CN102554465A - 应用于激光加工的旋转光学设计 - Google Patents

应用于激光加工的旋转光学设计 Download PDF

Info

Publication number
CN102554465A
CN102554465A CN2012100283177A CN201210028317A CN102554465A CN 102554465 A CN102554465 A CN 102554465A CN 2012100283177 A CN2012100283177 A CN 2012100283177A CN 201210028317 A CN201210028317 A CN 201210028317A CN 102554465 A CN102554465 A CN 102554465A
Authority
CN
China
Prior art keywords
rotary optical
optical design
laser
polarizer
rotary
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2012100283177A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102554465B (zh
Inventor
黄见洪
葛燕
翁文
刘华刚
阮开明
邓晶
郑晖
李锦辉
史裴
戴殊韬
吴鸿春
林文雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujian Institute of Research on the Structure of Matter of CAS
Original Assignee
Fujian Institute of Research on the Structure of Matter of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujian Institute of Research on the Structure of Matter of CAS filed Critical Fujian Institute of Research on the Structure of Matter of CAS
Priority to CN201210028317.7A priority Critical patent/CN102554465B/zh
Publication of CN102554465A publication Critical patent/CN102554465A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102554465B publication Critical patent/CN102554465B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)

Abstract

本发明涉及一种应用于激光加工的旋转光学设计。由偏振器,λ/4波片,高速旋转电机,全反镜,聚焦镜组等组成;可以实现高质量孔形、高径深比微孔高效加工,同时可以调整微孔锥度。本发明对于降低旋转光学技术难度和成本实现产业化,具有重要的实际意义。

Description

应用于激光加工的旋转光学设计
技术领域
本发明一种应用于激光加工的旋转光学设计,涉及一种应用于激光钻孔、激光切割等激光加工设备的激光旋转光学设计,属于激光精密加工领域。
背景技术
随着航空航天、电子、仪表及医疗器械等工业的发展,许多高精尖产品的关键零部件,如飞机防冰系统、航空发动机气冷式叶片、陀螺仪表零件、计算机打印头、发动机喷油嘴、陶瓷钻孔、心血管支架等都由许多微孔组成,以完成特定功能,从而提高产品的性能。这些微孔的特点是:尺寸微小,数量巨大,费工费时,加工精度要求高,形状复杂,加工难度大。因此,微小孔的优质、高效、低成本加工已成为现代制造技术的关键之一。
激光钻孔(切割)是一种最早达到实用化的激光加工技术,也是激光加工的主要领域之一。激光钻孔具有效果好、通用性强、效率高、成本低和工装少等优点。激光钻孔的经济效益随着加工孔的深径比增大而增加;对于超硬工件孔的加工,采用激光经济效益最为显著。
传统的激光钻孔方式使用脉冲进行加工,或采用激光和运动平台插补方式来钻孔。该种加工方式加工出来的孔的边缘效果很粗糙,且加工的孔有锥度圆度不高,而且由于聚焦镜的特性,不能加工小而深的孔,而且加工效率低下。目前最先进的钻孔方式为旋转钻孔,由德国人申请专利(WO 2007/000194A1),该专利通过在高速转动电机中空的中轴上固定棱镜或反射镜组,使激光光束高速旋转;同时通过楔形镜片组实现光束倾角调节和钻孔大小控制。该旋转钻孔专利采用了中空中轴电机以及多片镜片实现激光钻孔功能,不仅技术难度大、装配复杂,而且成本高昂。
在旋转钻孔方面,国内也有厂家进行了相关技术的研究。苏州德龙激光有限公司申请并公开了一个“应用于激光加工设备的激光螺旋旋转光学模组”(申请号:201010537114.1),该专利中介绍了旋转光学模组各部件实现的功能,但没有介绍其实现的光学原理。
发明内容
本发明的目的在于提出一个相对简洁的旋转光学设计方案,可以实现高质量孔形、高径深比、锥度可调微孔高效加工,并对于降低旋转光学实现难度,降低成本实现产业化,具有重要的实际意义。
本发明一种应用于激光加工的旋转光学设计由偏振器,λ/4波片,高速旋转电机,全反镜,聚焦镜组等组成。入射激光经过偏振片的反射,透过过λ/4波片,由全反镜反射后,第二次透过λ/4波片改变偏振方向后,透过偏振片,经过聚焦镜聚焦到工件上进行加工。全反镜片固定于高速旋转电机的旋转轴上可实现俯仰调节,而偏振器也可俯仰调节,二者相互配合用于调整微孔的锥度;偏振器的水平平移则可以控制钻孔的直径大小;而聚焦镜组的高低控制可以实现焦点上下微调。偏振器和全反镜三维配合调节实现了钻孔直径和锥度精确控制。
本发明实现了对高质量高径深比微孔的加工,并可精确调节加工孔锥度,大大提高了钻孔的加工效率,具有使用光学元件少,成本低,控制简单等优点。
附图说明
附图为旋转光学设计示意图
具体实施方式:
下面结合附图对本发明技术方案作进一步说明
偏振方向为s偏振的入射激光经过偏振器1的反射,透过过λ/4波片2,激光偏振方向变为圆偏振光,圆偏振光由固定于高速旋转电机上4的全反镜3反射后,第二次透过λ/4波片2,偏振方向变为p偏振光,p偏振激光透过偏振器1经过聚焦镜组5聚焦到工件上进行加工。俯仰调节全反镜片3和偏振器1可调整微孔锥度;偏振器1的水平平移则可控制钻孔直径大小;而聚焦镜组5的高低控制可以实现焦点上下微调。

