CN105928952A - Aoi控制系统及其控制方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种AOI控制系统及其控制方法，在AOI检测设备扫描方向上设置图像传感器，图像传感器中设置有图像模板，在扫描时，图像传感器识别扫描区域，将扫描区域与图像模板进行对比，将对比信号反馈至控制系统，控制系统根据反馈信号判断扫描区域的位置，控制所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色的变化，并将变化信息传递至AOI检测设备，AOI检测设备根据确定的光源亮度及颜色对所述扫描区域进行检测，不同的扫描区域设定不同的光源亮度及颜色，有效的提高了AOI检测设备的缺陷检出率，以及检出的准确性，并且简化了检测流程，降低了设备检测Tact Time，提高了设备产能。

Description

AOI控制系统及其控制方法
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种AOI控制系统及其控制方法。
背景技术
AOI(Automated Optical Inspection)的全称是自动光学检测，其基本原理是通过光的反射来检查生产中遇到的常见缺陷。
在检测玻璃盖板时，AOI需检测玻璃料(Frit)区域上的缺陷(Defect)以及显示区域(AA区，Frit框内)的Defect，由于Frit区与AA区灰阶差异较大，最佳检出光源参数不同。但AOI扫描检测时只能以同一颜色、同一亮度的光源进行检测，因此会导致Frit区或者AA区Defect检出率较低或存在检测错误(False Defect)，从而影响盖板品质管控。
现有的解决方案为：通过软体多次运算(Multi Recipe)功能，即每片基板使用不同颜色光源或亮度扫描2次(或以上)，最后通过软体合并运算，计算出总缺陷(Total Defect)。但是此种方式存在一些不足：1)会增加检测基板节拍时间(Tact Time)，影响产能；2)由于软体算法不足，合并计算也会产生大量False Defect。
发明内容
本发明的目的在于提供一种AOI控制系统及其控制方法，对AOI检测设备的光源亮度以及颜色进行实时控制及切换，有效提高了AOI检测设备缺陷检出率，提高缺陷检出的准确性。
为实现上述目的，本发明提供一种AOI控制系统，用以实时控制AOI检测设备的光源，其特征在于，包括AOI检测设备、位于所述AOI检测设备扫描方向上的图像传感器以及分别与所述AOI检测设备以及所述图像传感器相连接的控制系统；其中，
所述图像传感器中设置有图像模板，在扫描时，所述图像传感器识别扫描区域，将所述扫描区域与图像模板进行对比，并将对比信号反馈至所述控制系统；
所述控制系统根据反馈信号判断所述扫描区域的位置，控制所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色的变化，并将变化信息传递至所述AOI检测设备；
所述AOI检测设备根据确定的光源亮度及颜色对所述扫描区域进行检测。
可选的，所述扫描区域为玻璃盖板。
可选的，所述图像模板包含有玻璃料区域的图像及显示区域的图像。
可选的，当所述扫描区域从所述玻璃料区域移动至所述显示区域，或者从所述显示区域移动至所述玻璃料区域时，所述控制系统对所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色进行切换。
可选的，所述控制系统根据反馈信号判断出扫描区域的位置发生变化时，根据所述AOI检测设备的检测速度确定所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色进行切换的时间。
相应的，本发明还提供一种AOI控制方法，用于实时控制AOI检测设备的光源，包括以下步骤：
图像传感器识别扫描区域，将所述扫描区域与图像模板进行对比，将对比信号反馈至所述控制系统；
所述控制系统根据反馈信号判断所述扫描区域的位置，控制所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色的变化，并将变化信息传递至所述AOI检测设备；
所述AOI检测设备根据确定的光源亮度及颜色对所述扫描区域进行检测。
可选的，所述扫描区域为玻璃盖板。
可选的，所述图像模板包含有玻璃料区域的图像及显示区域的图像。
可选的，当所述扫描区域从所述玻璃料区域移动至所述显示区域，或者从所述显示区域移动至所述玻璃料区域时，所述控制系统对所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色进行切换。
可选的，所述控制系统根据反馈信号判断出扫描区域的位置发生变化时，根据所述AOI检测设备的检测速度确定所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色进行切换的时间。
