CN106216276A - 一种单金硅硅体切割切片机的清洗方法 - Google Patents
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Abstract
一种单金硅硅体切割切片机的清洗方法，涉及硅材料加工技术领域，通过拆卸，清水冲洗，油液保护后，安装磨合，即可。本发明的有益效果为：本发明工艺流程简单，通过合理精细的清理方式，可以保证切片机的实际清理效果，保证了切片机的应用精度，保证了硅片切割中众，硅片切割后的平整度，效果显著。
Description
技术领域
本发明涉及硅材料加工技术领域，具体涉及一种单金硅硅体切割切片机的清洗方法。
背景技术
硅片是硅材料存在的一种物理形式，在正常的应用中，硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力，科学技术的发展不断推动着半导体的发展，自动化和计算机等技术发展，使硅片这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度，然而硅片在加工时，不同的工艺节点都会使得硅片加工出现瑕疵。
硅片一般都是通过相应的硅碇进行切片而成，在切割时候，采用的切割机精密度较高，这样才能保证硅片切割后，精密度的需求，因此如何进行切割机的正常维护保养是相对较为关键的一步，现有的技术中，都是普通的清水冲洗，这样的处理方式无法得到其实际的效应，长久下去，会造成切割机性能下降，导致其实际的损伤，同时采用此种损伤后的切割机进行硅片切割，会造成硅片的精度大打折扣。
发明内容：
本发明所要解决的技术问题在于提供一种方法简单，清洗效果显著的单金硅硅体切割切片机的清洗方法。
本发明所要解决的技术问题采用以下技术方案来实现：
一种单金硅硅体切割切片机的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)采用铲刀将沉淀及附着在机器内的废砂产出，若干较细废砂点，采用钢丝球轻轻擦拭，直至完全脱离；
2)将内部的过滤网、砂浆管及可拆部件取出，然后采用清水将机器本体进行一次全面冲洗，而后再采用保养油液再次进行一次喷淋；
上述保养油液制备方法为：称取橄榄油6-8份、甘油8-10份、乙醇15-25份、乙二醇单丁醚2-4份，三乙醇胺6-8份、白矿物油55-65份、苯酚6-8份，通过将所有原料进行复配搅拌后，得到；
3)上述保养油液的清洗后，采用清水配合喷枪进行高速喷洗，直至保养油液上全部冲洗干净；
4)将上述步骤2中取出后的过滤网及砂浆管采用清水冲洗3-4遍，然后再进行一次人工精洗；
5)将精洗后的过滤网及砂浆管放入器皿中，然后在器皿中加入水和保养油液混合物，水的添加量为保养油液的10倍；
6)将上述过滤网与砂浆管在器皿中浸泡3-5h后，取出，然后清水淋洗干净；
7)采用气动喷枪将机器表面遗留的水渍清理后，再将过滤网及砂浆管放入烘箱中，高温烘干，然后将过滤网及砂浆管安装后，热机2-3h磨合，即可实现清洗。
本发明的有益效果为：本发明工艺流程简单，通过合理精细的清理方式，可以保证切片机的实际清理效果，保证了切片机的应用精度，保证了硅片切割中众，硅片切割后的平整度，效果显著。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本发明。
实施例1
一种单金硅硅体切割切片机的清洗方法，包括以下步骤：
1)采用铲刀将沉淀及附着在机器内的废砂产出，若干较细废砂点，采用钢丝球轻轻擦拭，直至完全脱离；
2)将内部的过滤网、砂浆管及可拆部件取出，然后采用清水将机器本体进行一次全面冲洗，而后再采用保养油液再次进行一次喷淋；
上述保养油液制备方法为：称取橄榄油6kg、甘油8kg、乙醇15kg、乙二醇单丁醚2kg，三乙醇胺6kg、白矿物油55kg、苯酚6kg，通过将所有原料进行复配搅拌后，得到；
3)上述保养油液的清洗后，采用清水配合喷枪进行高速喷洗，直至保养油液上全部冲洗干净；
4)将上述步骤2中取出后的过滤网及砂浆管采用清水冲洗3-4遍，然后再进行一次人工精洗；
5)将精洗后的过滤网及砂浆管放入器皿中，然后在器皿中加入水和保养油液混合物，水的添加量为保养油液的10倍；
6)将上述过滤网与砂浆管在器皿中浸泡5h后，取出，然后清水淋洗干净；
7)采用气动喷枪将机器表面遗留的水渍清理后，再将过滤网及砂浆管放入烘箱中，高温烘干，然后将过滤网及砂浆管安装后，热机3h磨合，即可实现清洗。
实施例2
一种单金硅硅体切割切片机的清洗方法，包括以下步骤：
1)采用铲刀将沉淀及附着在机器内的废砂产出，若干较细废砂点，采用钢丝球轻轻擦拭，直至完全脱离；
上述保养油液制备方法为：称取橄榄油6kg、甘油8kg、乙醇15kg、乙二醇单丁醚2kg，三乙醇胺6kg、白矿物油55kg、苯酚6kg，通过将所有原料进行复配搅拌后，得到；
2)将内部的过滤网、砂浆管及可拆部件取出，然后采用清水将机器本体进行一次全面冲洗，而后再采用保养油液再次进行一次喷淋；
3)上述保养油液的清洗后，采用清水配合喷枪进行高速喷洗，直至保养油液上全部冲洗干净；
4)将上述步骤2中取出后的过滤网及砂浆管采用清水冲洗3-4遍，然后再进行一次人工精洗；
5)将精洗后的过滤网及砂浆管放入器皿中，然后在器皿中加入水和保养油液混合物，水的添加量为保养油液的10倍；
6)将上述过滤网与砂浆管在器皿中浸泡3h后，取出，然后清水淋洗干净；
7)采用气动喷枪将机器表面遗留的水渍清理后，再将过滤网及砂浆管放入烘箱中，高温烘干，然后将过滤网及砂浆管安装后，热机2h磨合，即可实现清洗。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (1)
1.一种单金硅硅体切割切片机的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)采用铲刀将沉淀及附着在机器内的废砂产出，若干较细废砂点，采用钢丝球轻轻擦拭，直至完全脱离；
2)将内部的过滤网、砂浆管及可拆部件取出，然后采用清水将机器本体进行一次全面冲洗，而后再采用保养油液再次进行一次喷淋；
上述保养油液制备方法为：称取橄榄油6-8份、甘油8-10份、乙醇15-25份、乙二醇单丁醚2-4份，三乙醇胺6-8份、白矿物油55-65份、苯酚6-8份，通过将所有原料进行复配搅拌后，得到；
3)上述保养油液的清洗后，采用清水配合喷枪进行高速喷洗，直至保养油液上全部冲洗干净；
4)将上述步骤2中取出后的过滤网及砂浆管采用清水冲洗3-4遍，然后再进行一次人工精洗；
5)将精洗后的过滤网及砂浆管放入器皿中，然后在器皿中加入水和保养油液混合物，水的添加量为保养油液的10倍；
6)将上述过滤网与砂浆管在器皿中浸泡3-5h后，取出，然后清水淋洗干净；
7)采用气动喷枪将机器表面遗留的水渍清理后，再将过滤网及砂浆管放入烘箱中，高温烘干，然后将过滤网及砂浆管安装后，热机2-3h磨合，即可实现清洗。
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