CN106132444A - 灭菌装置真空排气系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种灭菌装置真空排气系统，其包括：灭菌室；第一真空泵，被连接到所述灭菌室的一侧；机油过滤器部，用于使从所述灭菌室流入的蒸气经由所述第一真空泵排出；第二真空泵，被连接到所述第一真空泵和所述机油过滤器部，所述灭菌装置真空排气系统包括被连接到所述第一真空泵和所述机油过滤器(Oil Mist Trap)部的第二真空泵，通过开启所述第二真空泵对所述第一真空泵的工作油施加真空，向所述第一真空泵提供用于使液态水蒸发的规定压力，由此能够使捕集到所述第一真空泵的工作油中的水蒸气汽化。

Description

灭菌装置真空排气系统

技术领域

本发明涉及一种灭菌装置真空排气系统，更详细而言，涉及一种用于防止水分被捕集到真空泵油中的灭菌装置真空排气系统。

背景技术

医疗器械通常由高压蒸气灭菌方法或者由环氧乙烷气体灭菌方法等来进行灭菌，其中，所述高压蒸气灭菌方法利用高压下饱和的水蒸气，所述环氧乙烷气体灭菌方法利用不会对耐热性弱的器械或材料带来损伤的如环氧乙烷等化学物质。

但是，由于高压蒸气灭菌器在120℃以上的高温下进行灭菌，因此近来开发中的用合成树脂制成的医疗器械会产生变形，用钢制成的医疗器械的锋利刀刃钝化，从而与现有寿命相比医疗器械的寿命大幅缩短。特别地，随着最新手术技术的发展而增加的高价医疗设备、器械和装置对热和湿气敏感，在灭菌再处理过程中有可能被损坏，因此高压蒸气灭菌方法有可能是不合适的灭菌方法。

能够使这种设备损伤最小化的环氧乙烷气体灭菌器可在低温下进行灭菌，但是由于在被灭菌物中残留环氧乙烷或由此导致的反应生成物而有可能生成致癌物质及毒性物质，因此在灭菌之后需要约12小时以上的换气时间。此外，根据有关报告，环氧乙烷气体的自爆炸性较高，并且有可能作为能够引起突变的遗传毒性物质发挥作用，从而环氧乙烷气体被规定为致癌物质，在使用该环氧乙烷气体时需要格外小心。

相反，使用过氧化氢蒸气的灭菌方法在40～50℃的温度下进行30～60分钟内的短时间灭菌，并且在灭菌后排放到大气中的物质为对人体或环境无害的水和氧气，因此能够弥补高压蒸气灭菌器和环氧乙烷气体灭菌器的各种缺点。

此时，利用这种液体过氧化氢蒸气的灭菌法基本上存在水蒸气，该水蒸气在真空排气过程中会经过真空泵。

一般而言，经由真空泵的一部分水蒸气被持续汽化或溶解到空气中而排出，但无法完全排出该水蒸气，该水蒸气被捕集并积聚到真空泵油中。

此外，当在灭菌周期中包括用于去除灭菌剂水溶液中的水分等过程时，水分被积聚到空泵油中的速度会更快。

在这种情况下，即在因水蒸气以水分形态持续积聚到真空泵油中而该水蒸气量过多的情况下，会导致真空泵内表面的腐蚀或真空排气能力的下降。

此外，当真空泵油中包含过多水分时，水分在排气过程中无法被充分捕集到机油过滤器(油雾收集器，Oil Mist Trap)等中，从而限制能够使用设备的空间。

此外，捕集到真空泵油中的水蒸气会加快水分被捕集并积聚到真空泵中，该水蒸气不仅包括从过氧化氢水中蒸发的水蒸气，而且包括从清洗后未充分干燥的灭菌对象物或高湿环境下在表面吸附有水分的灭菌对象物等流入的水蒸气。

另外，在无油干式真空泵的情况下，其真空排气性能低于有油真空泵，在使用高价且具有高真空排气性能的干式真空泵的情况下，由于排气量不足而不适合作为对高容量容器进行真空排气的用途而使用。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而开发的，其目的在于提供一种用于防止水分被捕集到真空泵油中的灭菌装置真空排气系统。

本发明的目的并不限定于以上所提及的目的，本领域技术人员能够从下面的记载中明确理解没有提及的其它目的。

为了解决上述所指出的问题，本发明提供一种灭菌装置真空排气系统，其包括：灭菌室；第一真空泵，被连接到所述灭菌室的一侧；机油过滤器部，用于使从所述灭菌室流入的蒸气经由所述第一真空泵排出；和第二真空泵，被连接到所述第一真空泵和所述机油过滤器部。

此外，本发明提供一种灭菌装置真空排气系统，其进一步包括被连接到所述灭菌室的另一侧的灭菌剂水溶液供给装置。

此外，本发明提供一种灭菌装置真空排气系统，其特征在于，所述第一真空泵为有油真空泵。

此外，本发明提供一种灭菌装置真空排气系统，其特征在于，所述第二真空泵为无油干式真空泵。

此外，本发明提供一种灭菌装置真空排气系统，其特征在于，所述第二真空泵使所述第一真空泵的工作油暴露于规定压力的真空度中，所述规定压力为能够使捕集到所述工作油中的水分为沸点以下的压力。

此外，本发明提供一种灭菌装置真空排气系统，其特征在于，包括：第一通路开闭阀部，位于所述第一真空泵与所述机油过滤器部之间，所述第二真空泵和所述第一通路开闭阀部在所述第一真空泵与所述机油过滤器部之间被并联连接。

此外，本发明提供一种灭菌装置真空排气系统，其特征在于，所述第一通路开闭阀部为单向阀。

此外，本发明提供一种灭菌装置真空排气系统的真空排气方法，其包括以下步骤：开启第一真空泵对真空室进行排气；开启第二真空泵对所述第一真空泵的工作油施加真空；以及使捕集到第一真空泵的工作油中的水蒸气汽化。

此外，本发明提供一种灭菌装置真空排气系统的真空排气方法，其在使捕集到第一真空泵的工作油中的水蒸气汽化的步骤之后，进一步包括以下步骤：关闭所述第一真空泵并维持所述第二真空泵的开启状态；以及关闭所述第二真空泵。

此外，本发明提供一种灭菌装置真空排气系统的真空排气方法，其在使捕集到第一真空泵的工作油中的水蒸气汽化的步骤之后，进一步包括以下步骤：关闭所述第二真空泵。

此外，本发明提供一种灭菌装置真空排气系统的真空排气方法，其在开启所述第一真空泵对真空室进行排气的步骤之后，进一步包括以下步骤：关闭所述第一真空泵结束真空室的排气。

根据如上所述的本发明，包括被连接到所述第一真空泵和所述机油过滤器(OilMist Trap)部的第二真空泵，通过开启所述第二真空泵对所述第一真空泵的工作油施加真空，从而向所述第一真空泵提供用于使液态水蒸发的规定压力，由此能够使捕集到所述第一真空泵的工作油中的水蒸气汽化。

附图说明

图1是表示本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统的示意性立体图。

图2是用于说明本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统的真空排气方法的流程图。

图3是表示本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统的第一应用例的结构示意图。

图4是表示本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统的第一应用例的灭菌方法的顺序图。

图5是表示本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统的第二应用例的结构示意图。

图6是表示本发明第二实施例的灭菌装置真空排气系统的示意性立体图。

图7是表示本发明第三实施例的灭菌装置真空排气系统的示意性立体图。

具体实施方式

参照附图的同时参照详细地后述的实施例，本发明的优点及特性以及实现这些的方法将会明确。但是，本发明并不限定于以下所公开的实施例，而是可以以彼此不同的多种方式实现，本实施例仅仅用于完整地公开本发明，并且为了向本发明所属技术领域的技术人员完整地告知本发明的范围而提供的，本发明仅由权利要求的范围定义。

下面，参照附图对用于实施本发明的具体内容进行详细说明。与附图无关地，相同的附图标记表示相同的结构要素，“和/或”包括所提及的项目中的每一个和一个以上的所有组合。

虽然第一、第二等用语用于描述多种结构要素，但这些结构要素并非由这些用语限定。所述用语仅仅为了将一个结构要素与其它结构要素相区别而使用。因此，当然以下所提及的第一结构要素在本发明的技术思想范围内也可以是第二结构要素。

本说明书中所使用的用语用于说明实施例，并不限制本发明。在本说明书中，单数形式只要在句子中未特别提及就也包括复数形式。在说明书中使用的“包括(comprises)”和/或“包含(comprising)”并不排除所提及的结构要素之外的一个以上的其它结构要素的存在或附加。

如果没有其它定义，则在本说明书中所使用的所有用语(包括技术用语及科技用语)能够以本发明所属技术领域的技术人员共同理解的含义使用。另外，在通常使用的词典中定义的用语只要没有被明确地特别定义，就不被理想地或过度地解释。

如附图所示，作为空间上相对的用语的“下面(below)”、“下方(beneath)”、“下部(lower)”、“上方(above)”、“上部(upper)”等用语为了易于描述一个结构要素与其它结构要素之间的相关关系而使用。空间上相对的用语应被理解为除附图所示的方向以外，还包括使用时或动作时的结构要素的彼此不同的方向的用语。例如，在将附图所示的结构要素翻转时，被描述为处于其它结构要素的“下面(below)”或“下方(beneath)”的结构要素可位于其它结构要素的“上方(above)”。因此，示意性用语“下方”均可包括上方和下方的方向。结构要素也可以定向成其它方向，因此空间上相对的用语可根据定向来解释。

下面，参照附图对本发明的优选实施例进行详细说明。

图1是表示本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统的示意性立体图。

参照图1，本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统包括灭菌室10。

所述灭菌室10表示能够容纳如欲灭菌医疗器械或手术用工具等被灭菌物的容器。此时，在所述灭菌室10的一侧可包括供所述被灭菌物出入的门。

此外，可包括被连接到所述灭菌室10的一侧的灭菌剂水溶液供给装置40，可通过由所述灭菌剂水溶液供给装置40供给的灭菌剂，在所述灭菌室10中对被灭菌物进行灭菌。

此时，在所述灭菌剂水溶液供给装置40与灭菌室10之间可包括灭菌剂水溶液供给调节阀41，从而供给适量的灭菌剂水溶液。

另外，在本发明中所述灭菌剂可以是过氧化氢，所述灭菌剂水溶液可以是过氧化氢水。

此外，本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统可包括被连接到所述灭菌室10的另一侧的第一真空泵20，所述第一真空泵20通过抽吸所述灭菌室10内部的气体而使其形成真空状态。

本发明的特征在于，所述第一真空泵20为有油真空泵。在无油干式真空泵的情况下，与有油真空泵相比真空排气性能下降，在使用高价且具有高真空排气性能的干式真空泵的情况下，由于排气量不足而不适合作为对高容量容器进行真空排气的用途来使用。因此，在本发明中优选所述第一真空本20为有油真空泵。

此时，在所述灭菌室10与所述第一真空泵20之间可连接有能够控制所述第一真空泵20的操作的第一真空阀21。

另外，在所述灭菌室10与所述第一真空泵20之间可包括催化剂反应部22。

从所述灭菌室10排出并流入到所述第一真空泵20中的蒸气包含以有害状态排出的气体，所述催化剂反应部22能够使这种有害成分氧化而生成经无害化处理的废气。

但是，在本发明中并不限定所述催化剂反应部22的有无。

继续参照图1，本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统包括机油过滤器(OilMist Trap)部50。

所述机油过滤器(Oil Mist Trap)部50为在经由所述第一真空泵20最终排出从所述灭菌室10流入的蒸气的过程中，用于捕集蒸气中包含的油的部分，可通过所述机油过滤器(Oil Mist Trap)部50来捕集油，并使蒸气通过及排出。

上述第一真空泵20和机油过滤器(Oil Mist Trap)部50相当于在灭菌装置中通常使用的结构。

此时，利用这种灭菌剂水溶液的灭菌法基本上存在水蒸气，该水蒸气在真空排气过程中经过真空泵。

一般而言，经由真空泵的一部分水蒸气被持续汽化或溶解到空气中而排出，但无法完全排出该水蒸气，该水蒸气被捕集并积聚到第一真空泵的油中。

此外，将在后述的本发明的应用例中图示那样，当在灭菌周期中包括用于去除灭菌剂水溶液中的水分等过程时，水分被积聚到第一真空泵油中的速度会更快。

在这种情况下，即在因水蒸气以水分形态持续积聚到第一真空泵油中而该水蒸气量过多的情况下，会导致第一真空部内表面的腐蚀或第一真空排气能力的下降。

此外，当在第一真空泵油中包含过多水分时，水分在排气过程中无法被充分捕集到机油过滤器(Oil Mist Trap)部50中，需要在允许油蒸气存在的空间内设置设备，从而限制能够使用设备的空间。

因此，在本发明中，为了防止将有油真空泵作为第一真空泵使用时一部分水蒸气被捕集并积聚到油中，导入如下的第二真空泵。

更具体而言，参照图1，本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统包括被连接到所述第一真空泵20和所述机油过滤器(Oil Mist Trap)部50的第二真空泵30。

其特征在于，所述第二真空泵30为无油干式真空泵。在所述第二真空泵为有油真空泵的情况下，仍然会发生水蒸气被捕集并积聚到第二真空泵的油中的问题，因此，在本发明中优选所述第二真空泵为无油干式真空泵。

所述第二真空泵30为使所述第一真空泵20的工作油暴露于规定压力的真空度中的结构，所述规定压力是指能够使捕集到所述工作油中的水分为沸点以下的压力。

即如上所述，经由第一真空泵的一部分水蒸气被持续汽化或溶解到空气中而排出，但无法完全排出该水蒸气，该一部分水蒸气以液态被捕集并积聚到第一真空泵油中。

因此，在本发明中为了使捕集到所述第一真空泵油中的液态水汽化，向所述第一真空泵20提供用于使所述液态水蒸发的规定真空度，向所述第二真空泵30提供用于使捕集到所述第一真空泵20的油中的液态水汽化的规定真空度。

如上所述，所述规定压力为能够使捕集到工作油中的水分为沸点以下的压力，更具体而言，所述规定压力可以是50至150mb的压力。

因此，在本发明中所述第二真空泵30可以是能够提供50至150mb压力的干式真空泵。

接着，对连接到所述第一真空泵20和所述机油过滤器(Oil Mist Trap)部50的第二真空泵30的连接关系进行说明则如下所示。

参照图1，所述第二真空泵30被串联连接到所述第一真空泵20和所述机油过滤器(Oil Mist Trap)部50。

此时，在所述第二真空泵30与所述第一真空泵20之间可包括第一通路开闭阀部31，即可借助所述第一通路开闭阀部31，从所述第一真空泵20流入的水蒸气经由第二真空泵30，最终通过所述机油过滤器部50。

此外，在所述第一真空泵20与所述机油过滤器部50之间包括第二通路开闭阀部32，可借助所述第二通路开闭阀部32，从所述第一真空泵20流入的水蒸气经由或不经由第二真空泵30，通过所述机油过滤器部50。

即，可根据所述第一通路开闭阀部31和第二通路开闭阀部32的开闭与否，从第一真空泵20流入的水蒸气经由或不经由第二真空泵30。

另外，图1中示出使用所述第一通路开闭阀部31和第二通路开闭阀部32这两个阀部的情况，与此不同地，可通过单向阀这一个阀来控制所述第一通路和所述第二通路的开启/关闭。对此，将通过后述的第三实施例进行更为具体的说明。

下面，对本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统的真空排气方法进行说明。

图2是用于说明本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统的真空排气方法的流程图。

参照图2，首先，本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统的真空排气方法包括以下步骤S11：开启第一真空泵对真空室进行排气。

