CN106338620A - 物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种物理量的检测精度较优异的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：底基板(2)；元件片(4)，其被接合在底基板(2)上。此外，元件片(4)具有：固定部(481)、(491)，其被固定在底基板(2)上；第一固定电极指(483)，其被固定部(481)支承；第二固定电极指(493)，其被固定部(491)支承；固定部(41)，其位于固定部(481)、(491)之间，且被固定在底基板(2)上；可动部(42)，其能够相对于固定部(41)而进行位移；弹性部(43)，其对固定部(41)与可动部(42)进行连结；第一可动电极指(423)，其被可动部(42)支承，且与第一固定电极指(483)对置配置；第二可动电极指(424)，其被可动部(42)支承，且与第二固定电极指(493)对置配置。

Description

物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体
技术领域
本发明涉及一种物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。
背景技术
专利文献1中公开了一种具有基板与被接合在基板上的表面安装结构的物理量传感器。此外，表面安装结构具有位于左侧的两个固定电极指用的锚定接合区以及一个可动电极指用的锚定接合区、和位于右侧的两个固定电极指用的锚定接合区以及一个可动电极指用的锚定接合区，而且，在这些被分为左右的锚定接合区之间配置有可动部(中央棒)。
在这种结构中，由于可动部的阻碍，从而无法将全部的锚定接合区接近配置。因此，例如存在如下问题，即，较大程度地受到由热膨胀所产生的基板的翘曲的影响，从而使加速度的检测精度下降。
专利文献1：日本特开2010-71911号公报。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种物理量的检测精度优良的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。
本发明是为了解决上述的课题的至少一部分而完成的发明，并且能够作为以下的应用例而实现。
应用例1
本应用例的物理量传感器的特征在于，具有：
基板；
元件片，其被配置在所述基板上，
所述元件片具有：
第一固定部，其被固定在所述基板上；
第二固定部，其被固定在所述基板上；
第一固定电极指，其被所述第一固定部支承，且相对于所述第一固定部而位于与所述第二固定部相反一侧；
第二固定电极指，其被所述第二固定部支承，且相对于所述第二固定部而位于与所述第一固定部相反一侧；
第三固定部，其位于所述第一固定部与所述第二固定部之间，且被固定在所述基板上；
可动部，其能够相对于所述第三固定部而进行位移；
弹性部，其以能够使所述可动部进行位移的方式与所述第三固定部连结，且至少一部分位于所述第一固定电极指与所述第二固定电极指之间；
第一可动电极指，其被所述可动部支承，且与所述第一固定电极指对置配置；
第二可动电极指，其被所述可动部支承，且与所述第二固定电极指对置配置。
由此，由于能够将第一固定部、第二固定部以及第三固定部相互接近配置，从而不易受到由热膨胀产生的基板的翘曲的影响，因此成为物理量的检测精度较优异的物理量传感器。
应用例2
在本应用例的物理量传感器中，优选为，所述第一固定部、所述第二固定部以及所述第三固定部沿着所述可动部的振动方向而配置。
由此，能够减少转矩作用于可动部上的情况。
应用例3
在本应用例的物理量传感器中，优选为，所述可动部呈框状，
在所述可动部的内侧配置有所述第一固定部、所述第二固定部以及所述第三固定部。
由此，能够实现物理量传感器的小型化。
应用例4
在本应用例的物理量传感器中，优选为，所述可动部具有与所述第一固定电极指对置配置的第一对置部、和与所述第二固定电极指对置配置的第二对置部。
由此，能够将第一对置部作为第一可动电极指来利用，并能够将第二对置部作为第二可动电极指来利用。
应用例5
在本应用例的物理量传感器中，优选为，所述第一对置部与所述第一可动电极指相比宽度较大，
所述第二对置部与所述第二可动电极指相比宽度较大。
由此，提高了可动部的机械强度。
应用例6
