CN105579841A - 探头、超声波探伤装置以及超声波探伤控制方法 - Google Patents

探头、超声波探伤装置以及超声波探伤控制方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105579841A
CN105579841A CN201480052282.8A CN201480052282A CN105579841A CN 105579841 A CN105579841 A CN 105579841A CN 201480052282 A CN201480052282 A CN 201480052282A CN 105579841 A CN105579841 A CN 105579841A
Authority
CN
China
Prior art keywords
ultrasonic element
length direction
ultrasonic
width
probe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201480052282.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105579841B (zh
Inventor
竹本浩
植松充良
川浪精一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Publication of CN105579841A publication Critical patent/CN105579841A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105579841B publication Critical patent/CN105579841B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G01N29/26—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor
    • G01N29/262—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor by electronic orientation or focusing, e.g. with phased arrays
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
    • B06B1/0622—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
    • B06B1/0629—Square array
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G01N29/24—Probes
    • G01N29/2456—Focusing probes
    • G—PHYSICS
    • G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
    • G10K11/18—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound
    • G10K11/26—Sound-focusing or directing, e.g. scanning
    • G10K11/34—Sound-focusing or directing, e.g. scanning using electrical steering of transducer arrays, e.g. beam steering
    • G10K11/341—Circuits therefor
    • G10K11/346—Circuits therefor using phase variation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/10—Number of transducers
    • G01N2291/106—Number of transducers one or more transducer arrays

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

一种探头(21)，具有：长度方向的长度比宽度方向的长度长的发送接收面(30)；以及设置在发送接收面(30)上的多个超声波元件(31)，所述探头(21)一边相对于与发送接收面(30)相对的被检查对象的被检查面在宽度方向上移动，一边照射超声波，各个超声波元件(31)形成为在长度方向以及宽度方向上长度相同的形状，多个超声波元件(31)在长度方向上排列设置，且在宽度方向上排列设置，以一个以上的超声波元件(31)为规定的照射单位，在整个长度方向上多次照射超声波。

