CN106141844A - 一种具有气浮分离功能的超薄电子玻璃的连续精细抛光装置以及连续精细抛光方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提出了一种具有气浮分离功能的超薄电子玻璃的连续精细抛光装置以及连续精细抛光方法。该连续精细抛光装置包括:抛光机械和抛光液系统、平面托板、气浮动力系统、输送系统。该输送系统具有抛光段、气浮分离段以及准备段。

Description

一种具有气浮分离功能的超薄电子玻璃的连续精细抛光装置以及连续精细抛光方法
技术领域
本发明涉及一种超薄电子玻璃的精细抛光设备及精细抛光方法,属于玻璃加工机械领域,尤其是超薄电子玻璃的精细抛光加工的领域。
背景技术
1、现有平板电磁炉微晶玻璃抛光皮带流水线技术,是皮带载体流水线技术:
A、主要产品为3-4mm厚度的仅400mm长宽尺寸的电磁炉微晶玻璃。而本发明要解决的技术问题是:[1]要对0.3-1.1mm的超薄厚度的电子平板玻璃进行精细抛光;[2]要对超大的2-6平方米面积的0.1-0.7mm的超薄厚度的电子平板玻璃进行精细抛光,而不破碎;[3]要达到“2厘米内波纹起伏度为不超过0.10微米”的超薄的电子玻璃的平面精度质量的要求;
B、现有平板电磁炉微晶玻璃抛光皮带流水线技术的工艺特点是电磁炉微晶玻璃是处在移动状态的皮带之上来进行抛光的,这就产生了几个工艺技术问题:
A、因为超薄的电子玻璃要求的平面精确度是2厘米内波纹起伏度为不超过0.10微米,而上述现有平板电磁炉微晶玻璃抛光皮带流水线技术工艺中,电磁炉微晶玻璃是处在移动状态的皮带之上来进行抛光的。
所以不管如何降低移动速度,只要超薄的电子平板玻璃处于皮带上的移动状态,绝对不可能处于超薄的电子平板玻璃要求的精确的平面轨迹上的平行移动(2厘米内起伏度为不超过0.10微米);1、所以现有平板电磁炉微晶玻璃抛光皮带流水线技术工艺,抛光机和抛光盘的压力或抛光液的压力都会把处在平行移动状态上的皮带上的0.3-1.1mm的超薄厚度的电子平板玻璃打碎;2、所以现有平板电磁炉微晶玻璃抛光皮带流水线技术工艺,只能抛光3-4mm厚度的仅400mm长宽尺寸的电磁炉微晶玻璃;3、所以现有平板电磁炉微晶玻璃抛光皮带流水线技术工艺,根本不可能抛光0.3-1.1mm的400mm长宽尺寸的超薄厚度的 电子平板玻璃;4、所以现有平板电磁炉微晶玻璃抛光皮带流水线技术工艺,更不可能抛光超过1平方米的尺寸的2-6平方米面积的,0.3-1.1mm的超薄厚度的电子平板玻璃。
B、此现有平板电磁炉微晶玻璃抛光皮带流水线技术工艺,由于抛光时抛光机和抛光盘的压力,更使移动中的皮带与皮带之下的承载平板的长期压力摩擦:1、更会破坏皮带下部与皮带之下的承载平板上部的平整度;2、会使皮带上移动的超薄厚度的电子平板玻璃的平行移动状态越来越差,3、更会把处在平行移动状态上的皮带上进行抛光的0.3-1.1mm的超薄厚度的电子平板玻璃打碎。
2、现有的电子平板玻璃精细抛光加工技术,都采用最大为30CM小尺寸玻璃的,5组同时双面精细抛光工艺加工技术,从来都没有采用精细抛光流水线装置连续加工技术;都是在抛光区域的位置上,用人工每次放入及取出电子平板玻璃,效率低又只限于小尺寸产品;
3、现有的电子平板玻璃抛光单面精细加工设备技术,都不是流水线技术;也从来没有超过0.6平方米的电子平板玻璃抛光单面精细加工设备技术,在制作0.7-1.3mm的超薄厚度的电子平板玻璃加工时,都是在抛光位置上用人工每次放入及取出电子平板玻璃;工艺上都采用玻璃抛光面向下方,技术方案中抛光装置从下方向朝上来抛光玻璃的下平面,这主要为了可利用玻璃自重,来人工细心的取下超薄电子平板玻璃,而从下面取出超薄电子平板玻璃会因产品重力及吸附力,使超薄电子平板玻璃很易破裂;这种从上部取出超薄电子平板玻璃的技术方案,完全不可能实现自动化连续流水线生产作业的目标。
