CN106011413A - 一种玻璃封接可伐合金真空热处理工艺 - Google Patents
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Abstract
一种玻璃封接可伐合金真空热处理工艺，其包含以下步骤:将4J29可伐合金在真空炉中进行热处理，处理过程中采用真空氢气振荡的方式，即抽真空至真空范围上限时，抽真空停止并通入氢气；通气至真空范围下限时，停止通气并开始抽真空，如此进行循环。此热处理工艺可有效净化合金表面、消除应力，稳定膨胀系数，在除气发面明显优于传统的“烧氢”处理，而且没有渗氢的危险。
Description
技术领域
本发明属于金属与玻璃封接技术领域，特别涉及一种玻璃封接可伐合金真空热处理工艺。
背景技术
随着电子工业的飞速发展，玻璃与金属的封接技术在电子元件、半导体器件等领域的应用越来越广泛，封接材料、封接形式也在不断增加。其中以可伐合金与玻璃的封接居多。
玻璃封接的机理是依靠金属表面生成的金属氧化物牢固的附着在金属表面的同时，又能溶解到融化的玻璃中，从而实现玻璃和金属的封接。金属零件的净化处理可为表面氧化膜的生长提供一个很好的基础，如果表面未处理好，封接时就会在封接处产生大量的气泡，造成漏气、炸裂，影响气密性、机械强度以及电性能等指标。传统的“烧氢”处理的除气效果较差，而且存在金属表面渗氢的问题。
发明内容
为解决上述问题，本发明提供一种一种玻璃封接可伐合金真空热处理工艺。
为实现本发明的目的，本发明采用以下技术方案。依据本发明提出的一种玻璃封接可伐合金真空热处理工艺，其包含以下步骤：将4J29可伐合金在真空炉中进行热处理，处理过程中采用真空氢气振荡的方式，即抽真空至真空范围上限时，抽真空停止并通入氢气；通气至真空范围下限时，停止通气并开始抽真空，如此进行循环。
本发明的目的还可以采用以下技术措施来实现。
前述的玻璃封接可伐合金真空热处理工艺，所述热处理温度为950-1000℃，处理时间30-60分钟。
前述玻璃封接可伐合金真空热处理工艺，所述高真空范围上限为500-1000Pa。
前述的玻璃封接可伐合金真空热处理工艺，所述低真空范围下限为300-5000Pa。
本发明以氢气真空振荡热处理工艺替代传统的“烧氢”热处理方式，即抽真空至真空范围上限时，抽真空停止并通入氢气；通气至真空范围下限时，停止通气并开始抽真空，如此进行循环。此热处理工艺和烧氢表面净化、消除应力和稳定膨胀系数方面相差无几，在除气发面明显优于传统的“烧氢”处理，而且没有渗氢的危险。
具体实施方式
下面结合具体实施例来详细揭示本发明的具体实施方式。
实施例1
本发明玻璃封接可伐合金真空热处理工艺，包含以下步骤：
1.清洗：将可伐合金浸泡在加有金属清洗剂且温度在40℃的水中进行除油处理，时间为20分钟。
2.烘干：清洗后的可伐合金在烘箱中将表面烘干，温度80℃。
3.工艺程序设置：真空炉进气和出气端设置电磁阀，通过真空规管和真空计监测及控制真空状态。当炉内真空度低于真空范围的下限，进气端阀门关闭，出气端阀门打开进行抽真空；抽真空至真空范围上限时，出气端阀门关闭，进气端阀门打开，充入氢气，如此进行循环。真空上限为500Pa，真空下限为3000Pa。
4.热处理：将烘干后的可伐合金放入真空炉内进行热处理，开启真空及充气程序，以5℃/min的速率升至950℃，保温30分钟。
实施例2
本发明玻璃封接可伐合金真空热处理工艺，包含以下步骤：
1.清洗：将可伐合金浸泡在加有金属清洗剂且温度在50℃的水中进行除油处理，时间为25分钟。
2.烘干：清洗后的可伐合金在烘箱中将表面烘干，温度90℃。
3.工艺程序设置：真空炉进气和出气端设置电磁阀，通过真空规管和真空计监测及控制真空状态。当炉内真空度低于真空范围的下限，进气端阀门关闭，出气端阀门打开进行抽真空；抽真空至真空范围上限时，出气端阀门关闭，进气端阀门打开，充入氢气，如此进行循环。真空上限为700Pa，真空下限为4000Pa。
4.热处理：将烘干后的可伐合金放入真空炉内进行热处理，开启真空及充气程序，以8℃/min的速率升至970℃，保温50分钟。
实施例3
本发明玻璃封接可伐合金真空热处理工艺，包含以下步骤：
1.清洗：将可伐合金浸泡在加有金属清洗剂且温度在60℃的水中进行除油处理，时间为0分钟。
2.烘干：清洗后的可伐合金在烘箱中将表面烘干，温度100℃。
3.工艺程序设置：真空炉进气和出气端设置电磁阀，通过真空规管和真空计监测及控制真空状态。当炉内真空度低于真空范围的下限，进气端阀门关闭，出气端阀门打开进行抽真空；抽真空至真空范围上限时，出气端阀门关闭，进气端阀门打开，充入氢气，如此进行循环。真空上限为1000Pa，真空下限为5000Pa。
4.热处理：将烘干后的可伐合金放入真空炉内进行热处理，开启真空及充气程序，以10℃/min的速率升至1000℃，保温60分钟。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
Claims (4)
1.一种玻璃封接可伐合金真空热处理工艺，其特征在于，其包含以下步骤：将4J29可伐合金在真空炉中进行热处理，处理过程中采用真空氢气振荡的方式，即抽真空至真空范围上限时，抽真空停止并通入氢气；通气至真空范围下限时，停止通气并开始抽真空，如此进行循环。
2.根据权利要求1所述的玻璃封接可伐合金真空热处理工艺，其特征在于，所述热处理温度为950-1000℃，处理时间30-60分钟。
3.根据权利要求1所述的玻璃封接可伐合金真空热处理工艺，其特征在于，所述高真空范围上限为500-1000Pa。
4.根据权利要求1所述的玻璃封接可伐合金真空热处理工艺，其特征在于，所述低真空范围下限为300-5000Pa。
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| CN201510555348.1A CN106011413A (zh) | 2015-09-02 | 2015-09-02 | 一种玻璃封接可伐合金真空热处理工艺 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112110658A (zh) * | 2019-06-20 | 2020-12-22 | 北京首量科技股份有限公司 | 一种电真空钼组玻璃与可伐合金封接的方法 |
| CN112110657A (zh) * | 2019-06-20 | 2020-12-22 | 北京首量科技股份有限公司 | 一种玻璃与高温合金gh4169封接的方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01225787A (ja) * | 1988-03-03 | 1989-09-08 | Mitsubishi Electric Corp | コバール合金材の熱処理による酸化膜の清掃液 |
| CN102515571A (zh) * | 2011-12-29 | 2012-06-27 | 深圳职业技术学院 | 一种金属与玻璃不匹配封接的方法 |
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2015
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Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01225787A (ja) * | 1988-03-03 | 1989-09-08 | Mitsubishi Electric Corp | コバール合金材の熱処理による酸化膜の清掃液 |
| CN102515571A (zh) * | 2011-12-29 | 2012-06-27 | 深圳职业技术学院 | 一种金属与玻璃不匹配封接的方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 董红军等: ""4J29可伐合金真空热处理代替"烧氢"净化处理可行性理论分析"", 《机电元件》 * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112110658A (zh) * | 2019-06-20 | 2020-12-22 | 北京首量科技股份有限公司 | 一种电真空钼组玻璃与可伐合金封接的方法 |
| CN112110657A (zh) * | 2019-06-20 | 2020-12-22 | 北京首量科技股份有限公司 | 一种玻璃与高温合金gh4169封接的方法 |
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