CN107561747A - 一种显示基板的预烘烤装置及预烘烤系统 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种显示基板的预烘烤装置及预烘烤系统，所述预烘烤装置包括顶板、底板、第一侧板、第二侧板、与第一侧板相对设置的第三侧板以及与第二侧板相对设置的第四侧板，所述顶板、底板、第一侧板、第二侧板、第三侧板和第四侧板共同形成有一腔室，所述第一侧板设置有窗口，所述第二侧板开设有进气孔以连接一热空气系统的供气管，所述第四侧板开设有排气孔以连接一排气系统的排气管，所述顶板的内表面设置有抗粘性的膜层。本发明的显示基板的预烘烤装置，顶板的内表面设置有抗粘性的膜层，显示基板预烘烤蒸发光阻的溶剂时，挥发出来的溶剂蒸汽不会粘附在顶板上，提高显示基板的产品良率。
Description
技术领域
本发明液晶显示技术领域，尤其涉及一种显示基板的预烘烤装置及预烘烤系统。
背景技术
在显示基板的制作工艺过程，经过光阻制作后需要进行预烘烤，把光阻内部的溶剂蒸发出来，这有利于后续的曝光和显影工序的进行。并且，随着液晶显示面板往高分辨率发展，光阻使用的颜料颗粒化以提高色彩饱和度，因为颜料颗粒变细才能够保证更高的高过滤、对比度和色度等，因此在分散颜料颗粒上，往往会添加多种调和剂以及光化剂以保证颜料颗粒的分散，同时，这在预烘烤阶段造成了更多的溶剂蒸汽，如果不能很好地排出这些溶剂蒸汽，对产品的良率会造成很大的影响。
发明内容
本发明提供了一种显示基板的预烘烤装置及预烘烤系统，能够提高显示基板的产品良率。
一方面，本发明实施例提供了一种显示基板的预烘烤装置，该预烘烤装置的内部形成有一腔室，所述腔室的内壁设置有抗粘性的膜层，所述腔室的侧面开设有：
窗口，所述窗口的表面设置有抗粘性的膜层；
进气孔，用于与一热空气系统的供气管连接；
排气孔，用于与一排气系统的排气管连接。
进一步地，所述预烘烤装置，其特征在于，包括：
底板；
顶板，与所述底板相对设置，所述膜层设置于所述顶板的内表面；
第一侧板，所述窗口设置于所述第一侧板；
第二侧板，与所述顶板、底板以及第一侧板连接，所述进气孔开设于所述第二侧板；
第三侧板，与所述第一侧板相对设置，与所述顶板、底板、第一侧板以及第二侧板连接；
第四侧板，与所述第二侧板相对设置，且与所述顶板、底板、第一侧板、第二侧板以及第三侧板共同形成所述腔室，所述排气孔开设与所述第四侧板。
进一步地，所述排气孔和进气孔的数量均为6个。
进一步地，所述排气孔与所述进气孔一一对准。
进一步地，所述膜层为耐酸碱的膜层。
进一步地，所述膜层由包括聚四氟乙烯的材料制成或由包括聚对苯二甲酸乙二醇酯的材料制成。
进一步地，所述膜层的耐温温度大于或等于200℃。
进一步地，所述窗口为百叶窗，所述百叶窗面对所述腔室的一面设置有所述抗粘性的膜层。
另一方面，本发明实施例还提供了一种显示基板的预烘烤系统，该预烘烤系统包括：
热空气系统；
排气系统；
预烘烤装置，所述预烘烤装置的内部形成有一腔室，所述腔室的内壁设置有抗粘性的膜层，所述腔室的侧面开设有：
窗口，所述窗口的表面设置有抗粘性的膜层；
进气孔，与所述热空气系统的供气管连接；
排气孔，与所述排气系统的排气管连接。
又一方面，本发明实施例还提供了一种显示基板的预烘烤系统，该预烘烤系统包括：
热空气系统；
排气系统；
预烘烤装置，所述预烘烤装置的内部形成有一腔室，所述腔室的内壁设置有抗粘性的膜层，所述腔室的侧面开设有：
窗口，所述窗口的表面设置有抗粘性的膜层；
进气孔，用于与热空气系统的供气管连接；
排气孔，用于与排气系统的排气管连接。
其中，所述排气孔和进气孔的数量均为6个，所述排气孔与所述进气孔一一对准，所述窗口为百叶窗，所述百叶窗面对所述腔室的一面设置有所述膜层，所述膜层具有抗酸碱性、电绝缘性，且耐温温度大于或等于200℃。
