CN105755445B - 一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程与其制成品 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程，包含：自一放卷轴输出一软性高分子基材；溅镀一复合靶材至该软性高分子基材上，以形成有一贵金属薄膜与一一般金属薄膜；利用激光在该一般金属薄膜与该贵金属薄膜上分别形成一第一电极图案与一第二电极图案；于该第二电极图案上涂布一检测物质层；以及将软性高分子基材收入至一收卷轴。并提供利用具有复合靶材的卷对卷溅镀制程生产的制成品。相较于现有技术，本发明利用将多种金属分段接合所形成的复合靶材进行溅镀，能在软性基材上同时形成多种金属薄膜，具有缩短加工工时与工序以节省成本的效果。

Description

一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程与其制成品

技术领域

本发明关于一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程与其制成品，更明确地说，关于一种利用多种金属分段形成的一复合靶材进行溅镀制程与制成品生产的一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程与其制成品。

背景技术

在现有技术中，卷对卷制程将以圆筒状卷收的待加工软性材料由一放卷轴将未加工的软性材料送出，途中经过加工作业，例如精密压印、贴合、镀膜、印刷等加工制程之后，再由一收卷轴将加工完成的软性材料卷收回圆筒状。由于原物料与加工完成品的收送方便，是一种高效能低成本的连续生产方式，甚受软性电子产品制造业的青睐。

其中以镀膜为例，在放卷－收卷过程中加入镀膜加工制程可用来制作软性触控面板，或是血糖试片等。而制作软性触控面板时，由于利用镀膜制程所镀上的多层导电薄膜范围几乎涵盖了整个软性材料的表面，所以需要多道镀膜作业手续才能完成。但在制作血糖试片时，由于每一片血糖试片上同时布有至少一工作电极与至少一延伸电极，且每个电极所占据的面积不一，若是以制作软性触控面板的工序来制作血糖试片时，由于每次镀膜作业都只对部分的软性材料表面加工，故需注意每次镀膜作业之间是否会相互干扰。若能找出一种能够一劳永逸的一次完成所有镀膜作业的工法制程，想必能够更为缩短制造工时与成本。

发明内容

因应前述问题，本发明的一观点在于提供一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程，能一次性地将多种金属薄膜溅镀于一软性基材之上，其包含以下步骤：自一放卷轴输出一软性高分子基材；溅镀一复合靶材至该软性高分子基材上，以形成有一贵金属薄膜与一一般金属薄膜；利用激光在该一般金属薄膜与该贵金属薄膜上分别形成一第一电极图案与一第二电极图案；于该第二电极图案上涂布一检测物质层；以及将软性高分子基材收入至一收卷轴。

其中复合靶材包含有一贵金属与一一般金属，贵金属与一般金属相互接合形成复合靶材。

其中于前述的溅镀步骤中，溅镀方式为一次性地溅镀该贵金属与该一般金属至该软性高分子基材。

其中于前述的溅镀步骤中，溅镀方式为分次性地溅镀该贵金属与该一般金属至该软性高分子基材，前述分次性地溅镀方式于该复合靶材与该软性高分子基材之间设置一掩模，该掩模遮蔽了该软性高分子基板上欲镀上该一般金属或该贵金属的区域，再施以溅镀使该贵金属或该一般金属被溅镀至该软性高分子基板上未被该掩模遮蔽的区域。

所述的一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程，进一步包含制备该复合靶材的步骤。

其中该一般金属与该贵金属分别被溅镀至该第一电极图案与该第二电极图案。

其中该软性高分子基材包含聚对苯二甲酸乙二醇酯(PolyethyleneTerephthalate,PET)与聚碳酸酯(Polycarbonate,PC)。本发明的另一观点在于提供一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程，能一次性地将多种金属薄膜溅镀于一软性基材之上，其包含以下步骤：自一放卷轴输出一软性高分子基材；溅镀一复合靶材至该软性高分子基材上，以形成有一贵金属薄膜与一一般金属薄膜；在该贵金属薄膜与该一般金属薄膜上覆盖一阻隔层，以定义一第一电极图案与第二电极图案；除去阻隔层；于该第二电极图案上涂布一层检测物质层；以及将该软性高分子基材收入至一收卷轴。