在本应用例的物理量传感器中，优选为，所述可动部具有位于所述弹性部与所述第一固定电极指之间的第一部分、和位于所述弹性部与所述第二固定电极指之间的第二部分。
由此，能够在不增大可动部的外形的条件下，增大可动部的质量。
应用例7
本应用例的物理量传感器装置的特征在于，具有：
上述应用例的物理量传感器；
电子部件，其与所述物理量传感器电连接。
由此，能够得到可靠性较高的物理量传感器装置。
应用例8
本应用例的电子设备的特征在于，具有上述应用例的物理量传感器。
由此，能够得到可靠性较高的电子设备。
应用例9
本应用例的移动体的特征在于，具有上述应用例的物理量传感器。
由此，能够得到可靠性较高的移动体。
附图说明
图1为本发明的第一实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。
图2为图1中的A-A线剖视图。
图3为表示元件片与底基板的接合状态的剖视图。
图4为表示元件片的局部放大俯视图。
图5为表示元件片所具有的弹性部的局部放大俯视图。
图6为表示元件片与底基板的接合状态的剖视图。
图7为表示底基板所具有的凹部内的配线的俯视图。
图8为表示本发明的第二实施方式所涉及的物理量传感器装置的剖视图。
图9为表示应用了本发明的电子设备的移动型(或笔记本型)的个人计算机的结构的立体图。
图10为表示应用了本发明的电子设备的便携式电话机(也包括PHS：个人手持式电话系统)的结构的立体图。
图11为表示应用了本发明的电子设备的数码照相机的结构的立体图。
图12为表示应用了本发明的移动体的汽车的立体图。
具体实施方式
以下，根据附图所示的实施方式来对本发明的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体进行详细说明。
第一实施方式
图1为本发明的第一实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。图2为图1中的A-A线剖视图。图3为表示元件片与底基板的接合状态的剖视图。图4为表示元件片的局部放大俯视图。图5为表示元件片所具有的弹性部的局部放大俯视图。图6为表示元件片与底基板的接合状态的剖视图。图7为表示底基板所具有的凹部内的配线的俯视图。
另外，在下文中，为了便于说明，也会将图1中的纸面前侧(图2中的上侧)称为“上”，将纸面里侧(图2中的下侧)称为“下”。此外，在各图中，作为互相正交的三个轴而图示了X轴、Y轴以及Z轴。此外，在下文中，也会将与X轴平行的方向称为“X轴方向”，将与Y轴平行的方向称为“Y轴方向”，将与Z轴平行的方向称为“Z轴方向”。此外，也会将包括X轴与Y轴的面称为“XY面”。
图1以及图2所示的物理量传感器1能够作为用于对X轴方向(面内方向)上的加速度进行测量的加速度传感器来利用。这种物理量传感器1具有：底基板(基板)2、盖体3、被配置在通过所述底基板2与所述盖体3而形成的内部空间S中的元件片4。这种物理量传感器1被构成为，当被施加了X轴方向上的加速度时，形成于元件片4内的静电电容C1、C2将发生变化，所述物理量传感器1根据该静电电容C1、C2的变化而对所施加的加速度进行检测。
以下，依次对底基板2、盖体3以及元件片4进行说明。
底基板
底基板2具有向其上表面开口的凹部21。该凹部21作为用于防止元件片4与基板2的接触的避让部而发挥功能。此外，如图3所示，底基板2具有突起291、292、293，所述突起291、292、293从凹部21的底面突出，并具有与元件片4接合的接合面。此外，底基板2具有向其上表面开口且与凹部21连接的凹部211、212、213。在凹部211中形成有配线711以及端子712，在凹部212中形成有配线721以及端子722，在凹部213中形成有配线731以及端子732。此外，各端子712、722、732以从盖体3露出的方式而被配置，并能够与外部(例如，后文叙述的IC芯片102)电连接。
这样的底基板2由包含碱金属离子(可动离子)的玻璃材料(例如，派列克斯玻璃(注册商标)这样的硼硅酸玻璃)而形成。由此，能够通过阳极接合而将由硅基板形成的元件片4牢固地接合在底基板2上。但是，作为底基板2的结构材料，其并不限定于玻璃材料，例如也能够使用高电阻的硅材料。在该情况下，其与元件片4的接合，例如能够经由树脂类粘合剂、玻璃胶、金属膜等来实施。
元件片
