CN105705290A - 激光加工方法和激光加工设备 - Google Patents

Abstract

一种激光加工方法包括：通过发射激光(29)来在工件(6)中形成通孔(5)；通过用相机拍摄其中形成有通孔(5)的工件的图像来生成图像数据；以及通过基于所生成的图像数据扩大通孔(5)的孔直径来调节通孔(5)的孔直径。

Description

激光加工方法和激光加工设备

技术领域

本发明涉及激光加工方法和激光加工设备。

背景技术

日本专利申请公布第3-199907号(JP3-199907A)描述了以下技术：使用激光束当在由高强度金属材料或陶瓷材料制成的平板状工件中形成预定尺寸的通孔时，在测量通孔的同时形成通孔。更具体地，基于流体流过通孔的每单位时间流量来测量通孔的尺寸。例如，提供了保护气体如氦气来减小由所发射的激光束产生的等离子的阻挡效应。也就是说，流过通孔的流体为保护气体。

虽然在JP3-199907A中所描述的技术能够借助于使用激光束来相对精确地形成通孔，但是在精度方面仍然存在改进的余地。

发明内容

因此，本发明提供了一种通过发射激光来在工件中精确地形成通孔的激光加工方法和激光加工设备。

本发明的第一方面涉及一种激光加工方法，该激光加工方法包括：通过发射激光来在工件中形成通孔；通过用相机拍摄其中形成有通孔的工件的图像来生成图像数据；以及通过基于所生成的图像数据扩大通孔的孔直径来调节通孔的孔直径。根据本发明的该第一方面，能够精确地形成通孔。

在本发明的第一方面，该工件可以具有第一表面和第二表面，激光被发射到该第一表面上，该第二表面在工件的与第一表面相反的一侧。此外，可以通过基于所生成的图像数据扩大通孔在第二表面中的孔直径来调节通孔在第二表面中的孔直径。根据该方法，能够实现通孔在第二表面中的孔直径的精度。此外，在本发明的第一方面，可以通过用相机拍摄工件的第二表面的图像来生成图像数据。根据该方法，能够通过相机毫无困难地拍摄通孔在第二表面中的孔直径的图像，而不管工件的板厚度如何。此外，在本发明的第一方面，当用相机拍摄工件的第二表面的图像时，相机的光轴可以相对于激光的发射方向成一定角度。根据该方法，即使在发射激光的同时，仍然能够通过相机毫无困难地拍摄工件的第二表面的图像。替代地，根据本发明的第一方面的激光加工方法还可以包括：在发射激光的同时，在工件的第二表面与相机之间插入用于阻挡激光的板。根据该方法，能够防止相机被激光损坏。

在本发明的第一方面，可以在工件中形成多个通孔。在JP3-199907A中，通过测量流体流过通孔的流量来估计通孔的孔直径。因此，当在工件中形成多个通孔时，无法单独确定多个通孔的孔直径。与此相反，利用上述方法，因为通过相机来拍摄工件的图像，所以能够单独确定多个通孔的孔直径。

本发明的第二方面涉及一种激光加工设备，该激光加工设备包括：通孔形成单元，其被配置成通过发射激光来在工件中形成通孔；以及相机，其被配置成拍摄其中形成有通孔的工件的图像并且生成工件的图像的图像数据。通孔形成单元被配置成通过基于由相机生成的图像数据扩大通孔的孔直径来调节通孔的孔直径。根据该结构，能够精确地形成通孔。

根据本发明的第二方面，该工件可以具有第一表面和第二表面，激光被发射到该第一表面上，该第二表面在工件的与第一表面相反的一侧。此外，通孔形成单元可以被配置成：通过基于由相机生成的图像数据扩大通孔在第二表面中的孔直径来调节通孔在第二表面中的孔直径。根据该结构，能够实现通孔在第二表面中的孔直径的精度。此外，在本发明的第二方面，相机可以被配置成：拍摄工件的第二表面的图像，并且根据第二表面的图像来生成图像数据。根据该结构，能够通过相机毫无困难地拍摄通孔在第二表面中的孔直径的图像，而不管工件的板厚度如何。此外，在本发明的第二方面，当用相机拍摄工件的第二表面的图像时，相机的光轴可以相对于激光的发射方向成一定角度。根据该结构，即使在发射激光的同时，仍然能够用相机毫无困难地拍摄工件的第二表面的图像。替代地，在本发明的第二方面，通孔形成单元还可以包括板，所述板用于在激光被发射的同时通过被插入到工件的第二表面与相机之间来阻挡激光。根据该结构，能够防止相机被激光损坏。

