JP2000074898A - 高分子物質の分析装置 - Google Patents
高分子物質の分析装置Info
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- JP2000074898A JP2000074898A JP10241571A JP24157198A JP2000074898A JP 2000074898 A JP2000074898 A JP 2000074898A JP 10241571 A JP10241571 A JP 10241571A JP 24157198 A JP24157198 A JP 24157198A JP 2000074898 A JP2000074898 A JP 2000074898A
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】１回の試料注入により高分子の分子量と添加剤
を一斉に分析できる新規な装置を提供することを目的と
する。 【解決手段】六方切換えバルブ１０を実線状態に設定し
て、試料注入口７より試料を注入すると、試料は、移動
相溜１から供給される移動相（例えばＴＨＦ）とともに
ＧＰＣ用カラム８に流入し、示差屈折計９で、ポリマー
成分の分子量分布が測定される。ＧＰＣ用カラム８から
溶出した成分は、送液ポンプ６により主流路１５に供給
された水と混合される。水と溶出液の混合後、主流路１
５とバイパス流路１４の流路抵抗により定まる比率でも
って、一部がバイパス流路１４から排出され、残りの分
はサンプルループ１１に流れ込む。六方切換えバルブ１
０を実線から点線に切り換え、サンプルループにためら
れた添加剤成分を、逆相クロマトグラフ用カラム（ＯＤ
Ｓカラム）１２に導入する。
を一斉に分析できる新規な装置を提供することを目的と
する。 【解決手段】六方切換えバルブ１０を実線状態に設定し
て、試料注入口７より試料を注入すると、試料は、移動
相溜１から供給される移動相（例えばＴＨＦ）とともに
ＧＰＣ用カラム８に流入し、示差屈折計９で、ポリマー
成分の分子量分布が測定される。ＧＰＣ用カラム８から
溶出した成分は、送液ポンプ６により主流路１５に供給
された水と混合される。水と溶出液の混合後、主流路１
５とバイパス流路１４の流路抵抗により定まる比率でも
って、一部がバイパス流路１４から排出され、残りの分
はサンプルループ１１に流れ込む。六方切換えバルブ１
０を実線から点線に切り換え、サンプルループにためら
れた添加剤成分を、逆相クロマトグラフ用カラム（ＯＤ
Ｓカラム）１２に導入する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高分子材料自体、
もしくは高分子材料により製作された製品の分子量分
布、これに含まれている添加剤の分析装置に関する。本
発明は、化学工業、プラスチック製造、電子部品製造の
各分野で利用される。
もしくは高分子材料により製作された製品の分子量分
布、これに含まれている添加剤の分析装置に関する。本
発明は、化学工業、プラスチック製造、電子部品製造の
各分野で利用される。
【０００２】
【従来の技術】高分子材料自体、及びこれにより製作さ
れた製品の品質を管理する上で、これらを構成している
分子の分子量分布や、これに添加されている添加剤の濃
度を知ることは非常に重要なファクターとなる。
れた製品の品質を管理する上で、これらを構成している
分子の分子量分布や、これに添加されている添加剤の濃
度を知ることは非常に重要なファクターとなる。
【０００３】ここで、分子量分布は、ゲル浸透クロマト
グラフィー（以下ＧＰＣという）により測定され、また
添加剤は一旦溶剤により抽出したのち、高速液体クロマ
トグラフィー、赤外分析装置、質量分析装置等の他の分
析装置で測定していた。このため、一つの試料について
分子量関係の分布と、添加剤の分析を別々の分析作業と
して行わねばならず、手間がかかるという問題があっ
た。これを解決するための手段として、ＧＰＣと液体ク
ロマトグラフ（ＬＣ）をバルブを介して連結した装置も
提案されている。
グラフィー（以下ＧＰＣという）により測定され、また