元件片4被接合在底基板2上。该元件片4具有第一结构体4A和第二结构体4B，所述第一结构体4A具有能够相对于底基板2而进行位移的部分，所述第二结构体4B的位置相对于底基板2而被固定。这种元件片4例如由掺杂有磷、硼等杂质的硅基板而形成。具体而言，例如，通过阳极接合而将预先掺杂有杂质的硅基板接合在底基板2的上表面上，接着，根据需要而通过CMP(Chemical Mechanical Polishing：化学机械抛光)等对硅基板进行薄壁化，接着，通过使用光刻法以及蚀刻法而对硅基板进行图案形成，从而能够形成元件片4。但是，作为元件片4的结构材料，并不限定于硅，也能够使用其他的半导体等。
首先，对第一结构体4A进行说明。第一结构体4A具备：被固定在底基板2上的固定部(第三固定部)41、可动部42、和对固定部41与可动部42进行连结的弹性部43。
如图3所示，固定部41被接合并固定在底基板2的突起291的上表面上。此外，固定部41经由导电性凸块B1而与配线711电连接。而且，以包围该固定部41的周围的方式而设置有可动部42。如图1所示，可动部42具有包围了固定部41的周围的框状的基部421和从基部421起延伸的多个可动电极指422。
基部421呈具有开口4211的框状。而且，以向该开口4211内突出的方式而设置有可动电极指422。可动电极指422具有相对于基部421的中心G而位于一方侧(+X轴侧)的多个第一可动电极指423和位于另一方侧(-X轴侧)的多个第二可动电极指424。而且，第一可动电极指423在Y轴方向上成两列并在X轴方向上并排配置，第二可动电极指424在Y轴方向上成两列并在X轴方向上并排配置。
此外，基部421具有第一对置部4216和第二对置部4217，所述第一对置部4216与向开口4211内突出的第一可动电极指423相比位于+X轴侧(与固定部41相反一侧)，且与第一可动电极指423对置配置，所述第二对置部4217与第二可动电极指424相比位于-X轴侧(与固定部41相反一侧)，且与第二可动电极指424对置配置。而且，第一对置部4216兼作为第一可动电极指423，第二对置部4217兼作为第二可动电极指424。以此方式，通过使基部421的一部分兼作为可动电极指422，从而能够实现第一结构体4A的小型化。此外，如后文叙述，能够使被形成于所述第一结构体4A与第二结构体4B之间的静电电容C1较大。
特别地，在本实施方式中，如图4所示，第一对置部4216的宽度(X轴方向上的长度)W1与其他的第一可动电极指423的宽度(X轴方向上的长度)W2相比而较大。以此方式，通过满足W1＞W2的关系，从而能够提高基部421的机械强度，进而能够减小基部421的挠曲或翘曲。另外，关于第二对置部4217的宽度与其他的第二可动电极指424的宽度，也满足与之相同的关系。通过满足这种关系，从而能够提高基部421的机械强度，进而能够减小基部421的挠曲或翘曲。
这样的可动部42经由弹性部43而与固定部41连结。弹性部43位于基部421与固定部41之间，且具有对可动部42与固定部41进行连结的第一弹性部431、第二弹性部432、第三弹性部433以及第四弹性部434。这些第一至第四弹性部431～434分别具有弹性，且能够在X轴方向上进行弹性变形。因此，可动部42能够分别使第一至第四弹性部431～434在进行弹性变形的同时，相对于固定部41而在X轴方向上进行位移。
如果对弹性部43进行详细说明，则第一、第二弹性部431、432相对于固定部41而位于-Y轴侧，第三、第四弹性部433、434相对于固定部41而位于+Y轴侧。此外，第一、第二弹性部431、432在X轴方向上并排配置，第三、第四弹性部433、434在X轴方向上并排配置。此外，各弹性部431～434分别成为在Y轴方向上往复且在X轴方向上蜿蜒的结构。
特别地，如果以弹性部431～434中的第一弹性部431为代表来进行说明，则如图5所示，第一弹性部431具有在Y轴方向上延伸的延伸部4311和对相邻的延伸部4311彼此进行连结的连结部4312，并且相邻的延伸部4311的分离距离D1与连结部(位于-Y轴侧的连结部)4312和基部421(开口4211的内周)之间的分离距离D2大致相等。以此方式，通过使分离距离D1、D2大致相等，从而能够减少对硅基板进行蚀刻而形成第一弹性部431时的过蚀刻(overetching)，进而能够高精度地形成第一弹性部431。