如后述，在灭菌过程中可反复进行所述第一真空泵的开启/关闭，当所述第一真空泵处于开启状态时，相当于对真空室进行排气的步骤。

此时，所述第一真空泵的排气部的真空度可以是大气压以上，灭菌室的真空度可以是10～150mb。

另外，在S11步骤中，第一真空泵21可以是打开状态，第一通路开闭阀部31可以是闭合状态，第二通路开闭阀部32可以是打开状态。

接着，包括以下步骤S12：开启第二真空泵对所述第一真空泵的工作油施加真空。

如上所述，经由所述第一真空泵的一部分水蒸气被持续汽化或溶解到空气中而排出，但无法完全排出该水蒸气，该一部分水蒸气以液态被捕集并积聚到第一真空泵油中。

因此，在本发明中为了使捕集到所述第一真空泵油中的液态水汽化，向所述第一真空泵20提供用于蒸发所述液态水的规定压力，向所述第二真空泵30提供用于使捕集到所述第一真空泵20的油中的液态水汽化的规定压力。

此时，所述第一真空泵的排气部的真空度可以是大气压～50mb，灭菌室的真空度可以是10～150mb。

另外，在S12步骤中，第一真空阀21可以是打开状态，第一通路开闭阀部31可以是打开状态，第二通路开闭阀部32可以是闭合状态。

此时，在S12步骤、即开启第二真空泵对所述第一真空泵的工作油施加真空的步骤中，所述第一真空泵可以是开启状态或关闭状态。

即，在所述第一真空泵为开启状态、即通过第一真空泵对真空室进行排气的状态下，可进行S12步骤，即开启第二真空泵对所述第一真空泵的工作油施加真空。

此外，在第一真空泵为关闭状态、即结束通过第一真空泵对真空室进行排气的状态下，可进行S12步骤，即开启第二真空泵向所述第一真空泵的工作油施加真空。

因此，在本发明中，在进行S11步骤、即开启所述第一真空泵对真空室进行排气的步骤之后，进一步可包括以下步骤：关闭所述第一真空泵结束真空室的排气。

即在关闭所述第一真空泵结束真空室的排气的步骤之后，可进行以下步骤：开启第二真空泵对所述第一真空泵的工作油施加真空。

接着，包括以下步骤S13：使捕集到所述第一真空泵的工作油中的水蒸气汽化。

该S13步骤可与上述S12步骤同时进行，即，通过开启第二真空泵对所述第一真空泵的工作油施加真空，向所述第一真空泵20提供用于使所述液态水蒸发的规定压力，由此能够使捕集到所述第一真空泵的工作油中的水蒸气汽化。

即，通过使捕集到所述第一真空泵的工作油中的水蒸气汽化，液态水不会被捕集到所述工作油中，最终经由机油过滤器部50排出到外部。

此时，所述第一真空泵的排气部的真空度可以是50～150mb，灭菌室的真空度可以是0.1～20mb。

另外，在S13步骤中，第一真空阀21可以是打开状态，第一通路开闭阀部31可以是打开状态，第二通路开闭阀部32可以是闭合状态。

接着，包括以下步骤S14：关闭所述第一真空泵并维持所述第二真空泵的开启状态。

即在S14步骤中，虽然关闭第一真空泵结束所述灭菌室的排气，但可以是使捕集到所述第一真空泵的工作油中的液态水继续汽化的步骤。

在该情况下，所述第一真空泵的排气部的真空度可以是50～150mb，灭菌室的真空度可以是0.5～1mb。

此时，在S14步骤中，第一真空阀21可以是闭合状态，第一通路开闭阀部31可以是打开状态，第二通路开闭阀部32可以是闭合状态。

另外，当真空排气时间充足，从而包含水蒸气的气体从灭菌室排出的速度较低时，一般可省略上述S14步骤。

但是，在真空排气时间短且第二真空泵的排气速度低的情况下，进一步可进行S14步骤，因此在本发明中上述S14步骤并不是必需的步骤。

接着，可通过关闭所述第二真空泵，完成本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统的真空排气。

如上所述，本发明包括被连接到所述第一真空泵20和所述机油过滤器(Oil MistTrap)部50的第二真空泵30，通过开启所述第二真空泵对所述第一真空泵的工作油施加真空，从而向所述第一真空泵提供用于使所述液态水蒸发的规定压力，由此能够使捕集到所述第一真空泵的工作油中的水蒸气汽化。

下面，对本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统的应用例进行说明。

图3是表示本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统的第一应用例的结构示意图。

另外，在本发明中，由于所述真空排气系统与上述真空排气系统相同，因此省略具体说明，以下对第一应用例的灭菌装置进行具体说明。

参照图3，本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统的第一应用例100包括灭菌室110。

所述灭菌室110表示能够容纳如欲灭菌医疗器械或手术用工具等被灭菌物的容器。此时，在所述灭菌室110的一侧可包括供所述被灭菌物出入的门。

此外，可包括被连接到所述灭菌室110的一侧的第一真空泵20，所述第一真空泵20通过抽吸所述灭菌室110内部的气体而使其形成真空状态。此时，在所述灭菌室110与所述第一真空泵20之间连接有能够控制所述第一真空泵20的操作的第一真空阀21。这与上述相同，因此以下省略具体说明。

继续参照图3，本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统的第一应用例100包括：汽化器130(或可称为蒸发器)，被连接到所述灭菌室110的另一侧，并向所述灭菌室110供给过氧化氢蒸气；以及过氧化氢供给装置150，用于向所述汽化器130供给过氧化氢。

此时，在所述灭菌室110与所述汽化器130之间可包括汽化阀131。

此外，本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统的第一应用例100包括收集器140(或可称为收集汽化器)，所述收集器140的一侧与所述汽化器130连接，另一侧与所述灭菌室110连接，用于浓缩供给到所述汽化器130中的过氧化氢。

此时，在所述灭菌室110与所述收集器140之间可包括汽化阀131。

此外，在所述灭菌室110与所述收集器140之间可包括收集阀141。

即在所述灭菌室110与所述收集器140之间并联连接有汽化阀131和收集阀141。

另外如上述，在所述灭菌室110与所述汽化器130之间可包括汽化阀131，即所述汽化阀131的一侧可与灭菌室110连接，另一侧可与汽化器130和收集器140并联连接。

继续参照图3，本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统的第一应用例100可包括：第一连接管道142，用于连接所述收集器140和所述汽化阀131；以及第二连接管道133，用于连接所述汽化阀131和所述灭菌室110。

此外，可包括：第三连接管道143，用于连接所述收集器140和所述收集阀141；以及第四连接管道144，用于连接所述收集阀141和所述灭菌室110。

此时，虽然图中示出所述第四连接管道144与所述第二连接管道133连接，在灭菌室110与收集器140之间并联连接有汽化阀131和收集阀141，但与此不同地，所述第四连接管道144可与所述灭菌室110直接连接，在灭菌室110与收集器140之间并联连接有汽化阀131和收集阀141。

此外，可包括用于连接所述汽化器130和所述汽化阀131的第五连接管道132，此时，虽然图中示出所述第五连接管道132与所述第一连接管道142连接，汽化阀131与汽化器130和收集器140并联连接，但与此不同地，所述第五连接管道132可与所述汽化阀131直接连接，汽化阀131可与汽化器130和收集器140并联连接。

此时，可通过所述汽化阀131和所述收集阀141的打开/闭合操作来控制所述第一连接管道142至所述第五连接管道132的流体流动，并且可通过另外的控制部来控制所述汽化阀131和所述收集阀141的打开/闭合操作。

另外，如图所示，用于连接收集器140和汽化阀131的第一连接管道142及用于连接汽化阀131和灭菌室110的第二连接管道133的内径可大于其它连接管道、即第三连接管道143至第五连接管道132的内径，例如在第三连接管道143至第五连接管道132为1/4英寸管道的情况下，所述第一连接管道142及第二连接管道133可以是1英寸管道。对此将在后面进行说明。