根据本发明的第一方面和第二方面，能够通过发射激光来在工件中精确地形成通孔。

附图说明

下面将参照附图来描述本发明的示例性实施方式的特征、优点以及技术和工业意义，在附图中相同的附图标记表示相同的要素，并且在附图中：

图1是燃料喷射阀的局部剖视图；

图2是燃料喷射板的俯视图；

图3是示出从燃料喷射孔中喷射的燃料的流量与燃料喷射孔的开口的孔直径之间的关系的曲线图；

图4是图示由于加工方法的差异而引起燃料喷射孔的开口的孔直径的变化的曲线图；

图5是根据本发明的第一示例实施方式的激光束机器的整体视图；

图6是图示根据第一示例实施方式的聚光透镜的光轴与面传感器透镜的光轴之间的关系的视图；

图7是根据第一示例实施方式的控制器的框图；

图8是图示根据第一示例实施方式的燃料喷射孔的加工工艺的视图；

图9是图示根据第一示例实施方式的激光束机器的操作流程的流程图；

图10是图示根据第一示例实施方式的激光加工的加工条件的曲线图；

图11是图示根据第一示例实施方式的燃料喷射孔的开口的孔直径的变化的曲线图；

图12是根据本发明的第二示例实施方式的激光束机器的整体视图；

图13是示出根据第二示例实施方式的聚光透镜的光轴与面传感器透镜的光轴之间的关系的视图；

图14是根据第二示例实施方式的控制器的框图；以及

图15是图示根据第二示例实施方式的激光束机器的操作流程的流程图。

具体实施方式

(燃料喷射阀1)

首先，将参照图1和图2来描述燃料喷射阀1。如图1所示，燃料喷射阀1包括：圆筒形壳体2；环形阀座3；阀体4，其能够在壳体2内部前进和撤回；以及圆形板状燃料喷射板6(即，要加工的工件)，其具有多个燃料喷射孔5(通孔)。当阀体4从环形阀座3移开时，在压力下供给到壳体2中的燃料被供给到燃料喷射板6。燃料喷射板6具有板内表面7(第二表面)和板外表面8(第一表面)，板内表面7与阀体4相对，板外表面8在燃料喷射板6的与板内表面7相反的一侧。燃料喷射板6为例如200微米至300微米。

如图2所示，多个燃料喷射孔5被形成为排成不同直径的两个圆即圆9和圆10。如图1和图2所示，每个燃料喷射孔5被形成为使得从板内表面7朝向板外表面8变宽。如图2所示，当从上方观察板内表面7时，每个燃料喷射孔5在板内表面7中的开口11具有椭圆形状。开口11的这种椭圆形状的长轴与燃料喷射板6的径向方向对准。同样，当从上方观察板内表面7时，每个燃料喷射孔5在板外表面8中的开口12具有椭圆形状。开口12的这种椭圆形状的长轴正交于燃料喷射板6的径向方向。此外，通过将开口12形成为相对于开口11偏移到燃料喷射板6的外周侧，使燃料喷射孔5从板内表面7至板外表面8朝向燃料喷射板6的外周侧倾斜。每个燃料喷射孔5的开口11的孔直径为200微米。这里，术语“孔直径”可以被定义为当开口11为椭圆体时具有与开口11的面积相同的面积的真圆的直径，或者被定义为开口11的长轴或短轴。当一致地通过相同长度来定义孔直径时，可以根据情况来选择这两种定义中的任一种。将供给到燃料喷射板6的燃料经由燃料喷射孔5喷射到圆筒中。

通过数值计算的流体分析的结果，本发明人已经获知：1)每个燃料喷射孔5的开口11的孔直径是从燃料喷射孔5中所喷射的燃料的流量的变化的主导因素；以及2)为了满足当前所需流量的精度，如图3所示，每个燃料喷射孔5的开口11的孔直径的变化必须保持在目标值的±1微米范围内。

然而，如图4所示，照惯例利用通常广泛采用的冲压成型，每个燃料喷射孔5的开口11的孔直径的变化最终达到大约目标值的±3微米。因此，利用冲压成型难以满足所需精度，所以冲压成型后的品质检验和修正过程是必要的。此外，即使采用激光加工来取代冲压成型，也很难使每个燃料喷射孔5的开口11的孔直径的变化保持在目标值的±1微米范围内。因此，如同利用冲压成型一样，冲压成型后的品质检验和修正工艺是必要的。这是因为，即使利用激光束机器，由于时间衰减等，激光输出和激光束直径的变化以及光轴的偏移等仍然是不可避免的。