添加剤は一旦溶剤により抽出したのち、高速液体クロマ
トグラフィー、赤外分析装置、質量分析装置等の他の分
析装置で測定していた。このため、一つの試料について
分子量関係の分布と、添加剤の分析を別々の分析作業と
して行わねばならず、手間がかかるという問題があっ
た。これを解決するための手段として、ＧＰＣと液体ク
ロマトグラフ（ＬＣ）をバルブを介して連結した装置も
提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＧＰＣ
とＬＣを単にバルブを介して連結するだけでは、ＧＰＣ
では一般にＴＨＦ等溶媒強度の高い溶媒を用いるため、
ＬＣに逆相クロマトグラフを用いるとカラム劣化などを
起こし、分析できない課題があった。そこで、本発明
は、ＧＰＣと逆相クロマトグラフを連結した場合でも、
ＧＰＣの溶媒の影響がなく、高分子物質のポリマー部分
と添加剤を一斉に分析できる新規な装置を提供すること
を目的とする。
とＬＣを単にバルブを介して連結するだけでは、ＧＰＣ
では一般にＴＨＦ等溶媒強度の高い溶媒を用いるため、
ＬＣに逆相クロマトグラフを用いるとカラム劣化などを
起こし、分析できない課題があった。そこで、本発明
は、ＧＰＣと逆相クロマトグラフを連結した場合でも、
ＧＰＣの溶媒の影響がなく、高分子物質のポリマー部分
と添加剤を一斉に分析できる新規な装置を提供すること
を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、一端に試料注入口を、他端に検出器を接続
したＧＰＣ用カラムと、該カラムの溶出側に接続された
水混合部及び主流路の一部を分岐させたバイパス流路
と、主流路であって該水混合部の後段に接続された逆相
クロマトグラフ用カラムと、該逆相クロマトグラフ用カ
ラムの溶出端に接続された逆相クロマトグラフ用検出器
とからなる高分子物質の分析装置である。
決するため、一端に試料注入口を、他端に検出器を接続
したＧＰＣ用カラムと、該カラムの溶出側に接続された
水混合部及び主流路の一部を分岐させたバイパス流路
と、主流路であって該水混合部の後段に接続された逆相
クロマトグラフ用カラムと、該逆相クロマトグラフ用カ
ラムの溶出端に接続された逆相クロマトグラフ用検出器
とからなる高分子物質の分析装置である。
【０００６】ここで、ＧＰＣ用カラムとしては、例えば
ポリスチレンなどを充填したカラムを用い、カラム及び
分析対象物質に応じて溶離液（移動相）を選択する。例
えばポリ塩化ビニル樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリカー
ボネート樹脂などを分析する場合はテトラヒドロフラン
（ＴＨＦ）を用い、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂
などを分析する場合は、ヘキサフルオロイソプロパノー
ル（ＨＦＩＰ）を用いる。ＧＰＣ用の検出器としては、
示差屈折計、紫外可視吸光光度計などを用いることがで
きる。
ポリスチレンなどを充填したカラムを用い、カラム及び
分析対象物質に応じて溶離液（移動相）を選択する。例
えばポリ塩化ビニル樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリカー
ボネート樹脂などを分析する場合はテトラヒドロフラン
（ＴＨＦ）を用い、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂
などを分析する場合は、ヘキサフルオロイソプロパノー
ル（ＨＦＩＰ）を用いる。ＧＰＣ用の検出器としては、
示差屈折計、紫外可視吸光光度計などを用いることがで
きる。
【０００７】水混合部は、ＧＰＣ用カラムからの溶出液
に水を混合して、ＧＰＣで用いた溶離液の溶媒強度を下
げるもので、水の量は、溶出液の約２〜５０倍に薄める
程度の量が好ましい。水の供給は、公知のポンプを用い
て行うことができ、供給速度は、カラム流速と同じ速度
にするのが好ましい。なお、水の混合は、ＧＰＣ用カラ
ムの溶出端にコイルを設けて、そこで混合しても、ＧＰ
Ｃ用カラムの溶出流路（主流路）に分岐管により水供給
流路を接続して、その合流部で混合させてもよい。
