CN105543790A - 一种真空镀膜机系统及其操作方法 - Google Patents

一种真空镀膜机系统及其操作方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105543790A
CN105543790A CN201610085944.2A CN201610085944A CN105543790A CN 105543790 A CN105543790 A CN 105543790A CN 201610085944 A CN201610085944 A CN 201610085944A CN 105543790 A CN105543790 A CN 105543790A
Authority
CN
China
Prior art keywords
pump
vacuum
automatic
button
valve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201610085944.2A
Other languages
English (en)
Inventor
武文全
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Foshan Foxin Vacuum Technology Co Ltd
Original Assignee
Foshan Foxin Vacuum Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Foshan Foxin Vacuum Technology Co Ltd filed Critical Foshan Foxin Vacuum Technology Co Ltd
Priority to CN201610085944.2A priority Critical patent/CN105543790A/zh
Publication of CN105543790A publication Critical patent/CN105543790A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明公开了一种真空镀膜机系统及其操作方法，包括抽气系统、镀膜电源、控制部分和真空室体，所述镀膜电源和抽气系统均与真空室体相连接，控制部分和抽气系统均与镀膜电源相连接，且抽气系统、镀膜电源和真空室体均受控制部分的控制，其操作方法包括5个步骤，(1)开机预热；(2)自动抽气；(3)自动镀膜；(4)自动放气；(5)自动关机；方便增加可编辑工艺，可进行全自动运行，进行各项流程的单独或多项，可调换操作智能操作，智能保护与维护检测，提高产品质量，节约人工成本，增加工作效率，提供系统报警异常，可及时修复与维护可多种工艺编辑储存及修改，可单独操做或自动操作。