另外，虽然未图示，但可包括温度控制机构，所述温度控制机构用于控制所述灭菌室110、汽化器130和收集器140的温度，所述温度控制机构可以是加热器，这对本领域技术人员来说显而易见的，因此省略对该温度控制机构的具体说明。

此外，在所述收集器140的情况下，作为温度控制机构进一步可包括冷却机构，所述冷却机构可使用利用冷却水或热电元件的直接冷却或利用换热器的送风进行的空冷式等适当的机构。

下面，对利用本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统的第一应用例的灭菌方法进行说明。

图4是表示本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统的第一应用例的灭菌方法的顺序图。

参照图4，本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统的第一应用例的灭菌方法包括以下步骤S110：对灭菌室110(或可称为杀菌室)和汽化器130进行真空排气。

对所述灭菌室110和所述汽化器130进行真空排气的步骤可通过使所述第一真空泵20运转(开启状态)，并打开所述第一真空阀21来进行真空排气。

另外，S110步骤、即对灭菌室和汽化器进行排气的步骤可持续到后述的S160步骤，当灭菌室达到规定的设定压力，并完成去除水分后的过氧化氢液体在收集器内的收集时，可结束该步骤。

此外，为了对所述汽化器130进行真空排气，所述灭菌室110与所述汽化器130之间的汽化阀131或所述灭菌室110与所述收集器140之间的收集阀141为打开状态，通过使所述汽化器130与真空排气中的灭菌室连通而使所述汽化器130达到大气压以下的压力，并在下一步骤中闭合汽化阀131或收集阀141。

另外，可与对所述灭菌室110和所述汽化器130进行真空排气的步骤一同，将所述灭菌室和所述汽化器维持在由所述温度控制机构设定的温度。

接着，包括以下步骤S120：向第一温度及第一压力的汽化器130加入第一浓度的过氧化氢水。

所述过氧化氢水的加入可通过用于储存第一浓度的过氧化氢水的过氧化氢供给装置150来加入，并且虽然在图3中未图示，但在所述汽化器130与所述过氧化氢供给装置150之间可包括过氧化氢水供给调节阀(未图示)，从而供给适量的过氧化氢水。

此时，所述过氧化氢水的第一浓度可以是60重量％以下。

如上述，在处理过氧化氢溶液即过氧化氢水时，过氧化氢水的浓度限制在60重量％以下，从而事实上难以将60重量％以上的高浓度过氧化氢作为灭菌剂使用。

即在本发明中，所述过氧化氢水的第一浓度表示能够处理的过氧化氢水的浓度，在理解本发明的宗旨方面不具有重要意义。

此外，所述第一温度可以是60至70℃，所述第一压力可以是800mb(毫巴)至大气压。

此时，在S120步骤中，在第一浓度的过氧化氢水被加入到所述汽化器130中的期间，所述汽化阀131和所述收集阀141可处于闭合状态，但根据供给装置可以是打开状态。

另外，在S120步骤中，所述灭菌室110的压力可以是600mb至大气压，温度可以是45至55℃，并且所述收集器140的压力可以是800mb至大气压，温度可以是38至42℃。

此时，本发明的特征在于，所述第一温度高于所述灭菌室的温度。

在所述第一温度的情况下，在从过氧化氢水中汽化更多水蒸气的过程中所述第一温度相当于汽化器的温度，在水蒸气的汽化过程中产生非常强的吸热反应，从而非常强烈地抑制汽化速度。

此时，如果欲提高汽化速度，则还具有通过降低汽化器的压力而提高真空度的方法，但具有因过氧化氢的汽化比率也有可能上升而过氧化氢的消耗增加的缺点，并且由于在低温状态下难以顺利地供给汽化所需的热量，因此优选为第一温度至少高于灭菌室的温度。

接着，包括以下步骤S130：通过使所述第一浓度的过氧化氢水汽化而形成第二浓度过氧化氢水。

即，加入到所述汽化器130中的第一浓度的过氧化氢水被汽化(即去除水分)而形成第二浓度的过氧化氢水。

所述过氧化氢水的第二浓度可以是75重量％至85重量％，S130步骤可以是如下的过氧化氢水第一浓缩步骤：通过使60重量％以下的过氧化氢中的水分汽化而形成75重量％至85重量％浓度的过氧化氢水

一般而言，在相同的温度和压力下，由于水的蒸气压高于过氧化氢的蒸气压，因此水能更迅速地蒸发，并且由于水的分子量低于过氧化氢的分子量，因此与过氧化氢相比水更能迅速扩散到气相中。

因此，在相同的温度和压力条件下，由于与过氧化氢相比水(即，水分)能更迅速蒸发并扩散，因此过氧化氢水中的水比过氧化氢先蒸发/扩散，能够形成第二浓度的过氧化氢水。

此时，蒸发的水经由灭菌室110且通过第一真空泵真空排出，因此，在S130步骤中运转(开启状态)所述第一真空泵20，所述第一真空阀21和汽化阀131处于打开状态。

另外，在S130步骤中，因汽化过程中的吸热反应而所述汽化器130的温度暂时降低，所述汽化器130的温度可以在55至65℃的范围内，压力可以是30至800mb(毫巴)。

此外，在蒸发的水经由灭菌室110且通过第一真空泵真空排出的期间，所述灭菌室110的压力可以在10至600mb的范围内，温度可以是45至55℃，并且所述收集器140的压力可以在20至500mb的范围内，温度可以是35至40℃。

虽然从进行S130步骤并灭菌室的真空度达到10mb～150mb的步骤起排气量减少，但为所排出的气体中的水蒸气及过氧化氢蒸气的比率高于氧气、氮气等一般大气的步骤，从而为经由真空泵的水蒸气比率急剧上升的步骤，是水蒸气被积聚到真空泵内的速度提高的步骤。

另外，在S130步骤中，可开始进行上述的真空排气系统的真空排气。

即在S130步骤中，进行灭菌过程，并且处于真正需要去除真空泵油中含有的水分的时期，因此在该S130步骤中，可进行上述S12步骤，即开启第二真空泵对所述第一真空泵的工作油施加真空。

但是，并不是通过S130步骤来限定S12步骤的起始点，可根据需要，将后述S140步骤至S160步骤作为S12步骤的起始点。

接着，包括以下步骤S140：向第二温度及第二压力的收集器加入所述第二浓度的过氧化氢水。

为了将所述第二浓度的过氧化氢水加入到第二温度及第二压力的收集器中，可将所述第一真空泵20控制为运转(开启)状态，将所述第一真空阀21控制为打开状态，将所述汽化阀131控制为闭合状态，将所述收集阀141控制为开启状态。

此时，所述第二温度可以是35至42℃，所述第二压力可以是8至50mb。

此外，在所述第二浓度的过氧化氢水从汽化器130移动到收集器140中的期间，所述汽化器130的压力可以是10至60mb，温度可以是55至60℃，所述第二浓度的过氧化氢水可经由第五连接管道132及第一连接管道142，从汽化器130移动到收集器140中。

另外，在S140步骤中，也持续对所述灭菌室110进行真空排气，所述灭菌室110的压力可以是1至10mb，温度可以是45至55℃。

此时，本发明的特征在于，所述第二温度低于所述灭菌室的温度。

在所述第二温度的情况下，所述第二温度相当于用于收集第二浓度过氧化氢水的收集器的温度，在已饱和的过氧化氢蒸气从汽化器经由收集器的过程中，如果所述收集器的温度高于灭菌室的温度，则过氧化氢蒸气无法冷凝到收集器中，均通过灭菌室被排出。

虽然在压力稍高的S140/S150步骤初期，过氧化氢蒸气被部分冷凝，但如果在对待排气的灭菌室内持续施加真空压力的步骤中收集器的温度高于灭菌室的温度，则因过氧化氢的蒸发热低于水蒸气的蒸发热，过氧化氢容易被再汽化而无法残留在收集器中，终究无法执行后述S170步骤。因此优选第二温度至少低于灭菌室的温度。

