DE102007043263A1 - Informationswandler und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents

Informationswandler und Verfahren zu seiner Herstellung Download PDF

Info

Publication number
DE102007043263A1
DE102007043263A1 DE102007043263A DE102007043263A DE102007043263A1 DE 102007043263 A1 DE102007043263 A1 DE 102007043263A1 DE 102007043263 A DE102007043263 A DE 102007043263A DE 102007043263 A DE102007043263 A DE 102007043263A DE 102007043263 A1 DE102007043263 A1 DE 102007043263A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
information converter
converter according
predetermined breaking
breaking edges
layers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102007043263A
Other languages
English (en)
Inventor
Heinrich-Jochen Dr. Blume
Bernhard Dr. Gottlieb
Andreas Dr. Kappel
Robert Wolfgang Dr. Kissel
Karl-Heinz Mittenbühler
Tim Dr. Schwebel
Carsten Wallenhauer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE102007043263A priority Critical patent/DE102007043263A1/de
Priority to PCT/EP2008/061180 priority patent/WO2009033949A1/de
Priority to EP08803247A priority patent/EP2186147A1/de
Priority to US12/677,534 priority patent/US8222797B2/en
Priority to JP2010524445A priority patent/JP2010539693A/ja
Publication of DE102007043263A1 publication Critical patent/DE102007043263A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/204Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
    • H10N30/2041Beam type
    • H10N30/2042Cantilevers, i.e. having one fixed end
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/08Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N35/00Magnetostrictive devices
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/42Piezoelectric device making

