CN105586640B - 碲镓银单晶体的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种碲镓银单晶体的制备方法,用于解决现有碲镓银晶体的方法实用性差的技术问题。技术方案是首先将高纯原料碲镓银加热到银的熔点,使碲镓银三种原料充分熔化反应,转动炉体使反应充分进行,之后以一定的速率降温到凝固点,断开炉体开关,以炉冷速率降温到室温。然后将合成的多晶料放入布里奇曼法生长炉中,以一定的加热,并过热保温一段时间后,在温场为10‑15℃/cm,结晶温度为712℃处开始生长,生长完成后在670‑680℃停留一段时间,进行原位退火,之后以5℃/h的冷却速率降到室温。由于采用加热到银的熔点温度来实现多晶料的合成,生长单晶时采用10‑15℃/cm的温场,成分过冷促进了碲镓银单晶的生长。
Description
技术领域
本发明属于I-III-VI2族半导体材料制备领域,特别是涉及一种碲镓银单晶体的制备方法。
背景技术
半导体核辐射探测器在安检、工业探伤、医学诊断、天体X射线望远镜、基础学科研究等领域具有广泛的应用前景。
文献1“Alan Owens,A.Peacock,Compound Semiconductor Radiation Detectors[J].Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A 2004,531,18-37”报道了硅用于核辐射探测器,但碲镓银与硅相比,平均原子序数高,对射线有更高的阻止本领,探测效率高。
文献2“Gmelin's Handbuch der anorganischen Chemie,Verlag Chemie GmbHWeinheim.Bergstrasse,5nd Edition.Silber,Teil B3,1973”报道了Ag2Te具有很高的电子迁移率,所以推测碲镓银也具有很高的电子迁移率,能够提高探测器的能量分辨率;与高纯Ge相比,碲镓银具有较大的禁带宽度,根据文献“Aravinth K,Anandha Babu G,RamasamyP.Silver gallium telluride(AgGaTe2)single crystal:Synthesis,acceleratedcrucible rotation-Bridgman growth and characterization.Materials Science inSemiconductor Processing.2014,24,44-49”报道碲镓银的禁带宽度在1.8ev,保证探测器在室温下工作时,具有较高的电阻率和较低的漏电流;同GaTe等半导体相比,碲镓银具有易切削加工等特点,确保了器件性能的稳定性。
文献3“Aravinth K,Anandha Babu G,Ramasamy P.Silver gallium telluride(AgGaTe2)single crystal:Synthesis,accelerated crucible rotation-Bridgmangrowth and characterization.Materials Science in SemiconductorProcessing.2014,24,44-49”公开了一种AgGaTe2的制备方法,该方法采用在500℃到745℃之间反复加热合料的方法制备多晶料,生长单晶时加热到745℃,之后在3℃/cm的温场处以5mm/day的速度生长晶体,具体的结晶温度和保温时间等未给出详细介绍。
文献4“A.Burger,J.-O.Ndap,Y.Cui,U.Roy,S.Morgan,K.Chattopadhyay,X.Ma,K.Faris,S.Thibaud,R.Miles,H.Mateen,J.T.Goldstein,C.J.Rawn,Preparation andthermophysical properties of AgGaTe2crystals,Journal of Crystal Growth,2001,225(2–4),505-511”采用籽晶法生长AgGaTe2单晶,设定2-3℃/cm的温场,但籽晶法较为繁琐。
上述文献公开的温场均较小难以生长出单晶,且缺少关键信息。
发明内容
