CN105887083A - 用于刀具的硬质涂层、涂层制备方法及刀具 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于刀具的硬质涂层、涂层制备方法及刀具，属于切削加工领域。本发明采用物理气相沉积法在刀具基体表面形成钛基低熔点合金层和钛基硬质涂层，其中钛基低熔点合金层可在高温下熔融，熔融钛合金在刀具基体与钛基硬质涂层间重新分布，寻找更稳定的生长位置，并于最优结合位置停驻凝固，该过程发生在钛基硬质涂层形成后，其介入可增强涂层对刀具基体的附着力，使合金层以上的钛基硬质涂层与其下的刀具基体稳固结合，提高二者的结合力，从而延长刀具的使用寿命。

Description

用于刀具的硬质涂层、涂层制备方法及刀具
技术领域
本发明涉及一种用于刀具的硬质涂层，同时还涉及该硬质涂层的制备方法以及具有该硬质涂层的刀具，属于切削加工领域。
背景技术
随着现代加工技术的发展，人们对切削刀具性能和质量的要求也相应提高。对刀具表面进行涂覆处理是提高刀具表面硬度和抗氧化性的有效方法之一。目前，常用的涂层种类有氮化钛、氮铝钛、氧化铝等，涂覆方法包括物理气相沉积和化学气相沉积。化学气相沉积的优点在于反应基团具有较高的能量，与刀具基体的结合力强，硬质涂层坚固耐用，但是化学气相沉积需要复杂的气体供应系统和尾气处理系统，设备成本高昂。物理气相沉积具有沉积温度低，涂层内部应力小，工艺成熟可靠、绿色环保等优点，是应用最为广泛的一种表面强化技术，但是存在硬质涂层与刀具基体间结合力不强的缺陷。
为了提高氮化钛、氮化铝等钛基硬质涂层与刀具基体间的结合力，通常在沉积硬质涂层前，先在刀具表面沉积一层纯钛或铬作为粘结层，如公告号CN103789724B的发明专利公开的一种AlTiCrN/YN纳米多层硬质涂层，先采用蒸发镀膜法在刀具基体表面沉积钛或铬粘结层，再采用中频反应磁控溅射法在粘结层上周期交替沉积AlTiCrN层和YN层，所得硬质涂层与刀具基体结合牢固，结合力等级达到德国标准VDI3198的HF1～HF2，并且硬度高(纳米硬度大于26GPa)，抗高温氧化能力强。但是，由于纯钛或铬粘结层采用物理气相沉积法制备，成膜前驱物在到达基体表面时扩散能较低，不利于寻找最优的结合位置，因而与基体的结合力有限。
发明内容
本发明的目的是提供一种用于刀具的硬质涂层，该涂层中的钛基低熔点合金层可在高温下熔融，熔融钛合金在刀具基体与钛基硬质涂层间重新分布，并于最优结合位置停驻凝固，该过程的介入可增强涂层对刀具基体的附着力，延长刀具的使用寿命。
同时，本发明还提供一种工艺简单、操作简便的硬质涂层制备方法。
最后，本发明再提供一种具有该硬质涂层的刀具。
为了实现以上目的，本发明所采用的技术方案是：
用于刀具的硬质涂层，从刀具基体表面向外依次为钛基低熔点合金层和钛基硬质涂层；所述钛基低熔点合金层由金属钛(Ti)与镍(Ni)、铬(Cr)、铝(Al)、钪(Se)、铜(Cu)等金属中的一种或多种形成。
所述钛基低熔点合金层中钛原子占比在50％以上，以保证其在沉积或溅射时具有良好的导电性，防止电荷在刀具基体表面聚集造成沉积困难，可以为二元合金或多元合金。该层熔融后可在刀具基体与钛基硬质涂层间重新分布，使二者稳固结合。
所述钛基低熔点合金层的熔点低于纯钛的熔点(约为1668℃)，同时高于刀具的工作温度。如果钛基低熔点合金层的熔点低于刀具的工作温度，在切削操作时钛基低熔点合金层在高温下熔融，将导致钛基硬质涂层脱落，严重影响刀具的使用寿命。例如，对于立方氮化硼类刀具，钛基低熔点合金层的熔点高于900℃，优选的，熔点在1000～1300℃之间。通过查阅钛合金相图，控制合金相中各成分的含量，可对钛基低熔点合金层的熔点进行控制。例如，当钛基低熔点合金层为钛镍合金时，将镍原子占比控制在16％～23％或33％～47％，可以保证合金熔点在1000～1300℃之间。再例如，当钛基低熔点合金层为钛铜合金时，将铜原子占比控制在22％～37％，可以保证合金在1000～1300℃之间。当然，钛基低熔点合金层可选择的合金种类不限于上述两种，只要能够满足合金熔点在1000～1300℃之间，均可用于立方氮化硼类刀具。
