CN106054541B - 预烘烤设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种预烘烤设备，该预烘烤设备包括热板、承托装置以及补偿装置，其中，热板设有多个通孔，热板用于承载玻璃基板并对玻璃基板进行加热；承托装置用于穿过多个通孔以举托玻璃基板并将玻璃基板下放在热板上；补偿装置用于封闭多个通孔以使得热板对玻璃基板均匀加热。本发明提供的预烘烤设备由于设置有可封闭热板上的多个通孔的补偿装置，使得玻璃基板受热均匀，进而使得后续制程中彩膜颜色均匀。

Description

预烘烤设备
技术领域
本发明涉及液晶面板制造领域，特别涉及一种玻璃基板用的预烘烤设备。
背景技术
LTPS(Low Temperature Poly-silicon，低温多晶硅技术)Mobile产品日益对颜色的均一性要求越来越高，由于mobile的颜色由彩膜体现，所以对彩膜的颜色均一性要求的规格也越来越高。
预烘烤设备作用是将涂布在玻璃基板上的光阻70％溶剂进行挥发，加热的原理是通过热传递的方式，将热板与玻璃基板背面进行整面的接触进行加热，所以热板的传导热均一性就会导致玻璃上光阻挥发的程度不一样导致整个膜面颜色不均一。
请一并参阅图1和图2，其中，图1是现有技术中一种预烘烤设备的结构示意图；图2是图1中所示的预烘烤设备工作时的示意图。
如图1和图2中所示，热板20设有多个通孔21，承托装置30设于热板20下方，用于穿过所述热板20上的多个通孔21以举托所述位于热板20上方的玻璃基板10并将所述玻璃基板10下放在所述热板20上。
由于热板20上需要预留承托装置30上升下降的通孔21，导致此通孔21处没有热板加热，使得玻璃基板10受热不均。
发明内容
本发明提供一种预烘烤设备，以解决现有技术中预烘烤设备对玻璃基板进行加热时玻璃基板受热不均的技术问题。
为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种预烘烤设备，所述预烘烤设备包括：
热板，设有多个通孔，所述热板用于承载玻璃基板并对所述玻璃基板进行加热；
承托装置，用于穿过所述多个通孔以举托所述玻璃基板并将所述玻璃基板下放在所述热板上；
补偿装置，用于封闭所述多个通孔以使得所述热板对所述玻璃基板均匀加热。
根据本发明一优选实施例，所述承托装置包括底板和垂直设于所述底板上的多个承托柱，所述承托装置通过所述多个承托柱穿过所述多个通孔以举托所述玻璃基板。
根据本发明一优选实施例，所述补偿装置包括多个板体和多个垂直于所述板体下的撑杆，所述多个板体与所述多个通孔相适配，所述承托装置将所述玻璃基板下放于所述热板上后下降并平移开，所述补偿装置平移至所述通孔下方并上升使得所述多个板体封闭所述多个通孔。
根据本发明一优选实施例，所述补偿装置为活动性设于所述承托柱上的活动板，所述多个承托柱穿过所述多个通孔以举托所述玻璃基板时，所述活动板下降至所述承托柱的下侧，所述承托柱将所述玻璃基板下放于所述热板上时，所述活动板上升至所述承托柱的端部并将所述通孔封闭。
根据本发明一优选实施例，所述补偿装置还包括限位板，所述限位板设于所述板体的下方，在所述板体适配于所述通孔时限位抵接在所述热板的下方。
根据本发明一优选实施例，所述板体呈锥台状，以在所述板体适配于所述通孔时与所述通孔限位抵接。
根据本发明一优选实施例，所述底板上设有避让槽，所述承托柱与所述避让槽干涉装配。
根据本发明一优选实施例，所述预烘烤设备还包括升降电机，所述升降电机用于使得所述承托装置和所述补偿装置升降。
根据本发明一优选实施例，所述预烘烤设备还包括平移电机，所述平移电机用于使得所述承托装置和所述补偿装置平移。
本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明提供的预烘烤设备由于设置有可封闭热板上的多个通孔的补偿装置，使得玻璃基板受热均匀，进而使得后续制程中彩膜颜色均匀。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：
图1是现有技术中一种预烘烤设备的结构示意图；
图2是图1中所示的预烘烤设备工作时的示意图；
图3是本发明一优选实施例提供的预烘烤设备的结构示意图；
图4是图3中所示的预烘烤设备的工作过程示意图；
图5是图3中所示的预烘烤设备的工作过程示意图；
图6是图3中所示的预烘烤设备中补偿装置的另一种示意图；
图7是图3中所示的预烘烤设备的补偿装置的另一种示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图3，图3是本发明一优选实施例提供的预烘烤设备的结构示意图。
如图3所示，本发明提供一种预烘烤设备，该预烘烤设备包括热板200、承托装置300以及补偿装置400。
其中，热板200设有多个通孔210(见图4)，热板200用于承载玻璃基板100并对玻璃基板100进行加热。该通孔210可以是圆形、三角形、多边形等形状。
承托装置300用于在热板200的下方穿过多个通孔210以举托热板200上方的玻璃基板100并将玻璃基板100下放在热板200上。
补偿装置400位于热板200的下方，用于封闭热板200的多个通孔210以使得热板200对玻璃基板100均匀加热。
具体而言，承托装置300包括底板310和垂直设于底板310上的多个承托柱320，承托装置300通过多个承托柱320穿过多个通孔210以举托玻璃基板100。
在本发明一优选实施例中，补偿装置400包括多个板体410和多个垂直于板体410下的撑杆420，多个板体410与多个通孔210相适配。
请一并参阅图4和图5，图4和图5是图3中所示的预烘烤设备的工作过程示意图。
如图4所示，承托装置300将玻璃基板100下放于热板200上后下降并平移开。
如图5所示，补偿装置400平移至通孔210下方并上升使得多个板体410封闭多个通孔210。
在本发明另一优选实施例中，补偿装置400可为活动性设于承托柱320上的活动板，多个承托柱320穿过多个通孔210以举托玻璃基板100时，活动板下降至承托柱320的下侧，承托柱320将玻璃基板100下放于热板200上时，活动板上升至承托柱320的端部并将通孔210封闭。
请一并参阅图6和图7，图6和图7是图3中所示的预烘烤设备中补偿装置的其他实施方式的示意图。
如图6所示，在本实施例中，补偿装置400还包括限位板430，限位板430设于板体410的下方，在板体410适配于通孔210时限位抵接在热板200的下方。
如图7所示，在本实施例中，板体410'呈锥台状，可以在板体410适配于通孔210时与通孔210限位抵接。
在本发明优选实施例中，底板310上设有避让槽(图未示)，承托柱320与避让槽干涉装配。
此外，预烘烤设备还包括升降电机、平移电机及对应的传动机构，升降电机用于使得承托装置300和补偿装置400升降。平移电机用于使得承托装置300和补偿装置400平移。
综上所述，本领域技术人员容易理解，本发明提供的预烘烤设备由于设置有可封闭热板200上的多个通孔210的补偿装置400，使得玻璃基板100受热均匀，进而使得后续制程中彩膜颜色均匀。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (6)