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

Informationswandler, bestehend aus mindestens 2 Materiallagen mit polygonaler Grundfläche, welche schersteif miteinander verbunden sind und wobei zumindest in einer Materiallage eine Längenänderung induzierbar ist, wobei die polygonale Grundfläche zumindest zwei verschiedene Innenwinkel aufweist, sowie Verfahren zu seiner Herstellung.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen Informationswandler, welcher aus mindestens zwei Materiallagen mit polygonaler Grundfläche besteht, welche schersteif mit einander verbunden sind und wobei zumindest in einer Materiallage eine Längenänderung induzierbar ist. Solche Informationswandler werden in der Automatisierungstechnik entweder als Sensor oder als Aktor eingesetzt.
  • Aus dem Stand der Technik ist bekannt, mindestens zwei Materiallagen mit unterschiedlichen Ausdehnungsverhalten schersteif miteinander zu einem Verbundmaterial zu verbinden. Das Ausdehnungsverhalten kann dabei piezoelektrisch, magnetostriktiv, elektrostriktiv, durch Formgedächtnislegierungen oder thermisch beeinflusst werden. Die unterschiedliche Ausdehnung beider Materiallagen verursacht dann eine Biegung des Verbundmaterials, welche elektrisch oder thermisch induziert werden kann. Die äußere Form eines solchen Verbundmaterials nach dem Stand der Technik ist stets quaderförmig, wobei die Grenzfläche zwischen den zwei Materiallagen stets parallel zur Ebene größter Ausdehnung verläuft. Die Schnittlinie beider Materialien verläuft somit innerhalb der Schmalseite. Die Grundfläche in der Ebene der größten Ausdehnung des Quaders ist stets rechteckig oder quadratisch.
  • Um die relative Verbiegung des Verbundmaterials als Informationswandler nutzbar zu machen, wird meist eine Schmalseite in einen Halter eingespannt. Dieser definiert dann den Nullpunkt der Bewegung.
  • Bei einem Aktor kann dann die Bewegung des Streifens an der dem Halter gegenüberliegenden Schmalseite abgegriffen werden. Bei einem Sensor kann aus der Bewegung der dem Halter gegenüberliegenden Schmalseite ein elektrisches Signal generiert werden oder eine thermische Beanspruchung wird in eine mechanische Bewegung umgesetzt.
  • Um die mechanische Leistung bzw. das Arbeitsvermögen eines Aktors zu steigern, ist es aus dem Stand der Technik bekannt, eine Vielzahl von Materiallagen jeweils schersteif miteinander zu verbinden. Dabei ist darauf zu achten, dass sich die jeweiligen Verformungen der Streifen nicht gegenseitig aufheben, sondern addieren. Dadurch wird die zur Verfügung stehende Kraft vervielfacht.
  • Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, das Arbeitsvermögen und/oder die Betriebsfestigkeit eines bekannten Informationswandlers zu verbessern.
  • Die Aufgabe wird gelöst durch einen Informationswandler, bestehend aus mindesten zwei Materiallagen mit polygonaler Grundfläche, welche schersteif miteinander verbunden sind und wobei zumindest in einer Materiallage eine Längenänderung induzierbar ist, wobei die polygonale Grundfläche zumindest zwei verschiedene Innenwinkel aufweist.
  • Der erfindungsgemäße Informationswandler weist mindestens zwei Materiallagen auf, welche schersteif miteinander verbunden sind. Diese Verbindung kann beispielsweise durch kleben, sintern oder schweißen erzielt werden. Von den mindestens zwei Materiallagen muss mindestens eine Längenänderung aufweisen, welche von außen durch ein angelegtes Signal induzierbar ist. Dieses Signal kann beispielsweise ein elektrisches Feld, ein magnetisches Feld oder eine Temperaturänderung sein.
  • Falls nur eine Materiallage eine induzierbare Längenänderung aufweist, wird diese scherstabil auf ein Trägermaterial aufgebracht, welches eine geringere oder keine Längenänderung aufweist. Selbstverständlich ist es jedoch auch möglich, meh rere Materiallagen mit induzierbarer Längenänderung so zusammenzufügen, dass sich die mechanischen Spannungen im Material addieren und die Verbiegung dadurch verstärkt wird. In dieser Weise können beispielsweise zwei Materiallagen mit induzierbarer Längenänderung beiderseits eines passiven Trägermaterials aufgebracht werden. Alternativ können auch 2, 4 oder 6 Materiallagen mit induzierbarer Längenänderung ohne passiven Träger direkt aufeinander gebracht werden.
  • Um die relative Verbiegung der mindestens zwei Materiallagen für eine absolute Positionsänderung nutzbar zu machen, ist auch beim Informationswandler gemäß der vorliegenden Erfindung ein Halter vorgesehen, in welchem eine Seite des Informationswandlers eingeklemmt wird. Der Informationswandler besteht somit aus einem einseitig eingespannten Biegebalken.
  • Erfindungsgemäß wurde nun erkannt, dass sich an der Stelle der größten auftretenden mechanischen Belastung, nämlich direkt an der Einspannung, die mechanische Spannung reduzieren lässt, wenn der Informationswandler keine Quaderform mit rechteckiger Grundfläche, sondern eine Prismenform aufweist. Als Grundfläche im Sinne der vorliegenden Erfindung wird die Fläche des freien Biegebalkens angesehen. Die Fläche innerhalb der Einspannung ist dem Fachmann weitgehend freigestellt.
  • Die Grundfläche des Prismas ist dadurch gekennzeichnet, dass diese mindestens zwei verschiedene Innenwinkel aufweist. Als Innenwinkel der Grundfläche wird dabei der durch zwei Seiten eingeschlossene Winkel bezeichnet, der innerhalb der Grundfläche liegt. Ein Innenwinkel liegt immer an einer Ecke der Grundfläche. Bei der Grundfläche des Quaders betragen sämtliche Innenwinkel stets 90°. Somit liegt nur ein verschiedener Innenwinkel vor. Die Grundfläche der erfindungsgemäßen Prismenform weist demgegenüber mindestens zwei verschiedene Innenwinkel auf.