从上述可知，本发明在经过S130步骤、即通过使所述第一浓度的过氧化氢水汽化而形成第二浓度的过氧化氢水的步骤之后，执行S140步骤、即向第二温度及第二压力的收集器加入所述第二浓度的过氧化氢水的步骤。

例如，可以考虑不执行S130步骤而执行S140步骤以及将第一浓度的过氧化氢水直接加入到收集器中，但因如下原因而不优选。

下表1示出过氧化氢蒸气在过氧化氢水的不同浓度下的汽化比率的示例。

[表1]

参照上表1，过氧化氢水的浓度越高且设定温度越高，则与水蒸气相比过氧化氢蒸气的汽化比率相对逐渐提高。

例如在50℃下，过氧化氢蒸气在60重量％浓度的过氧化氢水中的汽化比率为13％，剩余87％表示水蒸气，过氧化氢蒸气在80重量％浓度的过氧化氢水中的汽化比率为40％，剩余60％表示水蒸气。

即，“不执行S130步骤而执行S140步骤”可以是例如将60重量％浓度的过氧化氢水加入到收集器中的含义，“执行S130步骤后执行S140步骤”可以是将80重量％浓度的过氧化氢水加入到收集器中的含义。

此时，与执行S130步骤后执行S140步骤的情况相比，不执行S130步骤而执行S140步骤的情况在起始步骤中通过收集器的水蒸气比率相对较高。

如果在水蒸气的比率比过氧化氢蒸气相对高的状态下，水蒸气被加入到收集器中，则在收集器的压力较高的状态(由于在收集器的温度为40℃时饱和水蒸气压力为75mb，因此在高于75mb的压力)下水蒸气进入到收集器中，因此水蒸气也能被冷凝到收集器中。

“水蒸气也被冷凝到收集器中”是指与冷凝的水蒸气量相应地，被浓缩的过氧化氢水的浓度受限。

因此，在本发明中为了防止因水蒸气先被冷凝到收集器中而待浓缩的过氧化氢水的浓度受限，在经过S130步骤、即通过使所述第一浓度的过氧化氢水汽化而形成第二浓度的过氧化氢水的步骤之后，执行S140步骤、即向第二温度及第二压力的收集器加入第二浓度过氧化氢水的步骤。

接着，包括以下步骤S150：使所述第二浓度过氧化氢水中的过氧化氢蒸气被冷凝到所述收集器中，并从所述收集器排出水蒸气。

如上述，由于水的蒸气压高于过氧化氢的蒸气压，因此水被迅速蒸发，并且由于水的分子量低于过氧化氢的分子量，因此与过氧化氢水相比水被迅速扩散到气相中，由此，在相同的温度和压力条件下与过氧化氢相比水(即，水分)被迅速蒸发并扩散，在过氧化氢水中的水先于过氧化氢蒸发/扩散。因此过氧化氢蒸气被冷凝到所述收集器中，水蒸气从所述收集器排出，形成第三浓度的过氧化氢水。

即，水具有与过氧化氢相比更高的蒸气压，因此在蒸气状态下过氧化氢比水更容易冷凝。因此，冷凝到所述收集器中的过氧化氢水可包含与所加入的第二浓度的过氧化氢水浓度相比更高浓度的过氧化氢。

另外，在S140步骤中，过氧化氢蒸气和水蒸气所通过的管道按第五连接管道、第一连接管道、第三连接管道、第四连接管道的顺序移动，此时，这些连接管道中的内径小的管道的温度应高于收集器140的温度。

这是因为，如果过氧化氢蒸气到达收集器前后步骤中的管道温度低于收集器的温度，则过氧化氢蒸气有可能以先冷凝到管道中的状态残留，在冷凝到内径小的管道中的过氧化氢蒸气暴露于比在S170步骤中汽化时更高的温度中，从而在进入到灭菌室的步骤中，由分解带来的水蒸气含量有可能提高。

此外，如上表1所示，在浓度一旦提高的状态(小于85重量％)下水和过氧化氢的蒸气比率差不多，由汽化比率带来的冷凝则会降低冷凝效率。

在相同的压力下，能够冷凝气态过氧化氢蒸气的温度和能够冷凝水蒸气的温度具有差异，例如在35℃的情况下，过氧化氢在5mb以上的压力下冷凝，水蒸气在55mb以上的压力下冷凝。

因此，由于这种差异，例如当由收集阀进行真空排气中的收集器的温度为35℃时，如果收集器的压力在5mb至55mb范围内，则过氧化氢蒸气能够被冷凝，而水蒸气从收集器排出。

此时，所述过氧化氢水的第三浓度可以是90重量％至95重量％，S150步骤可以是如下的过氧化氢第二浓缩步骤：通过使75重量％至85重量％过氧化氢水中的水分汽化而形成90重量％至95重量％浓度的过氧化氢水。

另外，虽然在上面说明了依次执行S140步骤和S150步骤，其中，S140步骤为如下步骤：向第二温度及第二压力的收集器加入所述第二浓度的过氧化氢水，S150步骤为如下步骤：使所述第二浓度的过氧化氢水中的过氧化氢蒸气冷凝到所述收集器中，并从所述收集器排出水蒸气。但与此不同地，S140及S150步骤可以是同时进行的步骤。

即，向第二温度及第二压力的收集器加入所述第二浓度的过氧化氢水的同时，使所述第二浓度过氧化氢水中的过氧化氢蒸气冷凝到所述收集器中，并从所述收集器排出水蒸气。

此时，蒸发的水通过第一真空泵真空排出，因此在S150步骤中，通过运转所述第一真空泵20(开启状态)，并打开所述第一真空阀21，从而进行真空排气，并且为了通过第一真空泵真空排出蒸发的水，使所述收集阀141处于打开状态。

接着，包括以下步骤S160：将所述灭菌室的压力降低至规定压力；以及将所述第三浓度的过氧化氢水浓缩成第四浓度的过氧化氢水。

此时，所述规定压力应为用于在灭菌室内进行灭菌的设定压力，并且，在灭菌剂为过氧化氢蒸气的情况下，所述灭菌室应为过氧化氢蒸气容易扩散的真空度。

因此，所述设定压力可以是0.5至1.3mb，并且所述灭菌室的温度可以是45至55℃。

此外，所述过氧化氢水的第四浓度可以是95重量％以上，S160步骤可以是如下的过氧化氢水第三浓缩步骤：通过使90重量％至95重量％浓度的过氧化氢水中的水分汽化而形成95重量％以上的过氧化氢水。

此时，蒸发的水通过第一真空泵真空排出，因此在S160步骤中，可通过运转所述第一真空泵20(开启状态)，并打开所述第一真空阀21，从而进行真空排气。

另外，在S160步骤中，所述收集阀141可反复打开状态及闭合状态。

即，在将所述第三浓度的过氧化氢水浓缩成第四浓度的过氧化氢水时，越是高浓度的过氧化氢水，能够使液态过氧化氢水蒸发的压力越低。

例如，在45℃的相同温度条件下，在80重量％浓度的过氧化氢水中，过氧化氢在约20mb以下的压力下蒸发，而在90重量％浓度的过氧化氢水中，过氧化氢在达到1mb以下的压力时才蒸发。

这是因为，在将所述第三浓度的过氧化氢水浓缩成第四浓度的过氧化氢水时，不仅水分被汽化，而且过氧化氢也被汽化，因此难以将过氧化氢水浓缩到规定的浓度。

即，高浓度过氧化氢可能会持续分解反应，并由分解过程生成的水分会降低过氧化氢的浓度。

因此，当为了去除这些少量杂质即水分，在0.1至2mb的变动范围内反复进行压力的上升/下降时，能够抑制待汽化的过氧化氢的去除，并且有效地去除水分。

这种水分去除方法在浓度低的步骤中需要非常长的时间，但在浓度高的步骤中因去除少量水分而有效，可以说至少在维持高浓度方面是有效的。

因此，为了防止通过将所述灭菌室的压力降低至规定压力的步骤，包含有第三浓度的过氧化氢水的所述收集器140的压力持续下降而过氧化氢在更低的压力下蒸发的问题，可通过使所述收集阀141反复打开状态及闭合状态，从而防止所述收集器140的压力持续下降。

