KR101503170B1 - 접착제 도팅 사이즈 검사 방법 - Google Patents

접착제 도팅 사이즈 검사 방법 Download PDF

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Abstract

접착제 도팅 사이즈 검사 방법은 기판에 도팅된 접착제에 대한 영상에서 도팅된 접착제의 영역을 구하는 단계와, 영역을 이용하여 도팅된 접착제의 중심점을 구하는 단계와, 중심점을 지나는 직선들이 도팅된 접착제의 가장자리와 만나는 두 점들을 구하는 단계와, 두 점 사이의 거리 값들 중 최대 값과 최소 값을 획득하는 단계 및 최대 값 및 최소 값을 기 설정된 기준 값과 비교하여 도팅된 접착제의 사이즈 불량을 판단하는 단계를 포함할 수 있다. 따라서, 접착제의 도팅 형태가 원형이 아닌 경우에도 접착제의 도팅 사이즈의 불량 여부를 정확하게 확인할 수 있다.

Description

접착제 도팅 사이즈 검사 방법{Method of inspecting dotting size of adhesive}
본 발명은 접착제 도팅 사이즈 검사 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판에 도팅된 접착제의 사이즈를 측정하여 불량 여부를 확인하기 위한 접착제 도팅 사이즈 검사 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 다이를 기판에 본딩하는 다이 본딩 공정은 에폭시와 같은 접착제를 기판에 도포한 후 다이 본딩 헤드로 상기 다이를 상기 접착제 도포 부위에 가압하여 이루어진다. 상기 접착제는 스크린 프린팅이나 도팅(dotting)에 의해 상기 기판에 도포될 수 있다.
상기 접착제가 상기 도팅에 의해 도포될 때, 상기 접착제의 도팅 사이즈가 정상 범위보다 작거나 클 수 있다. 상기 도팅된 접착제의 사이즈가 상기 정상 범위보다 작은 경우 상기 다이가 상기 기판에 안정적으로 잡착되지 않을 수 있고, 상기 도팅된 접착제의 사이즈가 상기 정상 범위보다 큰 경우 상기 접착제가 상기 다이를 오염시킬 수 있다.
그러므로, 상기 접착제의 도팅이 이루어진 후 상기 접착제의 도팅 사이즈를 검사할 필요가 있다. 종래 기술에 따르면, 기준 원을 상기 도팅된 접착제의 사이즈와 비교하여 상기 접착제의 도팅 사이즈의 불량 여부를 검사한다. 상기 도팅된 접착제의 사이즈가 원형을 이루고, 상기 기준 원과 크기가 오차 범위 이내인 경우, 상기 도팅된 접착제의 사이즈를 정상으로 판단한다.
그러나, 상기 검사 방식에 따르면, 상기 기준 원과 크기가 오차 범위 이내이더라도 상기 도팅된 접착제의 모양이 원형이 아닌 경우, 상기 도팅된 접착제의 사이즈를 불량으로 판단한다. 그러므로, 상기 접착제 도팅 사이즈 검사 방식의 정확성이 저하될 수 있다.
본 발명은 도팅된 접착제의 크기를 정확하게 확인할 수 있는 접착제 도팅 사이즈 검사 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 접착제 도팅 사이즈 검사 방법은 기판에 도팅된 접착제에 대한 영상에서 상기 도팅된 접착제의 영역을 구하는 단계와, 상기 영역을 이용하여 상기 도팅된 접착제의 중심점을 구하는 단계와, 상기 중심점을 지나는 직선들이 상기 도팅된 접착제의 가장자리와 만나는 두 점들을 구하는 단계와, 상기 두 점 사이의 거리 값들 중 최대 값과 최소 값을 획득하는 단계 및 상기 최대 값 및 최소 값을 기 설정된 기준 값과 비교하여 상기 도팅된 접착제의 사이즈 불량을 판단하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 도팅된 접착제의 영역을 구하는 단계는 상기 영상을 자동 이진화한 상태에서 이루어질 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 중심점을 지나는 직선들이 상기 도팅된 접착제의 가장자리와 만나는 두 점들을 구하는 단계는 상기 중심점을 지나는 하나의 직선을 상기 중심점을 기준으로 회전시키면서 상기 직선 상에서 상기 영상을 형성하는 픽셀의 밝기 차이가 발생하는 지점을 찾아 상기 두 점들을 구할 수 있다.
본 발명의 접착제 도팅 사이즈 검사 방법에 따르면, 도팅된 접착제의 영상에서 가장자리의 경계를 확인하고, 상기 도팅된 접착제의 중심점을 지나는 직선을 이용하여 상기 도팅된 접착제의 가장자리와 만나는 두 점 사이의 거리 값들 중 최대값과 최소값을 이용하여 상기 접착제의 도팅 사이즈 불량 여부를 확인한다. 