以下描述了用于解决这些问题的本发明的示例实施方式。

(第一示例实施方式)

在下文中，将参照图5至图11来描述本发明的第一示例实施方式。

激光束机器20(激光加工设备)包括通孔形成单元21(通孔形成装置)和面传感器相机22(相机、成像装置)。

通孔形成单元21包括激光振荡器23、第一检流计镜单元24、第二检流计镜单元25、聚光透镜26、板保持单元27以及控制器28。

例如，激光振荡器23是超短脉冲激光振荡器，其输出作为脉冲光如皮秒激光的激光29。

第一检流计镜单元24包括使激光29偏振的检流计镜30以及使检流计镜30旋转的镜电机31。

第二检流计镜单元25包括使激光29偏振的检流计镜32以及使检流计镜32旋转的镜电机33。

聚光透镜26是使激光29会聚的透镜。聚光透镜26具有光轴P。沿其发射激光29的方向(以下简称为“发射方向”)在对燃料喷射孔5进行加工时每时每刻都发生改变，从而以聚光透镜26的光轴P为中心发生改变。因此，一般说来，可以说激光29的发射方向相当于聚光透镜26的光轴P。

板保持单元27将燃料喷射板6保持作为使得燃料喷射板6能够沿圆周方向旋转的工件。板保持单元27具有使燃料喷射板6沿圆周方向旋转的致动器和夹住燃料喷射板6的夹具。通过板保持单元27来保持燃料喷射板6，使得激光29以一定角度被发射到板外表面8上。

面传感器相机22是具有辅助图像传感器和多个透镜的相机。面传感器相机22具有光轴Q。如图6所示，面传感器相机22被布置在燃料喷射板6的与聚光透镜26相反的一侧，以便能够拍摄燃料喷射板6的板内表面7的图像。面传感器相机22被布置成使得光轴Q正交于燃料喷射板6的板内表面7。因此，面传感器相机22的光轴Q相对于聚光透镜26的光轴P成一定角度。

如图7所示，控制器28是用于对激光振荡器23、第一检流计镜单元24、第二检流计镜单元25以及板保持单元27的操作进行控制的装置。如图7所示，控制器28包括作为中央处理单元的CPU34(中央处理单元)、可读写RAM35(随机存取存储器)以及只读ROM36(只读存储器)。CPU34读取和执行存储在ROM36中的控制程序。当执行该控制程序时，该控制程序使硬件即CPU34等执行振荡器控制部37、镜控制部38、相机控制部39、图像数据获得部40、图像数据分析部41、孔直径差计算部42以及反馈控制部43的功能。

振荡器控制部37控制控制器28的操作(例如输出)。通过增加和减小激光29的脉冲能量和脉冲频率来调节激光振荡器23的输出。

通过控制第一检流计镜单元24和第二检流计镜单元25的操作，镜控制部38在燃料喷射板6上扫描激光29的发射位置。

相机控制部39控制面传感器相机22的操作。

图像数据获得部40获得由面传感器相机22生成的图像数据(成像数据)，并且将图像数据存储在RAM35中。

图像数据分析部41通过从RAM35中读取图像数据并且对图像数据进行分析来测量燃料喷射孔5的开口11的孔直径，并且将孔直径数据存储在RAM35中。

孔直径差计算部42从RAM35中读取孔直径数据，并且计算孔直径数据与目标值之间的差。

反馈控制部43基于由孔直径差计算部42计算出的差来对振荡器控制单元37和镜控制部38进行反馈控制。更具体地，反馈控制部43对振荡器控制部37和镜控制部38进行反馈控制，使得由孔直径差计算部42计算出的差小于预定值。

利用上述结构，沿着燃料喷射板6的板外表面8上的椭圆形路径扫描激光29的发射位置，并且如图8所示，通过用第一检流计镜单元24和第二检流计镜单元25使从激光振荡器23输出的激光29适当地偏振来对燃料喷射板6进行激光加工。

接下来，将参照图8至图10来描述激光束机器20的操作。

首先，当激光束机器20的操作者将燃料喷射板6紧固至板保持单元27并且按压预定按钮(S100)时，振荡器控制部37通过控制激光振荡器23以开始输出激光29(S110，时间t0)。