为了克服现有碲镓银晶体的方法实用性差的不足,本发明提供一种碲镓银单晶体的制备方法。该方法首先将高纯原料碲镓银加热到银的熔点,使碲镓银三种原料充分熔化反应,转动炉体使反应充分进行,之后以一定的速率降温到凝固点,断开炉体开关,以炉冷速率降温到室温。然后将合成的多晶料放入布里奇曼法生长炉中,以一定的加热,并过热保温一段时间后,在温场为10-15℃/cm,结晶温度为712℃处开始生长,生长完成后在670-680℃停留一段时间,进行原位退火,之后以5℃/h的冷却速率降到室温。由于在制备多晶料时,采用加热到银的熔点温度来实现晶体的合成,转动炉体促进反应合成,从而降低反应时间;生长单晶时采用10-15℃/cm的温场,成分过冷促进了碲镓银单晶的生长。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种碲镓银单晶体的制备方法,其特点是包括以下步骤:
步骤一、按照摩尔比1:1:2分别将纯度为99.9999%的银、镓和碲单质原材料装入到干燥洁净的石英坩埚中,轻摇石英坩埚,使银、镓和碲单质原材料分布均匀。
步骤二、对装料的石英坩埚抽真空,石英坩埚真空度达到4×10-5Pa时封接。
步骤三、将封接后的石英坩埚放入高温摇摆合料炉中,在400~450℃的低温区,采用70~100℃/h的加热速率,加热到450℃时保温3~5小时,在450~960℃的中温区,采用40~50℃/h的加热速率,加热到960℃时保温,开启合料炉转动开关,以3rpm速率匀速转动3~5小时,之后保温3~5小时后降温。
步骤四、降温时,采用40~50℃/h的速率,达到凝固温度712℃直接断电,让晶体随炉冷却到室温,得到多晶料。
步骤五、将步骤四得到的多晶料加工成小块颗粒,装入干燥洁净的石英坩埚中,使颗粒均匀分布在石英坩埚中。
步骤六、对装好多晶料的石英坩埚抽真空,石英坩埚真空度达到4×10-5Pa时封接。
步骤七、将封接的石英坩埚装入晶体炉中预设位置,之后加热两段炉,上炉预设温度750℃,下炉预设温度700℃,加热速率80~100℃/h,达到过热温度745℃后保温10~15小时。
步骤八、以石英坩埚下降速率0.4~0.5mm/h,在温场为10~15℃/cm,结晶温度为712℃处开始生长,生长240小时后,将上下炉温度设为一致,均为670~680℃,使晶体在此温度退火20h,之后以5℃/h的速率降温到室温,得到碲镓银单晶体。
本发明的有益效果是:该方法首先将高纯原料碲镓银加热到银的熔点,使碲镓银三种原料充分熔化反应,转动炉体使反应充分进行,之后以一定的速率降温到凝固点,断开炉体开关,以炉冷速率降温到室温。然后将合成的多晶料放入布里奇曼法生长炉中,以一定的加热,并过热保温一段时间后,在温场为10-15℃/cm,结晶温度为712℃处开始生长,生长完成后在670-680℃停留一段时间,进行原位退火,之后以5℃/h的冷却速率降到室温。由于在制备多晶料时,采用加热到银的熔点温度来实现晶体的合成,转动炉体促进反应合成,从而降低反应时间;生长单晶时采用10-15℃/cm的温场,成分过冷促进了碲镓银单晶的生长。
下面结合具体实施方式对本发明作详细说明。
具体实施方式
实施例1:
步骤一、按照摩尔比1:1:2分别将纯度为99.9999%的银、镓和碲单质原材料装入到干燥洁净的石英坩埚中,轻摇石英坩埚,使银、镓和碲单质原材料分布均匀。
步骤二、对装料的石英坩埚抽真空,石英坩埚真空度达到4×10-5Pa时封接。
步骤三、将封接后的石英坩埚放入高温摇摆合料炉中,在400℃的低温区,采用70℃/h的加热速率,加热到450℃时保温3小时,在450℃的中温区,采用40℃/h的加热速率,加热到960℃时保温,开启合料炉转动开关,以3rpm速率匀速转动3小时,之后保温3小时后降温。
步骤四、降温时,采用40℃/h的速率,达到凝固温度712℃直接断电,让晶体随炉冷却到室温,得到多晶料。
步骤五、将步骤四得到的多晶料加工成小块颗粒,装入干燥洁净的石英坩埚中,使颗粒均匀分布在石英坩埚中。
步骤六、对装好多晶料的石英坩埚抽真空,石英坩埚真空度达到4×10-5Pa时封接。
步骤七、将封接的石英坩埚装入晶体炉中预设位置,之后加热两段炉,上炉预设温度750℃,下炉预设温度700℃,加热速率80℃/h,达到过热温度745℃后保温10小时。
步骤八、以石英坩埚下降速率0.4mm/h,在温场为12℃/cm,结晶温度为712℃处开始生长,生长240小时后,将上下炉温度设为一致,均为670℃,使晶体在此温度退火20h,之后以5℃/h的速率降温到室温,得到碲镓银单晶体。
实施例2:
步骤一、按照摩尔比1:1:2分别将纯度为99.9999%的银、镓和碲单质原材料装入到干燥洁净的石英坩埚中,轻摇石英坩埚,使银、镓和碲单质原材料分布均匀。
步骤二、对装料的石英坩埚抽真空,石英坩埚真空度达到4×10-5Pa时封接。
步骤三、将封接后的石英坩埚放入高温摇摆合料炉中,在425℃的低温区,采用85℃/h的加热速率,加热到450℃时保温4小时,在700℃的中温区,采用45℃/h的加热速率,加热到960℃时保温,开启合料炉转动开关,以3rpm速率匀速转动4小时,之后保温4小时后降温。
步骤四、降温时,采用45℃/h的速率,达到凝固温度712℃直接断电,让晶体随炉冷却到室温,得到多晶料。
步骤五、将步骤四得到的多晶料加工成小块颗粒,装入干燥洁净的石英坩埚中,使颗粒均匀分布在石英坩埚中。
步骤六、对装好多晶料的石英坩埚抽真空,石英坩埚真空度达到4×10-5Pa时封接。
步骤七、将封接的石英坩埚装入晶体炉中预设位置,之后加热两段炉,上炉预设温度750℃,下炉预设温度700℃,加热速率90℃/h,达到过热温度745℃后保温13小时。
步骤八、以石英坩埚下降速率0.4mm/h,在温场为12℃/cm,结晶温度为712℃处开始生长,生长240小时后,将上下炉温度设为一致,均为675℃,使晶体在此温度退火20h,之后以5℃/h的速率降温到室温,得到碲镓银单晶体。
实施例3:
步骤一、按照摩尔比1:1:2分别将纯度为99.9999%的银、镓和碲单质原材料装入到干燥洁净的石英坩埚中,轻摇石英坩埚,使银、镓和碲单质原材料分布均匀。
步骤二、对装料的石英坩埚抽真空,石英坩埚真空度达到4×10-5Pa时封接。
步骤三、将封接后的石英坩埚放入高温摇摆合料炉中,在450℃的低温区,采用100℃/h的加热速率,加热到450℃时保温5小时,在960℃的中温区,采用50℃/h的加热速率,加热到960℃时保温,开启合料炉转动开关,以3rpm速率匀速转动5小时,之后保温5小时后降温。
步骤四、降温时,采用50℃/h的速率,达到凝固温度712℃直接断电,让晶体随炉冷却到室温,得到多晶料。
步骤五、将步骤四得到的多晶料加工成小块颗粒,装入干燥洁净的石英坩埚中,使颗粒均匀分布在石英坩埚中。
步骤六、对装好多晶料的石英坩埚抽真空,石英坩埚真空度达到4×10-5Pa时封接。
步骤七、将封接的石英坩埚装入晶体炉中预设位置,之后加热两段炉,上炉预设温度750℃,下炉预设温度700℃,加热速率100℃/h,达到过热温度745℃后保温15小时。
步骤八、以石英坩埚下降速率0.5mm/h,在温场为15℃/cm,结晶温度为712℃处开始生长,生长240小时后,将上下炉温度设为一致,均为680℃,使晶体在此温度退火20h,之后以5℃/h的速率降温到室温,得到碲镓银单晶体。
Claims (1)
1.一种碲镓银单晶体的制备方法,其特征在于包括以下步骤:
步骤一、按照摩尔比1:1:2分别将纯度为99.9999%的银、镓和碲单质原材料装入到干燥洁净的石英坩埚中,轻摇石英坩埚,使银、镓和碲单质原材料分布均匀;
步骤二、对装料的石英坩埚抽真空,石英坩埚真空度达到4×10-5Pa时封接;
步骤三、将封接后的石英坩埚放入高温摇摆合料炉中,在400~450℃的低温区,采用70~100℃/h的加热速率,加热到450℃时保温3~5小时,在450~960℃的中温区,采用40~50℃/h的加热速率,加热到960℃时保温,开启合料炉转动开关,以3rpm速率匀速转动3~5小时,之后保温3~5小时后降温;
步骤四、降温时,采用40~50℃/h的速率,达到凝固温度712℃直接断电,让晶体随炉冷却到室温,得到多晶料;
步骤五、将步骤四得到的多晶料加工成小块颗粒,装入干燥洁净的石英坩埚中,使颗粒均匀分布在石英坩埚中;
步骤六、对装好多晶料的石英坩埚抽真空,石英坩埚真空度达到4×10-5Pa时封接;
步骤七、将封接的石英坩埚装入晶体炉中预设位置,之后加热两段炉,上炉预设温度750℃,下炉预设温度700℃,加热速率80~100℃/h,达到过热温度745℃后保温10~15小时;
步骤八、以石英坩埚下降速率0.4~0.5mm/h,在温场为10~15℃/cm、 结晶温度为712℃处开始生长,生长240小时后,将上下炉温度设为一致,均为670~680℃,使晶体在此温度退火20h,之后以5℃/h的速率降温到室温,得到碲镓银单晶体。
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