  • In einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Informationswandlers ist die Grundfläche in Form eines gleichseitigen Dreieckes gewählt. Für einen symmetrisch aufgebauten Bimorph-Bieger, d. h. einen Verbund aus zwei identischen Materiallagen, deren Verformung sich addiert, konnte gezeigt werden, dass bei gleicher Auslenkung der Spitze die mechanische Spannung am Ort der Einspannung um ein Drittel niedriger ist als bei einem quaderförmigen Bimorph. Dies ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn eine oder beide Materiallagen aus Keramik bestehen, da Keramik-Werkstoffe nur geringe Zuspannungen aufnehmen können. Gleichzeitig zeigen einige Keramiken einen starken piezo-elektrischen Effekt und eignen sich daher besonders für piezo-elektrische Informationswandler.
  • In einer anderen Ausgestaltung der Erfindung weist der Informationswandler eine symmetrische, viereckige Grundfläche auf, bei welcher die Breite am Halter größer ist als die Breite an der dem Halter entgegengesetzten Seite. Die Grundfläche bildet also ein sich verjüngendes Trapez. Durch diese Form wird die Belastbarkeit des frei schwingenden Endes des als Biegebalken fungierenden Verbundmaterials erhöht.
  • Sofern die polygonale Grundfläche der erfindungsgemäßen Informationswandler zumindest einen Innenwinkel von etwa 90° umfasst, kann in einer Ausführungsform der Erfindung der als Verschnitt bei der Herstellung des Informationswandlers anfallende Materialverbrauch minimiert werden. Dies liegt insbesondere darin begründet, dass sich ein Informationswandler mit einem weiteren punktsymmetrischen Informationswandler wieder zur äußeren Form eines Rechteckes zusammenfügen lässt.
  • Sofern die Innenwinkel keine rechten Winkel sind, sind diese aus dem Bereich von etwa 35° bis etwa 85°, insbesondere von etwa 55° bis etwa 80° gewählt. Diese Winkelbereiche entsprechen einem Aspektverhältnis der Länge zur Breite von etwa 2:3 bis etwa 20:3. Die Länge wird dabei vom Halter zur äußersten, frei schwingenden Kante gemessen. Die Breite entspricht der Schnittlinie der Materiallagen mit der mechanischen Einspannung. Bevorzugt weisen die Materiallagen eine konstante Dicke auf. Da sich bei den erfindungsgemäßen Informationswandlern jedoch die Breite mit der Länge ändert, wird der Querschnitt der mindestens zwei Materiallagen entlang der Länge kleiner.
  • Sofern ein erfindungsgemäßer Aktor zumindest eine Materiallage enthält, welche einen piezoelektrischen Effekt zeigt, konnte nachgewiesen werden, dass die Blockierkraft gegenüber dem Stand der Technik aufgrund der erfindungsgemäßen Grundform bei gleichem Volumen des Aktors um ein Drittel größer ist. Als Blockierkraft wird dabei diejenige Kraft bezeichnet, welche zum Zurückbiegen eines vollständig ausgelenkten Informationswandlers in die Nulllage notwendig ist.
  • Die Leerlaufauslenkung eines unbelasteten Aktors nach dem Stand der Technik und gemäß der vorliegenden Erfindung ist identisch. Somit ist die Güte des Aktors, also das Produkt aus Blockierkraft und Auslenkung, ebenfalls um ein Drittel größer. Dies führt bei einem piezoelektrischen Biegeaktor zu einem vergrößerten Arbeitsvermögen bei gleichem Verbrauch an piezoelektrischem Material oder aber zu einem geringeren Materialverbrauch bei gleichem Arbeitsvermögen. Im Falle eines piezoelektrischen Sensors, beispielsweise eines Beschleunigungssensors, wird das elektrische Messsignal bei gleicher Auslenkung größer. Somit ergeben sich ein verbessertes Signal/Rausch-Verhältnis und damit eine höhere Messgenauigkeit.
  • Um einen piezoelektrischen Effekt in mindestens einer Materiallage hervorzurufen, ist eine Einrichtung vorgesehen, um im Material parallel oder antiparallel zur Polarisation ein elektrisches Feld zu erzeugen. Dies kann beispielsweise durch Elektroden geschehen, welche auf die Außenseite der piezoelektrischen Materiallage durch Sputtern oder thermisches Verdampfen aufgebracht werden. Fallweise kann auch ein elektrisch leitfähiges Trägermaterial zum Einsatz kommen, auf wel ches die piezoelektrische Materiallage scherstabil aufgebracht wird.
  • Als piezoelektrisches Material eignen sich beispielsweise Blei-Zirkonat-Titanate oder Blei-Magnesium-Niobate oder Mischungen aus einem oder mehreren dieser Materialien. Die genannten Keramikmaterialen zeigen einen besonders großen Piezo-Effekt, also eine besonders große Formänderung in Abhängigkeit des elektrischen Feldes. Durch Anlegen des elektrischen Feldes antiparallel zur Polung des Piezomaterials erfährt dieses eine Längsstauchung und eine Querdehnung. Beim Anliegen eines elektrischen Feldes parallel zur Richtung der Polarisation erfährt das Material eine Längsdehnung und eine Querstauchung. Sofern zwei Materiallagen mit entgegengesetzter Richtung der Polarisation schersteif verbunden werden, erfährt der so gebildete Verbundstreifen bei Anlegen eines elektrischen Feldes eine Verstärkung seiner Verformung. Selbstverständlich ist diese Verstärkung auch dadurch erzielbar, dass die Richtungen der Polarisation gleichsinnig gewählt werden und das elektrische Feld in jeder Materiallage entgegengesetzt wirkt.
  • Nachfolgend soll die Erfindung anhand von Figuren und Beispielen ohne Beschränkung des allgemeinen Erfindungsgedanken näher erläutert werden.
  • 1 zeigt einen Biegeaktor gemäß dem Stand der Technik in perspektivischer Darstellung.
  • 2 zeigt Varianten von Biegewandlerbauformen, wie sie sowohl im Stand der Technik, als auch nach der vorliegenden Erfindung Verwendung finden können.
  • 3 zeigt verschiedene Grundflächen für Informationswandler gemäß der vorliegenden Erfindung.
  • 4 zeigt mögliche Schnittführungen zur Herstellung der Informationswandler nach den 1 und 3.