本发明的显示基板的预烘烤装置和预烘烤系统，所述预烘烤装置的内部形成有一腔室，所述腔室的内壁设置有抗粘性的膜层，所述腔室的侧面开设有：窗口；进气孔，用于与热空气系统的供气管连接；排气孔，用于与排气系统的排气管连接。预烘烤装置的腔室顶部表面设置有抗粘性的膜层，预烘烤显示基板预蒸发光阻的溶剂时，挥发出来的溶剂蒸汽不会粘附在腔室的顶部，提高显示基板的产品良率，从而降低生产成本。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种显示基板的预烘烤装置的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的一种显示基板的预烘烤系统的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
应当理解，当在本说明书和所附权利要求书中使用时，术语“包括”和“包含”指示所描述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但并不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元素、组件和/或其集合的存在或添加。
请参照图1，图1为本发明实施例提供的一种显示基板的预烘烤装置100，用于液晶面板的生产制造工艺过程。该显示基板可为彩色滤光基板且彩色滤光基板可能形成在主动开关(Thin Film Transistor，TFT)阵列基板上。
所述预烘烤装置100的内部设置有一腔室，所述腔室的内壁设置有抗粘性的膜层(图中阴影部分)，所述腔室的侧面开设有窗口1021、进气孔1031和排气孔1051，窗口1021也设置有抗粘性的膜层，进气孔1031与热空气系统的供气管连接，排气孔1051与排气系统的排气管连接。
在本发明实施例中，所述膜层是可以更换，更换方法是直接撕掉重新粘在相应位置上，简单、方便且更换成本低。
在本发明实施例中，所述预烘烤装置100包括顶板101、与顶板101相对设置的底板、第一侧板102、第二侧板103、与第一侧板102相对设置的第三侧板104以及与第二侧板103相对设置的第四侧板105，所述顶板101、底板、第一侧板102、第二侧板103、第三侧板104和第四侧板105共同形成所述腔室，所述窗口1021开设于所述第一侧板102上，所述进气孔1031用于连接热空气系统的供气管，所述进气孔1031开设于所述第二侧板103上，排气孔1051用于连接排气系统排气管，排气孔1051开设于所述第四侧板105上，所述顶板101的内表面设置有所述抗粘性的膜层。
另外，在其他实施例中，所述腔室的内壁，包括顶部内壁和腔室侧壁均设置所述膜层。
在显示基板的预烘烤阶段，采取对基片直接加热的方式去除光阻中的溶剂，基片上方的预烘烤装置100的窗口1021会积聚大量的溶剂蒸汽，窗口1021与顶板101的交汇处恰好为冷热交换之处，积聚在此处的溶剂蒸汽容易如果遇冷液化容易粘附在顶板101内表面，会给产品的后续制作造成产品瑕疵，需要通过热空气将溶剂蒸汽带走且防止溶剂蒸汽液化。另外，在顶板101的内表面设置抗粘性的膜层，显示基板预烘烤蒸发光阻的溶剂时，挥发出来的溶剂蒸汽不会粘附在顶板101上，提高显示基板的产品良率。
进一步地，所述窗口1021为百叶窗。
百叶窗是显示基板出入预烘烤装置100腔室内的进料口与出料口，在显示基板入料或出料完成后预烘烤装置100与设备腔室闭合，保证腔室与外部隔绝。
具体地，百叶窗的每一面都可以设置抗粘性的膜层，在本实施例中，可选地，在百叶窗面对所述腔室的一面设置所述抗粘性的膜层。
进一步地，所述膜层的耐温温度大于或等于200℃。
进一步地，所述膜层为耐酸碱的膜层。
进一步地，所述膜层由包括聚四氟乙烯的材料制成。
聚四氟乙烯是一种高性能、多用途的复合材料新产品，由聚四氟乙烯支撑的膜层表面光滑，有着良好的抗粘性、耐化学腐蚀性、耐高温性、耐热性(长期使用耐温达260℃，最高温度可达到300°)，即使在过热的加热器上也能够安全使用，熔化的包装薄膜的“渣屑”不会粘到加热器上，而且其电绝缘性极佳。
或者所述膜层由包括聚对苯二甲酸乙二醇酯的材料制成。
由包括聚对苯二甲酸乙二醇酯的材料制成的膜层，表面光滑，粘结力强，有着良好的抗粘性耐、抗溶剂性、耐酸碱性，长期耐温200℃等优点。
膜层的耐高温耐酸碱性使得该预烘烤装置100的寿命长，利用率高，从而降低生产成本。
进一步地，所述排气孔1051和进气孔1031的数量均为6个，所述排气孔1051与所述进气孔1031一一对准。