Description

探头、超声波探伤装置以及超声波探伤控制方法
技术领域
本发明涉及一种探头、超声波探伤装置以及超声波探伤控制方法，所述探头向被检查对象照射超声波，并对从被检查对象反射的超声波进行接收。
背景技术
以往，作为照射超声波的探头，众所周知有一种超声波探头，其具有排列成阵列状的多个压电振子(例如，参照专利文献1)。该超声波探头的多个压电振子沿阵列方向以规定螺距排列。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利特许第3505296号公报
发明内容
发明要解决的课题
然而，在专利文献1的超声波探头中，在阵列方向上排列的多个超声波元件(压电振子)的其中一个超声波元件中，当被检查对象的被检查面发生倾斜时，具体而言，在一个超声波元件的与阵列方向垂直的切开方向上，当被检查面的一侧与另一侧的高低差变大时，导致超声波元件与被检查面之间的距离在切开方向上产生偏差，探伤检查所得到的检查结果有可能会产生误差。特别是，当具有被检查面的被检查对象由具有声学异向性的材料构成时，如果距离的偏差导致超声波的照射方向有所不同，则会导致在被检查对象内部传播的超声波产生偏差，可能更易产生误差。
因此，本发明提供了一种即使在被检查对象的被检查面相对于探头的发送接收面倾斜的情况下，也能够稳定地照射超声波的探头、超声波探伤装置以及超声波探伤控制方法。
技术方案
本发明的探头，具有：长度方向的长度比宽度方向的长度长的发送接收面；以及设置在所述发送接收面上的多个超声波元件，所述探头一边相对于与所述发送接收面相对的被检查对象的被检查面在所述宽度方向上移动，一边照射超声波，其特征在于，所述各个超声波元件形成为在所述长度方向以及所述宽度方向上长度相同的形状，所述多个超声波元件在所述长度方向上排列设置，且在所述宽度方向上排列设置，以一个以上的所述超声波元件为规定的照射单位，在整个所述长度方向上多次照射超声波。
根据该结构，由于能够将各个超声波元件的形状设定为在长度方向以及宽度方向上长度相同，因此即使在与超声波元件相对的被检查面发生倾斜的情况下，也能够减小宽度方向的一侧与另一侧的高低差。因此，能够抑制超声波元件与被检查面之间的距离在宽度方向上的偏差，并且能够稳定地向被检查面照射超声波。并且，作为在长度方向以及宽度方向上长度相同的形状，可以是例如正方形等的多边形或圆形等。
另外，优选所述多个超声波元件具有：第1超声波元件组，其配置为在所述长度方向上排成一列；以及第2超声波元件组，其配置为与所述第1超声波元件组在所述宽度方向上相邻，且在所述长度方向上排成一列，其中，所述第1超声波元件组的所述各个超声波元件在所述长度方向上位于所述第2超声波元件组的相邻所述超声波元件的中间，所述照射单位为一个所述超声波元件。
根据该结构，能够以一个超声波元件为照射单位，使第1超声波元件组的各个超声波元件与第2超声波元件组的各个超声波元件沿长度方向交替照射超声波。这时，第1超声波元件组的超声波元件在长度方向上位于第2超声波元件组的相邻超声波元件的中间。因此，能够以比各个超声波元件组的超声波元件之间的间隔还要短的间隔照射超声波，从而能够在长度方向上进行详细的超声波探伤。
并且，优选所述多个超声波元件在所述长度方向以及所述宽度方向上配置成矩阵状，所述照射单位为由在所述长度方向上相邻的多个所述超声波元件和在所述宽度方向上相邻的多个所述超声波元件所包围的、且在所述长度方向以及所述宽度方向上数目相同的超声波元件照射组。
根据该结构，能够以超声波元件照射组为照射单位，沿长度方向照射超声波。由此，与一个超声波元件照射超声波的情况相比，超声波元件照射组能够提高音压，从而能够更加稳定地照射超声波，且能够良好地接收从被检查对象反射的超声波。
并且，优选所述多个超声波元件配置成相对于所述长度方向以及所述宽度方向倾斜规定角度的矩阵状，所述照射单位为由在所述长度方向上相邻的多个所述超声波元件和在所述宽度方向上相邻的多个所述超声波元件所包围的、在所述长度方向以及所述宽度方向上数目相同的超声波元件照射组。
根据该结构，能够以超声波元件照射组为照射单位，沿长度方向照射超声波。由此，与一个超声波元件照射超声波的情况相比，超声波元件照射组能够提高音压，从而能够更加稳定地照射超声波，且能够良好地接收从被检查对象反射的超声波。
并且，优选所述超声波元件照射组通过使除了至少一个所述超声波元件以外的其他所述超声波元件所照射的超声波迟于该至少一个所述超声波元件所照射的超声波，从而使超声波会聚于与所述被检查面垂直的进深方向上的规定的焦点位置。
根据该结构，使超声波元件照射组的多个超声波元件所照射的超声波的照射时序互不相同，从而能够使超声波会聚于规定的焦点位置，即进行所谓的电子聚焦。因此，通过会聚超声波，能够提高音压、提高分辨率，且能够提高超声波探伤的灵敏度。
本发明的超声波探伤装置，其特征在于，具有：所述探头；以及控制所述探头的控制部，其中，所述控制部以一个所述超声波元件为所述照射单位，从所述长度方向的一侧向另一侧，以所述第1超声波元件组的所述超声波元件与第2超声波元件组的所述超声波元件交替的方式使所述照射单位的位置在所述长度方向上互不相同，与此同时进行多次照射超声波的照射控制。
根据该结构，控制部通过在探头的长度方向上多次照射超声波，能够以比各个超声波元件组的超声波元件之间的间隔还要短的间隔照射超声波。因此，能够在长度方向上进行详细的超声波探伤。
本发明的其他的超声波探伤装置，其特征在于，具有：所述探头；以及控制所述探头的控制部，其中，所述控制部以所述超声波元件照射组为所述照射单位，从所述长度方向的一侧向另一侧，使所述照射单位的一部分重复且在所述长度方向上位置不同，与此同时进行多次照射超声波的照射控制。
根据该结构，控制部通过使照射单位的一部分重复地在探头的长度方向上多次照射超声波，从而能够以较短的间隔照射超声波。因此，能够在长度方向上进行详细的超声波探伤。
并且，优选所述控制部在以所述超声波元件照射组为所述照射单位时，一面同时激励所述超声波元件照射组的多个所述超声波元件，从多个所述超声波元件照射超声波，一面用所述各个超声波元件接收从所述被检查对象反射的超声波。
根据该结构，控制部通过同时激励超声波元件照射组的多个超声波元件，与一个超声波元件照射超声波的情况相比，能够提高音压，从而能够更加稳定地照射超声波。并且，由于能够用各个超声波元件进行接收，因此能够详细接收从被检查对象反射的超声波。
另外，优选所述控制部在同时激励所述超声波元件照射组的多个所述超声波元件时，进行延迟控制，使除了至少一个所述超声波元件以外的其他所述超声波元件所照射的超声波迟于该至少一个所述超声波元件所照射的超声波。
根据该结构，使超声波元件照射组的多个超声波元件所照射的超声波的照射时序互不相同，从而能够使超声波会聚于规定的焦点位置，即进行所谓的电子聚焦。因此，通过会聚超声波，能够提高音压、提高分辨率，从而能够提高超声波探伤的灵敏度。