此时，所述收集器140的压力可以是5至10mb，温度可以是35至40℃，所述汽化器130的压力可以是7至10mb，温度可以是60至70℃。

另外，在上述S160步骤中，汽化器处于水溶液完全耗尽的状态，因此在真空状态下恢复汽化器的温度，收集器通过收集高浓缩的过氧化氢而去除少量的水分，或维持适当压力的同时使过氧化氢停留在收集器内。

此时，为了防止过氧化氢的过度耗尽，可通过温度控制机构使收集器的温度下降至更低温度。

接着，包括以下步骤S170：将第四浓度的过氧化氢水中的过氧化氢蒸气加入到灭菌室中并对被处理物进行灭菌处理。

在S170步骤中，为了将位于收集器140中的第四浓度过氧化氢水中的过氧化氢蒸气加入到灭菌室110中，汽化阀131处于打开状态，收集阀处于打开状态或闭合状态。

即，可通过第一连接管道142和第二连接管道133，来进行过氧化氢蒸气从收集器140向灭菌室110的移动。

此时，如上述，在本发明中连接收集器140和汽化阀131的第一连接管道142及连接汽化阀131和灭菌室110的第二连接管道133的内径可大于其它连接管道、即第三连接管道143至第五连接管道132的内径，例如，在第三连接管道143至第五连接管道132为1/4英寸管道的情况下，所述第一连接管道142及第二连接管道133可以是1英寸管道。

其原因在于，在过氧化氢蒸气通过第一连接管道142及第二连接管道133从收集器140向灭菌室110移动时，防止过氧化氢蒸气流入到第五连接管道132中。因此过氧化氢蒸气能够流入到内径相对大的第一连接管道142中，而不会流入到内径相对小的第五连接管道132中。

此外，在本发明中当过氧化氢蒸气被加入到灭菌室中并对被处理物进行灭菌处理时，优选在温度不高的状态下加入过氧化氢蒸气。

当过氧化氢蒸气在灭菌室中被充分饱和之前，收集器内汽化的过氧化氢蒸气在温度高于灭菌室的温度的状态下进入到灭菌室时，因在进入通路中过氧化氢蒸气的密度处于过高的状态，从而过氧化氢蒸气容易被冷凝，会减少以气态扩散到灭菌室中的绝对量，并对用于灭菌的扩散效果带来不良影响。

此时，在本发明中收集器140与灭菌室110之间的通路中的管道内径可以大于其它通路中的管道内径，管道内径大表示气体移动量多，如管道内径大则气体移动量增多，相应地，由真空度引起的汽化驱动力也增强，从而能防止气态过氧化氢蒸气的温度上升。

即，在气体移动量少的情况下，过氧化氢蒸气滞留在收集器中的时间也相应增加，在为了过氧化氢的汽化及移动而需要提升温度的收集器内，过氧化氢蒸气的分解反应速度加快，从而作为分解副产物的水蒸气和氧气的浓度增高。这样，在汽化步骤中丧失前述步骤的目的而减弱灭菌性能，其中，前述步骤的目的在于使妨碍过氧化氢扩散的因素即水蒸气量最少化。

因此，在本发明中通过使收集器140与灭菌室110之间的通路中的管道内径大于其它通路中的管道内径，能够在过氧化蒸气的温度不高的状态下将过氧化蒸气加入到灭菌室中，并通过使由温度引起的分解反应最小化并使过氧化蒸气以气态充分扩散，从而使过氧化蒸气易于接近被灭菌物，因此能得到良好的灭菌效果。

另外，在将第四浓度的过氧化氢水中的过氧化氢蒸气加入到灭菌室中时，过氧化氢被汽化并扩散到灭菌室中，此时可控制所述收集器140的升温速度，使得在所述收集器140的温度达到所述灭菌室的温度之前，过氧化氢的汽化大部分完成。

即，为了促进过氧化氢的汽化，可通过温度控制机构来加热所述收集器140，加热所述收集器能够控制升温速度，使得在收集器的温度达到所述灭菌室的温度之前过氧化氢的汽化完成80％以上。

此时，所述灭菌室110的压力可以是0.5至15mb，温度可以是45至55℃。

此外，所述收集器140的压力可以是0.5至15mb，温度可以是30至70℃，所述汽化器130的压力可以是0.5至15mb，温度可以是60至70℃.

另外，对S170步骤来说，在上述真空排气系统的真空排气步骤中，可进行S14步骤或S15步骤。

归纳上述各步骤中的压力及温度条件，如下表2所示。

[表2]

此外，归纳各步骤中的第一真空泵及阀的状态，如下表3所示。

[表3]

分类	真空泵	真空阀	汽化阀	收集阀
					S120	开启或关闭	打开或闭合	闭合	闭合
S130	开启	打开	打开	打开或闭合
					S140、S150	开启	打开	闭合	打开
S160	开启	打开	闭合	反复打开/闭合
					S170	关闭	闭合	打开	打开或闭合

如上述，为了提高灭菌性能，优选使用进一步浓缩的过氧化氢水，在使用进一步浓缩的过氧化氢溶液时，由于在处理过氧化氢溶液时，过氧化氢溶液的浓度被限制在60重量％以下，难以将高浓度的过氧化氢作为灭菌剂使用。

但在本发明中，可通过按各步骤的浓缩过程，将95重量％以上的过氧化氢水作为灭菌剂使用，因此，能够减少由水蒸气引起的扩散妨碍因素，大幅提高灭菌效果。

此外，在上述S130步骤、即通过从最初供给的第一浓度的过氧化氢水溶液中去除水分而准备第二浓度的过氧化氢水溶液的步骤之后，进行上述S140步骤及S150步骤，由此能减少水分与收集器接触的可能性。

此外，在将过氧化氢水加入到收集器中时，通过降低过氧化氢水在收集器的压力和收集器的温度下的水分饱和水蒸气压、即汽化/冷凝边界压力，从而能够形成即使水分与收集器接触也无法冷凝的条件。

如上述，并不是仅在真空排气过程中需要如下过程：即，该过程通过在真空过程中从过氧化氢水中去除水蒸气而提高过氧化氢蒸气的比率并提高灭菌剂的扩散能力。

在利用过氧化氢蒸气的多种灭菌方法中，如上述那样，使用第二真空泵的真空排气方法能够将真空排气能力持续地保持在同样的水平。

其理由在于，为了使用过氧化氢蒸气，只能使用过氧化氢水溶液，并且由于过氧化氢蒸气的蒸气压非常低，因此为了控制过氧化氢的汽化而需要高真空度，在以高真空度排气的过程中，除灭菌剂将水蒸气带入灭菌室以外，灭菌对象物以及根据情况高湿度环境也会将水蒸气带入灭菌室，从而导致真空泵油只能持续捕集水分。

如果捕集到水分，则真空排气性能变差，促进泵油的改性，并且预计的排气时间持续增加，其结果缩短真空泵的寿命。

下面记载了本发明的优选实验例，但本发明并不限定于所述实验例。

[实验例]

在内部容积为100L且维持50℃的灭菌室中，使用排气性能为每分钟600L的有油真空泵来测定排气速度。

在所述有油真空泵与机油过滤器之间并联连接有单向阀和干式真空泵，在灭菌室的真空度达到10mb之后，运转干式真空泵，直至灭菌室的真空度达到0.1mb为止同时运转有油真空泵和干式真空泵。达到以测定为目标的真空度之后，关闭两个真空泵，并利用大气压对灭菌室进行清洁。测定环境为27℃，相对湿度为50％，测定从大气压至0.1mb的真空排气速度，加上利用大气压对灭菌室进行清洁的过程而视为一次，并反复实施100次的同时，确认真空排气速度，测定捕集到机油过滤器中的油量。