4、本发明人的专利号为:201410833462.1,发明名称为:一种超薄电子玻璃的精细抛光设备及精细抛光方法。其发明的目的是:为了克服尤其是超薄电子玻璃精细抛光加工的领域中,各种现有技术的缺陷,提出了创造性的技术方案,从而能达到出乎予料的技术效果;本发明要创造性的解决的技术问题是:[1]能对0.3-1.1mm的超薄厚度的电子平板玻璃,提供抛光皮带流水线连续生产工艺技术,进行精细抛光;[2]能对超大的0.5-1.99平方米面积或2-6平方米面积的0.1-0.7mm的超薄厚度的电子平板玻璃,提供抛光皮带流水线连续生产工艺技术,进行精细抛光;[3]能提供抛光皮带流水线连续生产工艺技术。
但存在的几个技术效果缺陷,本发明能克服:
A.由于皮带是软性的,又很长,又要制为无接缝的联接状,皮带生产制造中厚薄差不易控制,不易达到与平面度极好的电子平板玻璃的高水平贴合效果,会影响抛光时的平面精度效果;而本发明由于平面托板下部是不易变型的球墨铸铁板,上面是一层很平整的树脂,在生产制造中可以在大面积0.5-2-7平方米的范围,控制平面精度效果,从而达到与平面度极好的电子平板玻璃的高水平贴合,更能保障其精细抛光水平,并更不易因平整性不够而在精细抛光大面积0.5-2-7平方米范围的又仅0.1-0.7mm厚的超薄电子玻璃时产生破损。
B.由于皮带是软性的,又因皮带制造中厚薄差不易控制,加之软性的皮带与皮带下平面托板的迭合也存在一定的迭合误差,也会影响抛光时的平面精度效果。
C.因为在含水超薄电子玻璃面与含水的塑料面之间,会形成的极大吸附力,先有技术只靠从边沿用气来吹来达到,分离含水超薄电子玻璃面与含水的塑料面,有时会因边沿用气量不均,造成超薄电子玻璃破裂;而本发明由于从10-10000个气孔吹出气体,能使超薄的0.1-0.7mm的,又超大面积的0.5-1.99平方米或2-7平方米的电子玻璃安全不易碎裂的又高效快速的飘浮起来;不会因边沿用气量不均,造成超薄电子玻璃破裂。
发明内容
本发明为解决现有技术的问题,提出了一种具有气浮分离功能的超薄电子玻璃的连续精细抛光装置和连续精细抛光方法。
一种具有气浮分离功能的超薄电子玻璃的连续精细抛光装置,其特征在于包括:
用于抛光超薄电子玻璃的抛光机械和抛光液系统;
用于承载超薄电子玻璃的平面托板,其表面有10-10000个气孔;
用于向所述气孔供气的气浮动力系统;
用于带动所述平面托板移动的直向输送系统,该输送系统安装在所述平面 托板的下部,其中该直向输送装置上具有:
抛光段,所述抛光机械和抛光液系统均位于该抛光段上,
气浮分离段,该气浮动力系统的输出气管连接至位于该气浮分离段的平面托板的多个气孔,以及
准备段,所述平面托盘从该准备段进入所述输送装置的上方。
根据权利要求1所述的连续精细抛光装置,其特征在于:所述直线输送装置为皮带输送装置或轨道输送装置。
根据权利要求1的连续精细抛光装置,其特征在于:在直向输送系统之外,设有单向循环式输送装置;该单向循环式输送装置,能将直向输送系统中气浮分离段位置的平面托板,传递至直向输送系统中准备段。
根据权利要求1所述的连续精细抛光装置,在直向输送系统之外的,单向循环式输送装置,或者是吊装循环式输送装置;或者是皮带循环式输送装置;或者是轨道循环式输送装置。
根据权利要求1的连续精细抛光装置,其特征在于:该直向输送装置为往复式直向输送装置。
根据权利要求1的连续精细抛装置,其特征在于:该连续精细抛光装置还包括升降所述平面托板的升降装置,该升降装置位于所述抛光机械的下方。
根据权利要求1的连续精细抛光装置,其特征在于:该平面托板包括下方的金属层和上方的树脂层。
一种有气浮分离功能的超薄电子玻璃连续精细抛光方法,其特征在于包括以下步骤:
把超薄电子平板玻璃,放置于直向输送装置之上的,准备段的平面托板的上表面;