本发明的超声波探伤控制方法为控制探头的超声波探伤方法，所述探头具有：长度方向的长度比宽度方向的长度长的发送接收面；以及设置在所述发送接收面上的多个超声波元件，其中，所述探头一边相对于与所述发送接收面相对的被检查对象的被检查面在所述宽度方向上移动，一边照射超声波，所述超声波探伤控制方法的特征在于，所述各个超声波元件形成为在所述长度方向以及所述宽度方向上长度相同的形状，所述多个超声波元件具有：第1超声波元件组，其配置为在所述长度方向上排成一列；以及第2超声波元件组，其配置为与所述第1超声波元件组在所述宽度方向上相邻，且在所述长度方向上排成一列，其中，所述第1超声波元件组的所述各个超声波元件在所述长度方向上位于所述第2超声波元件组的相邻所述超声波元件的中间，以一个所述超声波元件为照射单位，从所述长度方向的一侧向另一侧，以所述第1超声波元件组的所述超声波元件与所述第2超声波元件组的所述超声波元件交替的方式使所述照射单位的位置在所述长度方向上互不相同，与此同时多次照射超声波。
根据该结构，由于能够使各个超声波元件的形状为在长度方向以及宽度方向上长度相同，因此能够减小宽度方向的一侧与另一侧的高低差，且能够稳定地向被检查面照射超声波。这时，通过在探头的长度方向上多次照射超声波，能够以比各个超声波元件组的超声波元件之间的间隔还要短的间隔照射超声波。因此，能够在长度方向上进行详细的超声波探伤。
本发明的其他的超声波探伤控制方法为控制探头的超声波探伤方法，所述探头具有：长度方向的长度比宽度方向的长度长的发送接收面；以及设置在所述发送接收面上的多个超声波元件，其中，所述探头一边相对于与所述发送接收面相对的被检查对象的被检查面在所述宽度方向上移动，一边照射超声波，所述超声波探伤控制方法的特征在于，所述各个超声波元件形成为在所述长度方向以及所述宽度方向上长度相同的形状，所述多个超声波元件在所述长度方向以及所述宽度方向上配置成矩阵状，以由在所述长度方向上相邻的多个所述超声波元件和在所述宽度方向上相邻的多个所述超声波元件所包围的、在所述长度方向和所述宽度方向上数目相同的超声波元件照射组为照射单位，从所述长度方向的一侧向另一侧，使所述照射单位的一部分重复且在所述长度方向上位置不同，与此同时多次照射超声波。
根据该结构，由于能够使各个超声波元件的形状为在长度方向以及宽度方向上长度相同，因此能够减小宽度方向的一侧与另一侧的高低差，且能够稳定地向被检查面照射超声波。这时，通过使照射单位的一部分重复地在探头的长度方向上多次照射超声波，从而能够以较短的间隔照射超声波。因此，能够在长度方向上进行详细的超声波探伤。
本发明的其他的超声波探伤控制方法为控制探头的超声波探伤方法，所述探头具有：长度方向的长度比宽度方向的长度长的发送接收面；以及设置在所述发送接收面上的多个超声波元件，其中，所述探头一边相对于与所述发送接收面相对的被检查对象的被检查面在所述宽度方向上移动，一边照射超声波，所述超声波探伤控制方法的特征在于，所述各个超声波元件形成为在所述长度方向以及所述宽度方向上长度相同的形状，所述多个超声波元件配置成相对于所述长度方向以及所述宽度方向倾斜规定角度的矩阵状，以由在所述长度方向上相邻的多个所述超声波元件和在所述宽度方向上相邻的多个所述超声波元件所包围的、在所述长度方向和所述宽度方向上数目相同的超声波元件照射组为照射单位，从所述长度方向的一侧向另一侧，使所述照射单位的一部分重复且在所述长度方向上位置不同，与此同时多次照射超声波。
根据该结构，由于能够使各个超声波元件的形状为在长度方向以及宽度方向上长度相同，因此能够减小宽度方向的一侧与另一侧的高低差，且能够稳定地向被检查面照射超声波。这时，通过使照射单位的一部分重复地在探头的长度方向上多次照射超声波，从而能够以较短的间隔照射超声波。因此，能够在长度方向上进行详细的超声波探伤。
附图说明
图1是示意性地表示实施例1所涉及的超声波探伤装置的概要构成图。
图2是表示实施例1所涉及的超声波探伤装置的探头的发送接收面的示意图。
图3是与实施例1所涉及的超声波探伤装置的延迟控制相关的说明图。
图4是表示实施例2所涉及的超声波探伤装置的探头的发送接收面的示意图。
图5是表示实施例3所涉及的超声波探伤装置的探头的发送接收面的示意图。
具体实施方式
接下来基于附图对本发明中所涉及的实施例进行详细说明。并且，此发明并不限于此实施例。另外，在下述实施例的结构要素中，包含所属技术领域的技术人员能够且容易置换的部分、或者本质上相同的部分。
实施例1
图1是示意性地表示实施例1所涉及的超声波探伤装置的概要构成图，图2是表示实施例1所涉及的超声波探伤装置的探头的发送接收面的示意图。另外，图3是与实施例1所涉及的超声波探伤装置的延迟控制相关的说明图。
实施例1的超声波探伤装置1为一边使超声波探头21(以下简称探头)沿被检查对象的被检查面移动，一边从探头21向被检查面照射超声波，对被检查面下的被检查对象的内部进行探伤检查的装置。在此，被检查对象例如用复合材料构成，作为复合材料，使用有碳纤维增强塑料(CFRP：CarbonFiberReinforcedPlastic)。并且，在本实施例中，用CFRP构成了被检查对象，但其并非特定，可以用其他的纤维增强塑料，也可以用铝合金等金属材料来构成被检查对象。
在此，复合材料为具有声学异向性的材料，由于向被检查对象照射的超声波的传播方向的不同，超声波的音速等容易产生偏差。因此，通过探伤检查所得到的检查结果误差变大，由此当被检查对象用具有声学异向性的材料构成时，优选向被检查对象照射的超声波的照射方向为固定的照射方向。
接着，参照图1对超声波探伤装置1进行说明。如图1所示，超声波探伤装置1具有探头21和控制部25。
探头21上形成有发送接收面30，其向被检查对象的被检查面照射超声波，并且对反射的超声波进行接收。如图2所示，发送接收面30形成为长度方向的长度较长，且宽度方向的长度比长度方向的长度短。使探头21在发送接收面30与被检查面相对的状态下沿发送接收面30的宽度方向移动。
该探头21为矩阵阵列式探头21，在发送接受面30上，在长度方向以及宽度方向上排列设置有多个超声波元件31。各个超声波元件31为能够利用压电元件照射超声波并接收超声波的元件。并且，各个超声波元件31形成为在长度方向以及宽度方向上长度相同的形状，在实施例1中，形成为正方形形状。另外，在实施例1中，将超声波元件31形成为正方形形状，但也可以是圆形形状，只要在长度方向以及宽度方向上长度相同，可以是任何形状。并且，长度相同是指只要长度大致相同即可，长度相同的程度只要能够稳定地向被检查面照射超声波即可。多个超声波元件31构成为例如将在长度方向上排成一列的元件在宽度方向上排成三行。并且，探头21以规定的照射单位在整个长度方向上多次照射超声波。