따라서, 상기 도팅된 접착제의 형태가 원형이 아닌 경우에도 상기 접착제의 도팅 사이즈 불량 여부를 정확하게 확인할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 접착제 도팅 사이즈 검사 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 2 내도 도 5는 도 1에 도시된 접착제 도팅 사이즈 검사 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 접착제 도팅 사이즈 검사 방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 접착제 도팅 사이즈 검사 방법을 설명하기 위한 흐름도이고, 도 2 내도 도 5는 도 1에 도시된 접착제 도팅 사이즈 검사 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 접착제 도팅 사이즈 검사를 수행하기 위해서는 먼저 기판(미도시)에 도팅된 접착제(10)에 대한 영상을 촬영한다. 상기 촬영시 조명의 영향으로 도팅된 접착제(10)는 밝은 부분(12)과 나머지 부분인 어두운 부분(14)으로 구분될 수 있다. 밝은 부분(12)의 위치와 크기는 도팅된 접착제(10)의 모양에 따라 달라질 수 있다.
상기 도팅된 접착제(10)에 대한 영상을 자동 이진화한다. 상기 이진화에 의해 상기 영상의 각 픽셀이 흑백으로 표시될 수 있다. 그러므로, 상기 조명에 의한 빛 반사 및 접착제(10)의 재질에 다른 밝기 차이를 최소화할 수 있다. 또한, 도팅된 접착제(10)에서 밝은 부분(12)과 어두운 부분(14)의 경계와 도팅된 접착제(10)의 가장자리를 용이하게 확인할 수 있다. 이때, 도팅된 접착제(10)의 모양은 원형일 수도 있고 원형이 아닐 수도 있다.
상기와 같이 도팅된 접착제(10)의 가장자리를 확인함으로써 도팅된 접착제(10)의 영역을 구할 수 있다.(S110)
도 1 및 도 3을 참조하면, 도팅된 접착제(10)의 영역이 구해지면, 상기 영역을 이용하여 도팅된 접착제(10)의 중심점(C)을 구한다.(S120)
이때, 도팅된 접착제(10)의 영역 크기를 고려하여 중심점(C)의 위치를 대략적으로 구할 수 있다. 한편, 도팅된 접착제(10)의 영역에 대한 면적을 연산하고, 상기 면적을 이용하여 중심점(C)의 위치를 정확하게 구할 수도 있다.
도 1 및 도 4를 참조하면, 중심점(C)이 구해지면, 중심점(C)을 지나는 하나의 직선을 형성한다. 상기 직선이 도팅된 접착제(10)의 가장자리와 만나는 두 점을 구할 수 있다. 구체적으로, 도팅된 접착제(10)의 밝은 부분(12)과 어두운 부분(14)의 경계와 어두운 부분(14)의 가장자리에는 상기 영상을 형성하는 픽셀의 밝기 변화가 발생한다. 그러므로, 상기 직선 상에서 상기 픽셀의 밝기 변화가 발생하는 여러 점들을 구할 수 있다. 이 점들 중 최외각에 위치하는 두 점이 상기 직선이 도팅된 접착제(10)의 가장자리와 만나는 점들이다.
상기 직선을 중심점(C)을 기준으로 하여 회전시키면서 상기와 같이 상기 직선이 도팅된 접착제(10)의 가장자리와 만나는 두 점을 구할 수 있다. 이때, 상기 직선을 180도를 초과해서 회전시키더라도 상기 직선을 0도에서 180도 회전시킬 때와 동일한 결과가 산출되므로, 상기 직선의 회전은 0도에서 180도 까지만 이루어지면 된다.
따라서, 중심점(C)을 지나는 직선들이 상기 도팅된 접착제의 가장자리와 만나는 두 점들을 구할 수 있다.(S130)
도 1 및 도 5를 참조하면, 상기 두 점들이 구해지면, 상기 두 점들 사이의 거리 값들을 구할 수 있다. 상기 두 점들 사이의 거리 값들 중 최대 값(A)과 최소 값(B)을 획득할 수 있다.(S140)
이후, 상기 최대 값(A) 및 최소 값(B)을 기 설정된 기준 값과 비교하여 상기 도팅된 접착제의 사이즈 불량을 판단한다.(S150)
구체적으로, 상기 최대 값(A) 및 최소 값(B)이 상기 기 설정된 기준 값의 오차 범위 이내인 경우, 상기 도팅된 접착제(10)의 사이즈가 정상인 것으로 판단한다. 상기 최대 값 및 최소 값이 상기 기 설정된 기준 값의 오차 범위를 벗어나는 경우, 상기 도팅된 접착제(10)의 사이즈가 불량인 것으로 판단한다.
상기 접착제(10)의 도팅 사이즈 검사 방법에 따르면, 도팅된 접착제(10)의 모양이 원형을 이루지 않더라도 도팅된 접착제(10)의 사이즈 불량 여부를 정확하게 확인할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 접착제 도팅 사이즈 검사 방법에 따르면, 도팅된 접착제의 가장자리를 확인하고, 상기 도팅된 접착제의 중심점을 지나는 직선을 이용하여 상기 도팅된 접착제의 가장자리와 만나는 두 점 사이의 거리 값들 중 최대값과 최소값을 이용하여 상기 접착제의 도팅 사이즈 불량 여부를 확인한다. 따라서, 상기 도팅된 접착제의 형태가 원형이 아닌 다양한 형태를 경우에도 상기 접착제의 도팅 사이즈 불량 여부를 정확하게 확인할 수 있다. 그러므로, 상기 접착제 도팅 사이즈 검사 방법의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 접착제 12 : 밝은 부분
14 : 어두운 부분 C : 중심점
A : 최대 값 B : 최소 값