[比较例]

在内部容积为100L且维持50℃的灭菌室中，使用排气性能为每分钟600L的有油真空泵来测定排气速度。测定环境为27℃，相对湿度为50％，测定从大气压至0.1mb的真空排气速度，加上利用大气压对灭菌室进行清洁的过程而视为一次，并反复实施100次的同时，确认真空排气速度，测定捕集到机油过滤器中的油量。

下面示出所述实验例和比较例的实验结果。

首先，所述实验例的实验结果如下所示。

第一次真空排气速度需要252秒，第10次真空排气速度需要255秒，第100次真空排气速度需要262秒。反复完成100次后，真空泵油的温度为45℃至50℃，在机油过滤器中捕集到少于10cc的油。在真空泵油的温度恢复到常温之后，重新测定真空排气速度，其结果需要253秒。

接着，所述比较例的实验结果如下所示。

第一次真空排气速度需要251秒，第10次真空排气速度需要255秒，第100次真空排气速度需要361秒。反复完成100次后，真空泵油的温度为59℃至62℃，在机油过滤器中捕集到80cc左右的油。在将捕集到的油重新加入到真空泵中，并待真空泵油的温度恢复到常温之后，重新测定真空排气速度，其结果真空排气速度需要331秒。

从上述实验例和上述比较例的实验结果可知，在实验例的情况下，第一次、第10次及第100次真空排气速度分别为252秒、255秒及262秒，并不存在太大差异，与此相反，在比较例的情况下，第一次、第10次及第100次的真空排气速度分别为251秒、255秒及361秒，可知真空排气速度逐渐大幅度上升。

一般而言，捕集到有油真空泵油中的水蒸气越多则真空排气速度越慢。

在本发明的实施例的情况下，可知虽然真空排气速度有所上升，但第100次真空排气速度与第一次真空排气速度几乎相近，而在比较例的情况下，与第一次真空排气速度相比第100次真空排气速度大幅上升，其结果，捕集到有油真空泵油中的水蒸气增加，最终真空排气速度变得非常慢。

另外可知，在实验例中，第100次真空泵油的温度为45℃至50℃，与此相反，在比较例中，第100次真空泵油的温度为59℃至62℃。

一般而言，水蒸气在汽化过程中进行吸热反应，在实验例的情况下，第100次真空泵油的温度低于比较例的第100次真空泵油的温度，这表示捕集到有油真空泵油中的水蒸气在汽化过程中进行吸热反应而抑制有油真空泵油的温度上升。

即表示与比较例的情况相比，在实验例的情况下水蒸气被汽化的量较多，其结果，捕集到有油真空泵油中的水蒸气少于比较例。

[应用例]

下面，测定由图3的本发明第一实施例的灭菌装置真空排气系统带来的效果。

首先，使用排气性能为每分钟1000L的真空泵，在内部容积为130L的灭菌室中加入55％过氧化氢水5.5cc，测定经过由真空排气过程从过氧化氢水中去除水分的过程并进行真空排气以使灭菌室的真空度达到0.5mb时的所需时间，此时的所需时间为约七分钟。

接着，使过氧化氢蒸气扩散到灭菌室中并维持规定时间，此时的所需时间为约六分钟。

接着，经过如下的真空排气步骤，此时的所需时间为约六分钟，其中，该真空排气步骤为重新进行真空排气以完全去除过氧化氢蒸气并在0.5mb以下的真空度中维持三分钟。

当将反复连续进行两次上述过程定义为一个周期时，每次的总周期时间为约40分钟，此时，有油真空泵的运转时间为26分钟，干式真空泵的运转时间为22分钟。

此时，测定因真空排气速度的延迟导致的一个周期所需时间的变化，并在下表4中示出该变化。

[表4]

参照表4，在根据本发明运转干式真空泵的情况下，第100次即第50个周期的所需时间为40.2分钟，相对于标准时间超出0.2分钟，与此相反，在未使用干式真空泵的情况下，相对于标准时间超出1.5分钟。

此外可知，在第500次的情况下，比标准时间超出0.3分钟和7.8分钟，显示出非常大的差异。

即，如上所述，一般而言，捕集到有油真空泵油中的水蒸气越多则真空排气速度越慢，在本发明的情况下，由于不存在捕集到有油真空泵油中的水蒸气，从而在因真空排气速度的延迟导致的一个周期所需时间的变化方面不存在太大的差异，但在未使用干式真空泵的情况下，由于捕集到油中的水蒸气而增加真空排气速度延迟。

特别可知，在未使用干式真空泵的一般情况下，当使用约600次左右时，因捕集到有油真空泵油中的水蒸气而有油真空泵未达到目标真空度，无法发挥真空泵的作用，但在使用本发明的干式真空泵的情况下，也能使用到2000次。

图6是表示本发明第二实施例的灭菌装置真空排气系统的示意性立体图。

下面，本发明第二实施例的灭菌装置真空排气系统可与上述图1的第一实施例相同，以下仅对与第一实施例之间的区别进行说明。

参照图6，本发明第二实施例的灭菌装置真空排气系统包括用于冷却所述第一真空泵20的换热器70。

从上述应用例可知，在使用第一真空泵的运转时间较高的灭菌过程的情况下，因第一真空泵的工作油被加热而粘度降低或因劣化而寿命缩短。

因此，在本发明中为了防止所述第一真空泵的工作油被加热，优选冷却所述第一真空泵的工作油，可通过所述换热器70冷却所述第一真空泵的工作油。

此时，如图6所示，可包括用于使所述第一真空泵的工作油循环的工作油循环泵60。即，通过所述工作油循环泵60使所述工作油循环，在循环过程中，可通过所述换热器70冷却工作油。

此时，如图所示，所述“工作油循环”是指工作油从所述第一真空泵排出，并经由换热器再次流入到第一真空泵中。

因此，在本发明中，在使所述第一真空泵的工作油循环的过程中通过换热器冷却工作油，从而能够防止粘度降低或劣化。

图7是表示本发明第三实施例的灭菌装置真空排气系统的示意性立体图。

下面，本发明第三实施例的灭菌装置真空排气系统可与上述第一实施例相同。

参照图7，本发明第三实施例的灭菌装置真空排气系统包括灭菌室310。

此外，可包括被连接到所述灭菌室310的一侧的灭菌剂水溶液供给装置340，通过由所述灭菌剂水溶液供给装置340供给的灭菌剂，可在所述灭菌室310对被灭菌物进行灭菌。

此时，在所述灭菌剂水溶液供给装置340与灭菌室310之间可包括灭菌剂水溶液供给调节阀341，从而供给适量的灭菌剂水溶液。

此外，本发明第三实施例的灭菌装置真空排气系统可包括被连接到所述灭菌室310的另一侧的第一真空泵320，所述第一真空泵320通过抽吸所述灭菌室310内部的气体而使其成为真空状态。

本发明的特征在于，所述第一真空泵320为有油真空泵。

此时，在所述灭菌室310与所述第一真空泵320之间可连接有能够控制所述第一真空泵320的操作的第一真空阀321，并且在所述灭菌室310与所述第一真空泵320之间可包括催化剂反应部322。

继续参照图7，本发明第三实施例的灭菌装置真空排气系统包括机油过滤器(OilMist Trap)部350。

所述机油过滤器(Oil Mist Trap)部350为在从所述灭菌室310流入的蒸气经过第一真空泵320最终排出时，用于捕集蒸气中包含的油的部分，从而可通过所述机油过滤器(Oil Mist Trap)部50来捕集油，并使蒸气通过及排出。

继续参照图7，本发明第三实施例的灭菌装置真空排气系统包括被连接到所述第一真空泵320与所述机油过滤器(Oil Mist Trap)部350之间的第二真空泵330。