Description

一种真空镀膜机系统及其操作方法
技术领域
本发明涉及真空镀膜机领域，特别涉及一种真空镀膜机系统的操作方法。
背景技术
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。
现有技术中的溅射类镀膜机多为人工操控，智能化较低，在机器工作过程中无法检测产品质量，和各项生产过程中的工作状态，精确度较低，人为操作易产生指标误差，效率较低，人工成本高，生产质量无法把控，易出现不合格产品。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种真空镀膜机系统的操作方法，以解决现有技术中导致的上述现有技术中的溅射类镀膜机多为人工操控，智能化较低，在机器工作过程中无法检测产品质量，和各项生产过程中的工作状态，精确度较低，人为操作易产生指标误差，效率较低，人工成本高，生产质量无法把控，易出现不合格产品的缺陷。
为实现上述目的，本发明提供以下的技术方案：一种真空镀膜机系统，包括抽气系统、镀膜电源、控制部分和真空室体，所述镀膜电源和抽气系统均与真空室体相连接，控制部分和抽气系统均与镀膜电源相连接，且抽气系统、镀膜电源和真空室体均受控制部分的控制，控制部分包括控制系统、存储器、控制面板，且控制系统与控制面板相连接且控制面板与存储器相连接，抽气系统包括扩散泵、维持泵、罗茨泵、第一粗抽泵和第二粗抽泵，真空室体与扩散泵相连接，真空室体与扩散泵的连接处设有放气阀，扩散泵的顶部设有精抽阀，扩散泵的顶部与罗茨泵相连接，扩散泵与罗茨泵的连接处设有粗抽阀，扩散泵的底部与维持泵相连接，维持泵上部设有维持阀，且罗茨泵与维持泵相连接，罗茨泵与维持泵的连接处设有前置阀，罗兹泵分别与第一粗抽泵和第二粗抽泵相连接。
优选的，所述控制面板包括控制按钮、系统缩略图和参数显示控制界面，其中控制按钮包括自动抽气按钮、自动镀膜按钮、自动放气按钮、自动关机按钮、开机预热按钮和放气结束按钮。
优选的，所述系统缩略图上设有故障显示部分。
一种真空镀膜机系统的操作方法，其步骤主要有：
(1)开机预热，开启镀膜电源，在控制面板选择开机预热按钮，为抽气系统、控制部分和真空室体提供电能，控制系统自动检测真空室体内部气压和水压，控制系统控制维持泵开启，并打开维持阀，当真空室内的真空度达到启动扩散泵真空度时，控制系统自动控制扩散泵启动，进行开机预热；
(2)自动抽气，在控制面板选择自动抽气按钮，关闭真空室体的门后，控制系统延迟3秒控制第一粗抽泵和第二粗抽泵启动，并打开粗抽阀，当真空室内的真空度达到罗茨真空度时，控制系统自动启动罗茨泵，真空度达到精抽真空度时，控制系统自动控制第一粗抽泵和第二粗抽泵关闭，打开前置阀和精抽阀，进行自动抽气；
(3)自动镀膜，在控制面板选择自动镀膜按钮，在自动抽气完成后，真空度达到启动镀膜真空度时，会自动按照工艺界面里预先设定的工艺步骤自动运行，如果不选取将不会运行；
(4)自动放气，在控制面板选择自动放气按钮，当工艺运行结束后会自动关闭精抽阀、前置阀、罗茨泵、第一粗抽泵和第二粗抽泵，然后打开放气阀；
(5)自动关机，在控制面板选择自动关机按钮，当放气结束后会自动关闭扩散泵，然后按照参数设置里的自动关机时间等待，当时间自动关机时间结束，自动关闭维持阀，然后关闭维持泵，实现自动断电。
优选的，所述启动扩散泵真空度、罗茨真空度、精抽真空度、工艺步骤和自动关机时间均可以通过参数显示控制界面进行预先设置。
优选的，所述参数显示控制界面与存储器相连接。
优选的，所述步骤(3)的镀膜过程中可以随时在任意情况下在控制面板上选择放气结束按钮，这时会控制系统自动控制放气阀打开，即进入步骤(4)。
优选的，所述步骤(4)之后，按照需要重复步骤(2)、步骤(3)和步骤(4)。
采用以上技术方案的有益效果是：本发明方便增加可编辑工艺，可进行全自动运行，进行各项流程的单独或多项，可调换操作，多项指标数值可进行设定，在工作过程中，如出现机器故障或错误操作，系统会及时报警并指示正确方案部分问题系统会智能解决，提供重要部件的自我保护，且增加记忆存储修改的功能，存储后可一键操作。智能操作，智能保护与维护检测，提高产品质量，节约人工成本，增加工作效率，提供系统报警异常，可及时修复与维护可多种工艺编辑储存及修改，可单独操做或自动操作。
附图说明
图1是本发明中一种真空镀膜机系统的结构示意图；
图2是本发明中操作方法的操作流程图；
图3是本发明中抽气系统的结构示意图；
图4是本发明中控制面板的结构示意图；
其中，1-真空室体、2-放气阀、3-精抽阀、4-前置阀、5-粗抽阀、6-扩散泵、7-罗茨泵、8-维持泵、9-第一粗抽泵、10-第二粗抽泵、11-维持阀、12-参数显示控制界面、13-控制按钮、14-故障显示部分、15-系统缩略图、131-自动抽气按钮、132-自动镀膜按钮、133-自动放气按钮、134-自动关机按钮、135-开机预热按钮、136-放气结束按钮。
具体实施方式
下面结合附图详细说明本发明的优选实施方式。
图1至图4出示本发明的具体实施方式：一种真空镀膜机系统，包括抽气系统、镀膜电源、控制部分和真空室体1，所述镀膜电源和抽气系统均与真空室体1相连接，控制部分和抽气系统均与镀膜电源相连接，且抽气系统、镀膜电源和真空室体1均受控制部分的控制，控制部分包括控制系统、存储器、控制面板，且控制系统与控制面板相连接且控制面板与存储器相连接，抽气系统包括扩散泵6、维持泵8、罗茨泵7、第一粗抽泵9和第二粗抽泵10，真空室体1与扩散泵6相连接，真空室体1与扩散泵6的连接处设有放气阀2，扩散泵6的顶部设有精抽阀3，扩散泵6的顶部与罗茨泵7相连接，扩散泵6与罗茨泵7的连接处设有粗抽阀5，扩散泵6的底部与维持泵8相连接，维持泵8上部设有维持阀11，且罗茨泵7与维持泵8相连接，罗茨泵7与维持泵8的连接处设有前置阀4，罗兹泵分别与第一粗抽泵9和第二粗抽泵10相连接。
在本发明中，所述控制面板包括控制按钮13、系统缩略图15和参数显示控制界面12，其中控制按钮13包括自动抽气按钮131、自动镀膜按钮132、自动放气按钮133、自动关机按钮134、开机预热按钮135和放气结束按钮136。
在本发明中，所述系统缩略图15上设有故障显示部分14。
一种真空镀膜机系统的操作方法，其步骤主要有：
(1)开机预热，开启镀膜电源，在控制面板选择开机预热按钮135，为抽气系统、控制部分和真空室体1提供电能，控制系统自动检测真空室体1内部气压和水压，控制系统控制维持泵8开启，并打开维持阀11，当真空室内的真空度达到启动扩散泵6真空度时，控制系统自动控制扩散泵6启动，进行开机预热；