其中于前述的溅镀步骤中，溅镀方式为一次性地溅镀该贵金属与该一般金属至该软性高分子基材。

其中于前述的溅镀步骤中，溅镀方式为分次性地溅镀该贵金属与该一般金属至该软性高分子基材；前述分次性地溅镀方式于该复合靶材与该软性高分子基材之间设置一掩模，该掩模遮蔽了该软性高分子基板上欲镀上该一般金属或该贵金属的区域，再施以溅镀使该贵金属或该一般金属被溅镀至该软性高分子基板上未被该掩模遮蔽的区域。

其中该阻隔层的形成方式包含网印、上光阻膜、贴附塑胶薄膜与黄光制程。

其中该阻隔层的除去方式包含蚀刻与喷砂。

本发明的另一范畴在于提供一种利用具有一复合靶材的卷对卷溅镀制程生产的产品，该复合靶材包含一贵金属与一一般金属，其包含：一软性高分子基板，于该软性高分子基板被定义有一第一电极图案与第二电极图案；一贵金属薄膜，被设置于该第二电极图案上；一一般金属薄膜，被设置于该第一电极图案上；以及一检测物质层，被设置于该第二电极图案上。

其中，该贵金属薄膜与该一般金属薄膜由该复合靶材的该贵金属与该一般金属溅镀而形成于该软性高分子基板之上。

其中该贵金属与该一般金属为一次性地溅镀至该软性高分子基材。

其中该贵金属与该一般金属为分次性地溅镀至该软性高分子基材，前述分次性地溅镀方式，于该复合靶材与该软性高分子基材之间设置一掩模，该掩模遮蔽了该软性高分子基板上欲镀上该一般金属或该贵金属的区域，再施以溅镀使该贵金属或该一般金属被溅镀至该软性高分子基板上未被该掩模遮蔽的区域。

其中该贵金属包含金、钯、与银与其他现有贵金属及其合金；其中该一般金属包含铜与镍与其他现有一般金属及其合金。

其中该第一电极图案与该第二电极图案分别形成于该一般金属薄膜与该贵金属薄膜的方式包含激光切割、蚀刻或喷砂。

相较于现有技术，本发明利用将多种金属分段接合所形成的复合靶材进行溅镀，能在软性基材上同时形成多种金属薄膜，具有缩短加工工时与工序以节省成本的效果，并通过贵金属的良好电学性质，以提升产品使用的准确性。

附图说明

图1的(A)至(E)图分别绘制了根据本发明的一具体实施例的制程阶段示意图。

图2绘示了用于本发明的复合靶材的剖视图。

图3绘示了根据本发明的一具体实施例的制程所产出的产品上视图，其中图1(A)至(E)皆是沿着图3中I-I连线视角的剖视图。

图4绘示了根据本发明的另一具体实施例与又一具体实施例的制程所产出的产品上视图。

图5的(A)至(E)图分别绘制了根据本发明的另一具体实施例的制程阶段示意图，其中图5(A)至(E)皆是沿着图4中II-II连线视角的剖视图。

图6的(A)至(E)图分别绘制了根据本发明的又一具体实施例的制程阶段示意图，其中图6(A)至(E)亦是沿着图4中II-II连线视角的剖视图。

【符号说明】

1、2、3：具有复合靶材的卷对卷溅镀制程

10：软性高分子基材 102：第一电极图案

104：第二电极图案 106：空白区

20：阻隔层

30：复合靶材 302：一般金属

3022：一般金属薄膜 304：贵金属

3042：贵金属薄膜 32：接合剂

34：金属基板

40：检测物质层

A,B：利用具有复合靶材的卷对卷溅镀制程生产的制成品

S1：第一表面

具体实施方式

首先，请参阅图1与图2，图1的(A)至(E)图分别绘制了根据本发明的一具体实施例的制程阶段示意图。图2绘示了用于本发明的复合靶材的下视图。本发明提供一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程1(于后简称制程1)，能一次性地将多种金属薄膜溅镀于一软性基材之上，其包含以下步骤：S1：自一放卷轴(未绘示)输出一软性高分子基材；S2：将一复合靶材溅镀至软性高分子基材上，以形成有一贵金属薄膜与一一般金属薄膜；S3：利用激光在一般金属薄膜与贵金属薄膜上分别形成第一电极图案与第二电极图案；S4：于第二电极图案上涂布一层检测物质层；以及S5：将加工完成的软性高分子基材收入至一收卷轴。

