CN106086747B - 一种用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝及其制备方法,属于材料技术领域。先用真空雾化制粉设备,通过镍锭熔化、钒块熔化、硼块熔化、钛块熔化、钼块的熔化,铪粒和钴块及锆块的熔化及喷雾制成合金粉,将合金粉和钼粉按比例混合之后,经过合金粉的制备、制坯、烧结、轧制和拉伸制得产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。本发明制备的合金丝所制成的打底层既容易被锡液所浸润、腐蚀,进而使锡凝固后和打底层及背管紧密粘接在一起;又不会有打底层元素大量的溶解在锡液中造成锡液污染,从而保证了锡靶的纯度符合要求。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝及其制备方法,属于材料技术领域。
背景技术
在铸造工艺生产旋转锡靶的过程中,为了使锡材料和304不锈钢背管紧密的结合起来,需要在304不锈钢背管上制作打底层,否则将会产生熔靶现象,导致靶材报废。目前用电弧喷涂镍铝丝(镍95铝5)或纯镍丝来制作打底层。在锡靶的铸造工艺温度280-350℃区间内,镍会大量的溶解在锡液中,导致锡液的纯度下降;并且由于打底层比较薄(0.1-0.5mm),随着镍的大量溶解,打底层会被完全腐蚀导致消失,导致靶材报废。如果把打底层加厚,则会导致锡液的纯度大幅下降。此种情况给铸造工艺的设计带来很大的困扰。
发明内容
本发明的目的在于克服上述不足之处,提供一种代替镍95铝5丝或纯镍丝的,用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝及其制备方法。
按照本发明提供的技术方案,一种用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝,配方比例如下:其由合金粉和钼粉组成,其中合金粉:钼粉质量比为2.5-5:5-7.5;将合金粉和钼粉按比例混合之后,经过合金粉的制备、制坯、烧结、轧制和拉伸制得产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
所述合金丝的直径为1-3mm。
所述合金粉配方比例按重量份计如下:钼10-30份、镍20-50份、钒15-40份、钛0.3-3份、硼1.2-8份、铪0.2-1.8份、锆0.15-3.2份和钴0.15-2份。
所述合金粉配方比例按重量份计如下:钼15-30份、镍25-43份、钒28-40份、钛0.3-3份、硼1.2-7份、铪0.2-1.8份、锆0.5-3.2份和钴0.2-2份。
所述合金粉配方比例按重量份计如下:钼20-25份、镍30-40份、钒20-29份、钛1.5-2.6份、硼4-5份、铪1.6-1.8份、锆2-3.2份、钴0.2-2份。
所述合金粉配方比例按重量份计如下:钼23-27份、镍25-35份、钒30-37份、钛0.3-0.4份、硼1.7-7份、铪1.6-1.8份、锆0.5-1份、钴1-2份。
所述合金粉:钼粉质量比为3.5-4:6-6.5。
所述合金粉:钼粉质量比为3-3.5:6.5-7。
所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝的制备方法,按重量份计步骤如下:
(1)合金粉的制备:
a、镍块熔化:向坩埚内放入称量好的镍20-50份,用40-70KW的功率将镍块熔化得到熔液,熔液温度控制为1500-1600℃;
b、钒块熔化:将称量好的钒15-40份加入步骤a所得熔液中,用30-70KW的功率进行熔化,将钒块完全熔化后,以30-60KW的功率保持温度在1350-1550℃;
c、硼块熔化:将称量好的硼1.2-8份加入步骤b所得熔液中,用20-50KW的功率进行熔化,控制温度为1350-1550℃,将硼全部熔化;
d、钛块的熔化:将称量好的钛0.3-3份,加入步骤c所得熔液中,用30-60KW的功率全进行部熔化,控制温度为1500-1600℃;
e、钼熔化:在步骤d所得熔液中加入钼10-30份,用40-70KW的功率进行熔化,控制温度为1500-1700℃;