(2)自动抽气，在控制面板选择自动抽气按钮131，关闭真空室体1的门后，控制系统延迟3秒控制第一粗抽泵9和第二粗抽泵10启动，并打开粗抽阀5，当真空室内的真空度达到罗茨真空度时，控制系统自动启动罗茨泵7，真空度达到精抽真空度时，控制系统自动控制第一粗抽泵9和第二粗抽泵10关闭，打开前置阀4和精抽阀3，进行自动抽气；
(3)自动镀膜，在控制面板选择自动镀膜按钮132，在自动抽气完成后，真空度达到启动镀膜真空度时，会自动按照工艺界面里预先设定的工艺步骤自动运行，如果不选取将不会运行；
(4)自动放气，在控制面板选择自动放气按钮133，当工艺运行结束后会自动关闭精抽阀3、前置阀4、罗茨泵7、第一粗抽泵9和第二粗抽泵10，然后打开放气阀2；
(5)自动关机，在控制面板选择自动关机按钮134，当放气结束后会自动关闭扩散泵6，然后按照参数设置里的自动关机时间等待，当时间自动关机时间结束，自动关闭维持阀11，然后关闭维持泵8，实现自动断电。
在本发明中，所述启动扩散泵6真空度、罗茨真空度、精抽真空度、工艺步骤和自动关机时间均可以通过参数显示控制界面12进行预先设置。
在本发明中，所述参数显示控制界面12与存储器相连接。
在本发明中，所述步骤(3)的镀膜过程中可以随时在任意情况下在控制面板上选择放气结束按钮136，这时会控制系统自动控制放气阀2打开，即进入步骤(4)。
在本发明中，所述步骤(4)之后，按照需要重复步骤(2)、步骤(3)和步骤(4)。
采用以上技术方案的有益效果是：本发明方便增加可编辑工艺，可进行全自动运行，进行各项流程的单独或多项，可调换操作，多项指标数值可进行设定，在工作过程中，如出现机器故障或错误操作，系统会及时报警并指示正确方案部分问题系统会智能解决，提供重要部件的自我保护，且增加记忆存储修改的功能，存储后可一键操作。智能操作，智能保护与维护检测，提高产品质量，节约人工成本，增加工作效率，提供系统报警异常，可及时修复与维护可多种工艺编辑储存及修改，可单独操做或自动操作。
以上所述的仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种真空镀膜机系统，包括抽气系统、镀膜电源、控制部分和真空室体，其特征在于，所述镀膜电源和抽气系统均与真空室体相连接，控制部分和抽气系统均与镀膜电源相连接，且抽气系统、镀膜电源和真空室体均受控制部分的控制，控制部分包括控制系统、存储器、控制面板，且控制系统与控制面板相连接且控制面板与存储器相连接，抽气系统包括扩散泵、维持泵、罗茨泵、第一粗抽泵和第二粗抽泵，真空室体与扩散泵相连接，真空室体与扩散泵的连接处设有放气阀，扩散泵的顶部设有精抽阀，扩散泵的顶部与罗茨泵相连接，扩散泵与罗茨泵的连接处设有粗抽阀，扩散泵的底部与维持泵相连接，维持泵上部设有维持阀，且罗茨泵与维持泵相连接，罗茨泵与维持泵的连接处设有前置阀，罗兹泵分别与第一粗抽泵和第二粗抽泵相连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机系统的操作方法，其特征在于，所述控制面板包括控制按钮、系统缩略图和参数显示控制界面，其中控制按钮包括自动抽气按钮、自动镀膜按钮、自动放气按钮、自动关机按钮、开机预热按钮和放气结束按钮。
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机系统的操作方法，其特征在于，所述系统缩略图上设有故障显示部分。
4.如权利要求3所述的一种真空镀膜机系统的操作方法，其步骤主要有：
(1)开机预热，开启镀膜电源，在控制面板选择开机预热按钮，为抽气系统、控制部分和真空室体提供电能，控制系统自动检测真空室体内部气压和水压，控制系统控制维持泵开启，并打开维持阀，当真空室内的真空度达到启动扩散泵真空度时，控制系统自动控制扩散泵启动，进行开机预热；
(2)自动抽气，在控制面板选择自动抽气按钮，关闭真空室体的门后，控制系统延迟3秒控制第一粗抽泵和第二粗抽泵启动，并打开粗抽阀，当真空室内的真空度达到罗茨真空度时，控制系统自动启动罗茨泵，真空度达到精抽真空度时，控制系统自动控制第一粗抽泵和第二粗抽泵关闭，打开前置阀和精抽阀，进行自动抽气；
(3)自动镀膜，在控制面板选择自动镀膜按钮，在自动抽气完成后，真空度达到启动镀膜真空度时，会自动按照工艺界面里预先设定的工艺步骤自动运行，如果不选取将不会运行；
(4)自动放气，在控制面板选择自动放气按钮，当工艺运行结束后会自动关闭精抽阀、前置阀、罗茨泵、第一粗抽泵和第二粗抽泵，然后打开放气阀；
(5)自动关机，在控制面板选择自动关机按钮，当放气结束后会自动关闭扩散泵，然后按照参数设置里的自动关机时间等待，当时间自动关机时间结束，自动关闭维持阀，然后关闭维持泵，实现自动断电。
5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机系统的操作方法，其特征在于，所述启动扩散泵真空度、罗茨真空度、精抽真空度、工艺步骤和自动关机时间均可以通过参数显示控制界面进行预先设置。
6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜机系统的操作方法，其特征在于，所述参数显示控制界面与存储器相连接。
7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜机系统的操作方法，其特征在于，所述步骤(3)的镀膜过程中可以随时在任意情况下在控制面板上选择放气结束按钮，这时会控制系统自动控制放气阀打开，即进入步骤(4)。
8.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机系统的操作方法，其特征在于，所述步骤(4)之后，按照需要重复步骤(2)、步骤(3)和步骤(4)。
CN201610085944.2A 2016-02-15 2016-02-15 一种真空镀膜机系统及其操作方法 Pending CN105543790A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610085944.2A CN105543790A (zh) 2016-02-15 2016-02-15 一种真空镀膜机系统及其操作方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610085944.2A CN105543790A (zh) 2016-02-15 2016-02-15 一种真空镀膜机系统及其操作方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN105543790A true CN105543790A (zh) 2016-05-04