以下将详细说明本发明的制程步骤的细节，本实施例以制作家用血糖机所使用的检验试片为例。首先执行步骤S1：自一放卷轴输出一软性高分子基材。其中，如图1(A)所示的软性高分子基材10包含但不限于聚对苯二甲酸乙二醇酯(PolyethyleneTerephthalate,PET)或是聚碳酸酯(Polycarbonate,PC)其中之一，又或是其组合。

接着执行步骤S2：将一复合靶材溅镀至软性高分子基材上，以形成有一贵金属薄膜与一一般金属薄膜。将如图1(B)所示的复合靶材30溅镀至软性高分子基材10上，以形成有贵金属薄膜3042与一般金属薄膜3022。如图1(C)所示。其中复合靶材30包含有一贵金属304与一一般金属302，贵金属304与一般金属302相互接合形成复合靶材30。本步骤S2则是将贵金属304与一般金属302，经由溅镀制程溅镀至软性高分子基材10的表面上，以分别形成有贵金属薄膜3042与一般金属薄膜3022。

而复合靶材30的接合方式则如图2所示，图2与图1(B)分别是复合靶材30的剖视图与前视图。其中，复合靶材30包含一金属基板34，一接合剂32以及贵金属304与一般金属302。于本实施例中以矩形的复合靶材30为例，复合靶材30是以铜(Cu)作为金属基板34，并在金属基板34上设置铟(In)作为接合剂32，再将贵金属304与一般金属302设置于接合剂32上以形成复合靶材30，但金属基板34的材料并不限于使用铜金属，亦可使用不锈钢或钛金属作为金属基板34的材料。另外，复合靶材30的形状除了矩形以外，进一步包含有圆柱形，使用者得根据本发明的制程需要来选择使用矩形或圆柱形的复合靶材30。

是故根据前述段落所载的复合靶材30接合方法，本发明的一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程1进一步包含一步骤S0：制备一复合靶材。将金属基板34，接合剂32、贵金属304与一般金属302根据前段所述的方法进行复合靶材30的制备。

其中，贵金属304包含金、钯、银以及其他现有贵金属或其合金；一般金属302包含铜与镍，以及现有一般金属或其合金。而贵金属304与一般金属302在复合靶材30上的配置方式则是根据使用者对于血糖检验试片上，第一电极图案102与第二电极图案104的分布方式而做出相应安排。必要时，贵金属304与一般金属302之间得再加入一中介材料(未绘示)以相互区隔。

又或者于一实施例中，在步骤S2的溅镀作业上，得以多次进行溅镀的方式，将一般金属302与贵金属304溅镀至软性高分子基板10上。例如在复合靶材30与软性高分子基板10之间设置有一掩模，该掩模遮蔽了软性高分子基板10上欲镀有一般金属302的区域，而露出欲镀上贵金属304的区域。接着进行溅镀后，仅有欲镀上贵金属304的区域被镀有贵金属304。接着抽换掩模使软性高分子基板10上已镀有贵金属304的区域被遮蔽，再将一般金属302溅镀至欲镀有一般金属302的区域上。前述的遮蔽顺序得自由变换，且得运用于本发明后述的制程中。

请同时参阅图1与图3，图3绘示了根据本发明的一具体实施例的制程所产出的产品上视图，其中图1(A)至(E)皆是沿着图3中I-I连线视角的剖视图。接着进行步骤S3：利用激光在一般金属薄膜与贵金属薄膜上分别形成第一电极图案与第二电极图案。如前段所述，复合靶材30上贵金属304与一般金属302的配置方式，根据使用者对于血糖检验试片上，第一电极图案102与第二电极图案104的分布方式而做出相应安排。于此步骤中，使用者得操作仪器利用激光在贵金属薄膜3042与一般金属薄膜3022上，切割勾勒出第一电极图案102与第二电极图案104，第一电极图案102与第二电极图案104如图3、图1(D)与图1(E)上的虚线方框所示。