另外，关于弹性部43的结构，只要能够以可在X轴方向上进行位移的方式对可动部42进行支承即可，并不限定于上文所述的结构。
接下来，对第二结构体4B进行说明。如图1所示，第二结构体4B具有被配置于可动部42的内侧(开口4211内)的第一固定电极部48以及第二固定电极部49。以此方式，通过将第一、第二固定电极部48、49配置于可动部42的内侧，从而能够实现物理量传感器1的小型化(特别是，能够抑制平面上的展宽)。
第一固定电极部48具有：被接合并固定在底基板2的突起292上的固定部(第一固定部)481、穿过在Y轴方向上并排的第一可动电极指423之间并从固定部481向+X轴方向延伸的支承梁部482、和从支承梁部482向Y轴方向两侧延伸的多个第一固定电极指483。
固定部481位于固定部41的+X轴侧，且与固定部41并排配置。在此，如前文所述那样，由于支承梁部482以及第一固定电极指483相对于固定部481而位于与固定部41相反一侧，因此能够进一步使固定部481相对于固定部41而接近配置。
此外，如图6所示，固定部481经由导电性凸块B2而与配线721电连接。另外，配线721在底基板2的凹部21的底面上，以与支承梁部482重叠的方式而对置配置。由此，例如能够减少在可动部42与配线721之间形成无用的静电电容的情况。
此外，各个第一固定电极指483以呈相对于第一可动电极指423隔开间隔而啮合的梳齿状的方式而并排，且在与所对置的第一可动电极指423之间形成静电电容C1。特别是，如前文所述那样，由于可动部42所具有的第一对置部4216兼作为第一可动电极指423且与第一固定电极指483对置配置，因此在它们之间也能够形成静电电容。因此，能够使第一可动电极指423与第一固定电极指483之间所形成的静电电容C1的总和更大。
另一方面，第二固定电极部49具有：被接合并固定在底基板2的突起293上的固定部(第二固定部)491、穿过在Y轴方向上并排的第二可动电极指424之间并从固定部491起向-X轴方向延伸的支承梁部492、和从支承梁部492起向Y轴方向两侧延伸的多个第二固定电极指(第二固定电极)493。
固定部491位于固定部41的-X轴侧，且与固定部41并排配置。在此，如前文所述那样，由于支承梁部492以及第二固定电极指493相对于固定部491而位于与固定部41相反一侧，因此能够进一步使固定部491相对于固定部41而接近配置。
此外，如图6所示，固定部491经由导电性凸块B3而与配线731电连接。另外，配线731在底基板2的凹部21的底面上，以与支承梁部492重叠的方式而对置配置。由此，例如能够减少在可动部42与配线731之间形成无用的静电电容的情况。
此外，各个第二固定电极指493以呈相对于第二可动电极指424隔开间隔而啮合的梳齿状的方式而并排，且在与所对置的第二可动电极指424之间形成静电电容C2。特别是，如前文所述那样，由于可动部42所具有的第二对置部4217兼作为第二可动电极指424且与第二固定电极指493对置配置，因此在它们之间也能够形成静电电容。因此，能够使第二可动电极指424与第二固定电极指493之间所形成的静电电容C2的总和更大。
在此，如图1所示，在可动部42的基部421上，设置有朝向开口4211内突出、且位于第一、第三弹性部431、433与第一固定电极指483之间的突出部(第一部分)4212、4213。同样地，在基部421上，设置有朝向开口4211内突出、且位于第二、第四弹性部432、434与第二固定电极指493之间的突出部(第二部分)4214、4215。通过具有这种突出部4212、4213、4214、4215，从而能够在不增大基板421的外形的条件下，增大基部421的质量。因此，能够进一步提高可动部42的锤效果，从而可动部42将根据加速度的大小而以更高精度地进行位移。
此外，如图7所示，在底基板2的凹部21的底面的大部分上设置有与配线721、731绝缘的虚拟电极D，该虚拟电极D与配线711电连接。根据这种结构，由于能够通过与可动部42为同电位的虚拟电极D而覆盖凹部21的底面的大部分，因此例如能够使在成为元件片4的硅基板与底基板2进行阳极接合时所产生的静电力减小，从而能够有效地抑制硅基板的向底基板2贴附(所谓的“粘附(sticking)”)的情况。
盖体