f、铪粒和钴块及锆块的熔化:将称量好的铪0.2-1.8份、锆0.15-3.2份、钴0.15-2份加入步骤e所得熔液中,用30-50KW的功率保持温度至1500-1700℃,待全部融化后,精炼30分钟;
g、雾化制成粉末:将步骤f所得熔液通过喷嘴雾化成150-200目的粉末,即得合金粉;
(2)混合:将步骤(1)制备所得合金粉与钼粉按照2.5-5:5-7.5的质量比混合;
(3)制坯:将步骤(2)所得混合粉末放入冷等静压机中进行制坯,压力为60-100MPa;
(4)烧结轧制:将步骤(3)所得坯体在1200-1400℃烧结20h,得到合金棒,随后在1300-1400℃下轧制成直径8-12mm的粗丝;
(5)拉丝:将步骤(4)所得粗丝通过连续拉丝机进行拉丝,得到直径1-3mm的合金丝;
(6)退火:将步骤(5)所得合金丝在600-700℃下加热2h,随后随炉自然冷却,得到产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
所述钼粉粒径为150-200目。
本发明的有益效果:本发明制备的合金丝具有较高的钼和钒含量,此两种金属在铸造工艺温度280-350℃区间内基本不溶于锡液中;此合金丝还含有适量的镍、钛、铪、锆、钴等容易溶于锡液的成份,保持了锡液对此种合金表面的浸润和微腐蚀性。在此合金丝中添加适量的硼元素,可以改善晶粒尺寸与元素分布,形成更加均匀的固溶体。用此合金丝制成的打底层,表面会被锡液浸润并形成微小的腐蚀,但是内部不会继续溶解在锡液中,不但保持了锡液的纯度,而且保证了打底层的有效性,降低了铸造工艺设计的难度。
具体实施方式
实施例1
合金粉:钼10份,镍50份,钒23份,钛2.5份,硼7.5份,铪1.8份,锆3.2份,钴2份;再按照所得合金粉4.5份,钼粉5.5份的比例混合;
所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝的制备方法,按重量份计步骤如下:
(1)合金粉的制备:
a、镍块熔化:向坩埚内放入称量好的镍,用70KW的功率将镍块熔化得到熔液,熔液温度控制为1600℃;
b、钒块熔化:将称量好的钒加入步骤a所得熔液中,用50KW的功率进行熔化,将钒块完全熔化后,以30KW的功率保持温度在1550℃;
c、硼块熔化:将称量好的硼加入步骤b所得熔液中,用30KW的功率进行熔化,控制温度为1550℃,将硼全部熔化;
d、钛块的熔化:将称量好的钛,加入步骤c所得熔液中,用30KW的功率全进行部熔化,控制温度为1600℃;
e、钼熔化:在步骤d所得熔液中加入钼,用40KW的功率进行熔化,控制温度为1700℃;
f、铪粒和钴块及锆块的熔化:将称量好的铪、锆、钴加入步骤e所得熔液中,用30KW的功率保持温度至1700℃,待全部融化后,精炼30分钟;
g、雾化制成粉末:将步骤f所得熔液通过喷嘴雾化成150目的粉末,即得合金粉;
(2)混合:将步骤(1)制备所得合金粉与钼粉按照质量比混合;
(3)制坯:将步骤(2)所得混合粉末放入冷等静压机中进行制坯,压力为60MPa;
(4)烧结轧制:将步骤(3)所得坯体在1200℃烧结20h,得到合金棒,随后在1300℃下轧制成直径8mm的粗丝;
(5)拉丝:将步骤(4)所得粗丝通过连续拉丝机进行拉丝,得到直径1mm的合金丝;
(6)退火:将步骤(5)所得合金丝在600℃下加热2h,随后随炉自然冷却,得到产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
实施例2
合金粉:钼15份,镍43份,钒28份,钛3份,硼4份,铪1.8份,锆3.2份,钴2份;再按照所得合金粉4份,钼粉6份的比例混合;
所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝的制备方法,按重量份计步骤如下:
(1)合金粉的制备:
a、镍块熔化:向坩埚内放入称量好的镍,用60KW的功率将镍块熔化得到熔液,熔液温度控制为1500℃;
b、钒块熔化:将称量好的钒加入步骤a所得熔液中,用50KW的功率进行熔化,将钒块完全熔化后,以30KW的功率保持温度在1450℃;