最后再执行步骤S4：于第二电极图案上涂布一层检测物质层。于本实施例中，第二电极图案104与生化检体接触的一端，而检验物质层40包含现有检测血糖时所需的生化物质，但本发明并不以此为限，使用者得依制造需求涂布合适的检测物质或不涂布检测物质，例如检测物质层40包含酵素、电子转移中间体、缓冲液以及增稠剂，并涂布在第二电极图案104上，得应用于血糖、尿酸、血红素的检测。而不涂布检测物质层40时，例如检测DNA时，检测第二电极图案104之间的电性变化来判读检测样本中是否含有待测的DNA。

最后再执行步骤S5：将加工完成的软性高分子基材收入至一收卷轴(未绘示)，以完成本发明的一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程1。需注意的是，复合靶材30的材料组成需考量到是否会与检验物质层40产生反应。例如的前段落提及复合靶材30的材料组成为贵金属304与一般金属302之间夹有中介材料，以配合第一电极图案102、第二电极图案104的配置。此时需注意所选用的中介材料是否会与后续制程中所使用的检验物质层40产生反应。以免制造出来的成品无法顺利发挥功用。

接着请参阅图4与图5，图4绘示了根据本发明的另一具体实施例与又一具体实施例的制程所产出的产品上视图。图5的(A)至(E)图分别绘制了根据本发明的另一具体实施例的制程阶段示意图，其中图5(A)至(E)皆是沿着图4中II-II连线视角的剖视图。本发明另提供一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程2(于后简称制程2)，能一次性地将多种金属薄膜溅镀于一软性基材之上，其包含以下步骤：C1：自一放卷轴(未绘示)输出一软性高分子基材；C2：将一复合靶材溅镀至软性高分子基材上，以形成有一贵金属薄膜与一一般金属薄膜；C3：在贵金属薄膜与一般金属薄膜上覆盖一阻隔层，以定义一第一电极图案与第二电极图案位置；C4：除去阻隔层；C5：于第二电极图案上涂布一层检测物质层；以及C6：将加工完成的软性高分子基材收入至一收卷轴。

其中，本实施例也是以制作家用血糖机所使用的检验试片为例。制程2的步骤流程C1及C2与制程1的步骤流程S1及S2相同，也同样地进一步包含步骤C0：制备一复合靶材。差别在于自步骤C3之后，制程2于贵金属薄膜3042与一般金属薄膜3022上通过涂布一层阻隔层20来定义出第一电极图案102与第二电极图案104。如图5(D)、图5(E)与图4中虚线方框所标示的位置所示。而涂布阻隔层20包含利用网印、上光阻膜的方式来涂布阻隔层20，或是通过黄光制程(Lithography)来形成阻隔层20于软性高分子基材10上。

又或者，阻隔层20为一种塑胶薄膜，在本发明中使用者得在塑胶薄膜上先裁切出配合第一电极图案102与第二电极图案104形状的空格，再贴附至软性高分子基材10上作为阻隔层20。亦或是先直接将塑胶薄膜贴附至软性高分子基材10上作为阻隔层20，再进行裁切出配合第一电极图案102与第二电极图案104形状空格的作业。

接着进行步骤C4：除去阻隔层。如图5(E)所示，利用蚀刻或是喷砂方式将阻隔层20与未覆盖有阻隔层20的贵金属薄膜3042，以及一般金属薄膜3022除去，仅留下由贵金属薄膜3042形成的第二电极图案104以及由一般金属薄膜3022形成的第一电极图案102。然后进行步骤C5：于第二电极图案上涂布一层检测物质层。于本实施例中，第二电极图案104与一生化检体接触的一端，故将一层检验物质层40涂布在第二电极图案104上，而检验物质层40包含现有检测血糖时所需的生化物质，但本发明并不以此为限，使用者得依制造需求涂布合适的检测物质或不涂布，例如检测DNA时，检测第二电极图案104之间的电性变化来判读检测样本中是否含有待测的DNA。

