CN106086747A - 一种用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝及其制备方法 - Google Patents

一种用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝及其制备方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝及其制备方法，属于材料技术领域。先用真空雾化制粉设备，通过镍锭熔化、钒块熔化、硼块熔化、钛块熔化、钼块的熔化，铪粒和钴块及锆块的熔化及喷雾制成合金粉，将合金粉和钼粉按比例混合之后，经过合金粉的制备、制坯、烧结、轧制和拉伸制得产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。本发明制备的合金丝所制成的打底层既容易被锡液所浸润、腐蚀，进而使锡凝固后和打底层及背管紧密粘接在一起；又不会有打底层元素大量的溶解在锡液中造成锡液污染，从而保证了锡靶的纯度符合要求。

Description

一种用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝及其制备方法
技术领域
本发明涉及一种用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝及其制备方法，属于材料技术领域。
背景技术
在铸造工艺生产旋转锡靶的过程中，为了使锡材料和304不锈钢背管紧密的结合起来，需要在304不锈钢背管上制作打底层，否则将会产生熔靶现象，导致靶材报废。目前用电弧喷涂镍铝丝（镍95铝5）或纯镍丝来制作打底层。在锡靶的铸造工艺温度280-350℃区间内，镍会大量的溶解在锡液中，导致锡液的纯度下降；并且由于打底层比较薄（0.1-0.5mm），随着镍的大量溶解，打底层会被完全腐蚀导致消失，导致靶材报废。如果把打底层加厚，则会导致锡液的纯度大幅下降。此种情况给铸造工艺的设计带来很大的困扰。
发明内容
本发明的目的在于克服上述不足之处，提供一种代替镍95铝5丝或纯镍丝的，用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝及其制备方法。
按照本发明提供的技术方案，一种用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝，配方比例如下：其由合金粉和钼粉组成，其中合金粉：钼粉质量比为2.5-5：5-7.5；将合金粉和钼粉按比例混合之后，经过合金粉的制备、制坯、烧结、轧制和拉伸制得产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
所述合金丝的直径为1-3mm。
所述合金粉配方比例按重量份计如下：钼10-30份、镍20-50份、钒15-40份、钛0.3-3份、硼1.2-8份、铪0.2-1.8份、锆0.15-3.2份和钴0.15-2份。
所述合金粉配方比例按重量份计如下：钼15-30份、镍25-43份、钒28-40份、钛0.3-3份、硼1.2-7份、铪0.2-1.8份、锆0.5-3.2份和钴0.2-2份。
所述合金粉配方比例按重量份计如下：钼20-25份、镍30-40份、钒20-29份、钛1.5-2.6份、硼4-5份、铪1.6-1.8份、锆2-3.2份、钴0.2-2份。
所述合金粉配方比例按重量份计如下：钼23-27份、镍25-35份、钒30-37份、钛0.3-0.4份、硼1.7-7份、铪1.6-1.8份、锆0.5-1份、钴1-2份。
所述合金粉：钼粉质量比为3.5-4：6-6.5。
所述合金粉：钼粉质量比为3-3.5：6.5-7。
所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝的制备方法，按重量份计步骤如下：
（1）合金粉的制备：
a、镍块熔化：向坩埚内放入称量好的镍20-50份，用40-70kw的功率将镍块熔化得到熔液，熔液温度控制为1500-1600℃；
b、钒块熔化：将称量好的钒15-40份加入步骤a所得熔液中，用30-70kw的功率进行熔化，将钒块完全熔化后，以30-60kw的功率保持温度在1350-1550℃；