所述钛基低熔点合金层的厚度不应过厚而导致涂层整体硬度的下降，也不应过薄而影响涂层的粘结性能，至少应保证熔融状态下在刀具基体表面形成不少于10个原子层厚度的完整延展层。所谓完整，是指该层基本连续分布，不存在较大面积的空洞。优选的，钛基低熔点合金层的厚度大于20nm，小于1μm。更优选的，厚度在200～800nm之间，如300nm、400nm、500nm、600nm或700nm。
所述钛基硬质涂层为由钛(Ti)、铝(Al)、碳(C)、铬(Cr)等形成的氮化物层，如氮化钛(TiN)、氮铝钛(TiAlN)等。钛基硬质涂层的厚度在400nm至4μm之间。一般的，钛基硬质涂层中氮含量从涂层底部向表面沿厚度方向呈递增趋势，以优化钛基硬质涂层和钛基低熔点合金层的界面。在界面处，氮含量较低，钛基硬质涂层性能与钛基低熔点合金层相似，界面特性优良；随着远离界面，氮含量增加，硬质涂层硬度提高。其中，氮含量递增可以为均匀递增，也可以在远离界面约10nm后迅速递增。
所述刀具基体可采用陶瓷、硬质合金、高速钢、立方氮化硼(CBN)、聚晶立方氮化硼(PCBN)、金刚石或聚晶金刚石等材料。
用于刀具的硬质涂层的制备方法，包括以下步骤：
1)在刀具基体表面物理气相沉积钛基低熔点合金层；
2)在钛基低熔点合金层上物理气相沉积钛基硬质涂层；
3)惰性气氛下，对涂层后的刀具基体进行退火处理，使得钛基低熔点合金层在高温下熔融再分布，即可。
步骤1)、2)中物理气相沉积可采用多弧离子镀、多靶磁控溅射等。
步骤2)在沉积钛基硬质涂层之前，可选择地对钛基低熔点合金层进行氮气等离子体轰击处理，以优化钛基低熔点合金层和钛基硬质涂层的界面性能。
步骤3)中惰性气氛如氮气气氛、氩气气氛等。
步骤3)中退火处理的温度应高于钛基低熔点合金层的熔点，在该退火温度下，钛基低熔点合金层发生熔融再分布，寻找更稳定的生长位置，从而使其上的钛基硬质涂层与其下的刀具基体稳固结合。优选的，退火处理的温度至少高于钛基低熔点合金层的熔点20℃，如在920℃以上。更优选的，退火处理的温度在1020～1320℃之间。最优选的，温度在1120～1320℃之间，在该温度下退火，既能保证钛基低熔点合金层充分熔融，又不会对刀具基体和钛基硬质涂层造成热损伤。
步骤3)中退火处理可采用常规热退火，也可采用快速热退火，如卤钨灯退火等，利用短时间的尖峰退火使低熔点合金层发生熔融在分布，同时避免高温损伤刀具基体。当采用较高的退火温度，如1300℃以上时，优选快速热退火操作。
步骤3)中退火处理的时间优选2～4小时，包含升温时间和降温时间。其中，降温时间应不小于1小时，以尽量减小对刀具的热冲击，如降温速率为10～15℃/min。
刀具，包括刀具基体及其上的硬质涂层，硬质涂层包括在刀具基体表面依次形成的钛基低熔点合金层和钛基硬质涂层，钛基低熔点合金层由金属钛与镍、铬、铝、钪、铜等金属中的一种或多种形成。
所述钛基低熔点合金层中钛原子占比在50％以上，优选为钛镍合金或钛铜合金。
本发明的有益效果：
本发明采用物理气相沉积法在刀具基体表面形成钛基低熔点合金层和钛基硬质涂层，其中钛基低熔点合金层可在高温下熔融，熔融钛合金在刀具基体与钛基硬质涂层间重新分布，寻找更稳定的生长位置，并于最优结合位置停驻凝固，该过程发生在钛基硬质涂层形成后，其介入可增强涂层对刀具基体的附着力，使合金层以上的钛基硬质涂层与其下的刀具基体稳固结合，提高二者的结合力，从而延长刀具的使用寿命。
附图说明
图1为本发明实施例1中硬质涂层的结构示意图。
具体实施方式
下述实施例仅对本发明作进一步详细说明，但不构成对本发明的任何限制。
实施例1
用于刀具的硬质涂层，从PCBN刀具基体1的表面向外依次为铜原子占比37％的钛铜低熔点合金层2和氮化钛硬质涂层3，涂层结构示意图见图1。该硬质涂层的制备步骤如下：
1)采用双靶磁控溅射工艺在PCBN刀具基体表面(经喷砂、溶剂清洗)形成钛铜合金层，工艺参数为：氩气流量50～80sccm，偏压负100V，控制钛、铜靶的电流分别为60A和20A，使最终形成的钛铜合金层中铜原子占比约为37％，熔点约为1000℃，厚度400nm；
2)对钛铜合金层进行氮气等离子体轰击处理，氮气压力0.5Pa，处理时间10min；