最后再执行步骤C6：将加工完成的软性高分子基材收入至一收卷轴，完成整个制程。而制程完成后的加工成品如图4所示。

最后请参阅图4与图6，图6的(A)至(E)图分别绘制了根据本发明的又一具体实施例的制程阶段示意图，其中图6(A)至(E)亦是沿着图4中II-II连线视角的剖视图。本发明再提供一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程3(于后简称制程3)，能一次性地将多种金属薄膜溅镀于一软性基材之上，其包含以下步骤：D1：自一放卷轴(未绘示)输出一软性高分子基材，其中软性高分子基材具有一第一表面，该第一表面设有一第一电极图案、一第二电极图案与一空白区；D2：于软性高分子基材的空白区上涂布一阻隔层；D3：将一复合靶材溅镀至软性高分子基材与阻隔层上，以形成有一贵金属薄膜与一一般金属薄膜；D4：除去阻隔层；D5：于第二电极图案上涂布一层检测物质层；以及D6：将加工完成的软性高分子基材收入至一收卷轴(未绘示)。

其中，本实施例也是以制作家用血糖机所使用的检验试片为例。而如图1(A)所示，在步骤D1中，软性高分子基材10的材质包含但不限于聚对苯二甲酸乙二醇酯(Polyethylene Terephthalate,PET)或是聚碳酸酯(Polycarbonate,PC)，又或是其组合。而软性高分子基材10的第一表面S1上包含有第一电极图案102、第二电极图案104与空白区106。为了附图解读方便，第一电极图案102与第二电极图案104皆用虚线方框标示出来，未有线条标示的部分即为空白区106。其中第一电极图案102、第二电极图案104与空白区106的分布方式得由使用者自行定义。

接着，进行步骤D2：于软性高分子基材的空白区上涂布一阻隔层。如图6(B)所示，利用网印的方式、或是上光阻膜的方式，或是通过黄光制程(Lithography)来将形成阻隔层20于软性高分子基材10的空白区106上，应注意的是，配合图4的II-II视点来看，图6(B)中的第一电极图案102位于阻隔层20的后面，并不是指第一电极图案102被填入有阻隔层20。又或者，阻隔层20为一种塑胶薄膜，在本发明中使用者得在塑胶薄膜上先裁切出配合第一电极图案102与第二电极图案104形状的空格，再贴附至软性高分子基材10上作为阻隔层20。以使后续步骤中，能将一般金属302与贵金属304溅镀至软性高分子基材10上；亦或是先直接将塑胶薄膜贴附至软性高分子基材10上作为阻隔层20，再进行裁切出配合第一电极图案102与第二电极图案104形状空格的作业，之后再进行后续溅镀作业。

其次进行步骤D3：将一复合靶材溅镀至软性高分子基材与阻隔层上，以形成有一贵金属薄膜与一一般金属薄膜。于本步骤中，将如图6(C)所示的复合靶材30以溅镀的方式设置于软性高分子基材10上，其中复合靶材30包含有贵金属304与一般金属302，其接合方式与配置方式则如前段所述，于此不再赘述。而于步骤D3中，一般金属302被溅镀至软性高分子基材10上以形成一般金属薄膜3022，并覆盖填入第一电极图案102；贵金属304被溅镀至软性高分子基材10上以形成贵金属薄膜3042，并覆盖填入第二电极图案104。如图6(D)所示。

于本实施例中，复合靶材30直接溅镀至软性高分子基材10上，以致于阻隔层20上亦被溅镀上一层金属薄膜。本发明进一步包含有一步骤于复合靶材30与软性高分子基材10之间，得加入一层掩模，以避免溅镀复合靶材30至软性高分子基材10时，各个电极区内金属薄膜组成受到影响，例如于本实施例中，由于在步骤D3中，未设置有前述的掩模，故一般金属302可能有部分被溅镀至第二电极图案104内，致使第二电极图案104上的贵金属薄膜3042混入了一般金属302，进而影响日后量测的准确度。