c、硼块熔化：将称量好的硼1.2-8份加入步骤b所得熔液中，用20-50kw的功率进行熔化，控制温度为1350-1550℃，将硼全部熔化；
d、钛块的熔化：将称量好的钛0.3-3份，加入步骤c所得熔液中，用30-60kw的功率全进行部熔化，控制温度为1500-1600℃；
e、钼熔化：在步骤（4）所得熔液中加入钼10-30份，用40-70kw的功率进行熔化，控制温度为1500-1700℃；
f、铪粒和钴块及锆块的熔化：将称量好的铪0.2-1.8份、锆0.15-3.2份、钴0.15-2份加入步骤e所得熔液中，用30-50kw的功率保持温度至1500-1700℃，待全部融化后，精炼30分钟；
g、雾化制成粉末：将步骤f所得熔液通过喷嘴雾化成150-200目的粉末，即得合金粉；
（2）混合：将步骤（1）制备所得合金粉与钼粉按照2.5-5：5-7.5的质量比混合；
（3）制坯：将步骤（2）所得混合粉末放入冷等静压机中进行制坯，压力为60-100MPa；
（4）烧结轧制：将步骤（3）所得坯体在1200-1400℃烧结20h，得到合金棒，随后在1300-1400℃下轧制成直径8-12mm的粗丝；
（5）拉丝：将步骤（4）所得粗丝通过连续拉丝机进行拉丝，得到直径1-3mm的合金丝；
（6）退火：将步骤（5）所得合金丝在600-700℃下加热2h，随后随炉自然冷却，得到产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
所述钼粉粒径为150-200目。
本发明的有益效果：本发明制备的合金丝具有较高的钼和钒含量，此两种金属在铸造工艺温度280-350℃区间内基本不溶于锡液中；此合金丝还含有适量的镍、钛、铪、锆、钴等容易溶于锡液的成份，保持了锡液对此种合金表面的浸润和微腐蚀性。在此合金丝中添加适量的硼元素，可以改善晶粒尺寸与元素分布，形成更加均匀的固溶体。用此合金丝制成的打底层，表面会被锡液浸润并形成微小的腐蚀，但是内部不会继续溶解在锡液中，不但保持了锡液的纯度，而且保证了打底层的有效性，降低了铸造工艺设计的难度。
具体实施方式
实施例1
合金粉：钼10份，镍50份，钒23份，钛2.5份，硼7.5份，铪1.8份，锆3.2份，钴2份；再按照所得合金粉4.5份，钼粉5.5份的比例混合；
所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝的制备方法，按重量份计步骤如下：
（1）合金粉的制备：
a、镍块熔化：向坩埚内放入称量好的镍，用70kw的功率将镍块熔化得到熔液，熔液温度控制为1600℃；
b、钒块熔化：将称量好的钒加入步骤a所得熔液中，用50kw的功率进行熔化，将钒块完全熔化后，以30kw的功率保持温度在1550℃；
c、硼块熔化：将称量好的硼加入步骤b所得熔液中，用30kw的功率进行熔化，控制温度为1550℃，将硼全部熔化；
d、钛块的熔化：将称量好的钛，加入步骤c所得熔液中，用30kw的功率全进行部熔化，控制温度为1600℃；
e、钼熔化：在步骤（4）所得熔液中加入钼，用40kw的功率进行熔化，控制温度为1700℃；
f、铪粒和钴块及锆块的熔化：将称量好的铪、锆、钴加入步骤e所得熔液中，用30kw的功率保持温度至1700℃，待全部融化后，精炼30分钟；
g、雾化制成粉末：将步骤f所得熔液通过喷嘴雾化成150目的粉末，即得合金粉；
（2）混合：将步骤（1）制备所得合金粉与钼粉按照质量比混合；
（3）制坯：将步骤（2）所得混合粉末放入冷等静压机中进行制坯，压力为60MPa；
（4）烧结轧制：将步骤（3）所得坯体在1200℃烧结20h，得到合金棒，随后在1300℃下轧制成直径8mm的粗丝；
（5）拉丝：将步骤（4）所得粗丝通过连续拉丝机进行拉丝，得到直径1mm的合金丝；
（6）退火：将步骤（5）所得合金丝在600℃下加热2h，随后随炉自然冷却，得到产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
实施例2
合金粉：钼15份，镍43份，钒28份，钛3份，硼4份，铪1.8份，锆3.2份，钴2份；再按照所得合金粉4份，钼粉6份的比例混合；
所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝的制备方法，按重量份计步骤如下：
（1）合金粉的制备：
