CN108096998A - 一种碳化炉过滤装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种碳化炉过滤装置，包括第一真空泵、过滤罐、沉积罐、吸收罐、真空管道、冷凝罐，用于碳化炉的抽真空滤吸收。本发明提供的碳化炉过滤装置，通过依次设置的冷凝罐、吸收罐、沉积罐和过滤罐实现焦油的多次过滤，避免了现有技术中的真空泵油内掺入焦油导致真空泵卡死的问题，提高真空泵的使用寿命，减少真空泵油换油频率。

Description

一种碳化炉过滤装置
技术领域
本发明涉及碳化烧结设备技术领域，特别是涉及一种碳化炉过滤装置。
背景技术
高导热聚酰亚胺薄膜(PI膜)碳化是聚酰亚胺薄膜(PI膜)生产最关键的生产工序，对产品的最终质量具有决定性的作用。目前，高导热聚酰亚胺薄膜(PI膜)碳化有2个发展方向，一是抽真空碳化烧结，另一种是一边加入氮气一边抽真空碳化烧结。
其中，抽真空碳化被90％以上厂家所使用，一边加入氮气一边抽真空碳化烧结被10％厂家使用，在烧结之前以及烧结炉碳化过程中都需要对炉膛内部抽真空，以防止产品在高温状态下氧化。现有许多厂家的高导热聚酰亚胺薄膜(PI膜)碳化炉抽真空装置从碳化炉的碳毡架外面抽真空，没有设置合理的过滤装置，容易造成真空泵油内很快掺入焦油，从而吸附在真空转子上，真空泵卡死，缩短了真空泵的使用寿命，且使得真空泵油换油频率提高。
因此，如何降低高导热聚酰亚胺薄膜(PI膜)碳化烧结抽真空系统换油频率以及防止真空泵运行过程中不被卡死，是本领域技术人员亟待解决的问题。
发明内容
本发明提供了一种碳化炉过滤装置，避免了现有技术中的焦油易掺入真空泵油内，造成真空泵卡死和真空泵油换油频率提高的问题，提高了真空泵的使用寿命和碳化炉产能。
本发明提供的技术方案如下：
一种碳化炉过滤装置，与碳化炉连接，用于对抽真空碳化烧结产生的气体进行过滤处理，包括第一真空泵、过滤罐、沉积罐、吸收罐、真空管道、冷凝罐；
所述冷凝罐、所述吸收罐、所述沉积罐和所述过滤罐均为设有内腔的密封容器；
所述冷凝罐上部设置有通过管道与所述碳化炉的发热区内部相通的脱焦连接口，所述冷凝罐侧壁通过所述真空管道与所述吸收罐的一侧连通，所述吸收罐的底部和所述过滤罐的底部分别通过管道与所述沉积罐的上部连通，所述过滤罐侧壁通过管道与所述第一真空泵连通；
所述冷凝罐内腔由内到外设置有水冷桶和水冷夹层，所述吸收罐内腔采用过滤陶瓷隔离，所述沉积罐内腔设置有互相错开的旋片式水冷结构，所述过滤罐内腔设置有空气过滤装置。
优选的，所述脱焦连接口与所述碳化炉发热区内部相通。
优选的，还包括第二真空泵，所述第二真空泵与所述过滤罐的侧壁连通。
优选的，所述过滤罐一侧与第一波纹管的一侧连通，所述第一波纹管的另一侧与所述第一真空泵连通，所述过滤罐另一侧与第二波纹管的一侧连通，所述第二波纹管的另一侧与所述第二真空泵连通。
优选的，所述过滤罐一侧与第一真空蝶阀的一侧连通，所述第一真空蝶阀的另一侧与所述第一真空泵连通，所述过滤罐另一侧与第二真空蝶阀的一侧连通，所述第二真空蝶阀的另一侧与所述第二真空泵连通。
优选的，所述冷凝罐开有对应位置的真空抽气口，所述真空抽气口与所述碳化炉连通。
本发明所提供的碳化炉过滤装置，与现有技术相比较，通过依次设置的冷凝罐、吸收罐、沉积罐和过滤罐实现焦油的多次过滤，避免了现有技术中的真空泵油内很快掺入焦油导致真空泵卡死的问题，提高真空泵的使用寿命，减少真空泵油换油频率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例一所提供的碳化炉过滤装置的结构示意图。
图2为本发明实施例二所提供的碳化炉过滤装置的结构示意图。
图3为本发明实施例二所提供的碳化炉过滤装置的俯视结构示意图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明中的技术方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。
实施例一
如图1所示，本发明实施例公开了一种碳化炉过滤装置，与碳化炉连接，用于对抽真空碳化烧结产生的气体进行过滤处理，包括第一真空泵1、过滤罐3、沉积罐4、吸收罐5、真空管道6、冷凝罐7；
冷凝罐7、吸收罐5、沉积罐4和过滤罐3均为设有内腔的密封容器；
冷凝罐7上部设置有通过管道与碳化炉内部相通的脱焦连接口71，冷凝罐7侧壁通过真空管道6与吸收罐5的一侧连通，吸收罐5的底部和过滤罐3的底部分别通过管道与沉积罐4的上部连通，过滤罐3侧壁通过管道与第一真空泵1连通；
冷凝罐7内腔由内到外设置有水冷桶73和水冷夹层74，吸收罐5内腔采用过滤陶瓷51隔离，沉积罐4内腔设置有互相错开的旋片式水冷结构41，过滤罐3内腔设置有空气过滤装置31。
碳化炉产生的气体，通过冷凝罐7内对气体的冷却、吸收罐5内的过滤陶瓷51的过滤、沉积罐4内互相错开的旋片式水冷结构41对粉尘等物质的沉积以及过滤罐3内空气过滤装置31的过滤这四级装置，能够充分的将气体中的CO、CO2、焦油等杂质过滤掉，提高过滤效果，减少对真空泵的影响，降低了真空泵换油频率，使得真空泵运行时间加长，减少了卡泵的问题。
本发明实施例与现有技术相比较，通过依次设置的冷凝罐、吸收罐、沉积罐和过滤罐实现焦油及其它杂质的多次过滤，避免了现有技术中的真空泵油内掺入焦油导致真空泵卡死的问题，提高真空泵的使用寿命，减少真空泵油换油频率。
实施例二
如图2所示，本发明实施例公开了一种碳化炉过滤装置，与碳化炉连接，用于对抽真空碳化烧结产生的气体进行过滤处理，包括第一真空泵1、过滤罐3、沉积罐4、吸收罐5、真空管道6、冷凝罐7；
冷凝罐7、吸收罐5、沉积罐4和过滤罐3均为设有内腔的密封容器；
冷凝罐7上部设置有通过管道与碳化炉内部相通的脱焦连接口71，冷凝罐7侧壁通过真空管道6与吸收罐5的一侧连通，吸收罐5的底部和过滤罐3的底部分别通过管道与沉积罐4的上部连通，过滤罐3侧壁通过管道与第一真空泵1连通；
冷凝罐7内腔由内到外设置有水冷桶73和水冷夹层74，吸收罐5内腔采用过滤陶瓷51隔离，沉积罐4内腔设置有互相错开的旋片式水冷结构41，过滤罐3内腔设置有空气过滤装置31。
碳化炉产生的气体，通过冷凝罐7内对气体的冷却、吸收罐5内的过滤陶瓷51的过滤、沉积罐4内互相错开的旋片式水冷结构41对粉尘等物质的沉积以及过滤罐3内空气过滤装置31的过滤这四级装置，能够充分的将气体中的CO、CO2、焦油等杂质过滤掉，提高过滤效果，减少对真空泵的影响，降低了真空泵换油频率，使得真空泵运行时间加长，减少了卡泵的问题。
优选的，脱焦连接口71与碳化炉发热区内部相通，采取从发热区内部抽取真空替代从碳毡架外面抽真空，减少焦油挥发成气体遇到通水的夹层炉壁后从而凝固在炉壁上的几率。
如图3所示，优选的，还包括第二真空泵2，第二真空泵2与过滤罐3的侧壁连通，通过增设第二真空泵2，增加真空抽气速度，此处第二真空泵2可为抗污泵。
优选的，过滤罐3一侧与第一波纹管91的一侧连通，第一波纹管91的另一侧与第一真空泵1连通，过滤罐3另一侧与第二波纹管92的一侧连通，第二波纹管92的另一侧与第二真空泵2连通，防止真空泵运行过程中的震动传到炉体。
此处第一波纹管91和第二波纹管92可以是过滤罐3分别与第一真空泵1和第二真空泵2的整个连接管道，也可以是整个连接管道中的其中一部分。
优选的，过滤罐3一侧与第一真空蝶阀81的一侧连通，第一真空蝶阀81的另一侧与第一真空泵1连通，过滤罐3另一侧与第二真空蝶阀82的一侧连通，第二真空蝶阀82的另一侧与第二真空泵2连通。
为了节能，预抽真空或者降温阶段时，可以通过控制真空蝶阀只开启第一真空泵1或第二真空泵2，由于高导热聚酰亚胺薄膜PI膜聚酰亚胺的分解温度一般超过500℃，当炉内温度达到500℃以上，通过控制真空蝶阀再开启另外一台真空泵，增加真空泵抽气速度。
优选的，冷凝罐7开有多个真空抽气口72，真空抽气口72与碳化炉连通，解决炉内材料因为一个真空口抽真空造成气流不均匀的问题，使得碳化烧结的产品气流均匀一致，产品美观。具体到本实施例中，冷凝罐7开有2个真空抽气口72。
本发明实施例与现有技术相比较，通过依次设置的冷凝罐、吸收罐、沉积罐和过滤罐实现焦油的多次过滤，避免了现有技术中的真空泵油内很快掺入焦油导致真空泵卡死的问题，提高真空泵的使用寿命，减少真空泵油换油频率。优选的，采取从发热区内部抽取真空替代从碳毡架外面抽真空，减少焦油挥发成气体遇到通水的夹层炉壁后从而凝固在炉壁上的几率；通过增设第二真空泵2，增加真空抽气速度；通过设置波纹管，防止真空泵运行过程中的震动传到炉体；通过设置真空蝶阀，方便切换2台真空泵的运行，实现节能；通过设置多个真空抽气口，解决炉内材料因为一个真空口抽真空造成气流不均匀的问题。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (6)

1.一种碳化炉过滤装置，与碳化炉连接，用于对抽真空碳化烧结产生的气体进行过滤处理，其特征在于，包括第一真空泵(1)、过滤罐(3)、沉积罐(4)、吸收罐(5)、真空管道(6)、冷凝罐(7)；
所述冷凝罐(7)、所述吸收罐(5)、所述沉积罐(4)和所述过滤罐(3)均为设有内腔的密封容器；
所述冷凝罐(7)上部设置有通过管道与所述碳化炉内部相通的脱焦连接口(71)，所述冷凝罐(7)侧壁通过所述真空管道(6)与所述吸收罐(5)的一侧连通，所述吸收罐(5)的底部和所述过滤罐(3)的底部分别通过管道与所述沉积罐(4)的上部连通，所述过滤罐(3)侧壁通过管道与所述第一真空泵(1)连通；
所述冷凝罐(7)内腔由内到外设置有水冷桶(73)和水冷夹层(74)，所述吸收罐(5)内腔采用过滤陶瓷(51)隔离，所述沉积罐(4)内腔设置有互相错开的旋片式水冷结构(41)，所述过滤罐(3)内腔设置有空气过滤装置(31)。
2.如权利要求1所述的碳化炉过滤装置，其特征在于，所述脱焦连接口(71)与所述碳化炉发热区内部相通。
3.如权利要求1所述的碳化炉过滤装置，其特征在于，还包括第二真空泵(2)，所述第二真空泵(2)与所述过滤罐(3)的侧壁连通。
4.如权利要求3所述的碳化炉过滤装置，其特征在于，所述过滤罐(3)一侧与第一波纹管(91)的一侧连通，所述第一波纹管(91)的另一侧与所述第一真空泵(1)连通，所述过滤罐(3)另一侧与第二波纹管(92)的一侧连通，所述第二波纹管(92)的另一侧与所述第二真空泵(2)连通。
5.如权利要求3所述的碳化炉过滤装置，其特征在于，所述过滤罐(3)一侧与第一真空蝶阀(81)的一侧连通，所述第一真空蝶阀(81)的另一侧与所述第一真空泵(1)连通，所述过滤罐(3)另一侧与第二真空蝶阀(82)的一侧连通，所述第二真空蝶阀(82)的另一侧与所述第二真空泵(2)连通。
6.如权利要求1所述的碳化炉过滤装置，其特征在于，所述冷凝罐(7)开有对应位置的真空抽气口(72)，所述真空抽气口(72)与所述碳化炉连通。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110453199A (zh) * 2019-09-11 2019-11-15 光驰科技(上海)有限公司 一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤装置
CN113058342A (zh) * 2021-04-13 2021-07-02 西安航空制动科技有限公司 一种便于在线实时清理的cvd炉过滤装置
CN117287977A (zh) * 2023-11-24 2023-12-26 杭州嘉悦智能设备有限公司 碳化预热炉

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN205392057U (zh) * 2016-03-01 2016-07-27 株洲金瑞中高频设备有限公司 一种碳化炉过滤装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN205392057U (zh) * 2016-03-01 2016-07-27 株洲金瑞中高频设备有限公司 一种碳化炉过滤装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110453199A (zh) * 2019-09-11 2019-11-15 光驰科技(上海)有限公司 一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤装置
CN110453199B (zh) * 2019-09-11 2024-04-23 光驰科技(上海)有限公司 一种原子层沉积设备用工艺残余气体的过滤装置
CN113058342A (zh) * 2021-04-13 2021-07-02 西安航空制动科技有限公司 一种便于在线实时清理的cvd炉过滤装置
CN113058342B (zh) * 2021-04-13 2022-10-28 西安航空制动科技有限公司 一种便于在线实时清理的cvd炉过滤装置
CN117287977A (zh) * 2023-11-24 2023-12-26 杭州嘉悦智能设备有限公司 碳化预热炉
CN117287977B (zh) * 2023-11-24 2024-02-13 杭州嘉悦智能设备有限公司 碳化预热炉

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