与现有技术相比，本发明提供的AOI控制系统及其控制方法的有益效果如下：
本发明通过在AOI检测设备扫描方向上设置图像传感器，设置与所述AOI检测设备以及图像识别传感器相连接的控制系统，并且在所述图像传感器中设置有图像模板，在扫描时，所述图像传感器识别扫描区域，将所述扫描区域与图像模板进行对比，将对比信号反馈至所述控制系统，所述控制系统根据反馈信号判断所述扫描区域的位置，控制所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色的变化，并将变化信息传递至所述AOI检测设备，所述AOI检测设备根据确定的光源亮度及颜色对所述扫描区域进行检测，不同的扫描区域设定不同的光源亮度及颜色，有效的提高了AOI检测设备的缺陷检出率，以及检出的准确性，并且简化了检测流程，降低了设备检测Tact Time，提高了设备产能。
附图说明
图1为本发明实施例一提供的AOI控制系统的结构示意图。
图2为本发明实施例二提供的AOI控制方法的流程图。
具体实施方式
为使本发明的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本发明的内容做进一步说明。当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。
其次，本发明利用示意图进行了详细的表述，在详述本发明实例时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应对此作为本发明的限定。
本发明的核心思想在于，本发明通过在AOI检测设备扫描方向上设置图像传感器，设置与所述AOI检测设备以及图像识别传感器相连接的控制系统，并且在所述图像传感器中设置有图像模板，在扫描时，所述图像传感器识别扫描区域，将所述扫描区域与图像模板进行对比，将对比信号反馈至所述控制系统，所述控制系统根据反馈信号判断所述扫描区域的位置，控制所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色的变化，并将变化信息传递至所述AOI检测设备，所述AOI检测设备根据确定的光源亮度及颜色对所述扫描区域进行检测，不同的扫描区域设定不同的光源亮度及颜色，有效的提高了AOI检测设备的缺陷检出率，以及检出的准确性，并且简化了检测流程，降低了设备检测Tact Time，提高了设备产能。
【实施例一】
图1为本发明实施例一所提供的AOI控制系统的结构示意图，如图1所示，本发明提供一种AOI控制系统，用以实时控制AOI检测设备的光源，所述AOI控制系统包括AOI检测设备1、位于所述AOI检测设备1扫描方向(x)上的图像传感器2、以及分别与所述AOI检测设备1以及图像传感器2相连接的控制系统3；其中，所述图像传感器2中设置有图像模板，在扫描时，所述图像传感器2识别扫描区域，将所述扫描区域与图像模板进行对比，将对比信号反馈至所述控制系统3；所述控制系统3根据反馈信号判断所述扫描区域的位置，控制所述AOI检测设备1的光源亮度以及颜色的变化，并将变化信息传递至所述AOI检测设备1；所述AOI检测设备1根据确定的光源亮度及颜色对所述扫描区域进行检测。
本实施例中，所述AOI检测设备1用于检测玻璃盖板6，所述玻璃盖板6上设置有玻璃料(Frit)区域4与显示区域(AA区)5，所述玻璃料区域4围绕所述显示区域5。因此，所述AOI控制系统用于控制所述AOI检测设备1检测所述玻璃料区域4以及显示区域5时光源亮度与颜色的变化。可以理解的是，本发明所提供的AOI控制系统并不局限于所述玻璃盖板6，也可以应用于任何需要AOI检测设备检测的部件，并可以针对不同的测试区域实时的改变光源亮度及颜色，使得检测的结果更加准确。
如图1所示，所述扫描区域为玻璃盖板6，所述图像传感器2中设置有图像模板，所述图像模板包含有玻璃料区域4的图像及显示区域5的图像，所述图像传感器2识别扫描区域，将所述扫描区域与图像模板进行对比，将对比信号反馈至所述控制系统3，所述控制系统3根据反馈信号判断扫描区域的位置，即判断扫描区域是玻璃料区域4还是显示区域5，然后针对不同的区域控制所述AOI检测设备1的光源亮度以及颜色的变化。若所述AOI检测设备1正在检测的是玻璃料区域4或显示区域5，而所述控制系统3判断出的扫描位置仍然是玻璃料区域4或显示区域5，则所述控制系统3只需保持所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色不变；若所述AOI检测设备1正在检测的是玻璃料区域4或显示区域5，而所述控制系统3判断出的扫描位置是显示区域5或玻璃料区域4，即当所述扫描区域从所述玻璃料区域4移动至所述显示区域5，或者从所述显示区域5移动至所述玻璃料区域4时，所述控制系统3对所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色进行切换。然后所述控制系统3将变化信息传递至所述AOI检测设备1，最后所述AOI检测设备1根据确定的光源亮度及颜色对所述扫描区域进行检测。