在直向输送装置之上的准备段的,承载着超薄电子玻璃的平面托板,经直向输送装置的移动,到达抛光位置;
升降装置使承载着超薄电子玻璃的平面托板向上移动,到达抛光平面位;
抛光液系统开始送出抛光液,抛光机械开始对平面托板上的超薄电子玻璃进行抛光;
完成对超薄电子玻璃抛光后,升降装置使承载着超薄电子玻璃的平面托板向下移动,拉开与抛光机械的距离;
承载着已精细抛好光的超薄电子玻璃的平面托板经直线输送装置的移动,到达气浮分离位置;在气浮动力装置的作用下,通过10-10000个气孔的吹气,使超薄电子玻璃克服平面托板表平面的树脂层及水分形成的吸附力,快速又完整的飘浮起来,再由机械手移到清洗工序清洗、干燥;
同时,在直向输送系统之外的,单向循环式输送装置,在直线输送装置的准备位置上,放置平面托板,又在平面托板上设置待抛光的超薄电子玻璃,此平面托板经直线输送装置的移动,又到达抛光位置;
重复以上步骤;实现超薄电子玻璃的连续抛光。
附图说明
图1是一种用于超薄电子玻璃的有气浮分离功能的连续精细抛光装置中,承载超薄电子玻璃的平面托板的剖面示意图。标号1表示平面托板上层的树脂层;标号2表示平面托板的球墨铸铁材料层;标号3表示平面托板的金属支架层;标号18表示平面托板上层的树脂层上承载的超薄电子玻璃。
图2是一种用于超薄电子玻璃的有气浮分离功能的连续精细抛光装置中,承载超薄电子玻璃的平面托板的平面示意图,标号4表示平面托板的表平面的气孔。
图3是一种用于超薄电子玻璃的有气浮分离功能的连续精细抛光装置中,在皮带上放置的承载超薄电子玻璃的平面托板,在顺着移动方向的正面的剖面示意图;标号5表示皮带输送装置的皮带层;标号15表示抛光位置中的能使平面托板上下移动的升降的装置;标号18表示平面托板上层的树脂层上承载的超薄电子玻璃。
图4是一种用于超薄电子玻璃的有气浮分离功能的连续精细抛光装置系统 的剖面示意图,标号12表示抛光液系统和抛光超薄电子玻璃的抛光机械;标号13表示气浮吹气动力装置;标号9表示皮带承载输送装置的抛光位置,其上面的标号18表示平面托板上层承载的超薄电子玻璃;标号10表示皮带承载输送装置中的用作气浮分离超薄电子玻璃的气浮分离位置上的平面托板;标号11表示皮带承载输送装置中的放置超薄电子玻璃的准备位置上的平面托板;标号5表示皮带承载输送装置的皮带;标号6表示皮带承载输送装置的传动筒;标号7表示皮带承载输送装置的承压托板,标号8表示皮带承载输送装置的承压托板的支撑架。
图5是一种用于超薄电子玻璃的有气浮分离功能的连续精细抛光装置系统的平面示意图,标号9表示皮带承载输送装置的抛光位置;标号10表示皮带承载输送装置中的用作气浮分离超薄电子玻璃的气浮分离位置;标号11表示皮带承载输送装置中的放置超薄电子玻璃的准备位置;标号14表示在皮带承载输送装置系统或轨道承载输送装置系统的前后两端,有一个在皮带承载输送装置系统或轨道承载输送装置系统之外的,能对没有承载超薄电子玻璃的备用的平面托板,从气浮分离位置到放置超薄电子玻璃的准备位置,进行循环输送的系统。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
首先准备好用于超薄电子玻璃的有气浮分离功能的连续精细抛光装置系统,其包括:
1.用于抛光超薄电子玻璃的抛光机械和抛光液系统。
2.用于承载超薄电子玻璃的平面托板的金属上表面,还有一层树脂层,其表面有10-10000个气孔。
3.在所述用于承载超薄电子玻璃平面托板的下部,安装有用于使所述承载超薄电子玻璃的平面托板移动的,皮带承载输送装置系统或轨道承载输送装置系统。
4.在皮带承载输送装置系统或轨道承载输送装置系统中,有一个精细抛光机械的抛光位置。