a、镍块熔化：向坩埚内放入称量好的镍，用60kw的功率将镍块熔化得到熔液，熔液温度控制为1500℃；
b、钒块熔化：将称量好的钒加入步骤a所得熔液中，用50kw的功率进行熔化，将钒块完全熔化后，以30kw的功率保持温度在1450℃；
c、硼块熔化：将称量好的硼加入步骤b所得熔液中，用30kw的功率进行熔化，控制温度为1450℃，将硼全部熔化；
d、钛块的熔化：将称量好的钛，加入步骤c所得熔液中，用40kw的功率全进行部熔化，控制温度为1600℃；
e、钼熔化：在步骤（4）所得熔液中加入钼，用60kw的功率进行熔化，控制温度为1500℃；
f、铪粒和钴块及锆块的熔化：将称量好的铪、锆、钴加入步骤e所得熔液中，用40kw的功率保持温度至1500℃，待全部融化后，精炼30分钟；
g、雾化制成粉末：将步骤f所得熔液通过喷嘴雾化成200目的粉末，即得合金粉；
（2）混合：将步骤（1）制备所得合金粉与钼粉按照质量比混合；
（3）制坯：将步骤（2）所得混合粉末放入冷等静压机中进行制坯，压力为100MPa；
（4）烧结轧制：将步骤（3）所得坯体在1200℃烧结20h，得到合金棒，随后在1300℃下轧制成直径10mm的粗丝；
（5）拉丝：将步骤（4）所得粗丝通过连续拉丝机进行拉丝，得到直径2mm的合金丝；
（6）退火：将步骤（5）所得合金丝在700℃下加热2h，随后随炉自然冷却，得到产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
实施例3
合金粉：钼20份，镍38份，钒29份、钛2份、硼5份、铪1.6份、锆2.8份、钴1.6份的合金粉；再按照所得合金粉3.5份，钼粉6.5份的比例混合，
所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝的制备方法，按重量份计步骤如下：
（1）合金粉的制备：
a、镍块熔化：向坩埚内放入称量好的镍，用50kw的功率将镍块熔化得到熔液，熔液温度控制为1550℃；
b、钒块熔化：将称量好的钒加入步骤a所得熔液中，用40kw的功率进行熔化，将钒块完全熔化后，以40kw的功率保持温度在1450℃；
c、硼块熔化：将称量好的硼加入步骤b所得熔液中，用30kw的功率进行熔化，控制温度为1450℃，将硼全部熔化；
d、钛块的熔化：将称量好的钛，加入步骤c所得熔液中，用30kw的功率全进行部熔化，控制温度为1550℃；
e、钼熔化：在步骤（4）所得熔液中加入钼，用50kw的功率进行熔化，控制温度为1550℃；
f、铪粒和钴块及锆块的熔化：将称量好的铪、锆、钴加入步骤e所得熔液中，用40kw的功率保持温度至1550℃，待全部融化后，精炼30分钟；
g、雾化制成粉末：将步骤f所得熔液通过喷嘴雾化成150目的粉末，即得合金粉；
（2）混合：将步骤（1）制备所得合金粉与钼粉按照质量比混合；
（3）制坯：将步骤（2）所得混合粉末放入冷等静压机中进行制坯，压力为70MPa；
（4）烧结轧制：将步骤（3）所得坯体在1250℃烧结20h，得到合金棒，随后在1350℃下轧制成直径12mm的粗丝；
（5）拉丝：将步骤（4）所得粗丝通过连续拉丝机进行拉丝，得到直径3mm的合金丝；
（6）退火：将步骤（5）所得合金丝在700℃下加热2h，随后随炉自然冷却，得到产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
实施例4
合金粉：钼23份，镍35份，钒36份，钛0.3份，硼1.7份，铪1.8份、锆0.6份、钴1.6份的合金粉；再按照所得合金粉3份，钼粉7份的比
所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝的制备方法，按重量份计步骤如下：
（1）合金粉的制备：
a、镍块熔化：向坩埚内放入称量好的镍，用50kw的功率将镍块熔化得到熔液，熔液温度控制为1520℃；
b、钒块熔化：将称量好的钒加入步骤a所得熔液中，用60kw的功率进行熔化，将钒块完全熔化后，以60kw的功率保持温度在1450℃；
c、硼块熔化：将称量好的硼加入步骤b所得熔液中，用30kw的功率进行熔化，控制温度为1500℃，将硼全部熔化；
d、钛块的熔化：将称量好的钛，加入步骤c所得熔液中，用30kw的功率全进行部熔化，控制温度为1580℃；
