CN106248795A - 超声波探伤系统、超声波探伤方法及航空器结构体 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及超声波探伤系统、超声波探伤方法及航空器结构体，其能够以更宽的范围为对象，非破坏性地检测被检查对象的损伤。实施方式的超声波探伤系统具备至少一个超声波振子、至少一个超声波传感器及损伤检测部，将至少一个超声波振子和至少一个超声波传感器配置于分离开比300mm更长的距离的位置。超声波振子朝向检查区域发送超声波。超声波传感器检测通过所述检查区域的所述超声波。损伤检测部基于与由所述超声波传感器检测的所述超声波对应的波形和作为基准的波形之间的变化量，检测所述检查区域中有无损伤。

Description

超声波探伤系统、超声波探伤方法及航空器结构体
技术领域
本发明的实施方式涉及超声波探伤系统、超声波探伤方法及航空器结构体。
背景技术
目前，作为非破坏地检查航空器等的结构部件的方法，超声波探伤法是公知的。作为具体例，已提出了通过使用朝向探伤区域振荡超声波的促动器和用于接收在探伤区域反射的超声波反射波的光纤布拉格光栅(FBG：Fiber Bragg Grating)传感器，能够测定粘接部位或接合部位的剥离或剥落等损伤的长度的损伤长测定系统(例如参照专利文献1及专利文献2)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：(日本)特开2011－185921号公报
专利文献2：(日本)特开2014－194379号公报
现有超声波探伤法虽然能够测定探伤范围中的损伤的长度或大小，但只能进行粘接部等的局部的探伤范围的检查。即，只能进行处于距促动器及传感器短距离处的损伤。具体地说，需要以最大为300mm以下的间隔的方式配置促动器和传感器。因此，为了进行大型的航空器零件等的探伤检查而必需高密度地配置非常多的促动器及传感器，这是不现实的。
发明内容
于是，本发明的目的在于，能够以更宽的范围为对象，非破坏地检测被检查对象的损伤。
用于解决课题的技术方案
本发明实施方式的超声波探伤系统具备至少一个超声波振子、至少一个超声波传感器及损伤检测部，将至少一个超声波振子和至少一个超声波传感器配置于分离开比300mm更长的距离的位置。超声波振子朝向检查区域发送超声波。超声波传感器检测通过所述检查区域的所述超声波。损伤检测部基于与由所述超声波传感器检测的所述超声波对应的波形和作为基准的波形之间的变化量，检测所述检查区域中有无损伤。
优选地，所述损伤检测部可以通过对与由所述超声波传感器检测的所述超声波对应的波形的傅里叶变换或小波变换而取得与单一或多个频带对应的波形，并且基于与所取得的所述单一或多个频带对应的波形和对应的单一或多个频带中的作为基准的波形之间的变化量，检测所述检查区域中有无损伤。
优选地，所述损伤检测部可以基于作为基准的波形和通过对于与由所述超声波传感器检测的所述超声波对应的波形执行加法平均化处理及求得移动平均所产生的降噪处理而得的波形之间的变化量，检测所述检查区域中有无损伤。
优选地，超声波探伤系统可以包括：从不同的位置朝向检查区域发送超声波的多个超声波振子；以及检测通过了所述检查区域的、来自所述多个超声波振子的各超声波的至少一个超声波传感器，其中，所述损伤检测部可以基于与由所述超声波传感器检测的所述各超声波对应的波形和作为各自的基准的波形之间的各变化量，检测所述检查区域中有无损伤以及存在范围中的至少一项。
优选地，所述超声波振子可以被构成为发送频率为50kHz以上150kHz以下的超声波。
优选地，所述超声波振子可以被构成为发送兰姆波作为所述超声波。
优选地，所述超声波振子可以被构成为发送扇状前进的有指向性的超声波。
优选地，作为所述超声波传感器，可以使用光纤传感器。
优选地，可以设有光过滤器，所述光过滤器将从所述光纤传感器作为光的波长的振动输出的超声波检测信号，转换为按照振幅更大的光强度振动的超声波检测信号。
另外，本发明实施方式的航空器结构体安装有所述超声波探伤系统。
优选地，具有在板状的零件上设置多个长条结构物的结构，在邻接的至少两个长条结构物之间配置有至少一对超声波振子及超声波传感器。
另外，本发明实施方式的超声波探伤方法，具有：由至少一个超声波振子朝向检查区域发送超声波的步骤；用配置在自所述超声波振子离开比300mm更长的距离的位置的至少一个超声波传感器检测通过所述检查区域的所述超声波的步骤；以及基于与由所述超声波传感器检测的所述超声波对应的波形、和作为基准的波形之间的变化量，检测所述检查区域中有无损伤的步骤。
另外，本发明实施方式的超声波探伤方法，具有：由至少一个超声波振子朝向检查区域发送超声波的步骤；用至少一个超声波传感器检测通过所述检查区域的所述超声波的步骤；基于与由所述超声波传感器检测的所述超声波对应的波形和作为基准的波形之间的变化量，检测所述检查区域中有无损伤的步骤；在所述检查区域被检测到损伤的情况下，设定包含被检测到的所述损伤、且比所述检查区域窄的新的检查区域并进行所述损伤的非破坏检查的步骤。
优选地，可以基于来自所述新的检查区域的超声波的反射波进行检测所述损伤的位置的检查，来作为对所述新的检查区域的所述损伤的非破坏检查。
优选地，可以在具有在板状的零件上设有至少一个长条结构物的结构的检查对象品上配置多个超声波振子及多个超声波传感器，在至少一个长条结构物的两侧分别配置至少一对超声波振子及超声波传感器。
附图说明
图1是本发明实施方式的超声波探伤系统的构成图；
图2是图1所示的超声波探伤系统的位置A－A的剖面图；
图3是表示图1所示的损伤检测部的详细构成例的功能块图；
图4是对通过图3所示的光过滤器将光信号的振幅放大的原理进行说明的图；
图5是在图1所示的损伤检测部示出作为比较对象的超声波信号的波形的一例的图；
图6是表示图1所示的控制系统的详细构成例的图；
图7是表示利用图1所示的超声波探伤系统进行被检查对象的检查区域中的探伤检查时的流程的一例的流程图。
符号说明
1 超声波探伤系统