3)采用反应磁控溅射工艺在钛铜合金层上形成氮化钛硬质涂层，工艺参数为：氮气气压由0.4Pa线性升至0.8Pa(均匀升压)，钛靶电流50A，最终形成的氮化钛硬质涂层的厚度为1.5μm，涂层中氮含量从涂层底面向外沿厚度方向均匀递增；
4)氮气气氛下对涂层后的刀具基体进行退火处理，氮气流量100sccm，退火温度1020℃，升温速率60℃/min，1020℃保温1h，降温至室温，降温速率10℃/min。
实施例2
用于刀具的硬质涂层，从PCBN刀具基体表面向外依次为镍原子占比16％的钛镍低熔点合金层和氮铝钛硬质涂层。该硬质涂层的制备步骤如下：
1)采用多弧离子镀工艺在PCBN刀具基体表面(经喷砂、溶剂清洗)形成钛镍合金层，工艺参数为：氩气流量50～80sccm，偏压负250V，钛镍合金靶的电流为70A，最终形成的钛镍合金层中镍原子占比约为16％，熔点约为1300℃，厚度800nm；
2)对钛镍合金层进行氮气等离子体轰击处理，氮气压力0.8Pa，处理时间30min；
3)采用多弧离子镀工艺在钛镍合金层上形成氮铝钛硬质涂层，工艺参数为：氮气气压在30s内由0.5Pa线性升至0.6Pa，然后迅速(30s)从0.6Pa增至0.9Pa，然后保持0.9Pa；钛铝靶电流60A，最终形成氮铝钛硬质涂层的厚度为900nm，涂层中氮含量从涂层底面向外在厚度方向上先均匀递增，然后在远离钛基硬质涂层与钛基低熔点合金层界面约10nm处迅速递增；
4)氮气气氛下对涂层后的刀具基体进行退火处理，氮气流量200sccm，退火温度1320℃；单次尖峰退火过程为：快速升温至尖峰温度1320℃，保温18s后降至900℃，重复上述尖峰退火过程18次，然后降温至室温，降温速率15℃/min。
对比例
采用实施例1中方法依次在PCBN刀具基体表面(经喷砂、溶剂清洗)形成纯钛层和氮化钛硬质涂层，厚度均与实施例1中相同。
试验例
分别取实施例1及对比例制备的刀具样品若干，采用涂层附着力自动划痕仪测试PCBN刀具基体与硬质涂层的结合力，结果见下表1。
表1 实施例1及对比例中刀具基体与硬质涂层的结合力对比
样品1 样品2 样品3 样品4 样品5 样品6
实施例1 83 80 77 82 81 80
对比例 72 75 70 74 69 71
从表1可以看出，实施例1中PCBN刀具基体与硬质涂层的结合力明显高于对比例，表明本发明中涂层制备方法能将刀具基体与硬质涂层牢固粘结，提高涂层对基体的附着力，从而有效延长刀具使用寿命。

Claims (10)

1.用于刀具的硬质涂层，其特征在于：从刀具基体表面向外依次为钛基低熔点合金层和钛基硬质涂层；所述钛基低熔点合金层由金属钛与镍、铬、铝、钪、铜中的一种或多种形成。
2.根据权利要求1所述的硬质涂层，其特征在于：钛基低熔点合金层中钛原子占比在50％以上，且该层的熔点低于纯钛的熔点，同时高于刀具的工作温度。
3.根据权利要求2所述的硬质涂层，其特征在于：钛基低熔点合金层采用钛镍合金或钛铜合金。
4.根据权利要求3所述的硬质涂层，其特征在于：钛镍合金中镍原子占比为16％～23％或33％～47％；钛铜合金中铜原子占比为22％～37％。
5.根据权利要求1所述的硬质涂层，其特征在于：钛基低熔点合金层的厚度为熔融状态下在刀具基体表面形成不少于10个原子层厚度的延展层。
6.根据权利要求1所述的硬质涂层，其特征在于：钛基硬质涂层为由钛、铝、碳、铬形成的氮化物层。
7.根据权利要求6所述的硬质涂层，其特征在于：钛基硬质涂层为氮化钛层或氮铝钛层。
8.如权利要求1～7中任一项所述硬质涂层的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
1)在刀具基体表面物理气相沉积钛基低熔点合金层；
2)在钛基低熔点合金层上物理气相沉积钛基硬质涂层；
3)惰性气氛下，对涂层后的刀具基体进行退火处理，即可；
步骤3)中退火处理的温度高于钛基低熔点合金层的熔点。
9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于：步骤2)在沉积钛基硬质涂层之前，先对钛基低熔点合金层进行氮气等离子体轰击处理。
