CN106168630A

CN106168630A - 一种利用进样装置实现高纯六氟化硫气体的进样方法

Info

Publication number: CN106168630A
Application number: CN201510516294.8A
Authority: CN
Inventors: 刘春花; 万群平
Original assignee: Fujian Forever Technology Co Ltd
Current assignee: Fujian Forever Technology Co Ltd; Fujian Yongjing Technology Co Ltd
Priority date: 2015-08-21
Filing date: 2015-08-21
Publication date: 2016-11-30

Abstract

本发明提供了一种利用进样装置实现高纯六氟化硫气体的进样方法，所述进样装置包括：储存高纯六氟化硫气体的钢瓶，具有用于打开和关闭钢瓶出气口的钢瓶阀门；经由所述钢瓶阀门连通所述钢瓶的供气管路；连接所述供气管路的出口的放空阀；用于将来自所述供气管路的高纯六氟化硫气体供应给分析仪器的仪器接口；用于将所述供气管路与所述仪器接口连通或断开的供气阀门。通过对所述钢瓶阀门，所述放空阀和供气阀门进行控制，使所述供气管路内和仪器接口内的气体被所述高纯六氟化硫气体完全置换；接通所述仪器接口与分析仪器之间的管线，对所述分析仪器进行气体输送。应用本发明进样方法对样品气体进行检测，分析时间缩短了50％，极大提高工作效率。

Description

一种利用进样装置实现高纯六氟化硫气体的进样方法

技术领域

本发明涉及一种高纯气体的进样方法，尤其涉及一种利用进样装置实现高纯六氟化硫气体的进样方法，属于仪器分析领域。

背景技术

半导体行业、集成电路等各行各业对高纯气体的质量要求越来越高，对其杂质含量的质量控制越来越严，例如：高纯氮中杂质氧(O₂)的含量≤3×10-6(v/v)，对此国家标准提出了相应的检测方法，但在实际操作过程中仍出现了不少问题，例如：①仪器因经受不住样品气体的高压而损坏；②检测分析过程时间过长；③因取样的样品量过少，无法把仪器吹干净而导致检测数据的不准确等。

为了解决气体样品检测分析中遇到诸如气体样品量少、仪器因高压而损坏等问题，该文介绍一种新型的气路切换装置及其工作原理，结果表明采用适当的材料、合理的设计、谨慎的操作，可以有效避免外界气体杂质污染。装置实现了快速分析、少量进样，大大提高工作效率，同时可避免不必要的财产损失。

发明内容

本发明为了解决现有气体分析技术在气体进样过程中存在的技术问题，提供了一种利用进样装置实现高纯六氟化硫气体的进样方法，在有效避免外界气体杂质污染的同时，实现快速分析，少量进样，大大的提高了工作效率。

本发明提供了一种利用进样装置实现高纯六氟化硫气体的进样方法，所述进样装置包括：

储存高纯六氟化硫气体的钢瓶，具有用于打开和关闭钢瓶出气口的钢瓶阀门；

经由所述钢瓶阀门连通所述钢瓶的供气管路；

连接所述供气管路的出口的放空阀；

用于将来自所述供气管路的高纯六氟化硫气体供应给分析仪器的仪器接口；

用于将所述供气管路与所述仪器接口连通或断开的供气阀门；

所述进样方法包括：

1)通过对所述钢瓶阀门，所述放空阀和供气阀门进行控制，使所述供气管路内的气体被所述高纯六氟化硫气体完全置换；

2)在所述供气管路的气体被所述高纯六氟化硫气体完全置换后，通过对所述钢瓶阀门，所述放空阀和供气阀门进行控制，用所述高纯六氟化硫气体置换所述仪器接口中的气体；

3)在所述仪器接口中的气体被所述高纯六氟化硫气体置换后，调节所述供气阀门控制仪器接口的出气压力，接通所述仪器接口与分析仪器之间的管线，对所述分析仪器进行气体输送。

其中，所述的通过对所述钢瓶阀门，所述放空阀和供气阀门进行控制，使所述第一管路的气体被所述高纯六氟化硫气体完全置换包括：

1)开启所述钢瓶阀门，保持所述放空阀和供气阀门关闭，使所述钢瓶内的高纯六氟化硫气体进入所述供气管路；

2)关闭所述钢瓶阀门，开启所述放空阀，使所述供气管路内的气体经由所述放空阀排出；

3)重复步骤1)和步骤2)的操作，使所述供气管路的气体被所述高纯六氟化硫气体完全置换。

其中，所述的通过对所述钢瓶阀门，所述放空阀和供气阀门进行控制，用所述高纯六氟化硫气体置换所述仪器接口中的气体包括：

在所述供气管路内的气体被所述高纯六氟化硫气体完全置换后，关闭所述放空阀，开启所述钢瓶阀门和供气阀门，使所述钢瓶内的高纯六氟化硫气体流经所述供气管路流入所述仪器接口，用所述高纯六氟化硫气体置换所述仪器接口中的气体。