2 超声波振子
3 超声波传感器
3A FBG传感器
4 损伤检测部
5 控制系统
6 光源
7 光循环器
8 光过滤器
9 光电转换器
10 A/D转换器
11 信号处理电路
11A 加法平均化处理部
11B 过滤处理部
11C 移动平均化处理部
11D 波形解析部
11E 包络线检波处理
11F 波形比较部
12 显示装置
13 存储装置
W 检查对象品
W1 板状的零件
W2 长条结构物
R 检查区域
U 超声波
具体实施方式
参照附图，对本发明实施方式的超声波探伤系统、超声波探伤方法及航空器结构体进行说明。
(构成及功能)
图1是本发明实施方式的超声波探伤系统的构成图，图2是图1所示的超声波探伤系统的位置A－A的剖面图。
超声波探伤系统1是利用透过检查对象品W的检查区域R的超声波U，非破坏地检测在检查区域R是否有损伤的系统。为此，超声波探伤系统1具有朝向检查区域R发送超声波U的至少一个超声波振子2、检测通过检查区域R的超声波U的至少一个超声波传感器3、损伤检测部4及控制系统5。
特别是，在检查对象品W为航空器结构体那样的大型的零件的情况下，检查区域R的尺寸也成为宽范围。于是，可以将至少一个超声波振子2和至少一个超声波传感器3配置于分离开比300mm更长的距离的位置。由此，能够做到具有比300mm更长的宽度的检查区域R的非破坏检查。特别是，如果如后述设定适当的条件，也能够将至少一个超声波振子2和至少一个超声波传感器3配置于分离开1000mm以上的位置。在该情况下，能够做到具有1000mm以上的宽度的检查区域R的非破坏检查。
从将检查区域R二维扩大的观点来看，优选设置从不同的位置朝向检查区域R发送超声波U的多个超声波振子2。该情况下，通过了检查区域R的、来自多个超声波振子2的各超声波U，会被至少一个超声波传感器3检测到，但从将检查区域R二维扩大的观点来看，有效的是，对于超声波传感器3也设置多个。
即，只要可以在不同的位置配置超声波振子2并发送超声波U，就能够将检查区域R向超声波振子2的排列方向扩大。另一方面，只要可以在不同的位置配置多个超声波传感器3并接收超声波U，就能够将检查区域R向超声波传感器3的排列方向扩大。因此，通过配置多个超声波振子2及多个超声波传感器3，能够将更宽范围的区域设定为检查区域R。特别是，只要在多个位置配置由超声波振子2及超声波传感器3构成的检查单元，就可以通过从多个检查单元相互收发超声波U而诊断检查区域R中有无损伤。
另外，通过根据检查对象品W的结构在适当的位置配置超声波振子2及超声波传感器3，就可以进行有效的检查。作为具体例，如果是检查对象品W具有在板状的零件W1上设有至少一个长条结构物W2的结构的情况，优选配置多个超声波振子2及多个超声波传感器3，在至少一个长条结构物W2的两侧分别配置至少一对超声波振子2及超声波传感器3。
该情况下，在长条结构物W2中，由于超声波U进行反射，从而超声波U衰减，即使这样，也可以高精度且可靠地检测被长条结构物W2隔开的两侧的区域中有无损伤。换句话说，即使是具有足够的强度的超声波U不能透过长条结构物W2的情况，也能够检测长条结构物W2的两侧的区域中有无损伤。特别是在板状的零件W1上设有大量长条结构物W2的情况下，透过所有长条结构物W2的超声波U的强度衰减，则存在难以利用充分的信噪比(SNR：Signal－to－noise ratio)检测超声波U的情况。因此，在板状的零件W1上设有大量长条结构物W2的情况下，有效的是，在各长条结构物W2的两侧分别配置至少一对超声波振子2及超声波传感器3。
但是，将在大概1m见方的板状的零件W1上设有三个长条结构物W2的检查对象品W作为对象进行超声波U的收发，结果确认，只要以使超声波U的检测灵敏度良好的方式决定适当的条件，就可以利用超声波传感器3以充分的SNR检测通过三个长条结构物W2的超声波U。因此，在板状的零件W1上设有四个以上的长条结构物W2的情况下，以在适当的位置配置适当的数量的超声波振子2及超声波传感器3，并且用单一或多个超声波传感器3检测透过三个以下的长条结构物W2的超声波U的方式构成，从避免不必要的信号处理的观点来看，认为是适宜的。
进而确认，若在邻接的两个长条结构物W2之间配置至少一对超声波振子2及超声波传感器3并从超声波振子2发送超声波U，那么超声波U一边向邻接的两个长条结构物W2反射一边朝向超声波传感器3进行传播，因此可减小超声波U的衰减量。因此，将具有在板状的零件W1上设有多个长条结构物W2的结构的检查对象品W作为对象收发超声波U的情况下，在邻接的至少两个长条结构物W2之间配置至少一对超声波振子2及超声波传感器3，从高精度地检测损伤的观点来看是有效的。
在图示的例中，在具有在板状的零件W1上设有三个长条结构物W2的结构的检查对象品W上，配置有八个超声波振子2及八个超声波传感器3。而且，在各长条结构物W2的两侧分别逆向配置有两组超声波振子2及超声波传感器3。换言之，在被各长条结构物W2隔开的区域分别逆向配置有两组超声波振子2及超声波传感器3。因此，在被各长条结构物W2隔开的区域，可以双方向发送超声波U。并且，如上所述，如果是三个左右的长条结构物W2，可以以充分的SNR检测透过长条结构物W2的超声波U，因此能够向检查区域R发送超声波U使其形成网络。因此，能够分别高精度地检测由长条结构物W2隔开的板状的零件W1的四个区域中有无损伤。
作为具有这种结构的检查对象品W的例子，可举出在外板(面板)(也称为表皮)上安装有横梁(支撑梁)、小骨(肋)及纵梁(stringer)中的至少一个的航空器结构体。因此，能够以米级的大型的航空器结构体为对象进行利用超声波U的非破坏检查。
损伤的有无可以基于透过检查区域R的超声波U的波形的变化进行判定。即，若在超声波U的传播路径上存在损伤，超声波U的波形就会产生变化。因此，可以利用在超声波U的传播路径上不存在损伤的情况中的超声波U的波形和在超声波U的传播路径上存在损伤的情况中的超声波U的波形相互不同的情况，判定检查区域R中有无损伤。更具体地说，在与超声波传感器3检测的超声波U对应的波形的、自作为基准的波形的变化量大的情况下，可以判定为在超声波U的传播路径上存在损伤。