在此，照射单位为图2中用虚线框起来的超声波元件照射组35。超声波元件照射组35由在长度方向上相邻的三个超声波元件31和在宽度方向上相邻的三个超声波元件31所包围的共计九个超声波元件31构成。当以上述超声波元件照射组35为照射单位照射超声波时，探头21从长度方向的一侧向另一侧，使照射单位的一部分重复且在长度方向上位置不同，与此同时多次照射超声波。
具体而言，如图2所示，将超声波元件照射组35的第一次的照射单位设为S1，将超声波元件照射组35的第二次的照射单位设为S2，将超声波元件照射组35的第三次的照射单位设为S3。作为第一次的照射单位S1的超声波元件照射组35使用长度方向的一侧的第一个至第三个之间的超声波元件31。作为第二次的照射单位S2的超声波元件照射组35使用长度方向的一侧的第二个至第四个之间的超声波元件31。作为照射单位S3的超声波元件照射组35使用长度方向的一侧的第三个至第五个之间的超声波元件31。即，探头21通过仅使超声波元件照射组35的在宽度方向上排成一列的超声波元件31在长度方向上位置不同地多次照射超声波，从而在长度方向的全长上照射超声波。
控制部25与探头21连接，通过控制探头21，对多个超声波元件31照射的超声波进行照射控制。具体而言，控制部25通过同时激励超声波元件照射组35的多个超声波元件31，使探头21以超声波元件照射组35为照射单位照射(发送)超声波。另一方面，控制部25通过超声波元件照射组35的各个超声波元件31接收从被检查对象反射的超声波。控制部25基于通过超声波元件照射组35的各个超声波元件31接收到的结果获取每个照射单位的探伤结果。并且，控制部25通过仅使超声波元件照射组35的在宽度方向上排成一列的超声波元件在长度方向上位置不同地多次从探头21发送接收超声波，从而在长度方向的全长上对被检查对象的内部进行探伤。
并且，如图3所示，控制部25具有延迟电路41，其对各个超声波元件31的超声波的照射时序进行延迟。另外，在图3中，图示有超声波元件照射组35的多个超声波元件31，并且，图示有与该超声波元件31相对应的延迟电路41。控制部25进行延迟控制，使超声波分别会聚于焦点位置P1、焦点位置P2以及焦点位置P3，所述焦点位置为在与被照射超声波的被检查对象垂直的进深方向上的被检查对象内部的规定深度。在此，焦点位置P2为在进深方向上较浅的焦点，焦点位置P3为在进深方向上较深的焦点，焦点位置P1为焦点位置P2与焦点位置P3之间的焦点。此外，在实施例1中，将超声波会聚在了三个焦点位置P1、P2、P3，但焦点位置的深度和焦点位置的个数并非特定。
控制部25利用延迟电路41使超声波元件照射组35的除了至少一个超声波元件31之外的其他超声波元件31所照射的超声波迟于该至少一个超声波元件31所照射的超声波。在实施例1中，控制部25使超声波元件照射组35的九个超声波元件31中位于中央的一个超声波元件31所照射的超声波的照射时序迟于周围八个超声波元件31所照射的超声波的照射时序。这样一来，控制部25通过延迟电路41进行延迟控制，能够会聚超声波，即进行通常说的电子聚焦。因此，在超声波元件31上，并未设置物理的聚焦机构，探头21的发送接收面30为平面。并且，控制部25通过一边变更三个焦点位置P1、P2、P3，一边对被检查对象的内部进行探伤，从而获取焦点位置P1处的被检查对象的探伤结果、焦点位置P2处的被检查对象的探伤结果以及焦点位置P3处的被检查对象的探伤结果。因此，超声波探伤装置1能够变更焦点位置P1、P2、P3进行超声波探伤，从而能够提高被检查对象内的缺陷的查出率。
如上，根据实施例1的结构，由于能够将各个超声波元件31的形状设定为在长度方向以及宽度方向上长度相同，因此即使在与超声波元件31相对的被检查面发生倾斜的情况下，也能够减小宽度方向的一侧与另一侧的高低差。因此，能够抑制超声波元件31与被检查面之间的距离的宽度方向上的偏差，并且能够稳定地向被检查面照射超声波。
并且，根据实施例1的结构，能够以超声波元件照射组35为照射单位，沿长度方向多次照射超声波。由此，与一个超声波元件31照射超声波的情况相比，超声波元件照射组35能够提高音压，从而能够更加稳定地照射超声波，且能够良好地接收从被检查对象反射的超声波。另外，由于能够用各个超声波元件31进行接收，因此能够详细接收从被检查对象反射的超声波。
并且，根据实施例1的结构，控制部25能够在同时激励多个超声波元件31的情况下，使中央的一个超声波元件31所照射的超声波的照射时序迟于周围八个超声波元件31所照射的超声波的照射时序。因此，控制部25能够使超声波会聚于焦点位置P，即进行所谓的电子聚焦。由此，通过会聚超声波，能够提高音压、提高分辨率，从而能够提高超声波探伤的灵敏度。
另外，根据实施例1的结构，控制部25通过使照射单位的一部分重复地在探头21的长度方向上多次照射超声波，从而能够以较短的间隔照射超声波。因此，能够在长度方向上进行详细的超声波探伤。
实施例2
接着，参照图4对实施例2所涉及的超声波探伤装置50进行说明。图4是表示实施例2所涉及的超声波探伤装置的探头的发送接收面的示意图。并且，在实施例2中，为了避免与实施例1的记载重复，仅对与实施例1不同的部分进行说明，并对与实施例1相同的结构标记相同的符号进行说明。
实施例2的超声波探伤装置50的探头51为矩阵阵列式探头51，在发送接受面30上，多个超声波元件31以相对于长度方向以及宽度方向倾斜规定的角度的状态排列设置。在此，规定的角度为例如45度，多个超声波元件31在相对于长度方向倾斜45度的方向上排列设置，且在相对于宽度方向倾斜45度的方向上排列设置。并且，各个超声波元件31与实施例1相同，形成为在长度方向以及宽度方向上长度相同的形状，在实施例2中，形成为正方形形状。多个超声波元件31例如配置为，将相对于长度方向倾斜45度的方向上排列的三个元件在相对于长度方向倾斜45度的方向上位置错开一个超声波元件31，与此同时在长度方向上排列。因此，多个超声波元件31将配置成X状的元件沿长度方向排列配置。并且，探头51以规定的照射单位在整个长度方向上多次照射超声波。
在此，照射单位为图4中用虚线框起来的超声波元件照射组55。即，超声波元件照射组55由超声波元件31的对角线上的在长度方向上相邻的两个超声波元件31和超声波元件31的对角线上的在宽度方向上相邻的两个超声波元件31所包围的共计五个超声波元件构成。换言之，超声波元件照射组55由位于宽度方向的中央的一个超声波元件31和与中央的超声波元件31的四个边相邻的四个超声波元件31，共计五个超声波元件31构成。当以上述超声波元件照射组55为照射单位照射超声波时，探头51从长度方向的一侧向另一侧，使照射单位的一部分重复且在长度方向上位置不同，与此同时多次照射超声波。