  • 1 zeigt einen Informationswandler 1, welcher als piezoelektrischer Biegewandler ausgeführt ist. Der eigentliche Wandler besteht aus einem Trägermaterial 2 und einem Piezomaterial 3. Beide Materiallagen sind schersteif miteinander verbunden, beispielsweise durch Klebung. Ein Ende ist in einem elektrisch isolierenden Halter 4 befestigt. Die piezoelektrische Materiallage 3 weist an ihrer Oberseite eine leitfähige Beschichtung auf. Ebenso ist der Träger 2 elektrisch leitfähig. Die Polarisationsrichtung des piezoelektrischen Materials 3 verläuft gegengleich dem Pfeil E. Außerhalb des Halters 4 ist die freie Länge von Trägermaterial und Piezomaterial gleich groß und zeigt eine im Wesentlichen rechteckige Grundfläche. Beide Materiallagen bilden also einen Quader von geringer Dicke.
  • Zum Einsatz als Aktor wird eine elektrische Spannung an den Halter 2 und die leitfähige Beschichtung der piezoelektrischen Materiallage 3 angelegt. Dadurch stellt sich innerhalb der Materiallage 3 ein elektrisches Feld E ein. Dieses führt zur Längenkontraktion der Materiallage 3. Das Trägermaterial 2 wird durch das elektrische Feld nicht beeinflusst und weist weiterhin eine konstante Länge auf. Dies führt zu einer mechanischen Spannung im Informationswandler und nachfolgend zu dessen Verbiegung entlang des Pfeils 6.
  • Alternativ kann der Informationswandler nach 1 auch als Sensor verwendet werden. Falls der Sensorstreifen 1 entlang des Pfeils 6 verformt wird, beispielsweise durch eine Beschleunigungskraft oder durch das Anlaufen eines weiteren, nicht dargestellten Bauteils, führt dies zu einer Stauchung der oberen Materiallage 3 und einer Dehnung der darunter liegenden Materiallage 2. Die Stauchung der piezoelektrischen Materiallage 3 führt zu einer räumlichen Ladungstrennung im Kristallgitter, wodurch sich innerhalb der Materiallage ein elektrisches Feld E ausbildet. Somit kann zwischen den elektrischen Kontakten 5 an der Ober- und Unterseite des Verbundstreifens eine elektrische Spannung gemessen werden.
  • 2a zeigt den Informationswandler aus 1 im Schnitt. Dargestellt sind wiederum der elektrisch leitfähige Träger 2 und die piezoelektrische Materiallage 3. Beide Materiallagen sind schersteif miteinander verbunden und im Halter 4 eingespannt. Die Spannungsquelle 5 erzeugt ein elektrisches Feld E, welches parallel zur Polarisierung des Piezomaterials 3 wirkt. Ein solcher Aufbau wird als Monomorph bezeichnet.
  • 2b zeigt einen trimorphen Aufbau. Im Unterschied zu 2a ist auf die Trägerschicht 2 beidseitig eine piezokeramische Materiallage 3a und 3b aufgebracht. Auch dieser 3-schichtige Schichtaufbau befindet sich mit einem Ende in einer Halterung 4. Beim Anlegen einer Spannung an die beidseitig leitfähigen Außenflächen der Materiallagen 3a, 3b wird in einer Materiallage beispielsweise 3a, eine Längsdehnung induziert. Materiallage 3b ist dann so geschaltet, dass dort eine Längsstauchung induziert wird. Somit wird sich die Spitze des Biegeaktors nach links in Richtung der Materiallage 3 bewegen.
  • Nach demselben Prinzip ist der Multimorph nach 2b aufgebaut. Dieser besteht aus einer geraden Anzahl piezokeramischer Materiallagen, im Beispiel der Zeichnung 4. Diese sind mit 3a bis 3d bezeichnet. Ein Substrat 2 ist in diesem Ausführungsbeispiel nicht vorgesehen. Die Materiallagen 3a bis 3d sind so geschalten, dass bei Anlegen einer Versorgungsspannung 5 die jeweilige Verformung der Materiallagen 3a bis 3d beiderseits der Symmetrieachse des Stapels unterschiedlich ist. Dadurch wird die vom Biegeaktor aufgebrachte Kraft vergrößert.
  • 3 zeigt 4 Ausführungsbeispiele für einen Informationswandler gemäß der vorliegenden Erfindung. Dargestellt ist je weils die Grundfläche des Biegewandlers in der Aufsicht. Im Querschnitt kann jede der Ausführungsformen 3a bin 3d einen Aufbau nach jeder der 2a bis 2c aufweisen.
  • 3a zeigt einen Biegewandler mit einer Grundfläche in Form eines gleichseitigen Dreiecks. Für Aspektverhältnisse der Länge zur Breite von 2:3 bis 20:3 weist die Basis einen Innenwinkel von 53° bis 84° auf. Mittels der Bernoullie-Biegetheorie wird ein bimorpher Schichtaufbau in dreieckiger Ausführung gemäß der Erfindung mit einem flächen- und volumengleichen rechteckigen Aufbau gemäß dem Stand der Technik verglichen. Hierzu wird der erfindungsgemäße Biegewandler an oder nahe der Grundkante des gleichseitigen Dreiecks eingespannt. Die Bewegung wird an der gegenüberliegenden Dreiecksspitze abgegriffen. Die Höhe des Dreiecks entspricht der Länge des rechteckigen Informationswandlers.
  • Hierbei hat sich gezeigt, dass die maximal mögliche Auslenkung des Bimorphen Wandlers von der Geometrie unabhängig ist. Diese Auslenkung berechnet sich zu
    Figure 00090001
  • Hierbei bezeichnet x0 die Auslenkung, Eel das elektrische Feld, welches innerhalb der piezoelektrischen Materiallage 3 herrscht, h deren Dicke und 1 die Länge des rechteckigen Informationswandlers bzw. die Höhe des dreieckigen Informationswandlers.
  • Für die Blockierkraft des rechteckigen Wandlers gilt
  • Figure 00090002
  • Hierbei bedeutet FB die Blockierkraft, E der Elastizitätsmodul und b die Breite an der Einspannung.
  • Überraschenderweise konnte gezeigt werden, dass die Blockierkraft des dreieckigen Wandlers der nachfolgenden Formel gehorcht:
    Figure 00100001
  • Somit ist die Blockierkraft des dreieckigen Wandlers um ein Drittel größer als die des volumengleichen Wandlers nach dem Stand der Technik.
  • Als Güte eines Biegewandlers wird das Produkt aus Blockierkraft und Leerlaufauslenkung bezeichnet. Die Güte hat somit die Einheit einer Energie und gibt somit das theoretisch mögliche Arbeitsvermögen eines Biegeaktors bzw. die in einem Sensor erzeugte Signalspannung an. Da die Blockierkraft des erfindungsgemäßen Informationswandlers ein Drittel über dem bekannten Wandler liegt, die Leerlaufauslenkung jedoch in beiden Fällen identisch ist, ergibt sich auch für das Gütekriterium ein Wert, welcher um ein Drittel über dem Stand der Technik liegt.