Claims (1)

1.一种应用于激光加工的旋转光学设计,其特征在于:所述旋转光学由偏振器,λ/4波片,高速旋转电机,全反镜,聚焦镜组等组成;偏振器和全反镜俯仰或水平移动的配合调节可以实现钻孔直径和锥度的精确控制。
CN201210028317.7A 2012-02-08 2012-02-08 一种应用于激光加工的旋转光学装置 Active CN102554465B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210028317.7A CN102554465B (zh) 2012-02-08 2012-02-08 一种应用于激光加工的旋转光学装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210028317.7A CN102554465B (zh) 2012-02-08 2012-02-08 一种应用于激光加工的旋转光学装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102554465A true CN102554465A (zh) 2012-07-11
CN102554465B CN102554465B (zh) 2016-07-20

Family

ID=46401804

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210028317.7A Active CN102554465B (zh) 2012-02-08 2012-02-08 一种应用于激光加工的旋转光学装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102554465B (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103252585A (zh) * 2013-05-15 2013-08-21 深圳市大族激光科技股份有限公司 激光切割头及使用该激光切割头进行小孔加工的方法
CN105705290A (zh) * 2013-11-18 2016-06-22 丰田自动车株式会社 激光加工方法和激光加工设备
CN113369717A (zh) * 2021-07-07 2021-09-10 广东原点智能技术有限公司 一种激光加工系统及方法
CN114571105A (zh) * 2022-03-11 2022-06-03 苏州思萃声光微纳技术研究所有限公司 一种改进金属贯穿孔的锥角和圆度的激光打孔系统及方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6078420A (en) * 1998-06-24 2000-06-20 Optical Engineering, Inc. Hole-coupled laser scanning system
US20020033384A1 (en) * 2000-08-30 2002-03-21 Kenji Hirose Laser machining apparatus
US6444948B1 (en) * 1997-10-15 2002-09-03 Daimlerchrysler Ag Fine and micro-machining process for workpieces by means of laser beams
US20090045176A1 (en) * 2005-06-28 2009-02-19 Welf Wawers Device for drilling and for removing material using a laser beam
CN101406988A (zh) * 2007-10-12 2009-04-15 深圳市大族激光科技股份有限公司 一种激光割圆设备及其方法
CN101811227A (zh) * 2009-02-24 2010-08-25 王晓东 一种激光打孔方法和装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6444948B1 (en) * 1997-10-15 2002-09-03 Daimlerchrysler Ag Fine and micro-machining process for workpieces by means of laser beams