具体而言，如图4所示，将超声波元件照射组55的第一次的照射单位设为S1，将超声波元件照射组55的第二次的照射单位设为S2，将超声波元件照射组55的第三次的照射单位设为S3。作为第一次的照射单位S1的超声波元件照射组55使用位于长度方向一侧的宽度方向中央的超声波元件31和与宽度方向中央的超声波元件31的四个边相邻的四个超声波元件31。作为第二次的照射单位S2的超声波元件照射组55使用与照射单位S1的宽度方向中央的超声波元件31的长度方向另一侧相邻的宽度方向中央的超声波元件31和与宽度方向中央的超声波元件31的四个边相邻的四个超声波元件31。这时，照射单位S1的五个超声波元件31中同宽度方向中央的超声波元件31的长度方向另一侧的两个边相邻的两个超声波元件31与照射单位S2的五个超声波元件31中同宽度方向中央的超声波元件31的长度方向一侧的两个边相邻的两个超声波元件31重复。作为第三次的照射单位S3的超声波元件照射组55使用与照射单位S2的宽度方向中央的超声波元件31的长度方向另一侧相邻的宽度方向中央的超声波元件31和与宽度方向中央的超声波元件31的四个边相邻的四个超声波元件31。这时，照射单位S2的五个超声波元件31中同宽度方向中央的超声波元件31的长度方向另一侧的两个边相邻的两个超声波元件31与照射单位S3的五个超声波元件31中同宽度方向中央的超声波元件31的长度方向一侧的两个边相邻的两个超声波元件31重复。即，探头51通过使超声波元件照射组55的两个超声波元件31重复地在探头51的长度方向上多次照射超声波，从而在长度方向的全长上照射超声波。
控制部25与探头51连接，与实施例1相同，通过同时激励超声波元件照射组55的多个超声波元件31，以超声波元件照射组55为照射单位进行使探头51照射超声波的照射控制。并且，控制部25利用超声波元件照射组55的各个超声波元件31接收从被检查对象反射的超声波。另外，控制部25通过使超声波元件照射组55的两个超声波元件31重复地使探头51多次发送接收超声波，从而在长度方向的全长上对被检查对象的内部进行探伤。
此外，控制部25使图4所示的超声波元件照射组55的各个超声波元件31的超声波的照射时序延迟。在实施例2中，控制部25使图4所示的超声波元件照射组55的五个超声波元件31中宽度方向中央的超声波元件31所照射的超声波的照射时序迟于四边相邻的四个超声波元件31所照射的超声波的照射时序。这样一来，控制部25通过进行延迟控制，能够会聚超声波，即进行所谓的电子聚焦。因此，在实施例2中，在超声波元件31上，也并未设置物理的聚焦机构，探头51的发送接收面30为平面。
如上，根据实施例2的结构，能够以超声波元件照射组55为照射单位，沿长度方向多次照射超声波。由此，与一个超声波元件31照射超声波的情况相比，超声波元件照射组55能够提高音压，从而能够更加稳定地照射超声波，且能够良好地接收从被检查对象反射的超声波。另外，由于能够用各个超声波元件31进行接收，因此能够详细接收从被检查对象反射的超声波。
另外，在实施例2的结构中，也使超声波元件照射组55的多个超声波元件31所照射的超声波的照射时序互不相同，从而能够使超声波会聚于规定的焦点位置P，即进行所谓的电子聚焦。因此，通过会聚超声波，能够提高音压、提高分辨率，且能够提高超声波探伤的灵敏度。
另外，在实施例2的结构中，控制部25也通过使照射单位的一部分重复地在探头51的长度方向多次照射超声波，从而能够以较短的间隔照射超声波。因此，能够在长度方向上进行详细的超声波探伤。
实施例3
接着，参照图5对实施例3所涉及的超声波探伤装置60进行说明。图5是表示实施例3所涉及的超声波探伤装置的探头的发送接收面的示意图。并且，在实施例3中，为了避免与实施例1的记载重复，仅对与实施例1不同的部分进行说明，并对与实施例1相同的结构标记相同的符号进行说明。
实施例3的超声波探伤装置60的探头61的多个超声波元件31在长度方向以及宽度方向上排列设置。并且，各个超声波元件31与实施例1相同，形成为在长度方向以及宽度方向上长度相同的形状，在实施例3中，形成为正方形形状。在此，实施例3的超声波元件31比实施例1的超声波元件31大。具体而言，多个超声波元件31具有：第1超声波元件组62，其为配置在长度方向上排成一列；以及第2超声波元件组63，其配置为与第1超声波元件组62在宽度方向上相邻，且在长度方向上排成一列。第1超声波元件组62的各个超声波元件31在长度方向上位于第2超声波元件组63的相邻超声波元件31的中间。因此，多个超声波元件31沿长度方向配置成锯齿状。并且，探头61以规定的照射单位在整个长度方向上多次照射超声波。
在此，照射单位为图5中的用虚线框起来的一个超声波元件31。当以上述一个超声波元件31为照射单位照射超声波时，探头61从长度方向的一侧向另一侧，使照射单位的位置不同，与此同时多次照射超声波。
具体而言，如图5所示，将超声波元件31的第一次的照射单位设为S1，将超声波元件31的第二次的照射单位设为S2，将超声波元件31的第三次的照射单位设为S3。作为第一次的照射单位S1的超声波元件31使用第1超声波元件组62中的长度方向的一侧的第一个超声波元件31。作为第二次的照射单位S2的超声波元件31使用第2超声波元件组63中的长度方向的一侧的第一个超声波元件31。作为照射单位S3的超声波元件31使用第1超声波元件组62中的长度方向的一侧的第二个超声波元件31。这时，照射单位S2的超声波元件31在长度方向上位于照射单位S1的超声波元件31与照射单位S3的超声波元件31之间。即，探头61通过使第1超声波元件组62的超声波元件31与第2超声波元件组63的超声波元件31在长度方向上交替不同地多次照射超声波，从而在长度方向的全长上照射超声波。
控制部25与探头61连接，以一个超声波元件31为照射单位进行使探头61照射超声波的照射控制。并且，控制部25利用照射超声波的一个超声波元件31接收从被检查对象反射的超声波。另外，控制部25通过使第1超声波元件组62的超声波元件31与第2超声波元件组63的超声波元件31在长度方向上交替不同地从探头21多次发送接收超声波，从而在长度方向的全长上对被检查对象的内部进行探伤。
此外，在实施例3中，由于照射单位为一个超声波元件31，因此是不能够进行电子聚焦的结构，可以在探头61的发送接受面30上设置进行物理聚焦的结构。
如上，根据实施例3的结构，能够以一个超声波元件31为照射单位，沿长度方向多次照射超声波。这时，能够使第1超声波元件组62的各个超声波元件31与第2超声波元件组63的各个超声波元件31沿长度方向交替照射超声波。因此，能够以比各个超声波元件组62、63的超声波元件31之间的间隔还要短的间隔照射超声波，从而能够在长度方向上进行详细的超声波探伤。
符号说明
1超声波探伤装置
21探头
25控制部
30发送接收面
31超声波元件
35超声波元件照射组
41延迟电路
50超声波探伤装置(实施例2)
51探头(实施例2)
55超声波元件照射组(实施例2)
60超声波探伤装置(实施例3)
61探头(实施例3)
62第1超声波元件组
63第2超声波元件组
P1、P2、P3焦点位置