e、钼熔化：在步骤（4）所得熔液中加入钼，用65kw的功率进行熔化，控制温度为1650℃；
f、铪粒和钴块及锆块的熔化：将称量好的铪、锆、钴加入步骤e所得熔液中，用45kw的功率保持温度至1650℃，待全部融化后，精炼30分钟；
g、雾化制成粉末：将步骤f所得熔液通过喷嘴雾化成150-200目的粉末，即得合金粉；
（2）混合：将步骤（1）制备所得合金粉与钼粉按照质量比混合；
（3）制坯：将步骤（2）所得混合粉末放入冷等静压机中进行制坯，压力为80MPa；
（4）烧结轧制：将步骤（3）所得坯体在1350℃烧结20h，得到合金棒，随后在180℃下轧制成直径12mm的粗丝；
（5）拉丝：将步骤（4）所得粗丝通过连续拉丝机进行拉丝，得到直径3mm的合金丝；
（6）退火：将步骤（5）所得合金丝在700℃下加热2h，随后随炉自然冷却，得到产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
实施例5
合金粉：钼25份，镍30份、钒29份、钛2.6份、硼5份、铪1.6份、锆2份、钴0.2；再按照所得合金粉3份，钼粉7份；
所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝的制备方法，按重量份计步骤如下：
（1）合金粉的制备：
a、镍块熔化：向坩埚内放入称量好的镍，用55kw的功率将镍块熔化得到熔液，熔液温度控制为1510℃；
b、钒块熔化：将称量好的钒加入步骤a所得熔液中，用60kw的功率进行熔化，将钒块完全熔化后，以45kw的功率保持温度在1550℃；
c、硼块熔化：将称量好的硼加入步骤b所得熔液中，用35kw的功率进行熔化，控制温度为1520℃，将硼全部熔化；
d、钛块的熔化：将称量好的钛，加入步骤c所得熔液中，用30kw的功率全进行部熔化，控制温度为1500℃；
e、钼熔化：在步骤（4）所得熔液中加入钼，用68kw的功率进行熔化，控制温度为1550℃；
f、铪粒和钴块及锆块的熔化：将称量好的铪、锆、钴加入步骤e所得熔液中，用40kw的功率保持温度至1500℃，待全部融化后，精炼30分钟；
g、雾化制成粉末：将步骤f所得熔液通过喷嘴雾化成170目的粉末，即得合金粉；
（2）混合：将步骤（1）制备所得合金粉与钼粉按照质量比混合；
（3）制坯：将步骤（2）所得混合粉末放入冷等静压机中进行制坯，压力为65MPa；
（4）烧结轧制：将步骤（3）所得坯体在1320℃烧结20h，得到合金棒，随后在1370℃下轧制成直径12mm的粗丝；
（5）拉丝：将步骤（4）所得粗丝通过连续拉丝机进行拉丝，得到直径3mm的合金丝；
（6）退火：将步骤（5）所得合金丝在700℃下加热2h，随后随炉自然冷却，得到产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
实施例6
合金粉：钼27份，镍25份，钒37份、钛0.4份、硼7份、铪1.6份、锆1份、钴1份的合金粉；再按照所得合金粉3份，钼粉7.5份的比例混合
所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝的制备方法，按重量份计步骤如下：
（1）合金粉的制备：
a、镍块熔化：向坩埚内放入称量好的镍，用55kw的功率将镍块熔化得到熔液，熔液温度控制为1560℃；
b、钒块熔化：将称量好的钒加入步骤a所得熔液中，用65kw的功率进行熔化，将钒块完全熔化后，以55kw的功率保持温度在1470℃；
c、硼块熔化：将称量好的硼加入步骤b所得熔液中，用50kw的功率进行熔化，控制温度为1550℃，将硼全部熔化；
d、钛块的熔化：将称量好的钛，加入步骤c所得熔液中，用30kw的功率全进行部熔化，控制温度为1490℃；
e、钼熔化：在步骤（4）所得熔液中加入钼，用40kw的功率进行熔化，控制温度为1700℃；
f、铪粒和钴块及锆块的熔化：将称量好的铪、锆、钴加入步骤e所得熔液中，用33kw的功率保持温度至1560℃，待全部融化后，精炼30分钟；
g、雾化制成粉末：将步骤f所得熔液通过喷嘴雾化成200目的粉末，即得合金粉；
（2）混合：将步骤（1）制备所得合金粉与钼粉按照质量比混合；
（3）制坯：将步骤（2）所得混合粉末放入冷等静压机中进行制坯，压力为70MPa；
（4）烧结轧制：将步骤（3）所得坯体在1350℃烧结20h，得到合金棒，随后在1400℃下轧制成直径8mm的粗丝；