に水を混合して、ＧＰＣで用いた溶離液の溶媒強度を下
げるもので、水の量は、溶出液の約２〜５０倍に薄める
程度の量が好ましい。水の供給は、公知のポンプを用い
て行うことができ、供給速度は、カラム流速と同じ速度
にするのが好ましい。なお、水の混合は、ＧＰＣ用カラ
ムの溶出端にコイルを設けて、そこで混合しても、ＧＰ
Ｃ用カラムの溶出流路（主流路）に分岐管により水供給
流路を接続して、その合流部で混合させてもよい。
【０００８】バイパス流路は、ＧＰＣ用カラムの溶出流
路（主流路）を一部分岐させて、ＧＰＣ用カラムからの
溶出液を排出するもので、このバイパス流路により逆相
クロマトグラフ用カラムに導入する液量を低減させるこ
とができる。主流路とバイパス流路の分岐比は、１：１
〜１：50にするのが好ましい。このバイパス流路は、前
記水混合部の前段に設けても、また後段に設けてもいず
れでもよい。
路（主流路）を一部分岐させて、ＧＰＣ用カラムからの
溶出液を排出するもので、このバイパス流路により逆相
クロマトグラフ用カラムに導入する液量を低減させるこ
とができる。主流路とバイパス流路の分岐比は、１：１
〜１：50にするのが好ましい。このバイパス流路は、前
記水混合部の前段に設けても、また後段に設けてもいず
れでもよい。
【０００９】逆相クロマトグラフ用カラムは、疎水性相
互作用により分離されるもので、例えばシリカ基材にオ
クタデシル基、オクチル基、トリメチル基、アミノプロ
ピル基、シアノプロピル基などを導入したカラムを用い
ることができる。これらカラムに用いる溶離液（移動
相）としては、例えば、水、メタノール、アセトニトリ
ルなどが用いられるが、これらはカラムとの関係で選択
される。逆相クロマトグラフ用検出器としては、紫外可
視吸光光度計、蛍光光度計などが用いられるが、これら
に限定されない。
互作用により分離されるもので、例えばシリカ基材にオ
クタデシル基、オクチル基、トリメチル基、アミノプロ
ピル基、シアノプロピル基などを導入したカラムを用い
ることができる。これらカラムに用いる溶離液（移動
相）としては、例えば、水、メタノール、アセトニトリ
ルなどが用いられるが、これらはカラムとの関係で選択
される。逆相クロマトグラフ用検出器としては、紫外可
視吸光光度計、蛍光光度計などが用いられるが、これら
に限定されない。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。図１は本発明の装置概略図であり、８が
ＧＰＣ用カラムで、ＧＰＣ用カラム８の一端には試料注
入口３が接続され、注入された試料は、送液ポンプ４に
より、移動相溜１の移動相（例えばＴＨＦ）とともにＧ
ＰＣ用カラム８に導入される。ＧＰＣ用カラム８の溶出
端には示差屈折計９が接続されており、示差屈折計９の
溶出側の流路（主流路）１５は、六方切換えバルブ１０
に接続される。また、主流路１５の一部は分岐してお
り、バイパス流路１４が構成されている。バイパス流路
１４は、主流路１５に三方ジョイント（図示せず）を結
合することにより形成され、バイパス流路１４の一端は
大気に開放されている。
いて説明する。図１は本発明の装置概略図であり、８が
ＧＰＣ用カラムで、ＧＰＣ用カラム８の一端には試料注
入口３が接続され、注入された試料は、送液ポンプ４に
より、移動相溜１の移動相（例えばＴＨＦ）とともにＧ
ＰＣ用カラム８に導入される。ＧＰＣ用カラム８の溶出
端には示差屈折計９が接続されており、示差屈折計９の
溶出側の流路（主流路）１５は、六方切換えバルブ１０
に接続される。また、主流路１５の一部は分岐してお
り、バイパス流路１４が構成されている。バイパス流路
１４は、主流路１５に三方ジョイント（図示せず）を結
合することにより形成され、バイパス流路１４の一端は
大気に開放されている。
【００１１】また、主流路１５には、水供給流路１６が
連結されており、水供給流路１６の一端は水溜３に接続
される。水溜３の水は送液ポンプ６により主流路１５に
供給され、ＧＰＣ用カラム８の溶出液と混合される。な
お、ここで、水溜３、水供給流路１６、送液ポンプ６で
本発明の水混合部が構成される。
連結されており、水供給流路１６の一端は水溜３に接続