10.刀具，包括刀具基体，其特征在于：刀具基体上具有如权利要求1～7中任一项所述的硬质涂层。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110616405A (zh) * 2019-10-14 2019-12-27 四川大学 一种耐磨损阻扩散的氧化铝/氮化铝钛铬复合涂层及其制备方法
CN110791729A (zh) * 2019-11-21 2020-02-14 金华新亚机械制造有限公司 带pvd涂层的正畸钳及其制备方法
CN113523278A (zh) * 2021-05-20 2021-10-22 九江金鹭硬质合金有限公司 一种低应力硬质合金模具材料烧结方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60100660A (ja) * 1983-11-07 1985-06-04 Toshiba Tungaloy Co Ltd 表面被覆硬質材料
JPS62211366A (ja) * 1986-03-12 1987-09-17 Mitsubishi Metal Corp 表面被覆硬質合金製切削工具
CN1361308A (zh) * 2000-12-29 2002-07-31 中国科学院金属研究所 用于海军航空发动机压气机叶片的离子镀TiAlN涂层
CN102400100A (zh) * 2010-09-09 2012-04-04 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 镀膜件及其制备方法
CN103160783A (zh) * 2013-03-26 2013-06-19 沈阳金锋特种刀具有限公司 一种TiCuN纳米复合涂层及其制备方法
CN103469154A (zh) * 2013-09-05 2013-12-25 江西稀有稀土金属钨业集团有限公司 一种TiAlN复合涂层及其设有该涂层的刀具的制备方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60100660A (ja) * 1983-11-07 1985-06-04 Toshiba Tungaloy Co Ltd 表面被覆硬質材料
JPS62211366A (ja) * 1986-03-12 1987-09-17 Mitsubishi Metal Corp 表面被覆硬質合金製切削工具
CN1361308A (zh) * 2000-12-29 2002-07-31 中国科学院金属研究所 用于海军航空发动机压气机叶片的离子镀TiAlN涂层
CN102400100A (zh) * 2010-09-09 2012-04-04 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 镀膜件及其制备方法
CN103160783A (zh) * 2013-03-26 2013-06-19 沈阳金锋特种刀具有限公司 一种TiCuN纳米复合涂层及其制备方法
CN103469154A (zh) * 2013-09-05 2013-12-25 江西稀有稀土金属钨业集团有限公司 一种TiAlN复合涂层及其设有该涂层的刀具的制备方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110616405A (zh) * 2019-10-14 2019-12-27 四川大学 一种耐磨损阻扩散的氧化铝/氮化铝钛铬复合涂层及其制备方法
CN110791729A (zh) * 2019-11-21 2020-02-14 金华新亚机械制造有限公司 带pvd涂层的正畸钳及其制备方法
CN113523278A (zh) * 2021-05-20 2021-10-22 九江金鹭硬质合金有限公司 一种低应力硬质合金模具材料烧结方法
CN113523278B (zh) * 2021-05-20 2022-11-18 九江金鹭硬质合金有限公司 一种低应力硬质合金模具材料烧结方法

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