采用本发明所提供的AOI控制系统，不同的扫描区域设定不同的光源亮度及颜色，有效的提高了AOI检测设备的缺陷检出率，以及检出的准确性，并且简化了检测流程，降低了设备检测Tact Time，提高了设备产能。
可以理解的是，所述图像传感器2位于所述AOI检测设备1扫描方向(x)上，其距离所述AOI检测设备1可以具有某一长度，而从所述图像传感器2识别扫描区域到所述控制系统3根据反馈信号判断扫描区域的位置，确定所述AOI检测设备1需要使用的光源亮度以及颜色这一步骤是瞬时完成的，或者花费很少的时间完成，而此时所述AOI检测设备1还未检测至所述扫描区域，则所述AOI检测设备的光源亮度及颜色的切换则还需要一段时间之后才能执行，因此所述控制系统3根据反馈信号判断出扫描区域发生变化时，根据所述AOI检测设备的检测速度确定所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色进行切换的时间，即所述控制系统3根据反馈信号判断出扫描区域的位置时，所述AOI检测设备1到所述扫描区域的距离除以所述AOI检测设备1的检测速度得到时间t，而所述AOI检测设备1的光源亮度及颜色的切换要经过时间t之后才能执行。
本发明通过在AOI检测设备扫描方向上设置图像传感器，设置与所述AOI检测设备以及图像识别传感器相连接的控制系统，并且在所述图像传感器中设置有图像模板，在扫描时，所述图像传感器识别扫描区域，将所述扫描区域与图像模板进行对比，将对比信号反馈至所述控制系统，所述控制系统根据反馈信号判断扫描区域的位置，对所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色进行切换或保持不变，并将其信息传递至所述AOI检测设备，所述AOI检测设备根据确定的光源亮度及颜色对所述扫描区域进行检测，不同的扫描区域设定不同的光源亮度及颜色，有效的提高了AOI检测设备的缺陷检出率，以及检出的准确性，并且简化了检测流程，降低了设备检测Tact Time，提高了设备产能。
【实施例二】
本发明还提供一种AOI控制方法，采用实施例一所述的AOI控制系统，用于实时控制AOI检测设备的光源，请参考图2所示，其为本发明实施例二所提供的AOI控制方法的流程图。如图2所示，本发明提供的一种AOI控制方法，包括以下步骤：
步骤S01：图像传感器识别扫描区域，将所述扫描区域与图像模板进行对比，将对比信号反馈至所述控制系统；
步骤S02：所述控制系统根据反馈信号判断所述扫描区域的位置，控制所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色的变化，并将变化信息传递至所述AOI检测设备；
步骤S03：所述AOI检测设备根据确定的光源亮度及颜色对所述扫描区域进行检测。
请参考图2，并结合图1所示，详细说明本发明提出的AOI控制方法。
本实施例中，所述AOI检测设备1用于检测玻璃盖板6，在所述玻璃盖板6上设置有玻璃料区域4与显示区域5，在所述图像传感器2内设置有图像模板，所述图像模板包含有玻璃料区域的图像及显示区域的图像。
在步骤S01中，图像传感器2识别扫描区域，将所述扫描区域与图像模板进行对比，将信号值反馈至所述控制系统3。例如所述扫描区域为显示区域5，所述图像传感器2识别所述扫描区域，将所述扫描区域与图像模板进行对比，将对比得到的信号值反馈至所述控制系统3。其中，所述图像传感器2将所述扫描区域分别与所述玻璃料区域的图像及显示区域的图像进行对比
在步骤S02中，所述控制系统3根据反馈信号判断所述扫描区域的位置，控制所述AOI检测设备1的光源亮度以及颜色的变化，例如对所述AOI检测设备1的光源亮度以及颜色进行切换或保持不变，并将变化信息传递至所述AOI检测设备1。具体的，所述控制系统3根据反馈信号判断扫描区域的位置，得出所述扫描区域为显示区域5，若此时所述AOI检测设备1检测的是所述显示区域5，则所述控制系统3保持所述AOI检测设备1的光源亮度以及颜色不变，并将该信息传递至所述AOI检测设备1；若此时所述AOI检测设备1检测的是所述玻璃料区域4，所述玻璃料区域4与所述显示区域5的灰阶存在较大差异，需要改变所述AOI检测设备1的光源亮度以及颜色，所述控制系统3对所述AOI检测设备1的光源亮度以及颜色进行实时切换，并将该信息传递至所述AOI检测设备1。同样的，所述扫描区域为所述玻璃料区域4时，若与所述AOI检测设备1检测的区域相同，则所述控制系统3保持所述AOI检测设备1的光源亮度以及颜色不变；若与所述AOI检测设备1检测的区域不同，则所述控制系统3对所述AOI检测设备1的光源亮度以及颜色进行实时切换。