接下来，激光束机器20大致地对燃料喷射板6中的燃料喷射孔5进行加工(S120，时间t0至时间t1)。也就是说，激光束机器20大致地对燃料喷射板6中的燃料喷射孔5进行加工，使得燃料喷射孔5的开口11的孔直径为目标值的90％至99％。更具体地，如图10所示，激光29的发射位置的扫描半径最初从时间t0至时间t1急剧增加，并且随后在此之后逐渐增加。从时间t0至时间t1，激光29的输出保持在用于在燃料喷射板6中形成通孔所需的预定值处。从时间t0至时间t1，开口11的椭圆率保持在大约70％处。这里，术语“椭圆率”是指长轴与短轴之间的比率。当椭圆率为100％时，开口11为真圆。当椭圆率小于100％时并且当椭圆率大于100％时，长轴和短轴交换位置。

接下来，振荡器控制部37通过控制激光振荡器23来停止输出激光29(步骤S130，时间t1)。更具体地，如图10所示，在时间t1处，激光29的发射位置的扫描半径减半并且将激光29的输出设置为零，使得椭圆率为100％。

接下来，测量燃料喷射孔5的开口11的孔直径(S140，时间t1至时间t2)。更具体地，激光29向面传感器相机22输出成像命令，以拍摄燃料喷射板6的板内表面7的图像。然后面传感器相机22拍摄燃料喷射板6的板内表面7的图像，生成图像数据，并且将所生成的图像数据输出至控制器28。图像数据获得部40获得从面传感器相机22输出的图像数据，并且将图像数据存储在RAM35中。图像数据分析部41通过从RAM35中读取图像数据并且对图像数据进行分析来测量燃料喷射孔5的开口11的孔直径，并且将孔直径数据存储在RAM35中。

接下来，孔直径差计算部42从RAM35中读取孔直径数据，并且计算孔直径数据与目标值之间的差(S150)。

接下来，反馈控制部43基于由孔直径差计算部42计算出的差来对振荡器控制单元37和镜控制部38进行反馈控制(S160至S210，时间t2至时间t3)。更具体地，反馈控制部43对振荡器控制部37和镜控制部38进行反馈控制，使得由孔直径差计算部42计算出的差小于预定值(在S210中为是)。

也就是说，振荡器控制部37控制激光振荡器23以重新开始输出激光29(S160，时间t2)，并且随后通过如图8的“孔直径调节”所示的那样扩大燃料喷射孔5的开口11的孔直径来调节燃料喷射孔5的开口11的孔直径(S170，时间t2至时间t3)。如图10所示，在时间t2处，反馈控制部43将激光29的发射位置的扫描半径增大到与在时间t1处激光29的发射位置的扫描半径相等的值。然后从时间t2至时间t3，反馈控制部43逐渐增加激光29的发射位置的扫描半径，使得所获得的孔直径之间的差消失。在时间t2处，反馈控制部43将激光29的输出增加到与在时间t1处激光29的输出相同的值，并且从时间t2至时间t3保持该值。反馈控制部43在时间t2处将开口11的椭圆率返回至大约70％，并且从时间t2至时间t3保持该值。

接下来，振荡器控制部37通过控制激光振荡器23来停止输出激光29(S180，时间t3)。如图10所示，在时间t3处，振荡器控制部37使激光29的发射位置的扫描半径减半，将激光29的输出设置为零，并且使椭圆率为100％。

接下来，测量燃料喷射孔5的开口11的孔直径(S190)。

接下来，孔直径差计算部42从RAM35中读取孔直径数据，并且计算孔直径数据与目标值之间的差(S200)。

接下来，反馈控制部43将差值与预定值(例如1微米)进行比较，并且如果确定该差值小于预定值(即，在S210中为是)，则该过程进行至步骤S220。另一方面，如果确定该差值等于或大于预定值(即，在S210中为否)，则该过程返回至步骤S160。