完成步骤D3后，得利用蚀刻或是喷砂方式来进行步骤D4：除去阻隔层，来将阻隔层20除去，仅留下由贵金属薄膜3042形成的第二电极图案104，以及由一般金属薄膜3022形成的第一电极图案102。最后再进行步骤D5，将一层检验物质层40涂布在第二电极图案104上，如图6(E)所示。

最后再执行步骤D6：将加工完成的软性高分子基材收入至一收卷轴，完成整个制程。而制程完成后的加工成品亦如图4所示。

以上所述是介绍本发明的一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程。而本发明的另一个范畴是提供一种利用具有复合靶材的卷对卷溅镀制程生产的制成品A(后简称实施例A)，得用来制造血糖检测试片，其中复合靶材30包含有一贵金属304与一一般金属302。制成品A包含一软性高分子基板10、一第一电极图案102、一第二电极图案104、一贵金属薄膜3042、一一般金属薄膜3022、以及一检测物质层40，如图3所示。

其中贵金属薄膜3042与一般金属薄膜3022将复合靶材30以溅镀制程形成于软性高分子基材10的表面上，第一电极图案102与第二电极图案104则是以包含激光切割、蚀刻或喷砂其中的一种方式分别被形成于一般金属薄膜3022与贵金属薄膜3042之上，检测物质层40被设置于第二电极图案104上。

而本发明的一种利用具有复合靶材的卷对卷溅镀制程生产的产品A另具有一实施例B(后简称实施例B)，而实施例B与实施例A的组成完全相同。其中，于本说明书的前段落所记载的制程1得用来制造实施例A；而制程2与制程3得用来制造实施例B，如图3与图4所示。

当实施例A或实施例B作为血糖检测试片使用时，一待检测检体被放置于检测物质层40上后，将实施例A或实施例B放入一血糖检测仪器中，血糖检测仪器经由第一电极图案102接收第二电极图案104所检测到的之间的电性变化来检测检体的血糖值。

综上所言，本发明提供一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程，借着由贵金属与一般金属接合形成的一复合靶材，同时将一般金属与贵金属溅镀至软性高分子基材上形成一般金属薄膜与贵金属薄膜，并利用激光来去除部分的一般金属薄膜与贵金属薄膜，以形成一第一电极图案与一第二电极图案，再将检测物质设置于第二电极图案上，以完成本发明的卷对卷溅镀制程。本发明又提供一种利用具有复合靶材的卷对卷溅镀制程所生产的产品，通过前述制程将贵金属与一般金属设置于软性高分子基材上。

相较于现有技术，本发明利用将多种金属分段接合所形成的复合靶材进行溅镀，能在软性基材上同时形成多种金属薄膜，具有缩短加工工时与工序以节省成本的效果，并通过贵金属的良好电学性质，以提升产品使用的准确性。

通过以上较佳具体实施例的详述，希望能更加清楚描述本发明的特征与精神，而并非以上述所公开的较佳具体实施例来对本发明的范畴加以限制。相反地，其目的是希望能涵盖各种改变及具相等性的安排于本发明所欲申请的专利范围的范畴内。因此，本发明所申请的专利范围的范畴应该根据上述的说明作最宽广的解释，以致使其涵盖所有可能的改变以及具相等性的安排。

Claims (12)

1.一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程，其包含以下步骤：

自一放卷轴输出一软性高分子基材；

溅镀一复合靶材至该软性高分子基材上，以同时形成有一贵金属薄膜与一一般金属薄膜；

利用激光在该一般金属薄膜与该贵金属薄膜上分别形成一第一电极图案与一第二电极图案；

于该第二电极图案上涂布一检测物质层；以及

将该软性高分子基材收入至一收卷轴；

其中，该复合靶材包含有一金属基板、一接合剂、一贵金属与一一般金属，该金属基板上设置该接合剂，再将该贵金属与该一般金属设置于该接合剂上以形成该复合靶材。

2.如权利要求1所述的一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程，其中于前述的溅镀步骤中，溅镀方式为分次性地溅镀该贵金属与该一般金属至该软性高分子基材，前述分次性地溅镀方式于该复合靶材与该软性高分子基材之间设置一掩模，该掩模遮蔽了该软性高分子基板上欲镀上该一般金属或该贵金属的区域，再施以溅镀使该贵金属或该一般金属被溅镀至该软性高分子基板上未被该掩模遮蔽的区域。