c、硼块熔化:将称量好的硼加入步骤b所得熔液中,用30KW的功率进行熔化,控制温度为1450℃,将硼全部熔化;
d、钛块的熔化:将称量好的钛,加入步骤c所得熔液中,用40KW的功率全进行部熔化,控制温度为1600℃;
e、钼熔化:在步骤d所得熔液中加入钼,用60KW的功率进行熔化,控制温度为1500℃;
f、铪粒和钴块及锆块的熔化:将称量好的铪、锆、钴加入步骤e所得熔液中,用40KW的功率保持温度至1500℃,待全部融化后,精炼30分钟;
g、雾化制成粉末:将步骤f所得熔液通过喷嘴雾化成200目的粉末,即得合金粉;
(2)混合:将步骤(1)制备所得合金粉与钼粉按照质量比混合;
(3)制坯:将步骤(2)所得混合粉末放入冷等静压机中进行制坯,压力为100MPa;
(4)烧结轧制:将步骤(3)所得坯体在1200℃烧结20h,得到合金棒,随后在1300℃下轧制成直径10mm的粗丝;
(5)拉丝:将步骤(4)所得粗丝通过连续拉丝机进行拉丝,得到直径2mm的合金丝;
(6)退火:将步骤(5)所得合金丝在700℃下加热2h,随后随炉自然冷却,得到产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
实施例3
合金粉:钼20份,镍38份,钒29份、钛2份、硼5份、铪1.6份、锆2.8份、钴1.6份的合金粉;再按照所得合金粉3.5份,钼粉6.5份的比例混合,
所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝的制备方法,按重量份计步骤如下:
(1)合金粉的制备:
a、镍块熔化:向坩埚内放入称量好的镍,用50KW的功率将镍块熔化得到熔液,熔液温度控制为1550℃;
b、钒块熔化:将称量好的钒加入步骤a所得熔液中,用40KW的功率进行熔化,将钒块完全熔化后,以40KW的功率保持温度在1450℃;
c、硼块熔化:将称量好的硼加入步骤b所得熔液中,用30KW的功率进行熔化,控制温度为1450℃,将硼全部熔化;
d、钛块的熔化:将称量好的钛,加入步骤c所得熔液中,用30KW的功率全进行部熔化,控制温度为1550℃;
e、钼熔化:在步骤d所得熔液中加入钼,用50KW的功率进行熔化,控制温度为1550℃;
f、铪粒和钴块及锆块的熔化:将称量好的铪、锆、钴加入步骤e所得熔液中,用40KW的功率保持温度至1550℃,待全部融化后,精炼30分钟;
g、雾化制成粉末:将步骤f所得熔液通过喷嘴雾化成150目的粉末,即得合金粉;
(2)混合:将步骤(1)制备所得合金粉与钼粉按照质量比混合;
(3)制坯:将步骤(2)所得混合粉末放入冷等静压机中进行制坯,压力为70MPa;
(4)烧结轧制:将步骤(3)所得坯体在1250℃烧结20h,得到合金棒,随后在1350℃下轧制成直径12mm的粗丝;
(5)拉丝:将步骤(4)所得粗丝通过连续拉丝机进行拉丝,得到直径3mm的合金丝;
(6)退火:将步骤(5)所得合金丝在700℃下加热2h,随后随炉自然冷却,得到产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
实施例4
合金粉:钼23份,镍35份,钒36份,钛0.3份,硼1.7份,铪1.8份、锆0.6份、钴1.6份的合金粉;再按照所得合金粉3份,钼粉7份的比
所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝的制备方法,按重量份计步骤如下:
(1)合金粉的制备:
a、镍块熔化:向坩埚内放入称量好的镍,用50KW的功率将镍块熔化得到熔液,熔液温度控制为1520℃;
b、钒块熔化:将称量好的钒加入步骤a所得熔液中,用60KW的功率进行熔化,将钒块完全熔化后,以60KW的功率保持温度在1450℃;
c、硼块熔化:将称量好的硼加入步骤b所得熔液中,用30KW的功率进行熔化,控制温度为1500℃,将硼全部熔化;
d、钛块的熔化:将称量好的钛,加入步骤c所得熔液中,用30KW的功率全进行部熔化,控制温度为1580℃;
e、钼熔化:在步骤d所得熔液中加入钼,用65KW的功率进行熔化,控制温度为1650℃;