因此，重要的是，即使是超声波振子2和超声波传感器3之间的距离较长的情况，也能够以充分的精度检测超声波U的波形的变化。试验的结果确认以下情况，若向存在损伤的检查区域R发送频带为50kHz以上500kHz以下的超声波U，则通过损伤部分的超声波U的波形变化到可观测到的程度。特别是还确认，若向存在损伤的检查区域R发送频带为50kHz以上150kHz以下的超声波U，则超声波U的衰减较少，能够以实用上的SNR和精度检测出通过损伤部分的超声波U的波形变化。认为该结果是共通的，而与传播超声波U的材质为金属或复合材料无关。
因此，优选从各超声波振子2发送频率为50kHz以上500kHz以下的超声波U。特别是从进一步高精度地检测检查区域R中有无损伤的观点来看，优选的是从各超声波振子2发送频率为50kHz以上150kHz以下的超声波U。
另外，在用共同的超声波传感器3接收从多个超声波振子2发送的超声波U的情况或相反地用多个超声波传感器3接收从单一的超声波振子2发送的超声波U的情况下，重要的是，超声波U一边充分地扩展一边在检查对象品W中进行传送。另一方面，若超声波U是没有指向性的球面波，则来自无意图的方向的超声波的反射波或杂音有可能被超声波传感器3接收。因此，从维持SNR及精度、且用超声波传感器3可接收从不对向的超声波振子2发送的超声波U的观点来看，重要的是发送具有适当程度的指向性的超声波U。
另外，从提高由超声波传感器3接收的超声波U的SNR及精度的观点来看，有效的是使用兰姆(Lamb)波。即，优选从各超声波振子2作为超声波U发送兰姆波。兰姆波是在超声波U的波长的一半以下的薄板中沿面内方向传播的波，且是对称模式和非对称模式混杂的波。
作为用于发送超声波U的超声波振子2，可以使用锆钛酸铅(PZT：lead zirconatetitanate)等压电元件。另一方面，作为用于检测超声波U的超声波传感器3，可以使用压电元件等的超声波振子或光纤传感器等传感器。
在使用超声波振子作为超声波传感器3的情况下，在超声波振子中，超声波信号被转换为电信号。另一方面，在使用光纤传感器作为超声波传感器3的情况下，在光纤传感器中，超声波信号被转换为光信号。具体地说，当由于超声波U产生的振动使光纤传感器产生微小的变形时，光纤传感器的光学特性根据变形量而变化。其结果是，能够从光纤传感器输出具有与超声波信号的振幅相应的振幅的光信号。
但是，若使用超声波振子作为超声波传感器3，则在发送具有自共振频率大幅移位的频率的超声波U的情况下，有可能不能以充分的灵敏度接收超声波U。相对于此，光纤传感器是对于灵敏度没有频率依存性的超声波传感器3。因此，如果使用光纤传感器作为超声波传感器3，则与使用超声波振子作为超声波传感器3的情况相比，能够以高灵敏度检测更宽带域的超声波U。
另外，光纤传感器具有接收指向性。因此，如果使用光纤传感器作为超声波传感器3，则可以避免自不必要的方向传播的超声波U的检测，从而可以有选择地检测必要的超声波信号。
因此，最佳条件是使用光纤传感器作为超声波传感器3。在具有接收指向性的光纤传感器被用作超声波传感器3的情况下，需要以自超声波振子2发送的超声波U的传播区域和可通过光纤传感器检测超声波U的区域重叠的方式配置超声波振子2及光纤传感器。
作为光纤传感器的例子，举出FBG传感器或相移FBG(PS－FBG：Phase－shiftedFBG)传感器。PS－FBG是在折射率的周期性的变动中导入了局部的相移的FBG。
如以上所述，只要从多个方向向检查区域R发送扇状前进的有指向性的兰姆波即频率为50kHz以上150kHz以下的兰姆波，并用多个光纤传感器检测经过检查区域R的兰姆波，就能够进行非常宽范围的探伤检查。
如果超声波传感器3为超声波振子，则在超声波传感器3中被检测的超声波U被转换为电信号，如果超声波传感器3为光纤传感器，则在超声波传感器3中被检测的超声波U被转换为光信号，向损伤检测部4输出。以后，以超声波传感器3是光纤传感器的情况为例进行说明。
损伤检测部4是用于基于与超声波传感器3检测到的超声波U对应的波形和作为基准的波形之间的变化量，检测检查区域R中有无损伤的构成要素。在损伤检测部4，也可以设置各种信号处理功能，以便即使是像超声波振子2及超声波传感器3被配置于分离开超过300mm的位置的情况那样，检查区域R较宽的情况，也能够以充分的精度捕捉超声波U的波形的变化。特别是只要对于由超声波传感器3检测到的超声波U执行适当的信号处理，即使是超声波振子2及超声波传感器3被配置于分离开1000mm以上的位置的情况，也可以使其处于能够捕捉超声波U的波形的变化的范畴。
图3是表示图1所示的损伤检测部4的详细构成例的功能块图。
损伤检测部4可以使用光源6、光循环器7、光过滤器8、光电转换器9、A/D(模拟-数字)转换器10、信号处理电路11、显示装置12及存储装置13构成。信号处理电路11通过执行程序而作为加法平均化(平均)处理部11A、过滤处理部11B、移动平均化处理部11C、傅里叶变换(FT：Fourier transform)部11D、包络线检波处理部11E及波形比较部11F发挥作用。由信号处理电路11执行的程序可以保存于存储装置13以在信号处理电路11执行程序时读入，也可以将程序存储于信号处理电路11本身。
自光源6出射的激光经由光循环器7向作为光纤传感器的一例的FBG传感器3A入射。被FBG传感器3A反射的反射光，经由光循环器7向光过滤器8入射。透过光过滤器8的反射光被输出至光电转换器9。
当超声波U向FBG传感器3A传播时，由于FBG传感器3A产生微小的变形，所以FBG传感器3A的光反射特性根据变形量而变化。因此，在FBG传感器3A中反射的反射光的波长分布，对应超声波U的振幅而变化。由此，超声波U的强度的振动被转换为光信号的波长的振动。在FBG传感器3A中获得的光信号，通过光过滤器8后输出至光电转换器9。