排出溶剂蒸汽时，热空气系统提供热空气，配合排气系统在腔室内形成一个稳定的气场，将溶剂蒸汽从排气孔1051排出。排气孔1051与所述进气孔1031一一对准有利于将溶剂蒸汽排出。
本发明提供的显示基板的预烘烤装置100，内部为一腔室，所述腔室的顶部表面设置有抗粘性的膜层，所述腔室的侧面开设有：窗口1021；进气孔1031，用于与热空气系统的供气管连接；排气孔1051，用于与排气系统的排气管连接。在热空气系统和排气系统的共同作用下，腔室内部形成一个稳定地气流，将从显示基板内蒸发出的光阻溶剂蒸汽排出，腔室的顶部表面设置有抗粘性的膜层，预烘烤显示基板蒸发光阻的溶剂时，挥发出来的溶剂蒸汽不会粘附在顶板上，提高显示基板的产品良率，降低生产价格。
本发明实施例还提供一种显示基板的预烘烤系统，该预烘烤系统包括上述预烘烤装置100、热空气系统200和排气系统，所述热空气系统200的供气管201连接所述进气孔1031，所述排气系统的排气管301连接所述排气孔1051。
所述预烘烤装置100的内部为一腔室，所述腔室的顶部表面设置有抗粘性的膜层(图中阴影部分)，所述腔室的侧面开设有窗口1021、进气孔1031和排气孔1051，进气孔1031与热空气系统200的供气管201连接，排气孔1051与排气系统的排气管301连接。
在本发明实施例中，所述预烘烤装置100包括顶板101、与顶板101相对设置的底板、第一侧板102、第二侧板103、与第一侧板102相对设置的第三侧板104以及与第二侧板103相对设置的第四侧板105，所述顶板101、底板、第一侧板102、第二侧板103、第三侧板104和第四侧板105共同形成所述腔室，所述窗口1021开设于所述第一侧板102上，连接热空气系统200的供气管201的所述进气孔1031开设于所述第二侧板103上，连接排气系统排气管301的排气孔1051开设于所述第四侧板105上，所述顶板101的内表面设置有所述抗粘性的膜层。
在显示基板的预烘烤阶段，采取对基片直接加热的方式去除光阻中的溶剂，基片上方的预烘烤装置100的窗口1021会积聚大量的溶剂蒸汽，窗口1021与顶板101的交汇处恰好为冷热交换之处，积聚在此处的溶剂蒸汽容易如果遇冷液化容易粘附在顶板101内表面，会给产品的后续制作造成产品瑕疵，需要通过热空气将溶剂蒸汽带走且防止溶剂蒸汽液化。另外，在顶板101的内表面设置抗粘性的膜层，显示基板预烘烤蒸发光阻的溶剂时，挥发出来的溶剂蒸汽不会粘附在顶板101上，提高显示基板的产品良率。
进一步地，所述窗口1021为百叶窗。
百叶窗是显示基板出入预烘烤装置100内部的进料口与出料口，在显示基板入料或出料完成后预烘烤装置100与设备腔室闭合，保证腔室与外部隔绝。
进一步地，所述膜层的耐温温度大于或等于200℃。
进一步地，所述膜层为耐酸碱的膜层。
膜层的耐高温耐酸碱性使得该预烘烤装置100的寿命长，利用率高，从而降低生产成本。
进一步地，所述排气孔1051和进气孔1031的数量均为6个，所述排气孔1051与所述进气孔1031一一对准。
在其他实施例中，所述排气孔1051和进气孔1031的数量均为10个，所述排气孔1051与所述进气孔1031一一对准。
排出溶剂蒸汽时，热空气系统200提供热空气，配合排气系统在腔室内形成一个稳定的气场，将溶剂蒸汽从排气孔1051排出。排气孔1051与所述进气孔1031一一对准有利于将溶剂蒸汽排出。
本发明提供的显示基板的预烘烤系统，包括预烘烤装置100、热空气系统200和排气系统，所述预烘烤装置100的内部为一腔室，所述腔室的顶部表面设置有抗粘性的膜层，所述腔室的侧面开设有：窗口1021；进气孔1031，用于与热空气系统200的供气管201连接；排气孔1051，用于与排气系统的排气管301连接。在热空气系统200和排气系统的共同作用下，腔室内部形成一个稳定地气流，将从显示基板内蒸发出的光阻溶剂蒸汽排出，腔室的顶部表面设置有抗粘性的膜层，显示基板预烘烤蒸发光阻的溶剂时，挥发出来的溶剂蒸汽不会粘附在顶板上，提高显示基板的产品良率，降低生产价格。
本发明实施例还提供一种显示基板的预烘烤系统，该预烘烤系统包括：热空气系统；排气系统；预烘烤装置，所述预烘烤装置的内部形成有一腔室，所述腔室的内壁设置有抗粘性的膜层。
所述腔室的侧面开设有：
窗口，所述窗口的表面设置有抗粘性的膜层；
进气孔，用于与热空气系统的供气管连接；
排气孔，用于与排气系统的排气管连接。
其中，所述排气孔和进气孔的数量均为6个，所述排气孔与所述进气孔一一对准，所述窗口为百叶窗，所述膜层具有抗酸碱性、电绝缘性，且耐温温度大于或等于200℃。
进一步地，所述膜层由包括聚四氟乙烯的材料制成。
聚四氟乙烯是一种高性能、多用途的复合材料新产品，由聚四氟乙烯支撑的膜层表面光滑，有着良好的抗粘性、耐化学腐蚀性、耐高温性、耐热性(长期使用耐温达260℃，最高温度可达到300°)，即使在过热的加热器上也能够安全使用，熔化的包装薄膜的“渣屑”不会粘到加热器上，而且其电绝缘性极佳。
或者所述膜层由包括聚对苯二甲酸乙二醇酯的材料制成。
由包括聚对苯二甲酸乙二醇酯的材料制成的膜层，表面光滑，粘结力强，有着良好的抗粘性、抗溶剂性、耐酸碱性，长期耐温200℃等优点。
本发明实施例的显示基板的预烘烤系统，其中的预烘烤装置，其腔室内壁的表面设置有抗粘性的膜层，预烘烤显示基板蒸发光阻的溶剂时，挥发出来的溶剂蒸汽不会粘附在顶板上，提高显示基板的产品良率，降低生产价格。
需要说明的是，在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详细描述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
Claims (10)
1.一种显示基板的预烘烤装置，其特征在于，所述预烘烤装置的内部设置有一腔室，所述腔室的内壁设置有抗粘性的膜层，所述腔室的侧面开设有：
窗口，所述窗口的表面设置有抗粘性的膜层；
进气孔，用于与热空气系统的供气管连接；
排气孔，用于与排气系统的排气管连接。
2.根据权利要求1所述的预烘烤装置，其特征在于，包括：
底板；
顶板，与所述底板相对设置，所述膜层设置于所述顶板的内表面；
第一侧板，所述窗口设置于所述第一侧板；
第二侧板，与所述顶板、底板以及第一侧板连接，所述进气孔开设于所述第二侧板；
第三侧板，与所述第一侧板相对设置，与所述顶板、底板、第一侧板以及第二侧板连接；
第四侧板，与所述第二侧板相对设置，且与所述顶板、底板、第一侧板、第二侧板以及第三侧板共同形成所述腔室，所述排气孔开设与所述第四侧板。
3.根据权利要求2所述的预烘烤装置，其特征在于，所述排气孔和进气孔的数量均为预设数量。
4.根据权利要求3所述的预烘烤装置，其特征在于，所述排气孔与所述进气孔一一对准。
5.根据权利要求1所述的预烘烤装置，其特征在于，所述膜层为耐酸碱的膜层。
6.根据权利要求1所述的预烘烤装置，其特征在于，所述膜层由包括聚四氟乙烯的材料制成或由包括聚对苯二甲酸乙二醇酯的材料制成。
7.根据权利要求1所述的预烘烤装置，其特征在于，所述膜层的耐温温度大于或等于200℃。
8.根据权利要求1所述的预烘烤装置，其特征在于，所述窗口为百叶窗，所述百叶窗面对所述腔室的一面设置有所述抗粘性的膜层。
9.一种显示基板的预烘烤系统，其特征在于，包括：
热空气系统；
排气系统；
预烘烤装置，所述预烘烤装置的内部形成有一腔室，所述腔室的内壁设置有抗粘性的膜层，所述腔室的侧面开设有：
窗口，所述窗口的表面设置有抗粘性的膜层；
进气孔，与所述热空气系统的供气管连接；
排气孔，与所述排气系统的排气管连接。
10.一种显示基板的预烘烤系统，其特征在于，包括：
热空气系统；
排气系统；
预烘烤装置，所述预烘烤装置的内部形成有一腔室，所述腔室的内壁设置有抗粘性的膜层，所述腔室的侧面开设有：
窗口，所述窗口的表面设置有抗粘性的膜层；
进气孔，用于与热空气系统的供气管连接；
排气孔，用于与排气系统的排气管连接。
其中，所述排气孔和进气孔的数量均为预设数量，所述排气孔与所述进气孔一一对准，所述窗口为百叶窗，所述百叶窗面对所述腔室的一面设置有所述膜层，所述膜层具有抗酸碱性、电绝缘性，且耐温温度大于或等于200℃。
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