  • Auch die mechanische Normalspannung an der Einspannung, welche im Verbundstreifen durch Zurückbiegen in die entgegengesetzte Extremlage induziert wird, wird durch die erfindungsgemäße Form des Informationswandlers positiv beeinflusst. So ergibt sich die mechanische Spannung eines Informationswandlers nach dem Stand der Technik zu
    Figure 00100002
  • Demgegenüber zeigt ein Wandler gemäß der vorliegenden Erfindung eine mechanische Spannung von
    Figure 00100003
  • Die mechanische Normalspannung im Material des Informationswandlers ist also bei der erfindungsgemäßen Form um 1/3 abgesenkt. Dadurch ergibt sich eine höhere Betriebsfestigkeit und eine längere Einsatzzeit bis zum Ausfall des Informationswandlers.
  • Die hier anhand eines piezokeramischen Biegeaktors dargestellten Ergebnisse gelten sinngemäß auch für Bi-Metall aktoren, magnetostriktive Aktoren und Formgedächtnisaktoren. Ebenso können die Ergebnisse auf die entsprechenden Sensoren übertragen werden.
  • Der Informationswandler nach 3b weist die Form eines rechtwinkligen Dreiecks auf. Hierdurch ist es möglich, zwei Biegeaktoren punktsymmetrisch zu einem Rechteck zusammenzusetzen. Diese Form ermöglicht die verschnittfreie Herstellung aus einem rechteckigen Halbzeug. Dieser Informationswandler wird an der kürzeren Kathete in eine Halterung 4 eingespannt. Die Bewegung wird dann am Schnittpunkt der längeren Kathete mit der Hypotenuse abgegriffen. Für Aspektverhältnisse der Länge zur Breite von 2:3 bis 20:3 weist die Basis einen Innenwinkel von 34° bis 80° auf.
  • Um die mechanische Belastbarkeit am Abgriff zu erhöhen, wird beim trapezförmigen Informationswandler nach 3c eine größere Fläche an dem der Einspannung gegenüberliegenden Ende vorgesehen. Diese Form ergibt sich dadurch, dass der dreieckige Wandler nach 3a gewissermaßen an seiner Spitze gekürzt wird. Die tatsächliche Breite am Abgriff und damit den Öffnungswinkel α nahe der Einspannung wird der Fachmann jeweils entsprechend dem gewünschten Einsatzzweck wählen. Dabei ist die maximal mögliche Belastbarkeit am Abgriff gegen den Anstieg des Gütekriteriums und die Reduktion der mechanischen Spannung an der Einspannung abzuwägen.
  • Die Ausführungsform nach 3d weist zwei rechte Winkel auf, sodass durch Punktspiegelung eines Wandlers zwei Wandler zu insgesamt einer rechteckigen Außenform zusammengesetzt werden können. Dadurch ergibt sich wieder eine Minimierung des Verschnitts wie bereits bei der Ausführungsform nach 3b. Diese Form ergibt sich gedanklich dadurch, dass der dreieckige Wandler nach 3b gewissermaßen an seiner Spitze gekürzt wird. Dadurch wird wiederum die Belastbarkeit am Abgriff erhöht.
  • Zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Informationswandlers werden bevorzugt zunächst mindestens zwei Materiallagen schersteif miteinander zu einem Halbzeug verbunden, wobei zumindest in einer Materiallage eine Längenänderung induzierbar ist. Das Halbzeug weist dabei eine Größe auf, welche mehreren einsatzbereiten Informationswandlern entspricht. Diese werden daraufhin in einem weiteren Verfahrensschritt aus dem Halbzeug vereinzelt. Fallweise wird der Fachmann jedoch auch vorsehen, zunächst Einzelteile eines Informationswandlers aus einzelnen Materiallagen zu separieren, und diese dann zum fertigen Wandler schersteif zusammenzufügen.
  • Das Vereinzeln erfolgt durch spanendes oder nicht spanendes Trennen. Beispielsweise können Sollbruchstellen in das Material eingebracht werden, entlang derer die Informationswandler dann durch Brechen vereinzelt werden. Für einen Biegewandler nach 1 erfolgt dabei die Schnittführung wie in 4a dargestellt.
  • Ein erfindungsgemäßer Biegewandler nach 3a kann wie in 4b) dargestellt gefertigt werden. Zunächst werden erste Sollbruchkanten im Wesentlichen rechtwinklig zu den Außenkanten des Halbzeugs eingebracht. Der Abstand dieser Sollbruchkanten entspricht dabei der Höhe 1 des fertigen Wandlers zuzüglich der Einspannlänge, mit welcher dieser im Halter 4 eingesetzt ist. Als nächstes werden Sollbruchkanten schräg über das Substrat verlaufend angebracht. Der Winkel ist dabei so gewählt, dass dieser dem Basiswinkel α des Wandlers entspricht. Entsprechend dem gewünschten Aspektverhältnis wird der Winkel zwischen den ersten und zweiten Sollbruchkanten aus dem Bereich von etwa 53° bis etwa 85° gewählt. Als letzter Verfahrensschritt werden dritte Sollbruchkanten eingebracht, welche ebenfalls quer über das gesamte Substrat verlaufen. Diese weisen einen Winkel relativ zu den ersten Sollbruchkanten auf, welcher dem Negativen des Winkels zwischen den ersten und zweiten Sollbruchkanten entspricht. Bei der Schnittführung ist dabei zu achten, dass die Schnittpunkte der zweiten und dritten Sollbruchkanten im Wesentlichen auf den ersten Sollbruchkanten zu liegen kommen. Auf diese Weise ergibt sich eine gute Ausnutzung des Halbzeugs, wobei nur am Rand desselben ein Verschnitt übrig bleibt.
  • In 4c wird die Herstellung eines Informationswandlers gemäß 3b beschrieben. Dabei werden zunächst erste und zweite Sollbruchkanten angebracht, wie nach dem Verfahren nach 4b beschrieben. Dabei schließen die zweiten Sollbruchkanten mit den ersten Sollbruchkanten einen Winkel β ein, welcher dem Winkel zwischen der kurzen Kathete und der Hypotenuse des fertigen Wandlers entspricht. Für ein Aspektverhältnis von 2:3 bis 20:3 wird der Winkel β aus dem Bereich von 34° bis 80° gewählt.
  • Die dritte Sollbruchkante wird nun wieder rechtwinklig zur ersten Sollbruchkante in das Material eingebracht, wobei diese stets durch die Schnittpunkte der ersten und zweiten Sollbruchkanten verläuft. Im Ergebnis kann entlang der so eingebrachten Sollbruchkanten ein rechteckiges Halbzeug vollständig zu Informationswandlern vereinzelt werden, ohne dass ein ungenutzter Verschnitt übrig bleibt.