在步骤S220中，振荡器控制部37控制激光振荡器23以重新开始输出激光29(S220，时间t4)，并且随后如图8中的“逐渐变窄过程”所示的那样(S230)，使燃料喷射板6的燃料喷射孔5逐渐变窄。如图10所示，在时间t4处，激光29的发射位置的扫描半径增加到与在时间t3处的激光29的发射位置的扫描半径相同的值，并且随后从时间t4至时间t5逐渐增加。在时间t4处，激光29的输出增加到在时间t3处的激光29的输出的大约一半，并且随后从时间t3至时间t4逐渐减小。在时间t4处开口11的椭圆率返回到大约70％，并且随后从时间t4至t5，该值逐渐增大至大约130％。作为结果，在燃料喷射板6中形成从板外表面8朝向板内表面7逐渐变窄的燃料喷射孔5。

接下来，振荡器控制部37控制激光振荡器23以停止输出激光29(S240，时间t5)，然后该过程结束(S250)。

如图11所示，利用上述激光束机器20，能够使每个燃料喷射孔5的开口11的孔直径的变化保持在目标值的±1微米范围内。

以上所述的第一示例实施方式具有下述特征。

根据第一示例实施方式的激光加工方法具有以下步骤：通过发射激光29来在燃料喷射板6(工件)中形成燃料喷射孔5(通孔)的第一步骤(S120)；用面传感器相机22拍摄其中形成有燃料喷射孔5的燃料喷射板6的图像并且生成图像数据(成像数据)的第二步骤(S140)；以及通过基于在第二步骤(S140)中所生成的图像数据扩大燃料喷射孔5的孔直径来调节燃料喷射孔5的孔直径的第三步骤(S170)。根据该方法，能够精确地形成燃料喷射孔5。此外，燃料喷射板6具有板外表面8(即第一表面)和板内表面7(即第二表面)，激光29被发射到该板外表面8上，该板内表面7在燃料喷射板6的与板外表面8相反的一侧。在第三步骤(S170)中，通过基于在第二步骤(S140)中所生成的图像数据扩大燃料喷射孔5在板内表面7中的孔直径来调节燃料喷射孔5在板内表面7中的孔直径。根据该方法，能够实现燃料喷射孔5在板内表面7中的孔直径的精度。此外，在第二步骤(140)中，由面传感器相机22拍摄燃料喷射板6的板内表面7的图像，并且生成图像数据。根据该方法，即使在发射激光29的同时，仍然能够由面传感器相机22毫无困难地拍摄燃料喷射板6的板内表面7的图像。另外，在燃料喷射板6中形成有多个燃料喷射孔5。也就是说，在JP3-199907A中，因为通过测量流体流过通孔的流量来估计通孔的孔直径，所以当在工件中形成多个通孔时，无法单独确定多个通孔的孔直径。与此相反，利用上述方法，因为由面传感器相机22拍摄燃料喷射板6的图像，所以能够单独确定多个通孔的孔直径。

根据本发明的第一示例实施方式的激光束机器20包括通孔形成单元21(即通孔形成装置)，其用于通过发射激光29来在燃料喷射板6中形成燃料喷射孔5；以及面传感器相机22，其被配置成拍摄其中形成有燃料喷射孔5的燃料喷射板6的图像并且生成图像数据。通孔形成单元21被配置成：通过基于由面传感器相机22生成的图像数据扩大燃料喷射孔5的孔直径来调节燃料喷射孔5的孔直径。根据该结构，能够实现燃料喷射孔5在板内表面7中的孔直径的精度。此外，面传感器相机22拍摄燃料喷射板6的板内表面7的图像，并且生成图像数据。根据该结构，能够毫无困难地拍摄燃料喷射孔5在板内表面7的孔直径的图像，而不管燃料喷射板6的板厚度如何。另外，当由面传感器相机22拍摄燃料喷射板6的板内表面7的图像时，面传感器相机22的光轴Q相对于激光29的发射方向(即聚光透镜26的光轴P)成一定角度。根据该结构，即使在发射激光29的同时，面传感器相机22仍然能够毫无困难地拍摄燃料喷射板6的板内表面7的图像。

可以使用线传感器相机来代替面传感器相机22。

此外，使用楔形板的光束旋转器可以用于代替第一检流计镜单元24和第二检流计镜单元25。

(第二示例实施方式)

接下来，将参照图12至图15来描述本发明的第二示例实施方式。对第二实施方式的描述将重点放在与第一示例实施方式的不同点上。将省略多余的描述。

在该示例实施方式中，面传感器相机22的光轴Q与激光29的发射方向(即聚光透镜26的光轴P)对准，如图12和图13所示。

通孔形成单元21还包括快门单元50。快门单元50具有快门51(屏障或板)以及快门致动器52(屏障驱动装置)。快门51是阻挡激光29的屏障物。快门致动器52是用于在聚光透镜26与面传感器相机22之间插入快门51以及从聚光透镜26与面传感器相机22之间撤回快门51的致动器。