光过滤器8可以根据需要而设置。光过滤器8是限制光信号的波长带域的光学元件。作为被用作光过滤器8的光学元件的例子，举出阵列波导光栅(AWG：Arrayed WaveguideGrating)、FBG或者PS－FBG。
图4是说明通过图3所示的光过滤器8将光信号的振幅放大的原理的图。
在图4中，横轴表示光的波长，纵轴表示FBG传感器3A中的光的反射率及被用作光过滤器8的AWG的光的透过率。另外，在图4中，实线表示FBG传感器3A中的光的反射率，虚线表示AWG中的光的透过率。
自FBG传感器3A输出的光信号的波长谱，成为与由图4的实线例示的FBG传感器3A中的光的反射率对应的谱。而且，如上述自FBG传感器3A输出的光信号，成为像由图4的实线例示的那样的波长谱的波长进行振动的光信号。
另一方面，AWG的光透过特性被调整为由图4的虚线例示的那样的特性。即，以自FBG传感器3A输出的光信号的波长谱和AWG的光透过率部分地重叠的方式，决定FBG传感器3A的光反射率及AWG的光透过率。
这样一来，透过AWG的光信号的强度根据向AWG入射的光信号的波长而变化。其结果是，能够将波长振动的光信号转换为强度振动的光信号。AWG的光透过率如图4所例示的那样，被设定为在FBG传感器3A中的光反射率的峰的两侧出现两个峰。因此，AWG的透过光成为具有波长不同的两个成分的光。另外，处于一个成分的强度越大，另一个成分的强度越小的关系。因此，如果将AWG的透过光中所包含的两个成分的差量作为自AWG输出的光信号，就能够获得强度振动、其振幅被放大的光信号。
再者，也可以将FBG或者PS－FBG用作光过滤器8。在该情况下，只要使FBG传感器3A的光反射率和FBG或者PS－FBG的光透过率重叠即可。特别是PS－FBG使光透过率及光反射率出现非常尖的峰。因此，只要将PS－FBG用作光过滤器8，就能够将光信号的振幅进一步放大。
另外，在图3所示的例子中，将来自FBG传感器3A的反射光作为光信号，但也可以将FBG传感器3A的透过光作为光信号。另一方面，关于光过滤器8，不仅可以将透过光作为输出信号，也可以将反射光作为输出信号。因此，以自光过滤器8输出的光信号的振幅被放大的方式，来决定FBG传感器3A及光过滤器8的光学特性。
这样，若在FBG传感器3A的输出目的地设置光过滤器8，就能够将波长对应超声波U的强度的振动而变化的光信号，转换为光强度对应超声波U的强度的振动而变化的光信号。并且，相比光信号的波长的变化量，能够增大光强度的变化量。换句话说，能够将光信号的振动的变化量实质性地放大。其结果是，可以以极其高灵敏度地检测光信号。
因此，从更高灵敏度地检测超声波U的观点出发，优选在FBG传感器3A的输出目的地设置光过滤器8，该过滤器8将自FBG传感器3A作为光的波长的振动输出的超声波检测信号转换为按照振幅更大的光强度的振动的超声波检测信号。
光电转换器9将自FBG传感器3A通过光过滤器8输出的光信号转换为模拟的电信号。在光电转换器9中所生成的模拟的电信号，在A/D转换器10中被转换为数字的电信号后，输出至信号处理电路11。
加法平均化处理部11A具有执行被转换为电信号的超声波信号的加法平均化处理的功能。因此，在执行加法平均化处理的情况下，被执行必要次数的超声波U的发送及检测。而且，经过多次所检测的超声波信号被加在一起。由此，能够降低与超声波信号重叠的随机的噪音。
再者，也可以对A/D转换前的模拟的超声波信号执行加法平均化处理。在该情况下，用于执行加法平均化处理的模拟信号的处理电路作为加法平均化处理部11A被设置在A/D转换器10的前段。
过滤处理部11B具有对超声波信号实施使用LPF(低通滤波器，Low Pass Filter)或HPF(高通滤波器，High Pass Filter)等进行的过滤处理的功能。通过该过滤处理能够去除与特定的频带重叠的噪音。
移动平均化处理部11C具有执行超声波信号的移动平均化处理的功能。移动平均化处理是将作为对象的数据的最近的n个数据的平均值设定为作为对象的数据的值的处理。不带有加权地求得平均值的移动平均处理，称为简单移动平均(SMA：Simple MovingAverage)处理。若对超声波信号进行简单移动平均处理等移动平均处理，则能够进行超声波信号的波形的平滑化。因此，能够降低与超声波信号重叠的周期性的噪音。
若减小作为移动平均化处理的参数的数据数n的值，则可减少超声波信号的清晰度的劣化，而降噪效果减少。相反，若增大数据数n的值，则超声波信号的清晰度减少，而降噪效果提高。
因此，可以通过试验等经验性地决定适当的数据数n的值。或者，也可以在进行移动平均化处理时，用手工操作对数据数n的值进行可变设定。在该情况下，也可以在显示装置12显示用于作为UI(用户接口，user interface)可变设定数据数n的值的滚动条。由此，可以更高灵敏度地捕捉超声波信号的波形的变化。
再者，也可以对于与超声波传感器3检测的超声波U对应的超声波信号的波形实施移动平均化处理以外的平滑化处理。
只要作为噪音去除处理执行这样的加法平均化处理、过滤处理及平滑化处理中的至少之一项，就能够提高SNR。特别是可确认，只要对被作为光过滤器8的AWG放大的超声波信号执行至少加法平均化处理及移动平均化处理，即使超声波振子2及超声波传感器3配置于分离开1000mm以上的位置的情况，也能够以充分的SNR检测兰姆波的振幅的变动。
波形解析部11D具有通过进行超声波信号的傅里叶变换或小波变换等频率解析处理而取得与多个频带对应的信号波形的功能。只要取得与多个频带对应的信号波形，就能够将更简单的波形作为对象来检测波形的变化。另外，能够将特定的频带作为对象，检测波形的变化。因此，能够进一步提高损伤的有无的检测灵敏度。
包络线检波处理部11E具有执行超声波信号的包络线检波处理的功能。只要进行包络线检波就能够提高波形的解析精度。
以上的各种信号处理可以根据所要求的损伤的检测灵敏度任意地选择、执行。另外，各种信号处理的顺序可以在原理上的且实用上的范围任意决定。作为典型的一例，可以按照加法平均化处理、过滤处理、移动平均化处理、傅里叶变换或小波变换等频率解析处理、包络线检波处理的顺序执行信号处理。