Claims (24)

  1. Informationswandler, bestehend aus mindestens 2 Materiallagen mit polygonaler Grundfläche, welche schersteif miteinander verbunden sind und wobei zumindest in einer Materiallage eine Längenänderung induzierbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die polygonale Grundfläche zumindest zwei verschiedene Innenwinkel aufweist.
  2. Informationswandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die polygonale Grundfläche zumindest einen in etwa rechten Innenwinkel umfasst
  3. Informationswandler nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die polygonale Grundfläche zumindest einen Innenwinkel von etwa 35° bis etwa 85° umfasst.
  4. Informationswandler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die polygonale Grundfläche zumindest einen Innenwinkel von etwa 55° bis etwa 80° umfasst
  5. Informationswandler nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die polygonale Grundfläche 3 oder 4 Eckpunkte aufweist.
  6. Informationswandler nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die polygonale Grundfläche 3 Eckpunkte aufweist.
  7. Informationswandler nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass sich der Querschnitt der mindestens 2 Materiallagen entlang der größten Ausdehnung der polygonalen Grundfläche vermindert.
  8. Informationswandler nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass im Bereich des größten Querschnitts der mindestens 2 Materiallagen eine mechanische Halterung vorgesehen ist.
  9. Informationswandler nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Materiallage ein Material enthält, welches einen piezoelektrischen Effekt zeigt.
  10. Informationswandler nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass eine Einrichtung vorgesehen ist, mit welcher innerhalb des piezoelektrischen Materials ein elektrisches Feld parallel oder antiparallel zur Richtung der Polarisation erzeugbar ist.
  11. Informationswandler nach einem der Ansprüche 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Richtung der Polarisation des piezoelektrischen Materials im Wesentlichen senkrecht auf der Grenzfläche der mindestens zwei Materiallagen steht.
  12. Informationswandler nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass das piezoelektrische Material mindestens ein Blei-Zirkonat-Titanat und/oder ein Blei-Magnesium-Niobat enthält.
  13. Informationswandler nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass er einen Biegeaktor umfasst.
  14. Informationswandler nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass er einen Sensor umfasst.
  15. Informationswandler nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass es sich um einen Temperatursensor handelt.
  16. Informationswandler nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass es sich um einen Beschleunigungssensor handelt.
  17. Verfahren zur Herstellung eines Informationswandlers, bei welchem mindestens 2 Materiallagen schersteif miteinander zu einem Halbzeug verbunden werden, wobei zumindest in einer Materiallage eine Längenänderung induzierbar ist, und nachfolgendes Vereinzeln von Informationswandlern aus dem Halbzeug entlang von Sollbruchkanten, dadurch gekennzeichnet, dass erste Sollbruchkanten im wesentlichen rechtwinklig zu den Außenkanten des Halbzeuges eingebracht werden und zweite Sollbruchkanten einen Winkel von etwa 35° bis etwa 85° zu den ersten Sollbruchkanten aufweisen.
  18. Verfahren zur Herstellung eines Informationswandlers nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass dritte Sollbruchkanten im Wesentlichen rechtwinklig zu den ersten Sollbruchkanten vorgesehen sind und die zweiten Sollbruchkanten durch die Schnittpunkte der ersten und dritten Sollbruchkanten verlaufen.
  19. Verfahren zur Herstellung eines Informationswandlers nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass dritte Sollbruchkanten vorgesehen sind, welche einen Winkel von etwa –35° bis etwa –85° zu den ersten Sollbruchkanten aufweisen und die Schnittpunkte der zweiten und dritten Sollbruchkanten im Wesentlichen auf den ersten Sollbruchkanten zu liegen kommen.
  20. Verfahren zur Herstellung eines Informationswandlers nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass der Winkel zwischen den dritten und ersten Sollbruchkanten dem Negativen des Winkels zwischen den zweiten und ersten Sollbruchkanten entspricht.
  21. Verfahren zur Herstellung eines Informationswandlers nach einem der Ansprüche 17 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass die zweiten Sollbruchkanten einen Winkel von etwa 55° bis etwa 80° zu den ersten Sollbruchkanten aufweisen.
  22. Verfahren zur Herstellung eines Informationswandlers nach einem der Ansprüche 17 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens 2 Materiallagen schersteif miteinander durch Klebung verbunden werden.
  23. Verfahren zur Herstellung eines Biegeaktors nach einem der Ansprüche 17 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens 2 Materiallagen schersteif miteinander versintert werden.
  24. Zeigerinstrument mit einem Biegeaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 16
DE102007043263A 2007-09-11 2007-09-11 Informationswandler und Verfahren zu seiner Herstellung Withdrawn DE102007043263A1 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007043263A DE102007043263A1 (de) 2007-09-11 2007-09-11 Informationswandler und Verfahren zu seiner Herstellung
PCT/EP2008/061180 WO2009033949A1 (de) 2007-09-11 2008-08-27 Informationswandler und verfahren zu seiner herstellung
EP08803247A EP2186147A1 (de) 2007-09-11 2008-08-27 Informationswandler und verfahren zu seiner herstellung
US12/677,534 US8222797B2 (en) 2007-09-11 2008-08-27 Information processor and method for the production thereof
JP2010524445A JP2010539693A (ja) 2007-09-11 2008-08-27 情報変換器およびその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007043263A DE102007043263A1 (de) 2007-09-11 2007-09-11 Informationswandler und Verfahren zu seiner Herstellung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102007043263A1 true DE102007043263A1 (de) 2009-04-02