US6078420A (en) * 1998-06-24 2000-06-20 Optical Engineering, Inc. Hole-coupled laser scanning system
US20020033384A1 (en) * 2000-08-30 2002-03-21 Kenji Hirose Laser machining apparatus
US20090045176A1 (en) * 2005-06-28 2009-02-19 Welf Wawers Device for drilling and for removing material using a laser beam
CN101406988A (zh) * 2007-10-12 2009-04-15 深圳市大族激光科技股份有限公司 一种激光割圆设备及其方法
CN101811227A (zh) * 2009-02-24 2010-08-25 王晓东 一种激光打孔方法和装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103252585A (zh) * 2013-05-15 2013-08-21 深圳市大族激光科技股份有限公司 激光切割头及使用该激光切割头进行小孔加工的方法
CN103252585B (zh) * 2013-05-15 2015-08-05 大族激光科技产业集团股份有限公司 激光切割头及使用该激光切割头进行小孔加工的方法
CN105705290A (zh) * 2013-11-18 2016-06-22 丰田自动车株式会社 激光加工方法和激光加工设备
CN113369717A (zh) * 2021-07-07 2021-09-10 广东原点智能技术有限公司 一种激光加工系统及方法
CN114571105A (zh) * 2022-03-11 2022-06-03 苏州思萃声光微纳技术研究所有限公司 一种改进金属贯穿孔的锥角和圆度的激光打孔系统及方法
CN114571105B (zh) * 2022-03-11 2023-11-17 苏州思萃声光微纳技术研究所有限公司 一种改进金属贯穿孔的锥角和圆度的激光打孔系统及方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN102554465B (zh) 2016-07-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103056519B (zh) 一种锥度可控的激光微孔加工光束扫描装置及其控制方法
CN102554465A (zh) 应用于激光加工的旋转光学设计
CN102139376B (zh) 一种自由曲面棱镜加工方法
CN102248307B (zh) 用于不同极限孔径的紫外激光双光头精细加工装置及方法
CN101856772A (zh) 一种光束旋转振镜扫描聚焦加工系统
CN203265914U (zh) 一种大幅面微孔高速钻孔系统
CN102615425A (zh) 一种基于折射式扫描系统的激光异形微孔的加工系统
CN205733425U (zh) 一种变焦激光扫描切割装置
CN203610672U (zh) 一种用于精密车床的三维椭圆金刚石振动切削装置
WO2022052162A1 (zh) 一种含双抛物面镜动态聚焦模块的三维扫描系统
CN103658975A (zh) 一种激光分束加工装置
CN102773605A (zh) 一种旋转光束模块组激光运动轨迹控制系统
CN104690432A (zh) 一种精密激光切割及微孔加工装置
CN103394807A (zh) 利用激光边缘切割提高金属熔覆沉积增材制造精度的方法及装置
CN113210636B (zh) 一种移轴对中式微透镜阵列加工装置及方法
CN101450420B (zh) 大台面数控激光切割机
CN103817368A (zh) 激光和机械组合加工碳纤维复合材料的方法
CN104175003A (zh) 一种激光加工系统及多路激光加工装置
CN203712073U (zh) 一种激光分束加工装置
CN104889564A (zh) 一种多头激光切割头
CN104309003A (zh) 一种复合振动超声铣削主轴
CN103111630B (zh) 一种曲面棱镜费里棱镜的加工方法
CN204397161U (zh) 一种小型光纤切割头
CN202207858U (zh) 用于不同极限孔径的紫外激光双光头精细加工装置
CN213531632U (zh) 一种精密加工刀具

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant