，其特征在于，操纵部分无电极。
45.根据权利要求43所述的薄片转换器(2)，其特征在于，保持件(50)是环。
46.根据权利要求43所述的薄片转换器(2)，其特征在于，多层-复合结构(10)具有星形的形状。
47.一种用于根据权利要求1所述的薄片转换器(2)的致动器条(18)，该致动器条具有：载体(12)，该载体由可弹性变形的塑料薄片构成且在俯视图中具有通常伸长的形状；以及面状电极(14)，该电极与载体固定连接且在载体的两个较短侧边缘中的一个上形成触点接通部分(62)。
48.根据权利要求47所述的致动器条(18)，其特征在于，触点接通部分(62)是在纵向方向上突出的接触凸起部。
49.根据权利要求47所述的致动器条(18)，其特征在于，触点接通部分(62)是接触舌，该接触舌与电极导电连接。
50.根据权利要求47所述的致动器条(18)，其特征在于，载体(12)由介电聚合物构成。
51.根据权利要求47所述的致动器条(18)，其特征在于，电极(14)由弹性的、导电的塑料构成。
52.根据权利要求47所述的致动器条(18)，其特征在于，该致动器条在俯视图中具有矩形形状，该矩形形状的长度至少为宽度的两倍。
53.一种用于借助于下述特征触点接通用于制造薄片转换器的多层-复合结构的电极的方法：
-至少一个致动器条被布置在保持件中，使得致动器条通过触点接通部分突出超过保持件的固定部分；
-触点接通部分相对于致动器条的朝向在固定部分之间被弯曲；
-触点接通部分被触点接通。
54.根据权利要求53所述的方法，其特征在于，多个致动器条堆叠，其中，触点接通部分交替地在复合结构的相对侧上。
55.根据权利要求53所述的方法，其特征在于，为了触点接通，接触剑状物被插入，该接触剑状物触点接通所有在保持件的相应侧上的触点接通部分。
56.根据权利要求53所述的方法，其特征在于，触点接通部分借助于导电胶触点接通。
57.根据权利要求53所述的方法，其特征在于，触点接通部分相互焊接。
58.一种具有如在根据权利要求1中限定的薄片转换器的可读3D模型的数字存储介质，其中，该3D模型可与可编程的计算机系统和3D打印机共同作用，使得产生薄片转换器。
59.一种具有如在根据权利要求47中限定的致动器条的可读3D模型的数字存储介质，其中，该3D模型可与可编程的计算机系统和3D打印机共同作用，使得产生致动器条。
CN201610653591.1A 2015-08-10 2016-08-10 薄片转换器及用于薄片转换器的致动器条 Active CN106449965B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102015113162.5 2015-08-10
DE102015113162 2015-08-10

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106449965A true CN106449965A (zh) 2017-02-22
CN106449965B CN106449965B (zh) 2020-09-11

Family

ID=57908188

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610653591.1A Active CN106449965B (zh) 2015-08-10 2016-08-10 薄片转换器及用于薄片转换器的致动器条

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10241500B2 (zh)
CN (1) CN106449965B (zh)
DE (1) DE102016114566A1 (zh)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016114566A1 (de) * 2015-08-10 2017-02-16 Bürkert Werke GmbH Folienwandler und Aktorstreifen für einen Folienwandler
DE102019101717B3 (de) 2019-01-24 2020-07-09 Universität des Saarlandes Aktor
DE102020200237B4 (de) * 2020-01-10 2021-12-09 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung eingetragener Verein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Mehrschicht-Sensors und/oder Aktuators
DE102020103474A1 (de) 2020-02-11 2021-08-12 Bürkert Werke GmbH & Co. KG Ventilaktor und Ventil
DE102022119142A1 (de) 2022-07-29 2024-02-01 Bürkert Werke GmbH & Co. KG Proportionalventil mit dielektrischem Elastomerwandler

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4952836A (en) * 1989-04-27 1990-08-28 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Piezoelectrostatic generator
CN1046638A (zh) * 1989-04-07 1990-10-31 三井石油化学工业株式会社 叠层型陶瓷元件及其制造方法
JPH0766672A (ja) * 1993-08-24 1995-03-10 Toyo Commun Equip Co Ltd 表面実装型圧電部品
JPH08114408A (ja) * 1994-10-18 1996-05-07 Omron Corp 電気信号変位変換装置、当該変換装置を用いた機器、および当該変換装置を用いた流体搬送装置の駆動方法
CN1612808A (zh) * 2002-03-18 2005-05-04 精工爱普生株式会社 压电致动器和具有该压电致动器的液体喷射头
CN1780010A (zh) * 2004-11-19 2006-05-31 日本碍子株式会社 压电/电致伸缩器件
CN1813487A (zh) * 2003-12-26 2006-08-02 日本电气株式会社 压电致动器
US20070200468A1 (en) * 2005-03-21 2007-08-30 Heim Jonathan R High-performance electroactive polymer transducers
US20110083714A1 (en) * 2009-10-12 2011-04-14 Stmicroelectronics (Grenoble) Sas Thermoelectric generator
US20150123742A1 (en) * 2013-11-05 2015-05-07 Seiko Epson Corporation Resonator, oscillator, electronic apparatus, and moving object

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3142684A1 (de) 1981-10-28 1983-05-05 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg "elektromechanischer wandler"
DE3532660A1 (de) 1985-09-13 1987-03-26 Atlas Fahrzeugtechnik Gmbh Kraftstoffeinspritzventil
US5760526A (en) * 1995-04-03 1998-06-02 Motorola, Inc. Plastic encapsulated SAW device
US6392329B1 (en) 1999-10-12 2002-05-21 Face International Corp. Piezoelectric vibrating apparatus
DE10017760C1 (de) 2000-04-10 2001-08-16 Festo Ag & Co Piezokeramischer Biegewandler sowie Verwendung des piezokeramischen Biegewandlers
DE10246307A1 (de) 2002-10-04 2004-04-22 Siemens Ag Piezoelektrischer Biegewandler
US7679272B2 (en) * 2003-09-25 2010-03-16 Kyocera Corporation Multi-layer piezoelectric element
EP1769854A4 (en) * 2004-07-22 2016-07-13 Olympus Corp ULTRASONIC TRANSDUCER
DE102005017108A1 (de) 2005-01-26 2006-07-27 Epcos Ag Piezoelektrisches Bauelement
CN101253684B (zh) * 2005-08-31 2012-02-29 京瓷株式会社 压电共振子
JP5258566B2 (ja) * 2006-08-07 2013-08-07 京セラ株式会社 弾性表面波装置の製造方法
DE102007043263A1 (de) 2007-09-11 2009-04-02 Siemens Ag Informationswandler und Verfahren zu seiner Herstellung
US8276567B2 (en) * 2007-12-26 2012-10-02 Kyocera Corporation Multi-layer piezoelectric element, and injection apparatus and fuel injection system that employ the same
DE102008007034A1 (de) 2008-01-31 2009-08-13 Siemens Aktiengesellschaft Kondensatoranordnung mit veränderbarer Kapazität, Verfahren zum Herstellen der Kondensatoranordnung und Verwendung der Kondensatoranordnung
CN104335376B (zh) * 2012-06-05 2017-05-03 三井化学株式会社 压电器件及压电器件的制造方法
DE102016114566A1 (de) * 2015-08-10 2017-02-16 Bürkert Werke GmbH Folienwandler und Aktorstreifen für einen Folienwandler

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1046638A (zh) * 1989-04-07 1990-10-31 三井石油化学工业株式会社 叠层型陶瓷元件及其制造方法
US4952836A (en) * 1989-04-27 1990-08-28 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Piezoelectrostatic generator
JPH0766672A (ja) * 1993-08-24 1995-03-10 Toyo Commun Equip Co Ltd 表面実装型圧電部品
JPH08114408A (ja) * 1994-10-18 1996-05-07 Omron Corp 電気信号変位変換装置、当該変換装置を用いた機器、および当該変換装置を用いた流体搬送装置の駆動方法
CN1612808A (zh) * 2002-03-18 2005-05-04 精工爱普生株式会社 压电致动器和具有该压电致动器的液体喷射头
CN1813487A (zh) * 2003-12-26 2006-08-02 日本电气株式会社 压电致动器
CN1780010A (zh) * 2004-11-19 2006-05-31 日本碍子株式会社 压电/电致伸缩器件
US20070200468A1 (en) * 2005-03-21 2007-08-30 Heim Jonathan R High-performance electroactive polymer transducers
US20110083714A1 (en) * 2009-10-12 2011-04-14 Stmicroelectronics (Grenoble) Sas Thermoelectric generator
US20150123742A1 (en) * 2013-11-05 2015-05-07 Seiko Epson Corporation Resonator, oscillator, electronic apparatus, and moving object

Also Published As

Publication number Publication date
US20170047868A1 (en) 2017-02-16
CN106449965B (zh) 2020-09-11
US10241500B2 (en) 2019-03-26
DE102016114566A1 (de) 2017-02-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106449965A (zh) 薄片转换器及用于薄片转换器的致动器条
US7449817B2 (en) Actuator and method of manufacturing actuator module
EP2290718B1 (en) Apparatus for generating electrical energy and method for manufacturing the same
EP2819293B1 (en) Gel actuator and method for producing same
US8785914B2 (en) Piezoelectric nanowire structure and electronic device including the same
US9078361B2 (en) Assembly, component for an assembly and method of manufacturing an assembly
CN105826283B (zh) 电子设备
CN102201532B (zh) 电致动材料及电致动元件
JP6541574B2 (ja) マイクロバルブ
CN106935894B (zh) 电极层叠结构及其制造方法和具有电极层叠结构的电池
US8294329B2 (en) Polymer actuator
US11025251B2 (en) Button assemblies
US20140250881A1 (en) Actuator
US10682845B2 (en) Film transducer
JP7151907B2 (ja) キャパシタおよびその製造方法
JP2013543662A (ja) スタック可能な圧電アクチュエータ素子
CN109802084A (zh) 连接元件及电存储单元模块
JP2010140717A (ja) 機械的動作を伴うスイッチ
JP6882096B2 (ja) 圧電型発電装置
CN104205386A (zh) 聚合物换能器以及用于换能器的连接器
CN106134014B (zh) 接触管脚单元和使用该接触管脚单元的电器元件用插座
WO2014123431A2 (en) Method and apparatus for attaching a soft and flexible circuit to a connector
JP5930533B2 (ja) 高分子アクチュエータ及びその製造方法
CN107665851A (zh) 元件选取系统
JP2018060741A (ja) 燃料電池モジュール

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant