CN105980750A - 电磁式控制阀 - Google Patents

Abstract

一种压力平衡型电磁式控制阀，其平衡电磁驱动部(5)的电磁力和调节弹簧(83)的弹力，并消除第一口(11)的压力与第二口(21)的压力的压差对阀芯(31)的影响，从而使阀芯(31)的开度成比例地变化，而且其缩小阀壳(1)的长度，并消除第二口的流体的动压对电磁驱动部的柱塞的影响，从而进行准确的阀开度的控制。在阀口(22)的轴线(L)上在相对于阀芯(31)与阀口(22)相反的一侧设置电磁驱动部(5)、调节弹簧(83)(设定调节部(8))、均压室(13)以及膜片(4)(感压部)。在均压室(13)与柱塞(53)之间设置供连结杆(323)插通的罩(6)。通过罩(6)的插通孔(6a)与连结杆(323)的缝隙，对流体从均压室(13)向柱塞(53)侧的流动进行节流(限制)。

Description

电磁式控制阀

技术领域

本发明涉及电磁式控制阀，尤其涉及压力平衡型电磁式控制阀，其平衡因在电磁驱动部流通电流而产生的电磁力和与上述电磁力相反的调节弹簧的弹力，并且消除第一口的压力与第二口的压力的压差对阀芯的影响，从而使阀芯的开度成比例地变化。

背景技术

目前，作为这种电磁式控制阀，在例如日本特开2011-169415号公报(专利文献1)已有公开。图5是说明该专利文献1的电磁式控制阀的概况的图。该现有的电磁式控制阀在阀壳10内配置具有阀芯20a的阀杆20，通过因向电磁驱动部30的电磁线圈30a通电而产生的电磁力使阀杆20在轴线L方向上位移，通过阀芯20a进行阀口40的开度调节。

另外，平衡电磁驱动部30的电磁力和调节弹簧50的弹力。而且，通过膜片70(感压部)将由连通于一次侧口10a的均压室60与二次侧口10b的压差而产生的力传递至阀芯20a。而且，通过该膜片70的力抵消由于一次侧口10a与二次侧口10b的压差而作用于阀芯20a的力。从而，消除由于压差而作用于阀芯20a的力的影响，通过较少的通电量使阀口40的开度成比例地变化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-169415号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在上述现有的电磁式控制阀中，在位于该电磁式控制阀的外周的未图示的主壳体形成有连通均压室和一次侧口10a的均压路80。因此，存在主壳体的设计变复杂的问题。另外，相对于阀芯20a，在与电磁驱动部30相反的一侧设有作为感压部的膜片70和从均压室60向膜片70导入流体压力的压力导入部90。因此，阀壳10的轴线L方向的长度变长，难以将电磁式控制阀本身小型化。

而且，因为将膜片70(感压部)设于二次侧口10b的下侧(阀壳10的下部)，所以形成阀口40和二次侧口10b正交的结构，在该阀口40与二次侧口10b的正交部分产生压力损失，存在流量难以流通的问题。

本发明的课题在于，在压力平衡型电磁式控制阀中，缩小阀壳的长度，将电磁式控制阀本身小型化，上述压力平衡型电磁式控制阀平衡电磁驱动部的电磁力和调节弹簧的弹力，并且消除第一口的压力与第二口的压力的压差对阀芯的影响，从而使阀芯的开度成比例地变化。另外，课题还在于降低第二口处的压力损失。而且，课题还在于消除第二口的流体的动压对电磁驱动部的柱塞的影响，进行准确的阀开度的控制。

用于解决课题的方案

第一方案的电磁式控制阀在第一口与第二口之间形成有阀室和阀口，并通过电磁驱动部驱动上述阀室内的阀芯而开闭上述阀口，上述电磁式控制阀通过因施加于感压部的阀室与均压室的压差而作用于上述阀芯的力来抵消因第一口与第二口的压差而作用于阀芯的力，并且通过上述电磁驱动部的电磁力与调节弹簧的弹力的平衡，从而使上述阀口的开度成比例地变化，上述电磁式控制阀的特征在于，上述电磁驱动部具备能够通过上述电磁力而在壳体内沿该壳体的轴向移动的柱塞，并且具有上述阀芯的阀部件通过上述阀部件的连结部与上述柱塞连结，在上述阀口的轴线上在相对于上述阀芯与上述阀口相反的一侧设置上述电磁驱动部、上述调节弹簧、上述均压室以及上述感压部，并且在具有上述阀芯的阀部件形成将上述阀口与上述均压室导通的均压路，在上述均压室与上述柱塞之间设有罩，上述罩能够使上述连结部的一部分插通并限制流体从上述均压室向上述柱塞侧的流动。

第二方案的电磁式控制阀为第一方案记载的电磁式控制阀，其特征在于，上述罩具有供上述连结部的连结杆插通的插通孔，并利用该插通孔与上述连结杆的缝隙来对流体的流动进行节流，从而限制流体向上述柱塞侧的流动。

第三方案的电磁式控制阀为第一方案记载的电磁式控制阀，其特征在于，上述罩具有：供上述连结部的连结杆插通的插通孔；以及与上述连结杆具有间隙地嵌合在该插通孔内的密封部件，并通过该密封部件限制流体向上述柱塞侧的流动。

第四方案的电磁式控制阀为第一至第三方案中任一个记载的电磁式控制阀，其特征在于，上述感压部是配置在上述阀室与上述均压室之间且与上述阀部件连接的柔性膜片。

发明效果

根据第一方案的电磁式控制阀，电磁驱动部、调节弹簧、均压室以及感压部在阀口的轴线上相对于阀芯位于与阀口相反的一侧，导通阀口和均压室的均压路设于阀芯，因此构成为在阀口的下部仅设有第二口的结构，阀壳的轴线方向的长度变小。从而，能够将电磁式控制阀本身小型化。另外，由于能够将第二口与阀口同轴连通，因此也能够降低第二口处的压力损失。而且，通过设于均压室与电磁驱动部的柱塞之间的罩，能够对阀口的流体经由均压室流入柱塞侧进行限制。从而，流体的动压(流动压力)不作用于电磁驱动部的柱塞等，因此能够控制准确的阀开度。

根据第二方案的电磁式控制阀，在第一方案的效果的基础上，由于在罩的插通孔与连结杆之间具有缝隙，因此罩对阀部件的动作不产生影响。

根据第三方案的电磁式控制阀，在第一方案的效果的基础上，由于通过罩的密封部件与连结杆的间隙限制流体的流动，因此能够进一步降低流体对电磁驱动部侧的影响。

根据第四方案的电磁式控制阀，在第一至第三方案的效果的基础上，由于感压部是配置于阀室与均压室之间的膜片，因此能够确保阀室与均压室之间的气密性。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式的电磁式控制阀的纵向剖视图。

图2是第一实施方式的电磁式控制阀的柱塞的俯视图及纵向剖视图。

图3是表示向系统应用实施方式的电磁式控制阀的例的图。

图4是本发明的第二实施方式的电磁式控制阀的纵向剖视图。

图5是说明现有电磁式控制阀的概况的图。

具体实施方式

下面，对本发明的实施方式进行说明。图1是第一实施方式的电磁式控制阀的闭阀状态下的纵向剖视图，图2是第一实施方式的电磁式控制阀的柱塞的俯视图及纵向剖视图。该实施方式的电磁式控制阀具有由下主体1A和上主体1B构成的阀壳1。下主体1A嵌合于上主体1B的下部的嵌合孔1B1，并通过将嵌合孔1B1的开口端部铆接而将下主体1A和上主体1B固定成一体。

在下主体1A形成有供流体如箭头所示地流入的高压侧的第一口11和与第一口11连通的阀室12。另外，在下主体1A形成有阀室12的下部的阀座嵌合孔1A1，在该阀座嵌合孔1A1内嵌合有阀座部件2。而且，通过将阀座嵌合孔1A1的开口端部铆接，下主体1A和阀座部件2固定成一体。此外，阀座部件2和阀座嵌合孔1A1之间被O型圈2a密封。另外，在上主体1B形成有均压室13，在该均压室13的上部嵌合固定有后述的作为电磁驱动部5的壳体的柱塞壳体51。

在阀座部件2形成有供流体如箭头所示地流出的低压侧的第二口21和连通第二口21和阀室12的阀口22。阀口22的以轴线L为中心的水平剖面形状为圆形，在阀口22的阀室12侧的开口周围配置有环状的阀座片23。

在阀室12及均压室13内延伸有阀部件3，其能够在沿着轴线L的方向上位移。阀部件3由圆筒状的阀芯31和连结部32构成，阀芯31位于阀室12内并能够与阀座部件2的阀座片23分离接触，连结部32延设于阀芯31的上方。连结部32具有在下端部结合阀芯31的结合轴321、直径比结合轴321大且位于均压室13内的凸台部322、以及延设于凸台部322的上方的连结杆323。

在阀芯31与凸台部322之间配置有橡胶制的膜片4。膜片4具有旋转部41、旋转部41的内侧的内圈部42、以及旋转部41的外侧的外圈部43。另外，阀芯31在中心具有连结了圆筒形状及研钵形状的开口孔31a和与开口孔31a相连的连结孔31b。而且，连结部32的结合轴321贯通膜片4的内圈部42的开口后嵌合至阀芯31的连结孔31b内，通过阀芯31和凸台部322压缩内圈部42，且将结合轴321的下端部铆接，从而将阀芯31和膜片4及连结部32固定成一体。另外，膜片4的外圈部43以进行压缩的方式被夹持于下主体1A的上端与上主体1B的均压室13的下部开口端部之间。此外，阀芯31的上端(靠阀部件3的下方)利用自动向心作用而通常保持在轴线L上，该自动向心作用是因通过施加压力而产生的膜片4的恢复力而引起的。

在连结部32中，在凸台部322形成从阀芯31的开口孔31a侧沿轴线L方向延伸的第一均压路32a，而且形成从第一均压路32a的上端倾斜地向均压室13开口的第二均压路32b。该第一均压路32a、第二均压路32b以及阀芯31的开口孔31a构成“均压路”，阀口22和均压室13通过开口孔31a、第一均压路32a以及第二均压路32b而导通。

膜片4具有柔性，且构成将力传递至阀部件3(阀芯31)的“感压部”，上述力是由作用于膜片4的阀室12侧的第一口11的压力(P1)与作用于均压室13侧的第二口21的压力(P2)的压差所产生的力。另外，膜片4气密地划分了均压室13和阀室12。

在阀壳1的上部设有电磁驱动部5。电磁驱动部5具备圆筒状的柱塞壳体51、由固定于柱塞壳体51的上端的磁性体构成的吸引子52、由设于柱塞壳体51内的磁性体构成的柱塞53、以及配置于柱塞壳体51的外周且在线轴54a卷绕有绕线的电磁线圈54。此外，柱塞壳体51和吸引子52通过焊接等固定。吸引子52形成有与轴线L同轴的插通孔52a，并且在与插通孔52a的轴线L垂直的方向的两侧形成有吸引子均压路52b。而且，在吸引子52的与插通孔52a不同的另一侧形成有比插通孔52a直径大的调节部用孔52c。

如图2所示，在柱塞53形成与轴线L同轴的圆筒状的柱塞弹簧室53a和第一柱塞均压路53b，而且形成有对第一柱塞均压路53b的吸引子52侧端部在直径方向上以圆弧状进行切口而成的第二柱塞均压路53c。另外，除了吸引子均压路52b和第二柱塞均压路53c以外，吸引子52和柱塞53分别形成为以轴线L为轴而旋转对称的形状。

在柱塞壳体51的下部配置有相对于均压室13位于电磁驱动部5侧的罩6。罩6被柱塞壳体51的下端和上主体1B夹持而被固定。在罩6的中心形成有与轴线L同轴的插通孔6a。此外，只要使罩6相对于阀壳1(主体)不活动，固定方法可以任意构成。这样，由于将罩6相对于阀部件3在轴线L方向上相对地固定，因此不会受流体的动压的影响。

阀部件3的连结杆323插通罩6的插通孔6a、柱塞53的第一柱塞均压路53b，并在吸引子52的插通孔52a内将由非磁性体构成的筒状的防脱部件7嵌入连结杆323的端部。该防脱部件7和连结杆323的端部通过焊接固定。防脱部件7在柱塞53侧的端部具有凸缘状部71，该凸缘状部71以与柱塞53的吸引子52侧的对置面53d接触的状态位于该对置面53d与吸引子52的柱塞53侧对置面52d之间。

在柱塞53与罩6之间配置有柱塞弹簧531。柱塞弹簧531的一端抵接于柱塞53的内侧底面53e、另一端抵接于罩6的柱塞53侧的端面即弹簧座部61，且以压缩的状态进行配置。从而，柱塞53处于总是将对置面53d与防脱部件7(其凸缘状部71)抵接的状态，当该柱塞53被吸向吸引子52方向时，阀部件3与柱塞53一起向开阀方向位移。阀部件3通过该阀部件3的一部分即连结杆323而与柱塞53连结。柱塞53的第一柱塞均压路53b与阀部件3的连结杆323的间隙设定为比柱塞53与柱塞壳体51的间隙大，从而即使柱塞53在与轴线L正交的方向上位移，阀部件3和柱塞53也不接触。

在吸引子52的上述调节部用孔52c内配置有设定调节部8。该设定调节部8具有调节螺钉81、弹簧座82、调节弹簧83、滚珠84。调节弹簧83以压缩状态配置于调节螺钉81与弹簧座82之间，滚珠84以与弹簧座82抵接的状态配置于吸引子52的插通孔52a内。而且，调节弹簧83经弹簧座82施力，以使滚珠84与防脱部件7的上端抵接。另外，调节螺钉81通过将其外周的外螺纹部811与形成于吸引子52的上部内周面的内螺纹部52e螺合而安装于吸引子52。

在滚珠84与吸引子52的插通孔52a之间设有细微的间隙，滚珠84能够沿轴线L在插通孔52a内位移。另外，在防脱部件7的滚珠84侧端部形成有厚度薄的呈圆筒形状的圆筒部72，该圆筒部72与滚珠84进行球面接触。从而，防脱部件7(及阀部件3)的上端总是定位于轴线L上。

通过向电磁驱动部5的电磁线圈54通电，形成磁路，并在吸引子52与柱塞53之间产生因磁性而引起的吸引力。该吸引力与向电磁线圈54流动的电流相应。

根据以上的结构，实施方式的电磁式控制阀如下发挥作用。设定调节部8利用调节弹簧83经由弹簧座82、滚珠84及防脱部件7对阀部件3向阀座部件2的阀座片23侧施力。通过使电磁线圈54励磁，将柱塞53吸引至吸引子52，阀部件3抵抗调节弹簧83的作用力而向远离阀座片23的方向位移，从而从闭阀变成开阀，而且通过阀芯31与阀座片23的沿轴线L的方向的位置关系，控制阀口22的开度。此外，柱塞53在最上端位置使阀开度全开的位置是防脱部件7的凸缘状部71与吸引子52的对置面52d抵接的位置。从而，凸缘状部71起到限位器的功能，由此防止柱塞53被吸附(贴紧)于吸引子52。

另外，通过消除电磁线圈54的励磁，阀芯31落座于阀座片23，变成闭阀。此外，通过调节螺钉81的进入量，对调节弹簧83向阀部件3施加的弹力进行调节，从而能够调节闭阀所需的电磁力(吸引力)。如上所述，根据电磁线圈54产生的电磁力与调节弹簧83的弹力的平衡关系，阀部件3在沿轴线L的方向上位移，通过阀芯31使阀口22的开度变化。

另外，如上所述，在阀芯31作用阀室12的压力与第二口21的压力的压差而向闭阀方向施力。另一方面，均压室13通过第一均压路32a、第二均压路32b以及开口孔31a(均压路)将阀口22及第二口21连通，因此作用于均压室13的第二口21的压力与阀室12的压力的压差作用于膜片4，对阀部件3施加闭阀方向的力。而且，阀芯31的有效受压径D1(在本实施例的情况下为阀座片23的内径)和膜片4的有效受压径D2相等，因此对于阀部件3而言，压差引起的力相互抵消(消除)，从而阀芯31的开闭不受压差的影响。

如上所述，使与电磁驱动部5的施加电流相应的电磁力和调节弹簧83的弹力平衡，而且通过因施加于膜片4(感压部)的阀室12与均压室13的压差而作用于阀芯31的力抵消(消除)因第一口11与第二口21的压差而作用于阀芯31的力，从而消除由于压差而作用于阀芯31的力的影响，能够通过较少的通电量使阀口22的开度成比例地变化。

电磁驱动部5、调节弹簧83、均压室13、膜片4(感压部)分别在阀口22的轴线L上相对于阀芯31设在与阀口22相反的一侧。另外，构成为在阀口22的下部仅设有第二口21。因此，能够缩小阀壳1的轴线L方向的长度，能够将电磁式控制阀本身小型化。另外，第二口21与阀口22同轴连通，也就是，与轴线L同轴，因此第二口21处的压力损失也降低，流体顺畅地流动。

在此，在将阀芯31的第一均压路32a(φD1)的剖面积设为A1、将第二均压路32b(φD2)的总剖面积设为A2、将罩6的插通孔6a的内径与连结杆323的外径的环形缝隙的剖面积设为A3、将第一柱塞均压路53b与连结杆323的外径的环形缝隙的剖面积设为A4、将第二柱塞均压路53c的总剖面积设为A5、将吸引子均压路52b的总剖面积设为A6时，满足以下关系：

A1＞A3…(1)；以及

A1≤A2、A3＜A4、A3＜A5、A3＜A6…(2)

如上所述，罩6的插通孔6a与连结杆323的缝隙最窄。从而，限制流体从均压室13向柱塞53侧的流动。即，由第一口11经阀口22而流入的流体经由阀芯31的第一均压路32a和第二均压路32b流入均压室13时的流体的动压由罩6承受，并通过插通孔6a与连结杆323的缝隙来对流体的流动进行节流，从而第二口21侧的流体难以流入电磁驱动部5。因此，即使在使阀急剧地打开的情况下，也仅均压室13的压力急剧地上升，该流体的动压不会作用于柱塞53、滚珠84，因此在第二口21的压力急剧变化的情况下，也能够进行稳定的控制。此外，“对流体的流动进行节流”或者“流体的流动被节流”是指以在上述缝隙不会堵塞异物、污物等的程度、或者不会由于装配公差而动作不畅的程度缩小缝隙的宽度而使在该缝隙流动的流量减小的状态。

如图3所示，实施方式的电磁式控制阀100有时用于在第二口21侧具有节流孔的系统。在该情况下，当从第一口11向第二口21流动的流体的流量增多时，第二口21的压力P2增高。因此，均压室13的压力也易于上升，但是即使在该情况下，由于流体的动压没有作用于柱塞53、滚珠84，因此能够稳定地进行控制。

另外，在电磁驱动部5中，第一柱塞均压路53b的缝隙面积(A4)、第二柱塞均压路53c的总剖面积(A5)、吸引子均压路52b的总剖面积(A6)设定为比罩6的插通孔6a的缝隙面积(A3)大，因此电磁驱动部5处的流体压力在柱塞53的柱塞弹簧室53a与吸引子52的调节部用孔52c之间被迅速均压，动压难以作用于柱塞53、滚珠84，从而能够进行稳定的控制。

此外，柱塞53的第二柱塞均压路53c向防脱部件7的凸缘状部71的旁边开口，而且吸引子均压路52b向调节部用孔52c的底部的外周端开口，因此从柱塞弹簧室53a向调节部用孔52c流动的流体的动压基本不作用于滚珠84和弹簧座82。因此，能够进行稳定的控制。

图4是第二实施方式的电磁式控制阀的闭阀状态下的纵向剖视图，对与第一实施方式相同的部件、相同的构件标记相同的符号并省略重复的说明。在该第二实施方式中，与第一实施方式的不同处为阀芯31、连结部32、吸引子52、柱塞53以及罩6的结构。

在该第二实施方式中，阀芯31在中心具有圆筒形状的开口孔31a′。在连结部32，形成有从结合轴321伸长至凸台部322内的第一均压路32a′，并且形成有与第一均压路32a′交叉并向均压室13开口的第二均压路32b′。而且，与第一实施方式相同，第一均压路32a′、第二均压路32b′以及阀芯31的开口孔31a′构成“均压路”，阀口22和均压室13通过开口孔31a′、第一均压路32a′以及第二均压路32b′而导通。

另外，在该第二实施方式中，吸引子52不具有第一实施方式的吸引子均压路52b，柱塞53形成与第一实施方式的第一柱塞均压路53b相同形状的插通孔53b′，而且取代上述第二柱塞均压路53c，与插通孔53b′并肩形成有柱塞均压路53c′。

该第二实施方式的罩6在插通孔6a内具备作为“密封部件”的O型圈6b。此外，使柱塞弹簧531的下端抵接于作为埋入O型圈6b的凸台部的端面的弹簧座部61′。而且，O型圈6b对插通孔6a与连结杆323的缝隙进行密封。此外，将此时的O型圈6b的挤压量设定为0(零)，连结杆323与O型圈6b之间的滑动阻力极小，对阀部件3的动作不产生影响。从而，O型圈6b与连结杆323之间的间隙极小，因此相比第一实施方式，从均压室13向柱塞53侧的流体的流入进一步变小。从而，流体的动压没有作用于柱塞53、滚珠84，因此即使在第二口21的压力急剧变化的情况下，也能够进行稳定的控制。在该实施方式中，虽然使用了O型圈作为“密封部件”，但是作为“密封部件”，也可以使用例如铁氟龙(Teflon)(注册商标)等的环状填料。

此外，在第一实施方式中，在柱塞53的中央形成有第一柱塞均压路53b及第二柱塞均压路53c，但是也可以如第二实施方式地，中央仅设置插通孔53b′并与其并肩形成柱塞均压路53c′。

在以上的实施方式中，通过膜片4划分均压室13和阀室12，但是也可以取代该膜片4而在阀芯31的上部周围与阀室12的上部内周面之间配置密封部件。该情况下，“感压部”成为阀芯31及凸台部322的上表面部分。

另外，在实施方式中，对使流体从第一口11流入，并使流体从第二口21流出的情况进行了说明，但是相同实施方式的结构也能够应用于流体的流动相反的情况。即，也能够应用于使流体从第二口21流入并使流体从第一口11流出的情况。该情况下，自然而然第二口21对应于权利要求中的第一口、第一口11对应于权利要求中的第二口。

符号的说明

1—阀壳，1A—下主体，1B—上主体，11—第一口，12—阀室，13—均压室，2—阀座部件，21—第二口，22—阀口，23—阀座片，3—阀部件，31—阀芯，31a—开口孔(均压路)，32—连结部，32a—第一均压路(均压路)，32b—第二均压路(均压路)，323—连结杆(连结部的一部分)，4—膜片(感压部)，41—旋转部，42—内圈部，43—外圈部，5—电磁驱动部，51—柱塞壳体，52—吸引子，52a—插通孔，52b—吸引子均压路，52c—调节部用孔，53—柱塞，53a—柱塞弹簧室，53b—第一柱塞均压路，53c—第二柱塞均压路，531—柱塞弹簧，54—电磁线圈，6—罩，6a—插通孔，7—防脱部件，71—凸缘状部，72—圆筒部，8—设定调节部，81—调节螺钉，82—弹簧座，83—调节弹簧，84—滚珠，L—轴线。

Claims (4)

1.一种电磁式控制阀，其在第一口与第二口之间形成有阀室和阀口，并通过电磁驱动部驱动上述阀室内的阀芯而开闭上述阀口，上述电磁式控制阀通过因施加于感压部的阀室与均压室的压差而作用于上述阀芯的力来抵消因第一口与第二口的压差而作用于阀芯的力，并且通过上述电磁驱动部的电磁力与调节弹簧的弹力的平衡，从而使上述阀口的开度成比例地变化，

上述电磁式控制阀的特征在于，

上述电磁驱动部具备能够通过上述电磁力而在壳体内沿该壳体的轴向移动的柱塞，并且具有上述阀芯的阀部件通过上述阀部件的连结部与上述柱塞连结，

在上述阀口的轴线上在相对于上述阀芯与上述阀口相反的一侧设置上述电磁驱动部、上述调节弹簧、上述均压室以及上述感压部，并且在具有上述阀芯的阀部件形成将上述阀口与上述均压室导通的均压路，在上述均压室与上述柱塞之间设有罩，上述罩能够使上述连结部的一部分插通并限制流体从上述均压室向上述柱塞侧的流动。

2.根据权利要求1所述的电磁式控制阀，其特征在于，

上述罩具有供上述连结部的连结杆插通的插通孔，并利用该插通孔与上述连结杆的缝隙来对流体的流动进行节流，从而限制流体向上述柱塞侧的流动。

3.根据权利要求1所述的电磁式控制阀，其特征在于，

上述罩具有：供上述连结部的连结杆插通的插通孔；以及与上述连结杆具有间隙地嵌合在该插通孔内的密封部件，并通过该密封部件限制流体向上述柱塞侧的流动。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的电磁式控制阀，其特征在于，

上述感压部是配置在上述阀室与上述均压室之间且与上述阀部件连接的柔性膜片。