（5）拉丝：将步骤（4）所得粗丝通过连续拉丝机进行拉丝，得到直径1mm的合金丝；
（6）退火：将步骤（5）所得合金丝在600℃下加热2h，随后随炉自然冷却，得到产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
实施例7
合金粉：钼30份，镍20份，钒40份，钛2.1份，硼6份，铪0.8份，锆0.4份，钴0.7份；再按照所得合金粉2.5份，钼粉7.5份的比例混合；
所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝的制备方法，按重量份计步骤如下：
（1）合金粉的制备：
a、镍块熔化：向坩埚内放入称量好的镍份，用40kw的功率将镍块熔化得到熔液，熔液温度控制为1600℃；
b、钒块熔化：将称量好的钒加入步骤a所得熔液中，用70kw的功率进行熔化，将钒块完全熔化后，以30kw的功率保持温度在1350℃；
c、硼块熔化：将称量好的硼加入步骤b所得熔液中，用40kw的功率进行熔化，控制温度为1450℃，将硼全部熔化；
d、钛块的熔化：将称量好的钛，加入步骤c所得熔液中，用40kw的功率全进行部熔化，控制温度为1500℃；
e、钼熔化：在步骤（4）所得熔液中加入钼，用70kw的功率进行熔化，控制温度为1580℃；
f、铪粒和钴块及锆块的熔化：将称量好的铪、锆、钴加入步骤e所得熔液中，用35kw的功率保持温度至1500℃，待全部融化后，精炼30分钟；
g、雾化制成粉末：将步骤f所得熔液通过喷嘴雾化成200目的粉末，即得合金粉；
（2）混合：将步骤（1）制备所得合金粉与钼粉按照质量比混合；
（3）制坯：将步骤（2）所得混合粉末放入冷等静压机中进行制坯，压力为100MPa；
（4）烧结轧制：将步骤（3）所得坯体在1380℃烧结20h，得到合金棒，随后在1400℃下轧制成直径12mm的粗丝；
（5）拉丝：将步骤（4）所得粗丝通过连续拉丝机进行拉丝，得到直径2mm的合金丝；
（6）退火：将步骤（5）所得合金丝在700℃下加热2h，随后随炉自然冷却，得到产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
应用实施例：
将实施实例1-7所得的合金丝用电弧喷涂制作成铸造旋转锡靶的打底层，厚度0.3毫米。
经过实验，实施实例1所得合金丝制成打底层，在保温温度330℃，保温20分钟后，即能实现锡和背管的紧密粘接，镍、钒、钼、硼、钛、锆、铪和钴在锡靶中的总含量为0.04%-0.05%；当保温60分钟后，打底层依然存在，镍、钒、钼、硼、钛、锆、铪和钴在锡靶中的总含量为0.07%-0.09%。
实施实例4所得合金丝制成打底层，在保温温度330℃，保温25分钟后，能实现锡和背管的紧密粘接，镍、钒、钼、硼、钛、锆、铪和钴在锡靶中的总含量为0.02%-0.03%；当保温60分钟后，打底层依然存在，镍、钒、钼、硼、钛、锆、铪和钴在锡靶中的总含量为0.04%-0.05%。
实施实例5所得合金丝制成打底层，在保温温度330℃，保温27分钟后，即能实现锡和背管的紧密粘接，镍、钒、钼、硼、钛、锆、铪和钴在锡靶中的总含量为0.02%-0.03%；当保温60分钟后，打底层依然存在，镍、钒、钼、硼、钛、锆、铪和钴在锡靶中的总含量为0.04%-0.05%；
实施实例7所得合金丝制成打底层，在保温温度330℃，保温50分钟后，方能实现锡和背管的紧密粘接，镍、钒、钼、硼、钛、锆、铪和钴在锡靶中的总含量为0.01%-0.02%；当保温60分钟后，打底层依然存在，镍、钒、钼、硼、钛、锆、铪和钴在锡靶中的总含量为0.01%-0.02%。
综合来看，实施实例4和实施实例5的效果更优。

Claims (10)

1.一种用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝，其特征是配方比例如下：其由合金粉和钼粉组成，其中合金粉：钼粉质量比为2.5-5：5-7.5；将合金粉和钼粉按比例混合之后，经过合金粉的制备、制坯、烧结、轧制和拉伸制得产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