Claims (12)

1.一种探头，具有：长度方向的长度比宽度方向的长度长的发送接收面；以及设置在所述发送接收面上的多个超声波元件，所述探头一边相对于与所述发送接收面相对的被检查对象的被检查面在所述宽度方向上移动，一边照射超声波，其特征在于，
所述各个超声波元件形成为在所述长度方向以及所述宽度方向上长度相同的形状，
所述多个超声波元件在所述长度方向上排列设置，且在所述宽度方向上排列设置，以一个以上的所述超声波元件为规定的照射单位，在整个所述长度方向上多次照射超声波。
2.根据权利要求1所述的探头，其特征在于，所述多个超声波元件具有：第1超声波元件组，其配置为在所述长度方向上排成一列；以及第2超声波元件组，其配置为与所述第1超声波元件组在所述宽度方向上相邻，且在所述长度方向上排成一列，其中，
所述第1超声波元件组的所述各个超声波元件在所述长度方向上位于所述第2超声波元件组的相邻所述超声波元件的中间，
所述照射单位为一个所述超声波元件。
3.根据权利要求1所述的探头，其特征在于，所述多个超声波元件在所述长度方向以及所述宽度方向上配置成矩阵状，
所述照射单位为由在所述长度方向上相邻的多个所述超声波元件和在所述宽度方向上相邻的多个所述超声波元件所包围的、在所述长度方向以及所述宽度方向上数目相同的超声波元件照射组。
4.根据权利要求1所述的探头，其特征在于，所述多个超声波元件配置成相对于所述长度方向以及所述宽度方向倾斜规定角度的矩阵状，
所述照射单位为由在所述长度方向上相邻的多个所述超声波元件和在所述宽度方向上相邻的多个所述超声波元件所包围的、在所述长度方向以及所述宽度方向上数目相同的超声波元件照射组。
5.根据权利要求3或4所述的探头，其特征在于，所述超声波元件照射组通过使除了至少一个所述超声波元件以外的其他所述超声波元件所照射的超声波迟于所述至少一个所述超声波元件所照射的超声波，从而使超声波会聚于与所述被检查面垂直的进深方向上的规定的焦点位置。
6.一种超声波探伤装置，其特征在于，具有：权利要求2所述的探头；以及
控制所述探头的控制部，其中，
所述控制部以一个所述超声波元件为所述照射单位，从所述长度方向的一侧向另一侧，以所述第1超声波元件组的所述超声波元件与第2超声波元件组的所述超声波元件交替的方式使所述照射单位的位置在所述长度方向上互不相同，与此同时进行多次照射超声波的照射控制。
7.一种超声波探伤装置，其特征在于，具有：权利要求3或4所述的探头；以及
控制所述探头的控制部，其中，
所述控制部以所述超声波元件照射组为所述照射单位，从所述长度方向的一侧向另一侧，使所述照射单位的一部分重复且在所述长度方向上位置不同，与此同时进行多次照射超声波的照射控制。
8.根据权利要求7所述的超声波探伤装置，其特征在于，所述控制部在以所述超声波元件照射组为所述照射单位时，一面同时激励所述超声波元件照射组的多个所述超声波元件，从多个所述超声波元件照射超声波，一面用所述各个超声波元件接收从所述被检查对象反射的超声波。
9.根据权利要求8所述的超声波探伤装置，其特征在于，所述控制部在同时激励所述超声波元件照射组的所述超声波元件时，进行延迟控制，使除了至少一个所述超声波元件以外的其他所述超声波元件所照射的超声波迟于所述至少一个所述超声波元件所照射的超声波。
10.一种超声波探伤控制方法，其控制探头，所述探头具有：长度方向的长度比宽度方向的长度长的发送接收面；以及设置在所述发送接收面上的多个超声波元件，其中，所述探头一边相对于与所述发送接收面相对的被检查对象的被检查面在所述宽度方向上移动，一边照射超声波，所述超声波探伤控制方法的特征在于，
所述各个超声波元件形成为在所述长度方向以及所述宽度方向上长度相同的形状，
所述多个超声波元件具有：第1超声波元件组，其配置为在所述长度方向上排成一列；以及第2超声波元件组，其配置为与所述第1超声波元件组在所述宽度方向上相邻，且在所述长度方向上排成一列，其中，
所述第1超声波元件组的所述各个超声波元件在所述长度方向上位于所述第2超声波元件组的相邻所述超声波元件的中间，
以一个所述超声波元件为照射单位，从所述长度方向的一侧向另一侧，以所述第1超声波元件组的所述超声波元件与所述第2超声波元件组的所述超声波元件交替的方式使所述照射单位的位置在所述长度方向上互不相同，与此同时多次照射超声波。
11.一种超声波探伤控制方法，其控制探头，所述探头具有：长度方向的长度比宽度方向的长度长的发送接收面；以及设置在所述发送接收面上的多个超声波元件，其中，所述探头一边相对于与所述发送接收面相对的被检查对象的被检查面在所述宽度方向上移动，一边照射超声波，所述超声波探伤控制方法的特征在于，
所述各个超声波元件形成为在所述长度方向以及所述宽度方向上长度相同的形状，
所述多个超声波元件在所述长度方向以及所述宽度方向上配置成矩阵状，
以由在所述长度方向上相邻的多个所述超声波元件和在所述宽度方向上相邻的多个所述超声波元件所包围的、在所述长度方向和所述宽度方向上数目相同的超声波元件照射组为照射单位，从所述长度方向的一侧向另一侧，使所述照射单位的一部分重复且在所述长度方向上位置不同，与此同时多次照射超声波。
12.一种超声波探伤控制方法，其控制探头，所述探头具有：长度方向的长度比宽度方向的长度长的发送接收面；以及设置在所述发送接收面上的多个超声波元件，其中，所述探头一边相对于与所述发送接收面相对的被检查对象的被检查面在所述宽度方向上移动，一边照射超声波，所述超声波探伤控制方法的特征在于，
所述各个超声波元件形成为在所述长度方向以及所述宽度方向上长度相同的形状，
所述多个超声波元件配置成相对于所述长度方向以及所述宽度方向倾斜规定角度的矩阵状，
以由在所述长度方向上相邻的多个所述超声波元件和在所述宽度方向上相邻的多个所述超声波元件所包围的、在所述长度方向和所述宽度方向上数目相同的超声波元件照射组为照射单位，从所述长度方向的一侧向另一侧，使所述照射单位的一部分重复且在所述长度方向上位置不同，与此同时多次照射超声波。
CN201480052282.8A 2013-10-07 2014-09-03 探头、超声波探伤装置以及超声波探伤控制方法 Expired - Fee Related CN105579841B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013210516A JP2015075360A (ja) 2013-10-07 2013-10-07 探触子、超音波探傷装置及び超音波探傷制御方法
JP2013-210516 2013-10-07
PCT/JP2014/073254 WO2015053014A1 (ja) 2013-10-07 2014-09-03 探触子、超音波探傷装置及び超音波探傷制御方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105579841A true CN105579841A (zh) 2016-05-11
CN105579841B CN105579841B (zh) 2019-03-29