其特征在于，所述第二真空泵330为无油干式真空泵。

所述第二真空泵330为使所述第一真空泵320的工作油暴露于规定压力的真空度中的结构，所述规定压力是指能够使捕集到所述工作油中的水分为沸点以下的压力。

所述第二真空泵330的功能与所述第一实施例相同，因此以下省略具体说明。

接着，对连接到所述第一真空泵320和所述机油过滤器(Oil Mist Trap)部350的第二真空泵330的连接关系进行说明则如下所示。

参照图7，所述第二真空泵330被串联连接到所述第一真空泵320和所述机油过滤器(Oil Mist Trap)部350。

此外，在所述第一真空泵320与所述机油过滤器部350之间包括第一通路开闭阀部332，此时，在本发明中优选所述第一通路开闭阀部332为单向阀。

另外，在所述第一真空泵320与所述机油过滤器350之间并联连接有所述第二真空泵330及所述第一通路开闭阀部332。

即，在本发明的第三实施例中，可通过所述第一通路开闭阀部332控制经由所述第一真空泵320、所述第一通路开闭阀部332及所述机油过滤器部350的第一通路，并且可通过所述第二真空泵330、控制经由第一真空泵320、所述第二真空泵330及所述机油过滤器部350的第二通路。

一般而言，真空泵自身发挥阀的功能，因此在本发明的第三实施例中，如所述图1所示，即使在第一真空泵与第二真空泵之间的通路上未设置开闭阀部，也能通过所述第一真空泵330使从所述第一真空泵330流入的水蒸气经由第二真空泵330通过所述机油过滤器部350。

另外，如上所述，在本发明的第三实施例中，优选所述第一通路开闭阀部332为单向阀，所述单向阀可通过施加到所述单向阀上的压力来进行打开/闭合操作，而不是通过电气信号来操作。

即，在对所述单向阀施加规定压力的情况下，通过机械原理所述单向阀成为打开状态，此时，从所述第一真空泵流入的水蒸气可经由单向阀332通过所述机油过滤器部350。

即，如对图1的说明，在本发明的第一实施例中公开了使用两个阀部来控制两个通路，但在本发明的第三实施例中，可通过所述第一通路开闭阀部332控制经由所述第一真空泵320、所述第一通路开闭阀部332及所述机油过滤器部350的第一通路，并且可通过所述第二真空泵330控制经由第一真空泵320、所述第二真空泵330及所述机油过滤器部350的第二通路。

下面，对本发明第三实施例的灭菌装置真空排气系统的真空排气方法进行说明。本发明第三实施例的灭菌装置真空排气系统的真空排气方法除后述内容外可与上述第一实施例相同。

首先，本发明第三实施例的灭菌装置真空排气系统的真空排气方法包括以下步骤S311：开启第一真空泵320对真空室进行排气。

另外，在S311步骤中，第一真空阀321可以是打开状态，所述第二真空泵330可以是关闭状态，所述第一通路开闭阀部332即单向阀可通过压力差成为打开状态。

接着，包括以下步骤S312：开启第二真空泵330对所述第一真空泵的工作油施加真空。

如上所述，经由所述第一真空泵的一部分水蒸气被持续汽化或溶解到空气中而排出，但无法完全排出该水蒸气，该一部分水蒸气以液态被捕集并积聚到第一真空泵油中。

因此，在发明中为了使捕集到所述第一真空泵油中的液态水汽化，向所述第一真空泵320提供用于使所述液态水蒸发的规定压力，向所述第二真空泵330提供用于使捕集到所述第一真空泵油中的液态水汽化的规定压力。

另外，在S312步骤中，第一真空阀321可以是打开状态，第二真空泵330可以是开启状态，第一通路开闭阀部332可以是闭合状态。

接着，包括以下步骤S313：使捕集到所述第一真空泵的工作油中的水蒸气汽化。

该S313步骤可与上述S312步骤同时进行，即，可通过开启第二真空泵对所述第一真空泵的工作油施加真空，从而向所述第一真空泵320提供用于使所述液态水蒸发的规定压力，由此使捕集到所述工作油中的水蒸气汽化。这与所述第一实施例相同，因此以下省略具体说明。

另外，在S313步骤中，第一真空阀321可以是打开状态，第二真空阀330可以是开启状态，第一通路开闭阀部332可以是闭合状态。

接着，包括以下步骤S314：关闭所述第一真空泵并维持所述第二真空泵的开启状态。

即在S314步骤中，因关闭第一真空泵而结束所述灭菌室的排气，但可以是能够使捕集到所述第一真空泵的工作油中的液态水继续汽化的步骤。

此时，在S314步骤中，第一真空阀321可以是闭合状态，第二真空泵330可以是开启状态，第一通路开闭阀部332可以是闭合状态。

接着，可通过关闭所述第二真空泵，结束本发明第三实施例的灭菌装置真空排气系统的真空排气。

以上参照附图对本发明的实施例进行了说明，但本发明所属技术领域的技术人员应能理解，本发明可在不变更本发明的技术思想或必要特征的基础上以其它具体方式实施。因此，应理解以上所述的实施例在所有方面为示例性的，而不是限定性的。

Claims (15)

1.一种灭菌装置真空排气系统，包括：

灭菌室；

第一真空泵，被连接到所述灭菌室的一侧；

机油过滤器部，用于使从所述灭菌室流入的蒸气经由所述第一真空泵排出；和

第二真空泵，被连接到所述第一真空泵和所述机油过滤器部。

2.根据权利要求1所述的灭菌装置真空排气系统，其中，

进一步包括：灭菌剂水溶液供给装置，被连接到所述灭菌室的另一侧。

3.根据权利要求1所述的灭菌装置真空排气系统，其特征在于，

所述第一真空泵为有油真空泵。

4.根据权利要求3所述的灭菌装置真空排气系统，其特征在于，

所述第二真空泵为无油干式真空泵。

5.根据权利要求4所述的灭菌装置真空排气系统，其特征在于，

所述第二真空泵使所述第一真空泵的工作油暴露于规定压力的真空度中，

所述规定压力为能够使捕集到所述工作油中的水分为沸点以下的压力。

6.根据权利要求5所述的灭菌装置真空排气系统，其特征在于，

所述规定压力为50至150mb的压力。

7.根据权利要求1所述的灭菌装置真空排气系统，其特征在于，

所述第二真空泵被串联连接到所述第一真空泵和所述机油过滤器部。

8.根据权利要求7所述的灭菌装置真空排气系统，其特征在于，

在所述第二真空泵与所述第一真空泵之间包括第一通路开闭阀部。

9.根据权利要求8所述的灭菌装置真空排气系统，其特征在于，

在所述第一真空泵与所述机油过滤器部之间包括第二通路开闭阀部。

10.根据权利要求1所述的灭菌装置真空排气系统，其特征在于，

包括：第一通路开闭阀部，位于所述第一真空泵与所述机油过滤器部之间，

所述第二真空泵和所述第一通路开闭阀部在所述第一真空泵与所述机油过滤器部之间被并联连接。

11.根据权利要求10所述的灭菌装置真空排气系统，其特征在于，

所述第一通路开闭阀部为单向阀。

12.一种灭菌装置真空排气系统的真空排气方法，包括以下步骤：

开启第一真空泵对真空室进行排气；

开启第二真空泵对所述第一真空泵的工作油施加真空；以及

使捕集到第一真空泵的工作油中的水蒸气汽化。

13.根据权利要求12所述的灭菌装置真空排气系统的真空排气方法，其中，

在使捕集到第一真空泵的工作油中的水蒸气汽化的步骤之后，进一步包括以下步骤：关闭所述第一真空泵并维持所述第二真空泵的开启状态；以及关闭所述第二真空泵。

14.根据权利要求12所述的灭菌装置真空排气系统的真空排气方法，其中，

在使捕集到第一真空泵的工作油中的水蒸气汽化的步骤之后，进一步包括以下步骤：关闭所述第二真空泵。

15.根据权利要求12所述的灭菌装置真空排气系统的真空排气方法，其中，

在开启所述第一真空泵对真空室进行排气的步骤之后，进一步包括以下步骤：关闭所述第一真空泵结束真空室的排气。