Family

ID=55823340

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610085944.2A Pending CN105543790A (zh) 2016-02-15 2016-02-15 一种真空镀膜机系统及其操作方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105543790A (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105908146A (zh) * 2016-06-30 2016-08-31 肇庆市科润真空设备有限公司 旋转式磁控靶及卧式磁控溅射镀膜设备
CN108517509A (zh) * 2018-04-24 2018-09-11 广州市邦图机电科技有限公司 一种高真空卷绕式电容镀膜机的使用方法
CN109023274A (zh) * 2018-08-18 2018-12-18 昭工表面制品（深圳）有限公司 手表表盘字钉真空镀膜方法
CN109680256A (zh) * 2017-10-19 2019-04-26 深圳市三鑫精美特玻璃有限公司 一种真空镀膜实验线控制系统
CN112831756A (zh) * 2020-12-31 2021-05-25 苏州佑伦真空设备科技有限公司 一种自动化的真空蒸镀方法
CN114525490A (zh) * 2022-02-18 2022-05-24 重庆诺奖二维材料研究院有限公司 卷对卷镀膜机的抽真空控制系统及控制方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101638775A (zh) * 2009-08-26 2010-02-03 河南中光学集团有限公司 真空镀膜机集成控制系统
CN102912306A (zh) * 2012-10-20 2013-02-06 大连理工大学 计算机自动控制的高功率脉冲磁控溅射设备及工艺
CN203307429U (zh) * 2013-05-08 2013-11-27 湖南嘉业达电子有限公司 一种真空镀膜自动控制装置
CN203474889U (zh) * 2013-07-24 2014-03-12 曾宗伟 真空阴极弧金属表面镀膜的自动控制装置
CN204058586U (zh) * 2014-07-02 2014-12-31 曾小颖 一种陶瓷用双开门真空镀膜机