如图2所示，盖体3具有向下表面开口的凹部31，该凹部31以通过与凹部21一起形成内部空间S的方式而被接合在底基板2上。在本实施方式中，这种盖体3由硅基板形成。由此，能够通过阳极接合来对盖体3与底基板2进行接合。另外，在仅将盖体3接合于底基板2上的状态下，内部空间S的内外经由被形成在底基板2上的凹部211、212、213而连通。因此，在本实施方式中，通过利用使用了TEOS(四乙氧基硅烷)的CVD(chemical vapor deposition：化学气相沉积)法等而形成的SiO2膜8来堵塞凹部211、212、213，从而对内部空间S进行气密密封。
以上这种结构的物理量传感器1，以如下方式对加速度进行检测。即，当有X轴方向上的加速度施加于物理量传感器1上时，可动部42将根据该加速度的大小而使弹性部43在进行弹性变形的同时在X轴方向上进行位移。伴随着该位移，第一可动电极指423与第一固定电极指483之间的间隙以及第二可动电极指424与第二固定电极指493之间的间隙将分别发生变化，伴随着该变化，静电电容C1、C2将分别发生变化。因此，物理量传感器1能够根据这些静电电容C1、C2的变化(差动信号)而对加速度进行检测。
在这种物理量传感器1中，如前文所述那样，由于将固定部41、481、491相互近接(尽量靠近)配置，因此不易受到由热量或外部应力所产生的底基板2的翘曲所造成的影响。因此，例如能够减少因环境温度而使第一固定电极指483与第一可动电极指423之间的间隙(第二固定电极指493与第二可动电极指424之间的间隙)发生变化，或者使第一固定电极指483与第一可动电极指423的对置面积(第二固定电极指493与第二可动电极指424之间的对置面积)发生变化的情况。其结果为，能够将由温度所造成的静电电容C1、C2的变动抑制为较小(即，能够发挥优异的温度特性)，从而提高了加速度的检测精度。
此外，在本实施方式中，将固定部41与固定部481之间的分离距离和固定部41与固定部491之间的分离距离设计为大致相等。因此，在固定部41与固定部481之间所形成的静电电容和在固定部41与固定部491之间所形成的静电电容大致相等，从而能够将整体的静电电容的偏差抑制为较小。
而且，由于固定部41、481、491在与可动部42的位移方向相同的X轴方向上并排配置，因此能够减少围绕Z轴的转矩作用于可动部42上的情况。具体而言，例如，在固定部41与固定部481之间的分离距离和固定部41与固定部491之间的分离距离产生偏差从而相应地在固定部41与固定部481之间所形成的静电电容和在固定部41与固定部491之间所形成的静电电容上产生偏差的情况下，由于如果像本实施方式这样使固定部41、481、491在X轴方向上并排，则因所述静电电容的偏差而产生的力将作用在X轴方向上，因此在可动部42于X轴方向上进行驱动振动时，将不会作用有围绕Z轴的转矩。相对于此，例如，在固定部41、481、491于Y轴方向上并排的情况下，由于因所述静电电容的偏差而产生的力将作用于Y轴方向上，因此在可动部42于X轴方向上进行驱动振动时，有时将作用有围绕Z轴的转矩。基于这样的理由，通过将固定部41、481、491并排配置在X轴方向上，从而使得围绕Z轴的转矩不易作用于可动部42上。
第二实施方式
接下来，对本发明的第二实施方式所涉及的物理量传感器装置进行说明。
图8为表示本发明的第二实施方式所涉及的物理量传感器的剖视图。
图8所示的物理量传感器装置100具有：基板101、经由粘合层103而被固定在基板101的上表面上的物理量传感器1、经由粘合层104而被固定在物理量传感器1的上表面上的IC芯片(电子部件)102。而且，在使基板101的下表面露出的状态下，物理量传感器1以及IC芯片102通过模型材料M而被成型。另外，作为粘合层103、104而例如能够使用焊锡、银膏、树脂类粘合剂(固晶胶粘合剂)等。此外，作为模型材料M，例如能够使用热固化型的环氧树脂，并例如能够通过传递模塑法来进行成型。
此外，在基板101的上表面上配置有多个端子101a，在下表面上配置有经由未图示的内部配线而与端子101a连接的多个安装端子101b。虽然作为这种基板101并未被特别限定，但是例如能够使用硅基板、陶瓷基板、树脂基板、玻璃基板、玻璃环氧树脂基板等。
此外，在IC芯片102中，例如包括对物理量传感器1进行驱动的驱动电路、根据差动信号而对加速度进行检测的检测电路、或将来自检测电路的信号转换为预定的信号并输出的输出电路等。这种IC芯片102经由接合引线105而与物理量传感器1的端子712、722、732电连接，并经由接合引线106而与基板101的端子101a电连接。