Family

ID=40110966

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102007043263A Withdrawn DE102007043263A1 (de) 2007-09-11 2007-09-11 Informationswandler und Verfahren zu seiner Herstellung

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8222797B2 (de)
EP (1) EP2186147A1 (de)
JP (1) JP2010539693A (de)
DE (1) DE102007043263A1 (de)
WO (1) WO2009033949A1 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010040220A1 (de) * 2010-09-03 2012-03-08 Siemens Aktiengesellschaft Vorrichtung zur gepulsten direktmechanischen Anregung eines Piozobalkengenerators
DE102010040243A1 (de) * 2010-09-03 2012-03-08 Siemens Aktiengesellschaft Piezobasierter Generator mit mechanischem Energiespeicher und direktmechanischer Breitbandanregung
DE102010055417A1 (de) * 2010-12-21 2012-06-21 Hochschule Heilbronn Elektromechanischer Energiespeicher, insbesondere für integrierte Schaltungen
DE102018220399A1 (de) * 2018-11-28 2020-05-28 Robert Bosch Gmbh Energie-Harvester

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5799640B2 (ja) * 2011-07-29 2015-10-28 株式会社村田製作所 電歪センサ
WO2013076270A1 (de) * 2011-11-25 2013-05-30 Siemens Aktiengesellschaft Drucksensorelement
JP2014033508A (ja) * 2012-08-01 2014-02-20 Mitsumi Electric Co Ltd 発電素子
DE102016114566A1 (de) 2015-08-10 2017-02-16 Bürkert Werke GmbH Folienwandler und Aktorstreifen für einen Folienwandler

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3500451A (en) * 1967-06-29 1970-03-10 Gen Telephone & Elect Piezoelectric voltage generator
US4362407A (en) * 1981-09-08 1982-12-07 Piezo Electric Products, Inc. Piezoelectric printer and piezoelectric multilam actuator used therein
DE19834461A1 (de) * 1998-07-30 2000-02-10 Siemens Ag Vielschicht-Piezoaktor
JP2001327179A (ja) * 2000-05-15 2001-11-22 Seiko Epson Corp 圧電アクチュエータ、時計および携帯機器
US20040135472A1 (en) * 2002-11-15 2004-07-15 Hiroyuki Kita Driving method of piezoelectric actuator, piezoelectric actuator, and disk recording and reproducing apparatus using the same
US20060181179A1 (en) * 2005-02-11 2006-08-17 The Regents Of The University Of California High performance piezoelectric actuator

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1802782A (en) * 1927-05-06 1931-04-28 Cleveland Trust Co Piezo-electric device
US4399385A (en) * 1982-02-11 1983-08-16 Rca Corporation Rotative motor using a triangular piezoelectric element
US4769570A (en) * 1986-04-07 1988-09-06 Toshiba Ceramics Co., Ltd. Piezo-electric device
US5135312A (en) * 1990-07-20 1992-08-04 Sundstrand Data Control, Inc. Temperature transducer
JPH04162784A (ja) * 1990-10-26 1992-06-08 Mitsui Petrochem Ind Ltd 屈曲変位型アクチュエータ
JPH04197086A (ja) * 1990-11-28 1992-07-16 Hitachi Ltd 積層型圧電アクチュエータ及び製造方法
JPH09205781A (ja) * 1995-02-01 1997-08-05 Seiko Epson Corp 圧電体発電装置及びこれを備えた携帯型電力供給装置、携帯型電子機器
JPH09148642A (ja) * 1995-11-22 1997-06-06 Sony Corp 圧電アクチュエータ及びその歪みゲージ接着方法
JP3592023B2 (ja) * 1997-03-04 2004-11-24 日本碍子株式会社 機能性膜素子の製造方法
JPH11183508A (ja) * 1997-12-24 1999-07-09 Hokuriku Electric Ind Co Ltd 加速度センサ
JP4578596B2 (ja) * 1998-09-18 2010-11-10 セイコーインスツル株式会社 振動子、圧電アクチュエータおよびこれらを用いた電子機器
DE10023556A1 (de) * 2000-05-15 2001-11-29 Festo Ag & Co Piezo-Biegewandler sowie Verwendung desselben
US7005777B2 (en) * 2001-01-10 2006-02-28 Seagate Technology Llc Tapered piezoelectric in-plane bimorph and method of fabricating
JP4007064B2 (ja) * 2002-05-24 2007-11-14 コニカミノルタホールディングス株式会社 感熱抵抗体材料を用いたマイクロ温度センサ
US6824249B2 (en) * 2002-08-23 2004-11-30 Eastman Kodak Company Tapered thermal actuator
US7102274B2 (en) * 2003-05-20 2006-09-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Piezoelectric device and its manufacturing method
DE102004063180B4 (de) * 2004-12-29 2020-02-06 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Herstellen von Halbleiterchips aus einem Siliziumwafer und damit hergestellte Halbleiterbauelemente
JP2007166841A (ja) * 2005-12-16 2007-06-28 Mitsuba Corp 圧電バイモルフ形アクチュエータ
US7948153B1 (en) * 2008-05-14 2011-05-24 Sandia Corporation Piezoelectric energy harvester having planform-tapered interdigitated beams