5.在皮带承载输送装置系统或轨道承载输送装置系统中,在抛光位置的后面还有一个用作气浮分离超薄电子玻璃的气浮分离位置.此位置还安装有能通过平面托板表面的10-10000个气孔的下部,向平面托板表面气孔吹气的,从而使电子玻璃能向上气浮的动力装置。
6.在皮带承载输送装置系统或轨道承载输送装置系统中,在抛光位置的前面,还有一个用作在平面托板上放置超薄电子玻璃的准备位置。
7.在皮带承载输送装置系统或轨道承载输送装置系统的前后两端,有一个在皮带承载输送装置系统或轨道承载输送装置系统之外的,能对没有承载超薄电子玻璃的备用的平面托板,进行循环输送的系统。
8.在精细抛光位置下的,使所述用于承载超薄电子玻璃的平面托板上下移动的升降的装置。
步骤一:把6平方米面积的,又超薄的仅0.5mm厚度的8.5代线尺寸的面板电子平板玻璃,放置于承载超薄电子玻璃的平面托板[1]的上表面;
步骤二:在皮带承载输送装置之上的承载着6平方米面积的,又超薄的仅0.5mm厚度的8.5代线尺寸的面板电子平板玻璃的平面托板[1],经皮带承载输送装置的移动,到达抛光位置;
步骤三:抛光位置中的能使平面托板[1]上下移动的升降的装置,开始使承载着超薄电子玻璃的平面托板向上移动;
步骤四:抛光液系统开始送出抛光液,抛光超薄电子玻璃的抛光机械开始对平面托板[1]上的6平方米面积的,又超薄的仅0.5mm厚度的8.5代线尺寸的面板电子平板玻璃进行抛光;
步骤五:完成对平面托板上的超薄电子玻璃进行抛光工艺后,抛光位置中的能使平面托板[1]上下移动的升降的装置,开始使承载着超薄电子玻璃的平面托板向下移动,拉开与抛光机械的上下距离;
步骤六:在皮带承载输送装置之上的承载着已精细抛好光的6平方米面积的,又超薄的仅0.5mm厚度的8.5代线尺寸的面板电子平板玻璃的平面托板[1],经皮带承载输送装置的移动,离开抛光位置;到达在抛光位置的后面的一个用作气浮分离超薄电子玻璃的气浮分离位置,经气浮吹气动力装置的作用,通过10-10000个气孔的吹气,使6平方米面积的,又超薄的仅0.5mm厚度的8.5代线尺寸的面板电子平板玻璃,克服平面托板[1]表平面的树脂层及水分形成的很强的大面积吸附力,快速又完整的飘浮起来,再由机械手移到清洗工序清洗、干燥;
同时,在皮带承载输送装置的抛光位置前面用作放置超薄电子玻璃的位置上,已经在之前已把没抛光的6平方米面积的,又超薄的仅0.5mm厚度的8.5代线尺寸的面板电子平板玻璃,放置在已备好的平面托板[2],经皮带承载输送装置的移动,离开放置超薄电子玻璃的准备位置,又到达在抛光位置;
步骤七:然后,由在皮带承载输送装置系统的前后两端,的一个在皮带承载输送装置系统或轨道承载输送装置系统之外的,能对没有承载超薄电子玻璃的备用的平面托板,进行循环输送的系统,把已经取出了的精细抛好光的超薄电子玻璃的平面托板[1],循环输送到抛光位置前面用作放置超薄电子玻璃的位置上。或者为了加快循环效率,备用3-10个超薄电子玻璃的平面托板;
重复步骤一到七,就形成了一种用于超薄电子玻璃的有气浮分离功能的连续精细抛光装置的抛光工艺方法的实施例。
[A].本发明一种用于超薄电子玻璃的有气浮分离功能的连续精细抛光装置及其制备方法,是一种组合发明。
本发明的结构组合包括:1.用于抛光超薄电子玻璃的抛光机械和抛光液系统;2.用于承载超薄电子玻璃的平面托板,其表面有10-10000个气孔;3.在所述用于承载超薄电子玻璃平面托板的下部,安装有用于使所述承载超薄电子玻璃的平面托板移动的,皮带承载输送装置系统或轨道承载输送装置系统;4.在皮带承载输送装置系统或轨道承载输送装置系统中,有一个精细抛光机械的抛光位置,在此位置的所述用于承载超薄电子玻璃的平面托板的下方,其还有一个能使承载超薄电子玻璃的平面托板上升与下降的装置;5.在皮带承载输送装置系统 或轨道承载输送装置系统中,在抛光位置的后面还有一个用作气浮分离超薄电子玻璃的气浮分离位置.此位置还安装有能通过平面托板表面的10-10000个气孔的下部,向平面托板表面气孔吹气的,从而使电子玻璃能向上气浮的动力装置;6.在皮带承载输送装置系统或轨道承载输送装置系统中,在抛光位置的前面,还有一个用作在平面托板上放置超薄电子玻璃的准备位置;7.在皮带承载输送装置或轨道承载输送装置的前后两端,有一个在皮带承载输送装置或轨道承载输送装置之外的,能对没有承载超薄电子玻璃的备用的平面托板,进行循环输送的系统。