由于这种物理量传感器装置100具备物理量传感器1，因此具有优异的可靠性。
第三实施方式
接下来，对本发明的第三实施方式所涉及的电子设备进行说明。
图9为表示应用了本发明的电子设备的移动型(或笔记本型)的个人计算机的结构的立体图。
在该图中，个人计算机1100由具备键盘1102的主体部1104与具备显示部1108的显示单元1106构成，并且显示单元1106以能够经由铰链结构部而相对于主体部1104进行转动的方式被支承。在这种个人计算机1100中，内置有作为加速度传感器等而发挥功能的物理量传感器1。
图10为表示应用了本发明的电子设备的便携式电话机(也包括PHS：个人移动电话系统)的结构的立体图。
在该图中，便携式电话机1200具备天线(未图示)、多个操作按钮1202、听筒1204以及话筒1206，并且在操作按钮1202与听筒1204之间配置有显示部1208。在这种移动电话1200中，内置有作为加速度传感器等而发挥功能的物理量传感器1。
图11为表示应用了本发明的电子设备的数码照相机的结构的立体图。
在数码照相机1300的壳体(机身)1302的背面上设置有显示部1310，并成为根据由CCD(Charge Couple Device：电荷耦合装置)产生的摄像信号而进行显示的结构，显示部1310作为将被拍摄物体显示为电子图像的取景器而发挥功能。此外，在壳体1302的正面侧(图中背面侧)设置有，包括光学透镜(摄像光学系统)和CCD等在内的受光单元1304。而且，当拍摄者对被显示在显示部1310上的被拍摄物体的光像进行确认，并按下快门按钮1306时，该时间点上的CCD的摄像信号将被转送并存储至存储器1308中。在这种数码照相机1300中，内置有例如作为加速度传感器而被用于手抖补正的物理量传感器1。
由于这种电子设备具备物理量传感器1，因此具有优异的可靠性。
另外，本发明的电子设备除了图9的个人计算机、图10的便携式电话机、图11的数码照相机之外，还能够应用于如下装置中，例如，智能手机、平板终端、钟表、喷墨式喷出装置(例如喷墨式打印机)、膝上型个人计算机、电视机、摄像机、录像机、汽车导航装置、寻呼机、电子记事本(也包括附带通信功能的产品)、电子辞典、台式计算器、电子游戏设备、文字处理器、工作站、可视电话、防盗用视频监视器、电子双筒望远镜、POS(point of sale：销售点)终端、医疗设备(例如电子体温计、血压计、血糖仪、心电图计测装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测器、各种测量设备、计量仪器类(例如，车辆、航空器、船舶的计量仪器类)、飞行模拟器等。
第四实施方式
接下来，对本发明的第四实施方式所涉及的移动体进行说明。
图12为表示应用了本发明的移动体的汽车的立体图。
如图12所示，在汽车1500中内置有物理量传感器1，从而例如能够通过物理量传感器1而对车身1501的姿态进行检测。物理量传感器1的检测信号被供给至车身姿态控制装置1502，车身姿态控制装置1502能够根据该信号来对车身1501的姿态进行检测，并根据检测结果而对悬架的硬软进行控制，或对各个车轮1503的制动器进行控制。此外，物理量传感器1还能够广泛应用于无钥匙进入系统、发动机防盗锁止系统、车辆导航系统、车辆空调、防抱死制动系统(ABS：Anti-lock Braking System)、安全气囊、轮胎压力监视系统(TPMS：TirePressure Monitoring System)、发动机控制器、混合动力汽车或电动汽车的电池监视器等的电子控制单元(ECU：electronic control unit)中。
以上，虽然根据图示的实施方式而对本发明的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体进行了说明，但是本发明并不限定于此，各个部的结构能够置换为具有相同功能的任意结构。此外，在本发明中也可以附加其他任意的结构物。
此外，虽然在前文所述的实施方式中，对物理量传感器具有对X轴方向上的加速度进行检测的元件片的结构进行了说明，但是物理量传感器也可以具有对Y轴方向上的加速度进行检测的元件片。在该情况下，只要将前文所述的实施方式的元件片的配置旋转90度即可。