如图14所示，该示例实施方式中的控制程序使硬件即CPU34等还执行快门控制部53(快门控制装置)的功能。

快门控制部53控制快门致动器52的操作。

接下来，将参照图15来描述激光束机器20的操作。

在第一示例实施方式中，在如图9所示的步骤S130和步骤S180中，振荡器控制部37控制激光振荡器23以停止输出激光29。然而，代替以上，在第二示例实施方式中，在如图15所示的步骤S130和步骤S180中快门控制部53控制快门致动器52以将快门51移动到能够阻挡激光29的位置。

在第一示例实施方式中，在如图9所示的步骤S160和步骤S220中，振荡器控制部37控制激光振荡器23以重新开始输出激光29。但是，代替以上，在第二示例实施方式中，在如图15所示的步骤S160和步骤220中快门控制部53控制快门致动器52以将快门51移动到不会阻挡激光29的位置。

以上所述的第二示例实施方式具有下述特征。

在发射激光29的同时，在燃料喷射板6的板内表面7与面传感器相机22之间插入用于阻挡激光29的快门51(板)。根据该方法，能够防止面传感器相机22被激光29损坏。激光束机器20还包括快门51，该快门51用于在发射激光29的同时通过被插入到燃料喷射板6的板内表面7与面传感器相机22之间来阻挡激光29。根据该结构，能够防止面传感器相机22被激光29损坏。

Claims (12)

1.一种激光加工方法，包括：

通过发射激光来在工件中形成通孔；

通过用相机拍摄其中形成有所述通孔的所述工件的图像来生成图像数据；以及

通过基于所生成的图像数据扩大所述通孔的孔直径来调节所述通孔的孔直径。

2.根据权利要求1所述的激光加工方法，其中，

所述工件具有第一表面和第二表面，所述激光被发射到所述第一表面上，所述第二表面在所述工件的与所述第一表面相反的一侧；以及

通过基于所生成的图像数据扩大所述通孔在所述第二表面中的孔直径来调节所述通孔在所述第二表面中的孔直径。

3.根据权利要求2所述的激光加工方法，其中，

通过用所述相机拍摄所述工件的所述第二表面的图像来生成所述图像数据。

4.根据权利要求3所述的激光加工方法，其中，

当用所述相机拍摄所述工件的所述第二表面的图像时，所述相机的光轴相对于所述激光的发射方向成一定角度。

5.根据权利要求3所述的激光加工方法，进一步包括：

在发射所述激光的同时，在所述工件的所述第二表面与所述相机之间插入用于阻挡所述激光的板。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的激光加工方法，其中，

在所述工件中形成多个通孔。

7.一种激光加工设备，包括：

通孔形成单元，其被配置成通过发射激光来在工件中形成通孔；以及

相机，其被配置成：拍摄其中形成有所述通孔的所述工件的图像，并且生成所述工件的图像的图像数据，其中，

所述通孔形成单元被配置成：通过基于由所述相机生成的所述图像数据扩大所述通孔的孔直径来调节所述通孔的孔直径。

8.根据权利要求7所述的激光加工设备，其中，

所述工件具有第一表面和第二表面，所述激光被发射到所述第一表面上，所述第二表面在所述工件的与所述第一表面相反的一侧；以及

所述通孔形成单元被配置成：通过基于由所述相机生成的所述图像数据扩大所述通孔在所述第二表面中的孔直径来调节所述通孔在所述第二表面中的孔直径。

9.根据权利要求8所述的激光加工设备，其中，

所述相机被配置成：拍摄所述工件的所述第二表面的图像，并且根据所述第二表面的图像生成所述图像数据。

10.根据权利要求9所述的激光加工设备，其中，

当用所述相机拍摄所述工件的所述第二表面的图像时，所述相机的光轴相对于所述激光的发射方向成一定角度。

11.根据权利要求10所述的激光加工设备，其中，

所述通孔形成单元具有板保持单元，所述板保持单元被配置成保持所述工件的所述第二表面相对于所述激光的发射方向成一定角度。

12.根据权利要求9所述的激光加工设备，其中，

所述通孔形成单元还包括板，所述板用于在发射所述激光的同时通过被插入到所述工件的所述第二表面与所述相机之间来阻挡所述激光。