CN106282957A - 气相沉积膜设备用抽气陶瓷环 - Google Patents
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Abstract
气相沉积膜设备用抽气陶瓷环，包括环形的陶瓷环，在陶瓷环上均布抽气小孔，抽气小孔的内壁为圆角。本发明可针对不同沉积反应的真空要求可匹配不同的小孔数量及小孔孔径的陶瓷环，且保证抽气泵抽气时，腔室内部向外部抽气的气流均匀稳定。另外腔室内通入高能量离子时，可避免聚集高能量而产生局部燃烧现象。
Description
技术领域：本发明涉及一种抽气设备，尤其是一种气相沉积膜设备用抽气陶瓷环。
背景技术：气相沉积膜设备在沉积时控制密封腔室内需保持一定范围的压力，需要通过抽气设备进行抽气，使腔室达到指定负压力值。目前没有专用的设备进行这种操作，普通的抽气装置一般很难控制气体均匀的抽出。
发明内容：针对上述现有技术的不足，本发明提供了一种气相沉积膜设备用抽气陶瓷环。
为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：气相沉积膜设备用抽气陶瓷环，包括环形的陶瓷环，在陶瓷环上均布抽气小孔，抽气小孔的内壁为圆角。
优选的，所述的抽气小孔为12至48个圆形的抽气小孔，小孔直径范围由1毫米至12毫米。
优选的，所述的抽气小孔设置在陶瓷环的中间或上端或下端。
本发明可针对不同沉积反应的真空要求可匹配不同的小孔数量及小孔孔径的陶瓷环，且保证抽气泵抽气时，腔室内部向外部抽气的气流均匀稳定。另外腔室内通入高能量离子时，可避免聚集高能量而产生局部燃烧现象。
附图说明：
图1是本发明实施例1的结构示意图。
图2是抽气小孔处的局部放大图。
图3是实施例2的结构示意图
图4是实施例3的结构示意图。
具体实施方式：
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1和图2所示：气相沉积膜设备用抽气陶瓷环，包括环形的陶瓷环1，在陶瓷环1上均布抽气小孔2，抽气小孔2的内壁为圆角。抽气小孔设置在陶瓷环的中间。薄膜沉积过程中，此陶瓷环与腔室上盖及衬底承载台组合围成一个相对独立的孔间。陶瓷环外侧与抽气泵抽气管路相连，抽气泵工作时产生负压，通过陶瓷环上圆周的小孔将空间内的气体均匀的抽出，使腔室达到指定负压力值。
薄膜沉积过程中，当腔室内通入高能量离子时，陶瓷环内侧的圆角可避免聚集高能量而产生局部燃烧现象。
实施例2
如图3所示：抽气小孔设置在陶瓷环的上端。
实施例3
如图4所示：抽气小孔设置在陶瓷环的下端。
Claims (3)
1.气相沉积膜设备用抽气陶瓷环，包括环形的陶瓷环，其特征在于：在陶瓷环上均布抽气小孔，抽气小孔的内壁为圆角。
2.如权利要求1所述的气相沉积膜设备用抽气陶瓷环，其特征在于：所述的抽气小孔为12至48个圆形的抽气小孔，小孔直径范围由1毫米至12毫米。
3.如权利要求1所述的气相沉积膜设备用抽气陶瓷环，其特征在于：所述的抽气小孔设置在陶瓷环的中间或上端或下端。
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| CN201510259599.5A CN106282957A (zh) | 2015-05-20 | 2015-05-20 | 气相沉积膜设备用抽气陶瓷环 |
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| CN106282957A true CN106282957A (zh) | 2017-01-04 |
Family
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| CN201510259599.5A Pending CN106282957A (zh) | 2015-05-20 | 2015-05-20 | 气相沉积膜设备用抽气陶瓷环 |
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| CN (1) | CN106282957A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107174852A (zh) * | 2017-07-19 | 2017-09-19 | 遵义医学院 | 一种抽滤瓶 |
| CN114717538A (zh) * | 2021-04-21 | 2022-07-08 | 拓荆科技股份有限公司 | 一种薄膜沉积装置及其沉积方法 |
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2015
- 2015-05-20 CN CN201510259599.5A patent/CN106282957A/zh active Pending
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| CN114717538A (zh) * | 2021-04-21 | 2022-07-08 | 拓荆科技股份有限公司 | 一种薄膜沉积装置及其沉积方法 |
| CN114717538B (zh) * | 2021-04-21 | 2023-10-31 | 拓荆科技股份有限公司 | 一种薄膜沉积装置及其沉积方法 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20170104 |