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101638775A (zh) * 2009-08-26 2010-02-03 河南中光学集团有限公司 真空镀膜机集成控制系统
CN102912306A (zh) * 2012-10-20 2013-02-06 大连理工大学 计算机自动控制的高功率脉冲磁控溅射设备及工艺
CN203307429U (zh) * 2013-05-08 2013-11-27 湖南嘉业达电子有限公司 一种真空镀膜自动控制装置
CN203474889U (zh) * 2013-07-24 2014-03-12 曾宗伟 真空阴极弧金属表面镀膜的自动控制装置
CN204058586U (zh) * 2014-07-02 2014-12-31 曾小颖 一种陶瓷用双开门真空镀膜机

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105908146A (zh) * 2016-06-30 2016-08-31 肇庆市科润真空设备有限公司 旋转式磁控靶及卧式磁控溅射镀膜设备
CN105908146B (zh) * 2016-06-30 2018-08-24 肇庆市科润真空设备有限公司 旋转式磁控靶及卧式磁控溅射镀膜设备
CN109680256A (zh) * 2017-10-19 2019-04-26 深圳市三鑫精美特玻璃有限公司 一种真空镀膜实验线控制系统
CN108517509A (zh) * 2018-04-24 2018-09-11 广州市邦图机电科技有限公司 一种高真空卷绕式电容镀膜机的使用方法
CN109023274A (zh) * 2018-08-18 2018-12-18 昭工表面制品（深圳）有限公司 手表表盘字钉真空镀膜方法
CN112831756A (zh) * 2020-12-31 2021-05-25 苏州佑伦真空设备科技有限公司 一种自动化的真空蒸镀方法
CN114525490A (zh) * 2022-02-18 2022-05-24 重庆诺奖二维材料研究院有限公司 卷对卷镀膜机的抽真空控制系统及控制方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105543790A (zh) 一种真空镀膜机系统及其操作方法
CN203270025U (zh) 真空镀膜机
CN103489967B (zh) 一种氧化镓外延膜的制备方法及氧化镓外延膜
CN107365973B (zh) 一种真空镀膜生产线及镀膜方法
CN102912306B (zh) 计算机自动控制的高功率脉冲磁控溅射设备及工艺
CN105441888A (zh) 一种多功能连续磁控溅射真空镀膜自动控制系统
CN201343569Y (zh) 连续式平面磁控溅射镀膜设备
DE102016107830A1 (de) Vakuumkammeranordnung und Verfahren zum Betreiben einer Vakuumkammeranordnung
CN105593402A (zh) 溅射装置以及溅射装置的膜卷的更换方法
CN203474889U (zh) 真空阴极弧金属表面镀膜的自动控制装置
CN210134160U (zh) 一种连续溅射镀膜设备抽除水气装置
CN204959024U (zh) 塑料件金属陶瓷化磁控溅射镀膜装置
CN108385062A (zh) 一种(AlxGa1-x)2O3合金薄膜的制备方法
CN214655228U (zh) 一种连续多腔体真空镀膜机
US20160298902A1 (en) Vacuum Pipeline System
CN109778133A (zh) 真空镀膜工艺中基于互联网的工艺参数调整方法
CN112501578A (zh) 渐变色镀膜机的镀膜质量控制方法
KR20160045667A (ko) 스퍼터링 성막 장치 및 스퍼터링 성막 방법
CN204058586U (zh) 一种陶瓷用双开门真空镀膜机
KR20160077177A (ko) 금속 마그네슘의 전처리 장치 및 방법
CN203307429U (zh) 一种真空镀膜自动控制装置
CN105908146B (zh) 旋转式磁控靶及卧式磁控溅射镀膜设备
CN210620918U (zh) 一种真空镀膜机用镀膜腔体快速冷却装置
CN103255386B (zh) 动态沉积磁控溅射镀膜装置、方法及该方法制造的衬底
Swady Process control of reactive magnetron sputtering of thin films of zirconium dioxides

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20160504