波形比较部11F具有通过将作为在检查区域R不存在损伤的情况中的波形事先取得的成为基准的波形、和与超声波传感器3检测的超声波U对应的波形进行比较，而判定检查区域R是否存在损伤的功能。再者，也可以是波形比较部11F使作为基准的波形和与超声波传感器3检测的超声波U对应的波形分别显示于显示装置12，用户用肉眼判定检查区域R是否存在损伤。
在对与超声波传感器3检测的超声波U对应的超声波信号执行上述的信号处理的情况下，从高精度地检测存在损伤的情况中的波形的变化的观点出发，优选对于在检查区域R不存在损伤的情况中的超声波信号的基准波形也实施同样的信号处理。
图5是在图1所示的损伤检测部4表示作为比较对象的超声波信号的波形的一例的图。
在图5(A)、(B)中，各纵轴表示由超声波传感器3检测的超声波信号的相对振幅(相对强度)，各横轴表示超声波U自发送定时起的经过时间。图5(A)表示超声波信号的波形，该超声波信号包含将没有损伤的检查区域R作为对象并且通过超声波传感器3检测出的超声波U，图5(B)表示超声波信号的波形，该超声波信号包含将存在损伤的检查区域R作为对象并且利用超声波传感器3检测出的超声波U。在图5(A)、(B)中，实线表示进行加法平均化处理及移动平均化处理而获得的超声波信号，单点划线表示进行加法平均化处理及移动平均化处理而获得的超声波信号的通过包络线检波而得到的超声波信号的包络线。再者，在进行其他信号处理的情况下，可获得对应各自的信号处理的波形。
如图5(A)、(B)所示，透过检查区域R的超声波U的波形根据检查区域R中有无损伤而变化。于是，可以将处于没有损伤的状态的检查区域R作为对象，事先取得超声波信号的波形。与没有损伤的检查区域R对应的超声波的波形，可以作为基准波形存储于存储装置13。
这样一来，基于产生了损伤的情况中的超声波信号的波形自基准波形的变化，即可检测检查区域R中有无损伤。产生了损伤的情况中的超声波信号的波形自基准波形的变化的程度，可以用相互相关系数或平方误差等指标来表示。关于波形的比较，以包络线为对象进行的比较是在精度上实用的。
但是，超声波信号中与超声波U对应的部分有时也成为超声波信号的一部分。于是，也可以基于超声波振子2和超声波传感器3之间的距离、超声波U的发送定时及音速，特定与超声波U对应的部分的时间范围，抽出特定的部分进行波形的比较。这种比较对于各种信号处理也一样。即，也可以抽出超声波信号中与被接收的超声波U对应的部分，对抽出的部分进行加法平均化处理等信号处理。
一旦求得表示产生了损伤的情况中的超声波信号的波形自基准波形的变化量的指标，就能够通过针对指标的阈值处理自动地判定损伤的有无。具体地说，在波形的变化量为阈值以上的情况或超过阈值的情况下，可以判定为检查区域R存在损伤。因此，通过在波形比较部11F设置这种运算功能，能够在波形比较部11F自动地检测检查区域R存在的损伤。
在从配置在不同的位置的多个超声波振子2依次发送超声波U的情况下，多个超声波U被单一超声波传感器3或多个超声波传感器3依次接收。在该情况下，对多个超声波信号依次执行信号处理。然后，基于与超声波传感器3检测的各超声波U对应的超声波信号的波形和作为基准的波形之间的变化量，来检测检查区域R中有无损伤。
在超声波U的传播路径不同的情况下，通常，超声波信号的波形也产生变化。因此，在将与从多个位置发送的超声波U对应的超声波信号的波形分别与基准波形比较的情况下，从精度提高的观点出发，优选在每个发送超声波U的位置也求得基准波形。换句话说，优选的是，基于与超声波传感器3检测的各超声波U对应的超声波信号的波形、和各自的作为基准的波形之间的各变化量，检测检查区域R中有无损伤。
在波形比较部11F中被比较的超声波信号的波形，成为对应所适用的信号处理的波形。例如，如果是通过针对与超声波传感器3检测的超声波U对应的超声波信号的波形的傅里叶解析，取得与单一或多个频带对应的波形的情况，则基于与所取得的单一或多个频带对应的波形、和对应的单一或多个频带中的成为基准的波形之间的各变化量，检测检查区域R中有无损伤。另外，如果是对与超声波传感器3检测的超声波U对应的超声波信号的波形执行加法平均化处理及求得移动平均所产生的降噪处理的情况，则基于通过加法平均化处理及求得移动平均所产生的降噪处理而得的波形、和通过加法平均化处理及求得移动平均所产生的降噪处理而得到的作为基准的波形之间的变化量，检测检查区域R中有无损伤。
在只设置有一对超声波振子2及超声波传感器3的情况下，可以基于超声波信号的波形的变化量，判定在连结超声波振子2和超声波传感器3的直线上的范围是否存在损伤。
与此相对，在用至少一个超声波传感器3检测来自多个超声波振子2的各超声波U的情况下，可以判定在连结多个超声波振子2和至少一个超声波传感器3的多个直线上的范围是否存在损伤。因此，可以特定存在损伤的单一或多个直线状的范围。因此，不仅可以检测损伤的有无，而且可以检测损伤的存在范围。
于是，在用至少一个超声波传感器3检测来自多个超声波振子2的各超声波U的情况下，波形比较部11F也可以基于与超声波传感器3检测的各超声波U对应的波形、和成为各自的基准的波形之间的各变化量，检测检查区域R中有无损伤及存在范围中的至少一项。
在检测了检查区域R中有无损伤及存在范围中的至少一项时，则可以将检查区域R缩小，进行再次探伤检查。例如，如果是只设置有一对超声波振子2及超声波传感器3的情况，则可以将超声波振子2和超声波传感器3之间的距离缩短后再进行检查。另一方面，如果是用至少一个超声波传感器3检测来自多个超声波振子2的各超声波U的情况，则可以将判定为中间存在损伤的超声波振子2和超声波传感器3之间的距离缩短后再进行检查。换句话说，可以设定更窄的检查区域R进行探伤检查。
在检查区域R被发现损伤的情况下或通过将检查区域R反复缩小进行探伤检查而充分地缩小了损伤的存在范围的情况下，可以通过能够检测损伤的位置的其他探伤方法进行探伤检查。例如，可以检测从检查区域R反射的超声波的反射波的波峰，基于从超声波的发送定时到反射波的波峰的接收定时的经过时间和音速而检测损伤的位置。换句话说，利用透过检查区域R的超声波U，掌握损伤的有无及大致的损伤的位置，在被检测到损伤的情况下，可以通过更精密的探伤法进行探伤检查。