其所组合的技术特征在功能上彼此互相是支持的,而且各个部分的现有技术都没有给予对上述7个部分进行组合的启示,尤其要使[1]超大面积的0.5-1.99平方米或2-7平方米的超薄电子玻璃在抛光时放置于很平整的承载体表面,[2]又能在经过循环移动后,承载体在抛光时又能与抛光设备有精准而稳定的距离间隙与平面定位,[3]同时又能有自动化循环的功能,[4]尤其还能快速克服超大面积的超薄电子玻璃因抛光水分与极平整的树脂面形成的很强的大面积吸附力的难点;这4点在一个自动化循环精细抛光装备系统的技术方案中得到解决。从而达到对超薄的0.1-0.7mm的,又超大面积的0.5-1.99平方米或2-7平方米的电子玻璃进行高质量、又无破碎的、高效率的生产的技术效果。
尤其抛光位置中的能使平面托板上下移动的升降的装置,其创造性在于:上升的平面托板在抛光时,能处于精确稳定位置,不会受皮带或轨道运动的误差或磨损误差这种结抅变化,而产生的在精细抛光位置上,对所承载的平面托板与抛光机械之间的高低或平整度的误差,而造成不能达到对用于对超薄的0.1-0.7mm的,又超大面积的0.5-1.99平方米或2-7平方米的电子玻璃进行高质量、又无破碎的、高效率的、自动化循环精细抛光的技术效果。
本组合发明取得了,与各组合的原有的各个独立的技术特征在功能上完全不同的总体的新的技术特征,所以不管其每个被组合的技术特征是否为已知特征,都不影响本发明的创造性。
这些技术组合方案的发明和尤其更明显的是,经过本发明的对超薄的0.1-0.7mm的,又超大面积的0.5-1.99平方米或2-7平方米的电子玻璃的精细抛 光工艺方法的过程,使本发明的完全不同的新的技术特征得以展现,这是本技术领域的技术人员予先难以想到的,无法事先推测、无法预测的,具有非显而易见的技术效果,具有突出的实质性特点和显著的技术进步,具有创造性。
[B].本发明尤其是,能解决人们一直渴望解决但始终未能获得成功的技术难题:一切公知的先有技术方案,都不能解决对超薄的0.1-0.7mm的,又超大面积的0.5-1.99平方米或2-7平方米的电子玻璃,进行高质量又无破碎的高效率的自动化循环精细抛光的装置技术难题和工艺方法的技术难题。在电子行业中,到目前为止还从来没有人公开或揭示过任何能解决以上难题的技术方案。
这涉及对高技术领域中,在有极高价值的TFT液晶面板玻璃的8.5代尺寸、7.5代尺寸、6.5代尺寸、5代尺寸、等超大面积的显示器面板生产线环节中,对所需的0.8-1.99平方米或2-7平方米面积的,又超薄的仅0.1-0.7mm厚度的电子玻璃产品产业链应用中,在制作电视或平板计算机或智能手能手机的显示器面板前,对其TFT液晶面板玻璃的波纹度及划痕及表面碴质等质量缺陷,进行高质量又无破碎的高效率的自动化循环精细抛光质量保障予先技术处理,或对已查出的TFT液晶面板玻璃波纹度及划痕及表面碴质等质量缺陷进行高质量又无破碎的高效率的自动化循环精细抛光的修复性技术处理等重大技术的新增和改革。这完全是一个人们一直渴望解决但始终未能获得成功的,高技术电子产业的上游材料领域中有极高经济价值和技术难度的技术难题。说明本发明方案有非显而易见的技术效果,具有突出的实质性特点和显著的技术进步,具有创造性。