此外，虽然在前文所述的实施方式中，对物理量传感器在内部空间内具有一个元件片的结构进行了说明，但是被配置于内部空间内的元件片的数量并未被特别限定。例如，也可以为了对X轴以及Y轴的加速度进行检测而配置两个前文所述的元件片。而且，也可以配置对Z轴的加速度进行检测的元件片。由此，成为能够对多个轴的加速度进行检测的物理量传感器。此外，在物理量传感器中，通过进一步作为元件片而增加能够对角速度进行检测的部件，从而能够作为可对加速度与角速度进行检测的复合传感器而进行利用。
符号说明
1…物理量传感器；2…底基板；21…凹部；211、212、213…凹部；291、292、293…突起；3…盖体；31…凹部；4…元件片；4A…第一结构体；4B…第二结构体；41…固定部；42…可动部；421…基部；4211…开口；4212、4213、4214、4215…突出部；4216…第一对置部；4217…第二对置部；422…可动电极指；423…第一可动电极指；424…第二可动电极指；43…弹性部；431…第一弹性部；4311…延伸部；4312…连结部；432…第二弹性部；433…第三弹性部；434…第四弹性部；48…第一固定电极部；481…固定部；482…支承梁部；483…第一固定电极指；49…第二固定电极部；491…固定部；492…支承梁部；493…第二固定电极指；711、721、731…配线；712、722、732…端子；8…SiO2膜；100…物理量传感器装置；101…基板；101a…端子；101b…安装端子；102…IC芯片；103、104…粘合层；105、106…接合引线；1100…个人计算机；1102…键盘；1104…主体部；1106…显示单元；1108…显示部；1200…移动电话；1202…操作按钮；1204…听筒；1206…话筒；1208…显示部；1300…数码照相机；1302…壳体；1304…受光单元；1306…快门按钮；1308…存储器；1310…显示部；1500…汽车；1501…车身；1502…车身姿态控制装置；1503…车轮；B1、B2、B3…导电性凸块；D…虚拟电极；D1、D2…分离距离；G…中心；M…模型材料；S…内部空间。

Claims (9)

1.一种物理量传感器，其特征在于，具有：
基板；
元件片，其被配置在所述基板上，
所述元件片具有：
第一固定部，其被固定在所述基板上；
第二固定部，其被固定在所述基板上；
第一固定电极指，其被所述第一固定部支承，且相对于所述第一固定部而位于与所述第二固定部相反一侧；
第二固定电极指，其被所述第二固定部支承，且相对于所述第二固定部而位于与所述第一固定部相反一侧；
第三固定部，其位于所述第一固定部与所述第二固定部之间，且被固定在所述基板上；
可动部，其能够相对于所述第三固定部而进行位移；
弹性部，其以能够使所述可动部进行位移的方式与所述第三固定部连结，且至少一部分位于所述第一固定电极指与所述第二固定电极指之间；
第一可动电极指，其被所述可动部支承，且与所述第一固定电极指对置配置；
第二可动电极指，其被所述可动部支承，且与所述第二固定电极指对置配置。
2.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，
所述第一固定部、所述第二固定部以及所述第三固定部沿着所述可动部的振动方向而配置。
3.如权利要求2所述的物理量传感器，其中，
所述可动部呈框状，
在所述可动部的内侧配置有所述第一固定部、所述第二固定部以及所述第三固定部。
4.如权利要求3所述的物理量传感器，其中，
所述可动部具有与所述第一固定电极指对置配置的第一对置部、和与所述第二固定电极指对置配置的第二对置部。
5.如权利要求4所述的物理量传感器，其中，
所述第一对置部与所述第一可动电极指相比宽度较大，
所述第二对置部与所述第二可动电极指相比宽度较大。
6.如权利要求1至5中的任意一项所述的物理量传感器，其中，
所述可动部具有位于所述弹性部与所述第一固定电极指之间的第一部分、和位于所述弹性部与所述第二固定电极指之间的第二部分。
7.一种物理量传感器装置，其特征在于，具有：
权利要求1至6中的任意一项所述的物理量传感器；
电子部件，其与所述物理量传感器电连接。
8.一种电子设备，其特征在于，
具有权利要求1至6中的任意一项所述的物理量传感器。
9.一种移动体，其特征在于，
具有权利要求1至6中的任意一项所述的物理量传感器。
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