在步骤S03中，所述AOI检测设备1根据确定的光源亮度及颜色对所述扫描区域进行检测。由于所述图像传感器2位于所述AOI检测设备1扫描方向(x)上，其距离所述AOI检测设备1可以具有某一长度，而从所述图像传感器2识别扫描区域到所述控制系统3根据反馈信号判断扫描区域的位置，确定所述AOI检测设备1需要使用的光源亮度以及颜色这一步骤是瞬时完成的，或者花费很少的时间完成，而此时所述AOI检测设备1还未检测至所述扫描区域，则所述AOI检测设备的光源亮度及颜色的切换则还需要一段时间之后才能执行，因此所述控制系统3根据反馈信号判断出扫描区域发生变化时，根据所述AOI检测设备的检测速度确定所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色进行切换的时间，即所述控制系统3根据反馈信号判断出扫描区域的位置时，所述AOI检测设备1到所述扫描区域的距离除以所述AOI检测设备1的检测速度得到时间t，而所述AOI检测设备1的光源亮度及颜色的切换要经过时间t之后才能执行。
综上所述，本发明提供的AOI控制系统及其控制方法,通过在AOI检测设备扫描方向上设置图像传感器，设置与所述AOI检测设备以及图像识别传感器相连接的控制系统，并且在所述图像传感器中设置有图像模板，在扫描时，所述图像传感器识别扫描区域，将所述扫描区域与图像模板进行对比，将对比信号反馈至所述控制系统，所述控制系统根据反馈信号判断扫描区域的位置，控制所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色的变化，并将变化信息传递至所述AOI检测设备，所述AOI检测设备根据确定的光源亮度及颜色对所述扫描区域进行检测，不同的扫描区域设定不同的光源亮度及颜色，有效的提高了AOI检测设备的缺陷检出率，以及检出的准确性，并且简化了检测流程，降低了设备检测Tact Time，提高了设备产能。
上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (10)

1.一种AOI控制系统，用以实时控制AOI检测设备的光源，其特征在于，包括AOI检测设备、位于所述AOI检测设备扫描方向上的图像传感器以及分别与所述AOI检测设备以及所述图像传感器相连接的控制系统；其中，
所述图像传感器中设置有图像模板，在扫描时，所述图像传感器识别扫描区域，将所述扫描区域与图像模板进行对比，并将对比信号反馈至所述控制系统；
所述控制系统根据反馈信号判断所述扫描区域的位置，控制所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色的变化，并将变化信息传递至所述AOI检测设备；
所述AOI检测设备根据确定的光源亮度及颜色对所述扫描区域进行检测。
2.如权利要求1所述的AOI控制系统，其特征在于，所述扫描区域为玻璃盖板。
3.如权利要求2所述的AOI控制系统，其特征在于，所述图像模板包含有玻璃料区域的图像及显示区域的图像。
4.如权利要求3所述的AOI控制系统，其特征在于，当所述扫描区域从所述玻璃料区域移动至所述显示区域，或者从所述显示区域移动至所述玻璃料区域时，所述控制系统对所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色进行切换。
5.如权利要求5所述的AOI控制系统，其特征在于，所述控制系统根据反馈信号判断出扫描区域的位置发生变化时，根据所述AOI检测设备的检测速度确定所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色进行切换的时间。
6.一种AOI控制方法，用于实时控制AOI检测设备的光源，其特征在于，包括以下步骤：
图像传感器识别扫描区域，将所述扫描区域与图像模板进行对比，将对比信号反馈至所述控制系统；
所述控制系统根据反馈信号判断所述扫描区域的位置，控制所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色的变化，并将变化信息传递至所述AOI检测设备；
所述AOI检测设备根据确定的光源亮度及颜色对所述扫描区域进行检测。
7.如权利要求6所述的AOI控制方法，其特征在于，所述扫描区域为玻璃盖板。
8.如权利要求7所述的AOI控制方法，其特征在于，所述图像模板包含有玻璃料区域的图像及显示区域的图像。
9.如权利要求8所述的AOI控制方法，其特征在于，当所述扫描区域从所述玻璃料区域移动至所述显示区域，或者从所述显示区域移动至所述玻璃料区域时，所述控制系统对所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色进行切换。
10.如权利要求9所述的AOI控制方法，其特征在于，所述控制系统根据反馈信号判断出扫描区域的位置发生变化时，根据所述AOI检测设备的检测速度确定所述AOI检测设备的光源亮度以及颜色进行切换的时间。
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