される。水溜３の水は送液ポンプ６により主流路１５に
供給され、ＧＰＣ用カラム８の溶出液と混合される。な
お、ここで、水溜３、水供給流路１６、送液ポンプ６で
本発明の水混合部が構成される。
【００１２】また、前述した六方切換えバルブ１０の各
ポートには、主流路１５、サンプルループ１１、廃液流
路１７、逆相クロマトグラフ用移動相供給流路１８、逆
相クロマトグラフ接続流路１９が各々接続されており、
主流路１５、サンプルループ１１、廃液流路１７からな
る第１流路と、逆相クロマトグラフ用移動相供給流路１
８、逆相クロマトグラフ接続流路１９とからなる第２流
路とが切換え可能になっている。なお、サンプルループ
１１の容量は、後述する逆相クロマトグラフ用カラムの
容量に合うものが容易されており、例えば約２００μｌ
のものを用いる。
ポートには、主流路１５、サンプルループ１１、廃液流
路１７、逆相クロマトグラフ用移動相供給流路１８、逆
相クロマトグラフ接続流路１９が各々接続されており、
主流路１５、サンプルループ１１、廃液流路１７からな
る第１流路と、逆相クロマトグラフ用移動相供給流路１
８、逆相クロマトグラフ接続流路１９とからなる第２流
路とが切換え可能になっている。なお、サンプルループ
１１の容量は、後述する逆相クロマトグラフ用カラムの
容量に合うものが容易されており、例えば約２００μｌ
のものを用いる。
【００１３】逆相クロマトグラフ用移動相供給流路１８
には、逆相クロマトグラフ用移動相溜２、送液ポンプ５
が配設されており、また、逆相クロマトグラフ接続流路
１９には逆相クロマトグラフ用カラム（ＯＤＳカラム）
１２、逆相クロマトグラフ用検出器（紫外可視吸光光度
計）１３が配設されている。
には、逆相クロマトグラフ用移動相溜２、送液ポンプ５
が配設されており、また、逆相クロマトグラフ接続流路
１９には逆相クロマトグラフ用カラム（ＯＤＳカラム）
１２、逆相クロマトグラフ用検出器（紫外可視吸光光度
計）１３が配設されている。
【００１４】以上の構成で、試料の分析は次の様に行
う。先ず、六方切換えバルブ１０を図中実線状態に設定
して、試料注入口７より試料を注入する。試料は、良溶
媒に溶解させた高分子試料で、マニュアル又はオートイ
ンジェクタで注入される。試料は、移動相溜１から供給
される移動相（例えばＴＨＦ）とともにＧＰＣ用カラム
８に流入して、分子量の大きさに基づいて分離され、ポ
リマー成分と低分子である添加剤成分とのグループにな
って示差屈折計９に入る。示差屈折計９では、ポリマー
成分の分子量分布が測定される。なお、ポリマー成分の
分子量測定は、あらかじめ作成された検量線に基づき、
ＧＰＣプログラムにより自動的に行われる。
う。先ず、六方切換えバルブ１０を図中実線状態に設定
して、試料注入口７より試料を注入する。試料は、良溶
媒に溶解させた高分子試料で、マニュアル又はオートイ
ンジェクタで注入される。試料は、移動相溜１から供給
される移動相（例えばＴＨＦ）とともにＧＰＣ用カラム
８に流入して、分子量の大きさに基づいて分離され、ポ
リマー成分と低分子である添加剤成分とのグループにな
って示差屈折計９に入る。示差屈折計９では、ポリマー
成分の分子量分布が測定される。なお、ポリマー成分の
分子量測定は、あらかじめ作成された検量線に基づき、
ＧＰＣプログラムにより自動的に行われる。
【００１５】ＧＰＣ用カラム８から溶出した成分は、送
液ポンプ６により主流路１５に供給された水と混合され
る。これによりＧＰＣ用の移動相の溶媒強度を下げるこ
とができる。水と溶出液の混合後、主流路１５とバイパ
ス流路１４の流路抵抗により定まる比率でもって、一部
がバイパス流路１４から排出され、残りの分はサンプル
ループ１１に流れ込む。
液ポンプ６により主流路１５に供給された水と混合され
る。これによりＧＰＣ用の移動相の溶媒強度を下げるこ
とができる。水と溶出液の混合後、主流路１５とバイパ
ス流路１４の流路抵抗により定まる比率でもって、一部
がバイパス流路１４から排出され、残りの分はサンプル
ループ１１に流れ込む。
【００１６】ポリマー成分が示差屈折計９を通過して、
添加剤成分が示差屈折計９に流入すると、この時点から