因此，在波形比较部11F，也可以设置基于从检查区域R反射的超声波的反射波的波形而检测损伤的位置的功能。或者，也可以在波形比较部11F设置通过其他超声波探伤法检测损伤的位置或者尺寸等的功能。
再者，若向存在损伤的检查区域发送频带为50kHz以上150kHz以下的频率比较低的超声波，则通过实验确认，在损伤部分反射而产生的反射波的振幅增大。特别是，若向存在损伤的检查区域发送频带为75kHz以上125kHz以下的超声波，则可确认，SNR良好的超声波反射波在损伤部分反射。因此，只要向存在损伤的检查区域发送频带为75kHz以上125kHz以下的超声波，就能够以实用上的精度检测超声波反射波。
图6是表示图1所示的控制系统5的详细构成例的图。
控制系统5可以用输入装置14、信号生成部15及放大器(增幅器)16构成。信号生成部15中进行数字信号处理的部分，可以由执行程序的处理电路来构建。因此，也可以将信号生成部15的对数字信息进行处理的部分与信号处理电路11一体化。
信号生成部15具有按照从输入装置14输入的指示信息生成发送信号作为电信号的功能、和通过放大器16向被选择的超声波振子2外加所生成的发送信号的功能。再者，也可以向成为发送信号的输出对象的多个超声波振子2，自动地依次输出发送信号。在该情况下，为了自动地设定发送信号的输出定时，也可以在信号生成部15和信号处理电路11之间执行同步处理。
放大器16是为了从超声波振子2发送具有足够的强度的超声波U，将外加在超声波振子2的电压放大的电路。实际上确认，通过在超声波振子2外加被放大器16放大后的发送信号，则可使用配置于自超声波振子2分离开1000mm以上的位置的超声波传感器3，以充分的SNR接收超声波U。
具有如以上所述的构成的超声波探伤系统1，除了用于在检查对象品W制造时的检查用以外，还可以作为零件一直安装在检查对象品W上。该情况下，能够定期地检查检查对象品W是否产生了损伤。
特别是，在检查对象品W是翼结构或壳体等航空器结构体的情况下，可以将超声波探伤系统1作为零件安装于航空器结构体。该情况下，在进行航空器飞行后的检查或保养时，能够使用超声波探伤系统1简单地检查航空器结构体中有无损伤。并且，能够扩大超声波振子2及超声波传感器3的间隔，因此，即使是尺寸大的航空器结构体，也能够减少超声波振子2及超声波传感器3的数量。其结果是，不会招致航空器的重量的极端的增加就能够将超声波探伤系统1安装在航空器结构体上。
(动作及作用)
接着，对使用超声波探伤系统1的检查对象品W的超声波探伤方法进行说明。
图7是表示通过图1所示的超声波探伤系统1进行被检查对象的检查区域中的探伤检查时的流程的一例的流程图。
首先，在步骤S1中，朝向不存在损伤的检查对象品W的检查区域R发送超声波U，在能够接收透过检查区域R的超声波U的位置配置超声波振子2及超声波传感器3。超声波振子2和超声波传感器3之间的距离可以设定为超过300mm。特别是，通过适当地设定超声波U的频率或特性等条件及超声波信号的信号处理的条件，也可以在分离开1000mm以上的位置配置超声波振子2和超声波传感器3。
在检查区域R的尺寸较大的情况下，优选以围绕检查区域R的方式配置多个超声波振子2及多个超声波传感器3。即，重要的是以使通过检查区域R的超声波U的路径变得足够密集的方式，配置多个超声波振子2及多个超声波传感器3。另外，从使超声波U的路径密集的观点出发，将两组超声波振子2及超声波传感器3相互逆向配置也有效。
另外，理想的是，在对应检查对象品W的结构的适当的位置配置超声波振子2及超声波传感器3。例如，如果是像在面板上设有纵梁的航空器的翼结构体或壳体那样，检查对象品W具有在板状的零件W1上设有至少一个长条结构物W2的结构的情况，则优选如图1及图2所例示的那样，在至少一个长条结构物W2的两侧，分别配置至少一对超声波振子2及超声波传感器3。这是因为，如果像这样配置超声波振子2及超声波传感器3，即使是透过长条结构物W2的超声波U的强度不充分的情况，也可以利用各超声波传感器3在被长条结构物W2隔开的各区域中检测具有充分的强度的超声波U。
进而，如果是检查对象品W具有在板状的零件W1上设有多个长条结构物W2的结构的情况，则优选如图1及图2所例示的那样，在邻接的至少两个长条结构物W2之间配置至少一对超声波振子2及超声波传感器3。因为如果像这样配置超声波振子2及超声波传感器3，在邻接的长条结构物W2之间，超声波U一边反射一边从超声波振子2朝向超声波传感器3传播，可减少超声波U的衰减量。
另外，从以良好的SNR高灵敏度地检测超声波U的观点出发，优选使用FBG传感器3A或PS－FBG传感器等光纤传感器作为超声波传感器3。于是，在此，对超声波传感器3为FBG传感器3A的情况进行说明。
接着，在步骤S2中，取得与通过没有损伤的检查区域R的超声波U对应的超声波信号的基准波形。为此，从超声波振子2朝向没有损伤的检查对象品W的检查区域R，发送频率为50kHz以上500kHz以下、更优选频率为50kHz以上150kHz以下的超声波U。另外，从以良好的SNR检测在宽的检查区域R传播的超声波U的观点出发，优选的条件是，超声波U为兰姆波、及扇状前进的有指向性的超声波U。
另外，在设置多个超声波振子2的情况下，从各超声波振子2依次发送超声波U。而且，通过检查区域R的超声波U由超声波传感器3来检测。在设置多个超声波传感器3的情况下，从单一或多个超声波振子2发送的超声波U，在能够进行检测的各超声波传感器3中被检测到。
在单一或多个超声波传感器3中所检测到的超声波U被输出至损伤检测部4。在损伤检测部4，伴随必要的信号处理来检测与超声波U对应的超声波信号的波形。作为适合先于超声波信号的波形的检测所执行的信号处理，举出：将光信号的波长的振动转换为强度的振动的光信号的过滤处理、加法平均化处理、用于降低噪音的过滤处理、移动平均化处理、傅里叶变换等的波形解析处理及包络线检波处理。