经置换后，所述供气管路和仪器接口内的气体完全被所述高纯六氟化硫气体所置换，保证供气管路和仪器接口内部吹扫干净，不残留空气或其他气体杂质，进而保证进入到所述分析仪器内的气体纯度高，分析时间更短，检测结果更准确。

其中，在所述仪器接口中的气体被所述高纯六氟化硫气体置换后，调节所述供气阀门控制仪器接口的出气压力，接通所述仪器接口与分析仪器之间的管线，对所述分析仪器进行气体输送。

特别是，对所述分析仪器进行气体输送5-8min，使所述管线和分析仪器内的气体置换完全，再进行采样测量。

尤其是，所述管线尽可能短，对所述分析仪器进行气体输送5-8min，使所述管线和分析仪器内的气体置换完全，这样可以去除杂质气体或上次所测样品气体在管线及分析仪器内的残留，减少其对测试结果的影响，使得分析时间更短，检测结果更准确，测定的结果重现性好。

特别是，所述仪器接口与分析仪器之间的管线为1/4不锈钢内抛光材质。

其中，所述阀门和管路均选择不锈钢材质。

不锈钢材质的阀门和管路可以减少因高压而使得阀门或管路损坏的几率，增加仪器部件的使用寿命。

本发明的优点和有益技术效果如下：

本发明方法首先将供气管路、仪器接口、管线和分析仪器内的气体完全被所述高纯六氟化硫气体所置换，保证供气管路、仪器接口、管线和分析仪器内内部全部吹扫干净，不残留空气或其他气体杂质，进而保证进入到所述分析仪器内的气体纯度高，测定的结果重现性好，缩短了分析时间，提高了检测结果的准确性。

本发明阀门和管路均选择不锈钢材质，极大的减少了因高压而使得阀门或管路损坏的几率，增加仪器部件的使用寿命。

应用本发明进样方法对样品气体进行检测，分析时间缩短了50％，极大的提高了工作效率。

附图说明

图1为本发明利用进样装置实现高纯六氟化硫气体的进样方法的进样装置的示意图；

附图标记说明：1、钢瓶；2、钢瓶阀门；3、供气管路；4、放空阀；5、仪器接口；6、供气阀门。

具体实施方式

下面通过附图和具体实施例来进一步解释本发明：

如图1所述，本发明利用进样装置实现高纯六氟化硫气体的进样方法，进样装置包括：储存高纯六氟化硫气体的钢瓶1，具有用于打开和关闭钢瓶出气口的钢瓶阀门2；经由所述钢瓶阀门连通所述钢瓶的供气管路3；连接所述供气管路的出口的放空阀4；用于将来自所述供气管路的高纯六氟化硫气体供应给分析仪器的仪器接口5；用于将所述供气管路与所述仪器接口连通或断开的供气阀门6。

1)开启钢瓶阀门2，保持放空阀4和供气阀门5关闭，使钢瓶1内的高纯六氟化硫气体进入供气管路3；

2)关闭钢瓶阀门2，开启放空阀4，使供气管路3内的气体经由放空阀4排出；

3)重复步骤1)和步骤2)的操作，使供气管路3的气体被高纯六氟化硫气体完全置换；

4)关闭放空阀4，开启钢瓶阀门2和供气阀门6，使钢瓶1内的高纯六氟化硫气体流经供气管路3流入仪器接口5，用高纯六氟化硫气体置换仪器接口中的气体；

5)调节供气阀门6控制仪器接口的出气压力，接通仪器接口5与分析仪器之间的管线，对所述分析仪器进行气体输送5-8min，使管线和分析仪器内的气体置换完全，再进行采样测量。

尽管上述对本发明做了详细说明，但本发明不限于此，本技术领域的技术人员可以根据本发明的原理进行修改，因此，凡按照本发明的原理进行的各种修改都应当理解为落入本发明的保护范围。

Claims

1.一种利用进样装置实现高纯六氟化硫气体的进样方法，其特征在于，所述进样装置包括：

经由所述钢瓶阀门连通所述钢瓶的供气管路；

连接所述供气管路的出口的放空阀；

所述进样方法包括：

2.根据权利要求1所述的进样方法，其特征在于，所述的通过对所述钢瓶阀门，所述放空阀和供气阀门进行控制，使所述第一管路的气体被所述高纯六氟化硫气体完全置换包括：

3.根据权利要求1所述的进样方法，其特征在于，所述的通过对所述钢瓶阀门，所述放空阀和供气阀门进行控制，用所述高纯六氟化硫气体置换所述仪器接口中的气体包括：

4.根据权利要求1所述的进样方法，其特征在于，对所述分析仪器进行气体输送5-8min，使所述管线和分析仪器内的气体置换完全，再进行采样测量。

5.根据权利要求1所述的进样方法，其特征在于，所述阀门和管路均选择不锈钢材质。

6.根据权利要求1所述的进样方法，其特征在于，接通所述仪器接口与分析仪器之间的管线为1/4不锈钢内抛光材质。