f、铪粒和钴块及锆块的熔化:将称量好的铪、锆、钴加入步骤e所得熔液中,用45KW的功率保持温度至1650℃,待全部融化后,精炼30分钟;
g、雾化制成粉末:将步骤f所得熔液通过喷嘴雾化成150-200目的粉末,即得合金粉;
(2)混合:将步骤(1)制备所得合金粉与钼粉按照质量比混合;
(3)制坯:将步骤(2)所得混合粉末放入冷等静压机中进行制坯,压力为80MPa;
(4)烧结轧制:将步骤(3)所得坯体在1350℃烧结20h,得到合金棒,随后在180℃下轧制成直径12mm的粗丝;
(5)拉丝:将步骤(4)所得粗丝通过连续拉丝机进行拉丝,得到直径3mm的合金丝;
(6)退火:将步骤(5)所得合金丝在700℃下加热2h,随后随炉自然冷却,得到产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
实施例5
合金粉:钼25份,镍30份、钒29份、钛2.6份、硼5份、铪1.6份、锆2份、钴0.2;再按照所得合金粉3份,钼粉7份;
所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝的制备方法,按重量份计步骤如下:
(1)合金粉的制备:
a、镍块熔化:向坩埚内放入称量好的镍,用55KW的功率将镍块熔化得到熔液,熔液温度控制为1510℃;
b、钒块熔化:将称量好的钒加入步骤a所得熔液中,用60KW的功率进行熔化,将钒块完全熔化后,以45KW的功率保持温度在1550℃;
c、硼块熔化:将称量好的硼加入步骤b所得熔液中,用35KW的功率进行熔化,控制温度为1520℃,将硼全部熔化;
d、钛块的熔化:将称量好的钛,加入步骤c所得熔液中,用30KW的功率全进行部熔化,控制温度为1500℃;
e、钼熔化:在步骤d所得熔液中加入钼,用68KW的功率进行熔化,控制温度为1550℃;
f、铪粒和钴块及锆块的熔化:将称量好的铪、锆、钴加入步骤e所得熔液中,用40KW的功率保持温度至1500℃,待全部融化后,精炼30分钟;
g、雾化制成粉末:将步骤f所得熔液通过喷嘴雾化成170目的粉末,即得合金粉;
(2)混合:将步骤(1)制备所得合金粉与钼粉按照质量比混合;
(3)制坯:将步骤(2)所得混合粉末放入冷等静压机中进行制坯,压力为65MPa;
(4)烧结轧制:将步骤(3)所得坯体在1320℃烧结20h,得到合金棒,随后在1370℃下轧制成直径12mm的粗丝;
(5)拉丝:将步骤(4)所得粗丝通过连续拉丝机进行拉丝,得到直径3mm的合金丝;
(6)退火:将步骤(5)所得合金丝在700℃下加热2h,随后随炉自然冷却,得到产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
实施例6
合金粉:钼27份,镍25份,钒37份、钛0.4份、硼7份、铪1.6份、锆1份、钴1份的合金粉;再按照所得合金粉3份,钼粉7.5份的比例混合
所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝的制备方法,按重量份计步骤如下:
(1)合金粉的制备:
a、镍块熔化:向坩埚内放入称量好的镍,用55KW的功率将镍块熔化得到熔液,熔液温度控制为1560℃;
b、钒块熔化:将称量好的钒加入步骤a所得熔液中,用65KW的功率进行熔化,将钒块完全熔化后,以55KW的功率保持温度在1470℃;
c、硼块熔化:将称量好的硼加入步骤b所得熔液中,用50KW的功率进行熔化,控制温度为1550℃,将硼全部熔化;
d、钛块的熔化:将称量好的钛,加入步骤c所得熔液中,用30KW的功率全进行部熔化,控制温度为1490℃;
e、钼熔化:在步骤d所得熔液中加入钼,用40KW的功率进行熔化,控制温度为1700℃;
f、铪粒和钴块及锆块的熔化:将称量好的铪、锆、钴加入步骤e所得熔液中,用33KW的功率保持温度至1560℃,待全部融化后,精炼30分钟;
g、雾化制成粉末:将步骤f所得熔液通过喷嘴雾化成200目的粉末,即得合金粉;
(2)混合:将步骤(1)制备所得合金粉与钼粉按照质量比混合;
(3)制坯:将步骤(2)所得混合粉末放入冷等静压机中进行制坯,压力为70MPa;
(4)烧结轧制:将步骤(3)所得坯体在1350℃烧结20h,得到合金棒,随后在1400℃下轧制成直径8mm的粗丝;