Family

ID=52812834

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201480052282.8A Expired - Fee Related CN105579841B (zh) 2013-10-07 2014-09-03 探头、超声波探伤装置以及超声波探伤控制方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US10261055B2 (zh)
EP (1) EP3037813B1 (zh)
JP (1) JP2015075360A (zh)
CN (1) CN105579841B (zh)
BR (1) BR112016007073A2 (zh)
CA (1) CA2925874C (zh)
WO (1) WO2015053014A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108693254A (zh) * 2017-04-03 2018-10-23 株式会社东芝 超声波探伤装置、超声波探伤方法以及产品的制造方法

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7050420B2 (ja) * 2017-02-23 2022-04-08 三菱重工業株式会社 配管検査用センサ、配管検査装置、及び配管検査用センサを用いた配管検査方法
JP2019203722A (ja) * 2018-05-21 2019-11-28 三菱日立パワーシステムズ株式会社 超音波探傷の方法、システム、プログラム及び記憶媒体
JP7145799B2 (ja) * 2019-03-19 2022-10-03 株式会社東芝 超音波検査装置
KR102583663B1 (ko) * 2021-11-24 2023-10-05 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단 임피던스 매칭 레이어
KR102583661B1 (ko) * 2021-11-24 2023-10-05 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단 음향 파동 전달 구조체
KR102583662B1 (ko) * 2021-11-24 2023-10-05 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단 음향 파동 전달 구조체
WO2023096194A1 (ko) * 2021-11-24 2023-06-01 재단법인 파동에너지 극한제어연구단 음향 파동 전달 구조체