被检测到的超声波信号的波形作为基准波形存储于损伤检测部4的存储装置13。因此，在检测到波形不同的多个超声波信号的情况下，将其分别作为基准波形存储于损伤检测部4的存储装置13。当每个超声波U的传播路径的基准波形被存储于存储装置13时，可以开始检查对象品W的探伤检查。
例如，如果是进行检查对象品W的量产时的探伤检查的情况，可以将大量检查对象品W作为对象开始依次探伤检查。另一方面，如果是将超声波探伤系统1作为零件或临时性的配件安装在检查对象品W的情况，可以在定期检查时等所希望的时期开始进行探伤检查。
在进行探伤检查的情况下，在步骤S3中，在和用于取得基准波形的条件同样的条件下，由至少一个超声波振子2朝向检查对象品W的检查区域R发送超声波U。在多个超声波振子2设置于检查对象品W的情况下，从各超声波振子2依次发送超声波U。
这样一来，在步骤S4中，可以由配置于距超声波振子2离开比300mm长的距离的位置的至少一个超声波传感器3，检测通过检查区域R的超声波U。在由多个超声波振子2从不同的位置朝向检查区域R发送超声波U的情况下，通过了检查区域R的、来自多个超声波振子2的各超声波U，由至少一个超声波传感器3来检测。由被用作超声波传感器3的FBG传感器3A检测的超声波U，作为对应超声波U的强度的振动的波长振动的光信号输出至损伤检测部4。
接着，在步骤S5中，自FBG传感器3A输出的光信号，经由光循环器7向光过滤器8入射。而且，波长振动的光信号被转换为强度以更大的振幅振动的光信号。由此，实质上，光信号被放大。自光过滤器8输出的光信号，在光电转换器9中被转换为电信号，在A/D转换器10中被数字化。被数字化的电信号作为超声波检测信号输出至信号处理电路11。
接着，在步骤S6中，由加法平均化处理部11A来执行超声波检测信号的加法平均化处理。接着，在步骤S7中，由过滤处理部11B执行使用LPF或HPF的超声波检测信号的过滤处理。接着，在步骤S8中，作为用于使超声波检测信号的噪音降低的平滑化处理，由移动平均化处理部11C执行移动平均化处理。接着，在步骤S9中，由波形解析部11D执行超声波检测信号的傅里叶变换处理等波形解析处理。接着，在步骤S10中，由包络线检波处理部11E执行超声波检测信号的包络线检波处理。
通过针对光信号及电信号的这些信号处理，可以获得能够以极其良好的SNR高灵敏度地检测自基准波形的变化的超声波信号的波形。再者，也可以根据探伤检查所要求的精度，省略局部的信号处理，或相反地追加其他的信号处理。另外，也可以在可能的范围改变信号处理的顺序。特别是作为对电信号的信号处理，从高灵敏度地检测波形的变化的观点出发，重要的是进行傅里叶解析及求得移动平均所产生的降噪处理中的至少一项。
接着，在步骤S11中，由波形比较部11F进行信号处理后的超声波信号的波形和基准波形的比较。而且，基于与超声波传感器3检测的超声波U对应的超声波信号的波形和作为基准的波形之间的变化量，检测检查区域R中有无损伤。即，在与超声波传感器3检测的超声波U对应的超声波信号的波形和作为基准的波形之间的变化量超过规定的基准值的情况或为规定的基准值以上的情况下，判定为超声波U的传播路径中存在损伤。
在获得了与从多个超声波振子2发送的超声波U对应的多个超声波信号的波形的情况下，多个超声波信号的波形与分别对应的基准波形相比较。因此，能够判定多个超声波U的传播路径上各自是否存在损伤。其结果是，通过严格区别存在损伤的超声波U的传播路径和不存在损伤的超声波U的传播路径，可以检测损伤的存在范围。
通过对于由超声波传感器3检测的超声波U的波形的傅里叶解析而取得与多个频带对应的波形的情况下，能够基于与所取得的多个频带对应的波形、和对应的多个频带中的作为基准的波形之间的各变化量，更高精度地检测检查区域R中有无损伤。另外，在通过对于由超声波传感器3检测的超声波U的波形的傅里叶解析而取得与特定的频带对应的单一的波形的情况下，能够基于所取得的单一的波形和对应的作为基准的波形之间的变化量，更高精度地检测检查区域R中有无损伤。
接着，在步骤S12中，判定在检查区域R是否被检测到损伤。该判定也可以由用户进行。在检查区域R未检测到损伤的情况下，可以在适当的时期再一次进行来自步骤S3的同样的探伤检查。例如，只要是对多个检查对象品W依次进行检查的情况，就能够以下一个检查对象品W作为对象再次进行探伤检查。另一方面，只要是将超声波探伤系统1作为零件或临时的配件安装在检查对象品W的情况，就能够在下一次的定期检查时等所希望的时期再次进行探伤检查。
在检查区域R被检测到损伤的情况下，在步骤S13中，设定包含所检测到的损伤、且比检查区域R窄的新的检查区域。以新的检查区域为对象的探伤检查，也可以使用超声波探伤系统1来实施，或者也可以使用其他的超声波探伤系统或超声波探伤系统以外的探伤系统来实施。
如使用同一超声波探伤系统1依次检查多个检查对象品W的情况那样，在将超声波振子2及超声波传感器3从检查对象品W容易地卸下的情况下，可以通过变更超声波振子2及超声波传感器3的位置而设定新的检查区域。另一方面，在使用其他探伤系统进行新的检查区域的探伤检查的情况下，配置必要的传感器，以便能够以新的检查区域为对象进行损伤的传感。
接着，在步骤S14中，以新的检查区域为对象进行损伤的非破坏检查。在使用同一超声波探伤系统1进行以新的检查区域为对象的损伤的非破坏检查的情况下，也可以设定为基于透过新的检查区域的超声波U的波形的自基准波形的变化，进行检测损伤的有无的如上所述的检查。该情况下，可以通过反复进行超声波探伤检查而使检查区域逐渐地缩小。
另一方面，还能够进行其他任意的非破坏检查。例如，在像损伤的检查区域为100mm以下的情况那样，损伤的检查区域被充分地缩小的情况下，作为对新的检查区域的损伤的非破坏检查，也可以基于来自新的检查区域的超声波的反射波执行检测损伤的位置的检查。即，可以基于超声波的发送定时、在新的检查区域反射的反射波的峰的到达时刻及音速，检测损伤的位置。