(5)拉丝:将步骤(4)所得粗丝通过连续拉丝机进行拉丝,得到直径1mm的合金丝;
(6)退火:将步骤(5)所得合金丝在600℃下加热2h,随后随炉自然冷却,得到产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
实施例7
合金粉:钼30份,镍20份,钒40份,钛2.1份,硼6份,铪0.8份,锆0.4份,钴0.7份;再按照所得合金粉2.5份,钼粉7.5份的比例混合;
所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝的制备方法,按重量份计步骤如下:
(1)合金粉的制备:
a、镍块熔化:向坩埚内放入称量好的镍份,用40KW的功率将镍块熔化得到熔液,熔液温度控制为1600℃;
b、钒块熔化:将称量好的钒加入步骤a所得熔液中,用70KW的功率进行熔化,将钒块完全熔化后,以30KW的功率保持温度在1350℃;
c、硼块熔化:将称量好的硼加入步骤b所得熔液中,用40KW的功率进行熔化,控制温度为1450℃,将硼全部熔化;
d、钛块的熔化:将称量好的钛,加入步骤c所得熔液中,用40KW的功率全进行部熔化,控制温度为1500℃;
e、钼熔化:在步骤d所得熔液中加入钼,用70KW的功率进行熔化,控制温度为1580℃;
f、铪粒和钴块及锆块的熔化:将称量好的铪、锆、钴加入步骤e所得熔液中,用35KW的功率保持温度至1500℃,待全部融化后,精炼30分钟;
g、雾化制成粉末:将步骤f所得熔液通过喷嘴雾化成200目的粉末,即得合金粉;
(2)混合:将步骤(1)制备所得合金粉与钼粉按照质量比混合;
(3)制坯:将步骤(2)所得混合粉末放入冷等静压机中进行制坯,压力为100MPa;
(4)烧结轧制:将步骤(3)所得坯体在1380℃烧结20h,得到合金棒,随后在1400℃下轧制成直径12mm的粗丝;
(5)拉丝:将步骤(4)所得粗丝通过连续拉丝机进行拉丝,得到直径2mm的合金丝;
(6)退火:将步骤(5)所得合金丝在700℃下加热2h,随后随炉自然冷却,得到产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
应用实施例:
将实施实例1-7所得的合金丝用电弧喷涂制作成铸造旋转锡靶的打底层,厚度0.3毫米。
经过实验,实施实例1所得合金丝制成打底层,在保温温度330℃,保温20分钟后,即能实现锡和背管的紧密粘接,镍、钒、钼、硼、钛、锆、铪和钴在锡靶中的总含量为0.04%-0.05%;当保温60分钟后,打底层依然存在,镍、钒、钼、硼、钛、锆、铪和钴在锡靶中的总含量为0.07%-0.09%。
实施实例4所得合金丝制成打底层,在保温温度330℃,保温25分钟后,能实现锡和背管的紧密粘接,镍、钒、钼、硼、钛、锆、铪和钴在锡靶中的总含量为0.02%-0.03%;当保温60分钟后,打底层依然存在,镍、钒、钼、硼、钛、锆、铪和钴在锡靶中的总含量为0.04%-0.05%。
实施实例5所得合金丝制成打底层,在保温温度330℃,保温27分钟后,即能实现锡和背管的紧密粘接,镍、钒、钼、硼、钛、锆、铪和钴在锡靶中的总含量为0.02%-0.03%;当保温60分钟后,打底层依然存在,镍、钒、钼、硼、钛、锆、铪和钴在锡靶中的总含量为0.04%-0.05%;
实施实例7所得合金丝制成打底层,在保温温度330℃,保温50分钟后,方能实现锡和背管的紧密粘接,镍、钒、钼、硼、钛、锆、铪和钴在锡靶中的总含量为0.01%-0.02%;当保温60分钟后,打底层依然存在,镍、钒、钼、硼、钛、锆、铪和钴在锡靶中的总含量为0.01%-0.02%。
综合来看,实施实例4和实施实例5的效果更优。
Claims (8)
1.一种用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝,其特征是配方比例如下:其由合金粉和钼粉组成,其中合金粉:钼粉质量比为2.5-5:5-7.5;将合金粉和钼粉按比例混合之后,经过合金粉的制备、制坯、烧结、轧制和拉伸制得产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝;