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3911730A (en) * 1973-09-07 1975-10-14 Krautkramer Branson Ultrasonic transducer probe system
JPH0226545A (ja) * 1988-07-15 1990-01-29 Olympus Optical Co Ltd 超音波ビーム走査装置
JPH05312792A (ja) * 1992-05-12 1993-11-22 Hitachi Ltd アレイ探触子による割れ検出法
EP0908241A2 (en) * 1997-10-06 1999-04-14 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Composite ultrasonic transducer
JP2004033666A (ja) * 2002-07-08 2004-02-05 Hitachi Medical Corp 超音波探触子および超音波診断装置
US20110126626A1 (en) * 2008-05-28 2011-06-02 Roman Heinrich Koch Device and Method for the Non-Destructive Testing of Objects Using Ultrasound and the Use of Matrix-phased Array Probes

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3505296B2 (ja) 1995-09-22 2004-03-08 アロカ株式会社 超音波探触子及びその製造方法
JP3606132B2 (ja) * 1999-10-14 2005-01-05 Ｊｆｅエンジニアリング株式会社 超音波探傷方法およびその装置
US6537220B1 (en) * 2001-08-31 2003-03-25 Siemens Medical Solutions Usa, Inc. Ultrasound imaging with acquisition of imaging data in perpendicular scan planes
US7927280B2 (en) * 2005-08-05 2011-04-19 Koninklijke Philips Electronics N.V. Curved 2-D array ultrasound transducer and method for volumetric imaging
JP4842010B2 (ja) 2006-05-09 2011-12-21 株式会社日立メディコ 超音波探触子及び超音波診断装置
JP5190979B2 (ja) * 2007-06-05 2013-04-24 学校法人日本大学 ２次元的硬さ測定装置
JP5986709B2 (ja) * 2010-10-22 2016-09-06 株式会社Ihi 超音波探傷装置及び超音波探傷方法
JP5593208B2 (ja) 2010-11-29 2014-09-17 日立Ｇｅニュークリア・エナジー株式会社 超音波探傷装置および超音波探傷方法
FR3003646B1 (fr) * 2013-03-21 2015-04-03 V & M France Dispositif et procede de controle non destructif de produits tubulaires, notamment sur site
JP6206033B2 (ja) * 2013-09-24 2017-10-04 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサーデバイス及び超音波測定装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3911730A (en) * 1973-09-07 1975-10-14 Krautkramer Branson Ultrasonic transducer probe system
JPH0226545A (ja) * 1988-07-15 1990-01-29 Olympus Optical Co Ltd 超音波ビーム走査装置
JPH05312792A (ja) * 1992-05-12 1993-11-22 Hitachi Ltd アレイ探触子による割れ検出法
EP0908241A2 (en) * 1997-10-06 1999-04-14 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Composite ultrasonic transducer
JP2004033666A (ja) * 2002-07-08 2004-02-05 Hitachi Medical Corp 超音波探触子および超音波診断装置
US20110126626A1 (en) * 2008-05-28 2011-06-02 Roman Heinrich Koch Device and Method for the Non-Destructive Testing of Objects Using Ultrasound and the Use of Matrix-phased Array Probes

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108693254A (zh) * 2017-04-03 2018-10-23 株式会社东芝 超声波探伤装置、超声波探伤方法以及产品的制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP3037813B1 (en) 2020-01-15
WO2015053014A1 (ja) 2015-04-16
CN105579841B (zh) 2019-03-29
BR112016007073A2 (pt) 2020-10-27
CA2925874C (en) 2018-05-01
CA2925874A1 (en) 2015-04-16
JP2015075360A (ja) 2015-04-20
US10261055B2 (en) 2019-04-16
EP3037813A4 (en) 2016-08-17
US20160238567A1 (en) 2016-08-18
EP3037813A1 (en) 2016-06-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105579841A (zh) 探头、超声波探伤装置以及超声波探伤控制方法
US7454973B2 (en) Ultrasonic inspection method and ultrasonic inspection equipment
EP1524519A1 (en) Two dimensional phased arrays for volumetric ultrasonic inspection and methods of use
US20140216158A1 (en) Air coupled ultrasonic contactless method for non-destructive determination of defects in laminated structures
JP2008139304A (ja) 任意の表面輪郭を有する部材の超音波浸漬検査
WO2008010712A1 (en) System for measuring on a wall of a pipeline with phased array
JP6348508B2 (ja) 金属プロフィールの非破壊制御のための装置および方法
JP2008180523A (ja) 超音波検査方法及び超音波検査装置
CN108020598A (zh) 变壁厚曲面构件自适应相控线阵聚焦扫描方法及检测方法
JP6290748B2 (ja) 超音波検査方法及び超音波検査装置
JP2008232627A (ja) 超音波探傷装置および超音波探傷方法
CN102641135A (zh) 超声波探测器和超声波诊断装置
CN1795057A (zh) 用于使用相控换能器阵列的超声波清洗的系统和方法
CN110208387B (zh) 一种基于焊缝特征导波柔性传感器的信号聚焦方法
DE102011108730B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Ultraschallprüfung mit einem Matrix Phased Array Prüfkopf
JPH11304769A (ja) 超音波検査方法
Pazos-Ospina et al. New dual-focalization ferroelectret-based array for air-coupled ultrasonic inspection of textiles
CN114113326B (zh) 一种复合连接结构的相控阵超声检测方法及装置
JP5852420B2 (ja) 超音波検査方法及び超音波検査装置
Wang et al. Damage detection in metallic plates using d36 piezoelectric phased arrays
JP4909045B2 (ja) 超音波探傷装置
CHEN et al. Simulation And Application Of New Focusing Strategies Of Ultrasonic Phased Array Testing
US20220042951A1 (en) Method for reconstructing a three-dimensional surface using an ultrasonic matrix sensor
CN114113133A (zh) 一种非平面工件表面缺陷无损检测装置
CA3217829A1 (en) Adaptive ultrasonic inspection for volumetric flaws

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20190329

Termination date: 20210903