所定の時間、つまり添加剤成分がサンプルループ１１に
流入するまでの時間が経過した後、六方切換えバルブ１
０を実線から点線に切り換える。サンプルループにため
られた添加剤成分は、送液ポンプ５により送られる逆相
クロマトグラフ用移動相溜２の移動相によって、逆相ク
ロマトグラフ用カラム（例えばＯＤＳカラム）１２に導
入される。逆相クロマトグラフ用カラム１２に入った添
加剤成分は分離されて、紫外可視吸光光度計１３で検出
される。
添加剤成分が示差屈折計９に流入すると、この時点から
所定の時間、つまり添加剤成分がサンプルループ１１に
流入するまでの時間が経過した後、六方切換えバルブ１
０を実線から点線に切り換える。サンプルループにため
られた添加剤成分は、送液ポンプ５により送られる逆相
クロマトグラフ用移動相溜２の移動相によって、逆相ク
ロマトグラフ用カラム（例えばＯＤＳカラム）１２に導
入される。逆相クロマトグラフ用カラム１２に入った添
加剤成分は分離されて、紫外可視吸光光度計１３で検出
される。
【００１７】なお、以上の説明において、六方切換えバ
ルブ１０の切換制御は、示差屈折計９等の信号をモニタ
しながら、自動的に切り換えられる。本発明は、上記構
成に限定されず、分析対象もポリマー成分と添加剤成分
に限定されない。また、送液ポンプ６及びバイパス流路
１４の位置は逆でもよい。
ルブ１０の切換制御は、示差屈折計９等の信号をモニタ
しながら、自動的に切り換えられる。本発明は、上記構
成に限定されず、分析対象もポリマー成分と添加剤成分
に限定されない。また、送液ポンプ６及びバイパス流路
１４の位置は逆でもよい。
【００１８】
【実施例】図１の装置を用い、次の分析条件で分析した
分析例を示す。 ＜ＧＰＣ分析条件＞ カラム：Ｓｈｉｍ−Ｐａｃｋ ＧＰＣ−８０２ 移動相：ＴＨＦ 流 速：１．０ｍｌ／ｍｉｎ 検出器：ＲＩＤ−１０Ａ（（株）島津製作所製） カラム温度：４０℃ 注入量：１００μｌ
分析例を示す。 ＜ＧＰＣ分析条件＞ カラム：Ｓｈｉｍ−Ｐａｃｋ ＧＰＣ−８０２ 移動相：ＴＨＦ 流 速：１．０ｍｌ／ｍｉｎ 検出器：ＲＩＤ−１０Ａ（（株）島津製作所製） カラム温度：４０℃ 注入量：１００μｌ
【００１９】＜逆相クロマトグラフ分析条件＞ カラム： Ｓｈｉｍ−Ｐａｃｋ ＶＰ−ＯＤＳ（4.6mm×
150mm） 移動相：水／アセトニトリル 流 速：１．０ｍｌ／ｍｉｎ 検出器：ＳＰＤ−１０Ａ（λ＝２７５ｎｍ）（（株）島
津製作所製） カラム温度：４０℃ ＜送液ポンプ６の流量＞ １．０ｍｌ／ｍｉｎ
150mm） 移動相：水／アセトニトリル 流 速：１．０ｍｌ／ｍｉｎ 検出器：ＳＰＤ−１０Ａ（λ＝２７５ｎｍ）（（株）島
津製作所製） カラム温度：４０℃ ＜送液ポンプ６の流量＞ １．０ｍｌ／ｍｉｎ
【００２０】図２（ａ）はＧＰＣによるクロマトグラ
ム、図２（ｂ）は逆相クロマトグラフで分析したクロマ
トグラムである。図２（ａ）よりＧＰＣでポリマー部分
と添加剤部分が分離され、図２（ｂ）より添加剤部分が
分析されていることがわかる。
ム、図２（ｂ）は逆相クロマトグラフで分析したクロマ
トグラムである。図２（ａ）よりＧＰＣでポリマー部分
と添加剤部分が分離され、図２（ｂ）より添加剤部分が
分析されていることがわかる。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、１回の試料注入で、例
えば高分子物質の分子量と添加剤の測定が可能である。
しかも、ＧＰＣで溶媒強度の強い溶媒を使用しても、逆
相クロマトグラフでの分析に支障がない。
えば高分子物質の分子量と添加剤の測定が可能である。
しかも、ＧＰＣで溶媒強度の強い溶媒を使用しても、逆
相クロマトグラフでの分析に支障がない。
【図１】本発明の装置の概略図
【図２】（ａ）は、ＧＰＣによるクロマトグラム、
（ｂ）は逆相クロマトグラフで分析したクロマトグラム
（ｂ）は逆相クロマトグラフで分析したクロマトグラム
３：水溜 ７：試料注入口 ８：ＧＰＣ用カラム ９：示差屈折計 １０：六方切換えバルブ １２：逆相クロマトグラフ用カラム（ＯＤＳカラム） １３：紫外可視吸光光度計 １４：バイパス流路
Claims (1)
- 【請求項１】一端に試料注入口を、他端に検出器を接続