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3500451A (en) * 1967-06-29 1970-03-10 Gen Telephone & Elect Piezoelectric voltage generator
US4362407A (en) * 1981-09-08 1982-12-07 Piezo Electric Products, Inc. Piezoelectric printer and piezoelectric multilam actuator used therein
DE19834461A1 (de) * 1998-07-30 2000-02-10 Siemens Ag Vielschicht-Piezoaktor
JP2001327179A (ja) * 2000-05-15 2001-11-22 Seiko Epson Corp 圧電アクチュエータ、時計および携帯機器
US20040135472A1 (en) * 2002-11-15 2004-07-15 Hiroyuki Kita Driving method of piezoelectric actuator, piezoelectric actuator, and disk recording and reproducing apparatus using the same
US20060181179A1 (en) * 2005-02-11 2006-08-17 The Regents Of The University Of California High performance piezoelectric actuator

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102010040220A1 (de) * 2010-09-03 2012-03-08 Siemens Aktiengesellschaft Vorrichtung zur gepulsten direktmechanischen Anregung eines Piozobalkengenerators
DE102010040243A1 (de) * 2010-09-03 2012-03-08 Siemens Aktiengesellschaft Piezobasierter Generator mit mechanischem Energiespeicher und direktmechanischer Breitbandanregung
DE102010040220B4 (de) * 2010-09-03 2012-04-26 Siemens Aktiengesellschaft Vorrichtung zur gepulsten direktmechanischen Anregung eines Piozobalkengenerators
DE102010055417A1 (de) * 2010-12-21 2012-06-21 Hochschule Heilbronn Elektromechanischer Energiespeicher, insbesondere für integrierte Schaltungen
DE102018220399A1 (de) * 2018-11-28 2020-05-28 Robert Bosch Gmbh Energie-Harvester

Also Published As

Publication number Publication date
WO2009033949A1 (de) 2009-03-19
JP2010539693A (ja) 2010-12-16
EP2186147A1 (de) 2010-05-19
US8222797B2 (en) 2012-07-17
US20100289378A1 (en) 2010-11-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3510470B1 (de) Vorrichtung zur erzeugung einer haptischen rückmeldung
DE102007043263A1 (de) Informationswandler und Verfahren zu seiner Herstellung
EP1966839B1 (de) Dreidimensionales stapelpiezoelement und piezoelektrischer aktuator mit einem solchen stapelpiezoelement
EP2113495B1 (de) Keramischer werkstoff, verfahren zur herstellung des keramischen werkstoffs und bauelement mit dem keramischen werkstoff
DE3434726A1 (de) Piezoelektrisches element
WO1998021759A1 (de) Piezoaktuatorisches antriebs- oder verstellelement
DE19954020C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Wandlers
EP3360171A1 (de) Bauelement zur erzeugung eines aktiven haptischen feedbacks
EP1277243A1 (de) Piezokeramischer mehrschichtbauteil für messgeräte sowie dessen herstellungsverfahren
EP2446490A1 (de) Elektroaktiver elastomeraktor sowie verfahren zu dessen herstellung
EP0050791B1 (de) Elektrisch zu betätigendes Stellglied
DE102009043220A1 (de) Piezoelektrisches Bauelement
DE102013110356A1 (de) Ultraschallaktor
DE3142684A1 (de) "elektromechanischer wandler"
EP1704603B1 (de) Verfahren zum herstellen einer korrelation zwischen einem ersten zustand eines piezoelektrischen bauteils und einem zweiten zustand des bauteils sowie verwendung der korrelation
DE102020002199B4 (de) Piezoelektrischer Inchworm Linearmotor
EP1527485A2 (de) Piezoaktor und verfahren zum herstellen des piezoaktors
DE112021002431T5 (de) Piezoelektrische wendel und elektronische vorrichtung
DE102015226233A1 (de) Biegewandler sowie Verfahren zu dessen Herstellung sowie zu dessen Betrieb
DE102004007999A1 (de) Piezoelektrischer Aktuator
DE102008049788A1 (de) Ultraschallwandler mit mindestens einem vollaktiven, monolithischen Piezoelement, Verfahren zum selektiven Kontaktieren von Innenelektroden des Ultraschallwandlers durch Abtrag von Elektrodenmaterial und Verwendung des Utraschallwandlers
DE102004047696B4 (de) Piezoelektrischer Biegewandler
DE102008049541A1 (de) Ultraschallwandler mit mindestens einem vollaktiven, monolithischen Piezoelement, Verfahren zum Kontaktieren des Ultraschallwandlers mittels photostrukturierter Isolationsschicht und Verwendung des Ultraschallwandlers
EP1894260A1 (de) Piezoaktor mit gesteigertem hubvermögen
DE102008049544B4 (de) Ultraschallwandler mit mindestens einem vollaktiven, monolithischen Piezoelement, Verfahren zum Kontaktieren des Ultraschallwandlers mittels Auflaminieren einer Isolationsfolie und Verwendung des Ultraschallwandlers

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
R016 Response to examination communication
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20140401