如以上所述的超声波探伤系统1及超声波探伤方法，从SNR提高及高灵敏度化的观点出发，在更有效的条件下向检查区域R发送超声波U，且对与超声波传感器3检测的超声波U对应的光信号及电信号实施有效的信号处理，即使是米级的检查区域R也可检测探伤的有无。
(效果)
因此，根据超声波探伤系统1及超声波探伤方法，可以使用少量的超声波传感器3，将比目前的检查区域宽的检查区域R作为对象高精度地探测损伤的有无。换言之，在将宽的检查区域R作为对象检查损伤的有无的情况中，可避免超声波振子2及超声波传感器3的数量极端地增加。
以往采用的是通过检测损伤部位反射的超声波的反射波而高精度地检测损伤的位置或尺寸的方法。但是，为了高精度地检测损伤的位置或尺寸，必须检测损伤部位反射的超声波的反射波。该情况下，只能检测超声波的前进方向上存在的、且近距离存在的损伤。换句话说，若要高精度地检测损伤的位置或尺寸，则难以进行宽范围的损伤的检测。
与此相对，超声波探伤系统1及超声波探伤方法，不是高精度地检测损伤的位置或尺寸，而是简易地检测检查区域R是否存在损伤。因此，可以进行非常宽范围的探伤检查。并且，能够将进行用于检测损伤的位置或尺寸的精密的检查限定于在发现损伤的情况下。其结果是，不必总是使用用于检测损伤的位置或尺寸的复杂的超声波探伤系统，就能够进行检查对象品W的探伤检查。因此，能够减少检查对象品W的全部检查所花费的时间、劳力及成本。
另外，只要作为航空器结构体的零件安装超声波探伤系统1，就能够在航空器的定期检查时，容易地诊断安装了超声波探伤系统1的航空器结构体是否发生了损伤。并且，可避免超声波振子2及超声波传感器3的数量的极端的增加，因此也可避免航空器的重量极端的增加。
以上，对特定的实施方式做了记载，但所记载的实施方式只不过是一例，并不限定发明的范围。在此所记载的新的方法及装置可以用各种各样的其他样式进行体现。另外，在此所记载的方法及装置的样式，在不脱离发明的要旨的范围，可以进行各种的省略、置换及变更。所附的权项及其等同物作为被包含于发明的范围及要旨的内容，包含如此的各种样式及变形例。

Claims (15)

1.一种超声波探伤系统，包括：
至少一个超声波振子，其朝向检查区域发送超声波；
至少一个超声波传感器，其检测通过所述检查区域的所述超声波；以及
损伤检测部，其基于与由所述超声波传感器检测的所述超声波对应的波形和作为基准的波形之间的变化量，检测所述检查区域中有无损伤，
其中，将至少一个超声波振子和至少一个超声波传感器配置于分离开比300mm更长的距离的位置。
2.根据权利要求1所述的超声波探伤系统，其中，
所述损伤检测部通过对与由所述超声波传感器检测的所述超声波对应的波形的傅里叶变换或小波变换而取得与单一或多个频带对应的波形，并且基于与所取得的所述单一或多个频带对应的波形和对应的单一或多个频带中的作为基准的波形之间的变化量，检测所述检查区域中有无损伤。
3.根据权利要求1或2所述的超声波探伤系统，其中，
所述损伤检测部基于作为基准的波形和通过对于与由所述超声波传感器检测的所述超声波对应的波形执行加法平均化处理及求得移动平均所产生的降噪处理而得的波形之间的变化量，检测所述检查区域中有无损伤。
4.根据权利要求1或2所述的超声波探伤系统，包括：
从不同的位置朝向检查区域发送超声波的多个超声波振子；以及
检测通过了所述检查区域的、来自所述多个超声波振子的各超声波的至少一个超声波传感器，
其中，所述损伤检测部基于与由所述超声波传感器检测的所述各超声波对应的波形和作为各自的基准的波形之间的各变化量，检测所述检查区域中有无损伤以及存在范围中的至少一项。
5.根据权利要求1或2所述的超声波探伤系统，其中，
所述超声波振子被构成为发送频率为50kHz以上150kHz以下的超声波。
6.根据权利要求1或2所述的超声波探伤系统，其中，
所述超声波振子被构成为发送兰姆波作为所述超声波。
7.根据权利要求1或2所述的超声波探伤系统，其中，
所述超声波振子被构成为发送扇状前进的有指向性的超声波。
8.根据权利要求1或2所述的超声波探伤系统，其中，
作为所述超声波传感器，使用光纤传感器。
9.根据权利要求8所述的超声波探伤系统，其中，
设有光过滤器，所述光过滤器将从所述光纤传感器作为光的波长的振动输出的超声波检测信号，转换为按照振幅更大的光强度振动的超声波检测信号。
10.一种航空器结构体，其安装有权利要求1～9中任一项所述的超声波探伤系统。
11.根据权利要求10所述的航空器结构体，其中，具有在板状的零件上设置多个长条结构物的结构，在邻接的至少两个长条结构物之间配置有至少一对超声波振子及超声波传感器。
12.一种超声波探伤方法，包括：
由至少一个超声波振子朝向检查区域发送超声波的步骤；
用配置在自所述超声波振子离开比300mm更长的距离的位置的至少一个超声波传感器检测通过所述检查区域的所述超声波的步骤；以及
基于与由所述超声波传感器检测的所述超声波对应的波形和作为基准的波形之间的变化量，检测所述检查区域中有无损伤的步骤。
13.一种超声波探伤方法，包括：
由至少一个超声波振子朝向检查区域发送超声波的步骤；
用至少一个超声波传感器检测通过所述检查区域的所述超声波的步骤；
基于与由所述超声波传感器检测的所述超声波对应的波形和作为基准的波形之间的变化量，检测所述检查区域中有无损伤的步骤；以及
在所述检查区域被检测到损伤的情况下，设定包含被检测到的所述损伤、且比所述检查区域窄的新的检查区域并进行所述损伤的非破坏检查的步骤。
14.根据权利要求13所述的超声波探伤方法，其中，
基于来自所述新的检查区域的超声波的反射波进行检测所述损伤的位置的检查，来作为对所述新的检查区域的所述损伤的非破坏检查。
15.根据权利要求12～14中任一项所述的超声波探伤方法，其中，
在具有在板状的零件上设有至少一个长条结构物的结构的检查对象品上配置多个超声波振子及多个超声波传感器，在至少一个长条结构物的两侧分别配置至少一对超声波振子及超声波传感器。
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