2.如权利要求1所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝，其特征是：所述合金丝的直径为1-3mm。
3.如权利要求1所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝，其特征是所述合金粉配方比例按重量份计如下：钼10-30份、镍20-50份、钒15-40份、钛0.3-3份、硼1.2-8份、铪0.2-1.8份、锆0.15-3.2份和钴0.15-2份。
4.如权利要求3所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝，其特征是所述合金粉配方比例按重量份计如下：钼15-30份、镍25-43份、钒28-40份、钛0.3-3份、硼1.2-7份、铪0.2-1.8份、锆0.5-3.2份和钴0.2-2份。
5.如权利要求4所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝，其特征是所述合金粉配方比例按重量份计如下：钼20-25份、镍30-40份、钒20-29份、钛1.5-2.6份、硼4-5份、铪1.6-1.8份、锆2-3.2份、钴0.2-2份。
6.如权利要求4所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝，其特征是所述合金粉配方比例按重量份计如下：钼23-27份、镍25-35份、钒30-37份、钛0.3-0.4份、硼1.7-7份、铪1.6-1.8份、锆0.5-1份、钴1-2份。
7.如权利要求1所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝，其特征是：所述合金粉：钼粉质量比为3.5-4：6-6.5。
8.如权利要求1所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝，其特征是：所述合金粉：钼粉质量比为3-3.5：6.5-7。
9.权利要求1所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝的制备方法，其特征是按重量份计步骤如下：
（1）合金粉的制备：
a、镍块熔化：向坩埚内放入称量好的镍20-50份，用40-70kw的功率将镍块熔化得到熔液，熔液温度控制为1500-1600℃；
b、钒块熔化：将称量好的钒15-40份加入步骤a所得熔液中，用30-70kw的功率进行熔化，将钒块完全熔化后，以30-60kw的功率保持温度在1350-1550℃；
c、硼块熔化：将称量好的硼1.2-8份加入步骤b所得熔液中，用20-50kw的功率进行熔化，控制温度为1350-1550℃，将硼全部熔化；
d、钛块的熔化：将称量好的钛0.3-3份，加入步骤c所得熔液中，用30-60kw的功率全进行部熔化，控制温度为1500-1600℃；
e、钼熔化：在步骤（4）所得熔液中加入钼10-30份，用40-70kw的功率进行熔化，控制温度为1500-1700℃；
f、铪粒和钴块及锆块的熔化：将称量好的铪0.2-1.8份、锆0.15-3.2份、钴0.15-2份加入步骤e所得熔液中，用30-50kw的功率保持温度至1500-1700℃，待全部融化后，精炼30分钟；
g、雾化制成粉末：将步骤f所得熔液通过喷嘴雾化成150-200目的粉末，即得合金粉；
（2）混合：将步骤（1）制备所得合金粉与钼粉按照2.5-5：5-7.5的质量比混合；
（3）制坯：将步骤（2）所得混合粉末放入冷等静压机中进行制坯，压力为60-100MPa；
（4）烧结轧制：将步骤（3）所得坯体在1200-1400℃烧结20h，得到合金棒，随后在1300-1400℃下轧制成直径8-12mm的粗丝；
（5）拉丝：将步骤（4）所得粗丝通过连续拉丝机进行拉丝，得到直径1-3mm的合金丝；
（6）退火：将步骤（5）所得合金丝在600-700℃下加热2h，随后随炉自然冷却，得到产品用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝。
10.如权利要求9所述用于铸造旋转锡靶材打底层的合金丝的制备方法，其特征：所述钼粉粒径为150-200目。
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