所述合金丝的直径为1-3mm;
所述合金粉配方比例按重量份计如下:钼10-30份、镍20-50份、钒15-40份、钛0.3-3份、硼1.2-8份、铪0.2-1.8份、锆0.15-3.2份和钴0.15-2份。
2.如权利要求1所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝,其特征是所述合金粉配方比例按重量份计如下:钼15-30份、镍25-43份、钒28-40份、钛0.3-3份、硼1.2-7份、铪0.2-1.8份、锆0.5-3.2份和钴0.2-2份。
3.如权利要求1所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝,其特征是所述合金粉配方比例按重量份计如下:钼20-25份、镍30-40份、钒20-29份、钛1.5-2.6份、硼4-5份、铪1.6-1.8份、锆2-3.2份、钴0.2-2份。
4.如权利要求1所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝,其特征是所述合金粉配方比例按重量份计如下:钼23-27份、镍25-35份、钒30-37份、钛0.3-0.4份、硼1.7-7份、铪1.6-1.8份、锆0.5-1份、钴1-2份。
5.如权利要求1所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝,其特征是:所述合金粉:钼粉质量比为3.5-4:6-6.5。
6.如权利要求1所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝,其特征是:所述合金粉:钼粉质量比为3-3.5:6.5-7。
7.权利要求1所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝的制备方法,其特征是按重量份计步骤如下:
(1)合金粉的制备:
a、镍块熔化:向坩埚内放入称量好的镍20-50份,用40-70kW的功率将镍块熔化得到熔液,熔液温度控制为1500-1600℃;
b、钒块熔化:将称量好的钒15-40份加入步骤a所得熔液中,用30-70kW的功率进行熔化,将钒块完全熔化后,以30-60kW的功率保持温度在1350-1550℃;
c、硼块熔化:将称量好的硼1.2-8份加入步骤b所得熔液中,用20-50kW的功率进行熔化,控制温度为1350-1550℃,将硼全部熔化;
d、钛块的熔化:将称量好的钛0.3-3份,加入步骤c所得熔液中,用30-60kW的功率全进行部熔化,控制温度为1500-1600℃;
e、钼熔化:在步骤d所得熔液中加入钼10-30份,用40-70kW的功率进行熔化,控制温度为1500-1700℃;
f、铪粒和钴块及锆块的熔化:将称量好的铪0.2-1.8份、锆0.15-3.2份、钴0.15-2份加入步骤e所得熔液中,用30-50kW的功率保持温度至1500-1700℃,待全部融化后,精炼30分钟;
g、雾化制成粉末:将步骤f所得熔液通过喷嘴雾化成150-200目的粉末,即得合金粉;
(2)混合:将步骤(1)制备所得合金粉与钼粉按照2.5-5:5-7.5的质量比混合;
(3)制坯:将步骤(2)所得混合粉末放入冷等静压机中进行制坯,压力为60-100MPa;
(4)烧结轧制:将步骤(3)所得坯体在1200-1400℃烧结20h,得到合金棒,随后在1300-1400℃下轧制成直径8-12mm的粗丝;
(5)拉丝:将步骤(4)所得粗丝通过连续拉丝机进行拉丝,得到直径1-3mm的合金丝;
(6)退火:将步骤(5)所得合金丝在600-700℃下加热2h,随后随炉自然冷却,得到产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
8.如权利要求7所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝的制备方法,其特征:所述钼粉粒径为150-200目。
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