Claims (3)

  1. 기판에 도팅된 접착제에 대한 영상에서 상기 도팅된 접착제의 영역을 구하는 단계;
    상기 영역을 이용하여 상기 도팅된 접착제의 중심점을 구하는 단계;
    상기 중심점을 지나는 직선들이 상기 도팅된 접착제의 가장자리와 만나는 두 점들을 구하는 단계;
    상기 두 점 사이의 거리 값들 중 최대 값과 최소 값을 획득하는 단계; 및
    상기 최대 값 및 최소 값을 기 설정된 기준 값과 비교하여 상기 도팅된 접착제의 사이즈 불량을 판단하는 단계를 포함하고,
    상기 중심점을 지나는 직선들이 상기 도팅된 접착제의 가장자리와 만나는 두 점들을 구하는 단계는 상기 중심점을 지나는 하나의 직선을 상기 중심점을 기준으로 회전시키면서 상기 직선 상에서 상기 영상을 형성하는 픽셀의 밝기 차이가 발생하는 지점을 찾아 상기 두 점들을 구하는 것을 특징으로 하는 접착제 도팅 사이즈 검사 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 도팅된 접착제의 영역을 구하는 단계는 상기 영상을 자동 이진화한 상태에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 접착제 도팅 사이즈 검사 방법.
  3. 삭제
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