1.一种预烘烤设备，其特征在于，所述预烘烤设备包括：
热板，设有多个通孔，所述热板用于承载玻璃基板并对所述玻璃基板进行加热；
承托装置，用于穿过所述多个通孔以举托所述玻璃基板并将所述玻璃基板下放在所述热板上；
补偿装置，用于封闭所述多个通孔以使得所述热板对所述玻璃基板均匀加热；
所述承托装置包括底板和垂直设于所述底板上的多个承托柱，所述承托装置通过所述多个承托柱穿过所述多个通孔以举托所述玻璃基板，所述承托柱的直径小于所述通孔的直径以使得所述承托柱的表面与所述通孔的孔壁间隔；
所述补偿装置包括多个板体和多个垂直于所述板体下的撑杆，所述多个板体与所述多个通孔相适配，所述承托装置将所述玻璃基板下放于所述热板上后下降并平移开，所述补偿装置平移至所述通孔下方并上升使得所述多个板体封闭所述多个通孔；或者
所述补偿装置为活动性设于所述承托柱上的活动板，所述多个承托柱穿过所述多个通孔以举托所述玻璃基板时，所述活动板下降至所述承托柱的下侧，所述承托柱将所述玻璃基板下放于所述热板上时，所述活动板上升至所述承托柱的端部并将所述通孔封闭。
2.根据权利要求1所述的预烘烤设备，其特征在于，所述补偿装置还包括限位板，所述限位板设于所述板体的下方，在所述板体适配于所述通孔时限位抵接在所述热板的下方。
3.根据权利要求1所述的预烘烤设备，其特征在于，所述板体呈锥台状，以在所述板体适配于所述通孔时与所述通孔限位抵接。
4.根据权利要求1所述的预烘烤设备，其特征在于，所述底板上设有避让槽，所述承托柱与所述避让槽干涉装配。
5.根据权利要求1所述的预烘烤设备，其特征在于，所述预烘烤设备还包括升降电机，所述升降电机用于使得所述承托装置和所述补偿装置升降。
6.根据权利要求1所述的预烘烤设备，其特征在于，所述预烘烤设备还包括平移电机，所述平移电机用于使得所述承托装置和所述补偿装置平移。
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