在高技术的电子显示器产业链的下游,本发明由于能解决能更好的克服TFT液晶面板玻璃波纹度及划痕及表面碴质等造成制作电视或平板计算机或智能手能手机的显示面板的不合格率的主要材料性障碍因素,从而能提升TFT液晶面板玻璃的质量及合格率或可靠性;这也完全是一个人们一直渴望解决但始终未能获得成功的,高技术电子产业领域中有极高经济价值和技术难度的技术难题。也说明本发明方案有非显而易见的技术效果,具有突出的实质性特点和显著的技术进步,具有创造性。
以上所述,仅是为了说明本发明的较佳优选实施例而已,然而其并非是对 本发明的限制,任何熟悉本项技术的人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或修饰为等同变化的等效实施例,都可以按不同要求,实施本发明一种用于超薄电子玻璃的有气浮分离功能的连续精细抛光装置及其制备方法。
可见,凡是未脱离本发明技术方案的内容,尤其是权利要求之内容,依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改,等同变化与修饰,均仍属本发明技术方案的范围内。

Claims (8)

1.一种具有气浮分离功能的超薄电子玻璃的连续精细抛光装置,其特征在于包括:
用于抛光超薄电子玻璃的抛光机械和抛光液系统;
用于承载超薄电子玻璃的平面托板,其表面有10-10000个气孔;
用于向所述气孔供气的气浮动力系统;
用于带动所述平面托板移动的直向输送系统,该输送系统安装在所述平面托板的下部,其中该直向输送装置上具有:
抛光段,所述抛光机械和抛光液系统均位于该抛光段上,
气浮分离段,该气浮动力系统的输出气管连接至位于该气浮分离段的平面托板的多个气孔,以及
准备段,所述平面托盘从该准备段进入所述输送装置的上方。
2.根据权利要求1所述的连续精细抛光装置,其特征在于:所述直线输送装置为皮带输送装置或轨道输送装置。
3.根据权利要求1的连续精细抛光装置,其特征在于:在直向输送系统之外,设有单向循环式输送装置;该单向循环式输送装置,能将直向输送系统中气浮分离段位置的平面托板,传递至直向输送系统中准备段。
4.根据权利要求1所述的连续精细抛光装置,在直向输送系统之外的,单向循环式输送装置,或者是吊装循环式输送装置;或者是皮带循环式输送装置;或者是轨道循环式输送装置。
5.根据权利要求1的连续精细抛光装置,其特征在于:该直向输送装置为往复式直向输送装置。
6.根据权利要求1的连续精细抛装置,其特征在于:该连续精细抛光装置还包括升降所述平面托板的升降装置,该升降装置位于所述抛光机械的下方。
7.根据权利要求1的连续精细抛光装置,其特征在于:该平面托板包括下方的金属层和上方的树脂层。
8.一种具有气浮分离功能的超薄电子玻璃连续精细抛光方法,其特征在于包括以下步骤:
把超薄电子平板玻璃,放置于直向输送装置之上的,准备段的平面托板的上表面;
在直向输送装置之上的准备段的,承载着超薄电子玻璃的平面托板,经直向输送装置的移动,到达抛光位置;
升降装置使承载着超薄电子玻璃的平面托板向上移动,到达抛光平面位;
抛光液系统开始送出抛光液,抛光机械开始对平面托板上的超薄电子玻璃进行抛光;
完成对超薄电子玻璃抛光后,升降装置使承载着超薄电子玻璃的平面托板向下移动,拉开与抛光机械的距离;
承载着已精细抛好光的超薄电子玻璃的平面托板经直线输送装置的移动,到达气浮分离位置;在气浮动力装置的作用下,通过10-10000个气孔的吹气,使超薄电子玻璃克服平面托板表平面的树脂层及水分形成的吸附力,快速又完整的飘浮起来,再由机械手移到清洗工序清洗、干燥;
同时,在直向输送系统之外的,单向循环式输送装置,在直线输送装置的准备位置上,放置平面托板,又在平面托板上设置待抛光的超薄电子玻璃,此平面托板经直线输送装置的移动,又到达抛光位置;
重复以上步骤;实现超薄电子玻璃的连续抛光。
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