3.如权利要求1所述的一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程，进一步包含制备该复合靶材的步骤。

4.如权利要求1所述的一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程，其中该软性高分子基材包含聚对苯二甲酸乙二醇酯与聚碳酸酯。

5.一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程，其包含以下步骤：

自一放卷轴输出一软性高分子基材；

溅镀一复合靶材至该软性高分子基材上，以同时形成有一贵金属薄膜与一一般金属薄膜；

在该贵金属薄膜与该一般金属薄膜上覆盖一阻隔层，以定义一第一电极图案与一第二电极图案位置；

除去该阻隔层；

于该第二电极图案上涂布一层检测物质层；以及

将该软性高分子基材收入至一收卷轴；

其中，该复合靶材包含有一金属基板、一接合剂、一贵金属与一一般金属，该金属基板上设置该接合剂，再将该贵金属与该一般金属设置于该接合剂上以形成该复合靶材。

6.如权利要求5所述的一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程，其中于前述的溅镀步骤中，溅镀方式为分次性地溅镀该贵金属与该一般金属至该软性高分子基材；前述分次性地溅镀方式于该复合靶材与该软性高分子基材之间设置一掩模，该掩模遮蔽了该软性高分子基板上欲镀上该一般金属或该贵金属的区域，再施以溅镀使该贵金属或该一般金属被溅镀至该软性高分子基板上未被该掩模遮蔽的区域。

7.如权利要求5所述的一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程，其中该阻隔层的形成方式包含网印、上光阻膜、贴附塑胶薄膜与黄光制程。

8.如权利要求5所述的一种具有复合靶材的卷对卷溅镀制程，其中该阻隔层的除去方式包含蚀刻与喷砂。

9.一种具有一复合靶材的卷对卷溅镀制程生产的制成品，该复合靶材包含一金属基板、一接合剂、一贵金属与一一般金属，该金属基板上设置该接合剂，再将该贵金属与该一般金属设置于该接合剂上以形成该复合靶材，其包含：

一软性高分子基板；

一贵金属薄膜，被设置于该软性高分子基板上；

一一般金属薄膜，被设置于该软性高分子基板上；

一第一电极图案，被形成于该一般金属薄膜上；

一第二电极图案，被形成于该贵金属薄膜上；以及

一检测物质层，被设置于该第二电极图案上；

其中，该贵金属薄膜与该一般金属薄膜由该复合靶材的该贵金属与该一般金属溅镀而形成于该软性高分子基板之上，且该软性高分子基板的外缘覆盖有该贵金属薄膜及该一般金属薄膜。

10.如权利要求9所述的一种具有一复合靶材的卷对卷溅镀制程生产的制成品，其中该贵金属与该一般金属为分次性地溅镀至该软性高分子基材，前述分次性地溅镀方式，于该复合靶材与该软性高分子基材之间设置一掩模，该掩模遮蔽了该软性高分子基板上欲镀上该一般金属或该贵金属的区域，再施以溅镀使该贵金属或该一般金属被溅镀至该软性高分子基板上未被该掩模遮蔽的区域。

11.如权利要求9所述的一种具有一复合靶材的卷对卷溅镀制程生产的制成品，其中该贵金属包含金、钯、与银与其他现有贵金属及其合金；其中该一般金属包含铜与镍与其他现有一般金属及其合金。

12.如权利要求9所述的一种具有一复合靶材的卷对卷溅镀制程生产的制成品，其中，该第一电极图案与该第二电极图案分别形成于该一般金属薄膜与该贵金属薄膜的方式包含激光切割、蚀刻或喷砂。