したゲル浸透クロマトグラフィー用カラムと、該カラム
の溶出側に接続された水混合部及び主流路の一部を分岐
させたバイパス流路と、主流路であって該水混合部の後
段に接続された逆相クロマトグラフ用カラムと、該逆相
クロマトグラフ用カラムの溶出端に接続された逆相クロ
マトグラフ用検出器とからなる高分子物質の分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10241571A JP2000074898A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 高分子物質の分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10241571A JP2000074898A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 高分子物質の分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000074898A true JP2000074898A (ja) | 2000-03-14 |
Family
ID=17076316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10241571A Pending JP2000074898A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 高分子物質の分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000074898A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010112868A (ko) * | 2000-06-15 | 2001-12-22 | 유현식 | 결정성 고분자의 3차원 분석장치 |
| JP2008241274A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Dowa Technology Kk | 有機高分子成分の分子量分布測定装置およびその測定方法 |
| CN105092875A (zh) * | 2015-09-24 | 2015-11-25 | 北京楚翔飞科技开发有限责任公司 | 一种全自动气液多用途进样器 |
| CN106168630A (zh) * | 2015-08-21 | 2016-11-30 | 福建永晶科技有限公司 | 一种利用进样装置实现高纯六氟化硫气体的进样方法 |
| WO2018059639A1 (en) * | 2016-09-28 | 2018-04-05 | Evosep Aps | Chromatographic analysis with low pressure dual gradient refocusing |
-
1998
- 1998-08-27 JP JP10241571A patent/JP2000074898A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR20010112868A (ko) * | 2000-06-15 | 2001-12-22 | 유현식 | 결정성 고분자의 3차원 분석장치 |
| JP2008241274A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Dowa Technology Kk | 有機高分子成分の分子量分布測定装置およびその測定方法 |
| CN106168630A (zh) * | 2015-08-21 | 2016-11-30 | 福建永晶科技有限公司 | 一种利用进样装置实现高纯六氟化硫气体的进样方法 |
| CN105092875A (zh) * | 2015-09-24 | 2015-11-25 | 北京楚翔飞科技开发有限责任公司 | 一种全自动气液多用途进样器 |
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