CN109680256A - 一种真空镀膜实验线控制系统 - Google Patents

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王果
李小军
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process

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Abstract

本发明公开了一种真空镀膜实验线控制系统，其包括有：一气体控制单元，用于控制输入气体的流量；一伺服传动控制单元，用于控制真空镀膜实验线运转；一报警单元，用于发出声、光和信息提示；一模拟开关单元，用于控制输送管道的开关状态；一界面单元，所述界面单元对应气体控制单元、伺服传动控制单元、报警单元和模拟开关单元分别设有操作显示交互栏，所述操作显示交互栏用于显示数据和键入控制指令。本发明采用自制上位机软件，用以实现预设自动运行、成本低廉、稳定可靠。

Description

一种真空镀膜实验线控制系统
技术领域
本发明涉及真空镀膜实验线，尤其涉及一种真空镀膜实验线控制系统。
背景技术
真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，在真空室内，材料的原子从加热源离析出来，打到被渡物体的表面上，此项技术最先应用于生产光学镜片，如航海望远镜镜片等，后来延伸到其他功能薄膜。目前真空镀膜实验线的自动控制系统、软件主要采用国外购买或采用比较简单的触摸屏加PLC控制系统，由于需要从国外采购元器件，存在成本昂贵、二次开发受到制约等问题，如采用比较简单的触摸屏加PLC控制系统，因其通讯速度慢，工艺配方和在线控制得不到及时实现和监控，无法满足智能控制平台的特性需求。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术的不足，提供一种采用自制上位机软件，用以实现预设自动运行、成本低廉、稳定可靠的真空镀膜实验线控制系统。
为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案。
一种真空镀膜实验线控制系统，其包括有：一气体控制单元，用于控制输入气体的流量；一伺服传动控制单元，用于控制真空镀膜实验线运转；一报警单元，用于发出声、光和信息提示；一模拟开关单元，用于控制输送管道的开关状态；一界面单元，所述界面单元对应气体控制单元、伺服传动控制单元、报警单元和模拟开关单元分别设有操作显示交互栏，所述操作显示交互栏用于显示数据和键入控制指令。
优选地，所述气体控制单元包括有六个流量计，六个流量计包括有三个氩气控制流量计和三个氧气控制流量计。
优选地，所述伺服传动控制单元包括有手动控制模块和自动控制模块。
优选地，所述自动控制模块用于设置镀膜次数、已运行镀膜周期次数、起点角度值、终点角度值和镀膜速度。
优选地，所述模拟开关单元包括有三个泵体和三个真空阀门。
优选地，三个泵体分别为旋片泵、罗茨泵和分子泵，三个真空阀门分别为碟阀、前级阀和挡板阀。
优选地，所述界面单元是显示于计算机的界面单元。
本发明公开的真空镀膜实验线控制系统中，在气体控制单元、伺服传动控制单元、报警单元、模拟开关单元和界面单元的配合作用下，实现了远程系统的控制与监测，相比现有技术中采用本地人机界面操作的方式而言，解决了现有操作方式和操作权限受限，信号的采集和监控不能实时反馈等问题，使得本发明工艺在调整方面更加方便，无论是本地控制还是远程操作，都可以在线不间断采集与控制。
附图说明
图1为本发明真空镀膜实验线控制系统的组成框图。
图2为界面单元的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作更加详细的描述。
本发明公开了一种真空镀膜实验线控制系统，结合图1和图2所示，其包括有：
一气体控制单元1，用于控制输入气体的流量；
一伺服传动控制单元2，用于控制真空镀膜实验线运转；
一报警单元3，用于发出声、光和信息提示；
一模拟开关单元4，用于控制输送管道的开关状态；
一界面单元5，所述界面单元5对应气体控制单元1、伺服传动控制单元2、报警单元3和模拟开关单元4分别设有操作显示交互栏，所述操作显示交互栏用于显示数据和键入控制指令。
上述真空镀膜实验线控制系统中，在气体控制单元1、伺服传动控制单元2、报警单元3、模拟开关单元4和界面单元5的配合作用下，实现了远程系统的控制与监测，相比现有技术中采用本地人机界面操作的方式而言，解决了现有操作方式和操作权限受限，信号的采集和监控不能实时反馈等问题，使得本发明工艺在调整方面更加方便，无论是本地控制还是远程操作，都可以在线不间断采集与控制。
进一步地，所述气体控制单元1包括有六个流量计，六个流量计包括有三个氩气控制流量计和三个氧气控制流量计。
本实施例中，所述伺服传动控制单元2包括有手动控制模块和自动控制模块。
进一步地，所述自动控制模块用于设置镀膜次数、已运行镀膜周期次数、起点角度值、终点角度值和镀膜速度。
实际应用中，所述模拟开关单元4包括有三个泵体和三个真空阀门。进一步地，三个泵体分别为旋片泵、罗茨泵和分子泵，三个真空阀门分别为碟阀、前级阀和挡板阀。
本实施例中，所述界面单元5是显示于计算机的界面单元。其实际应用过程中，控制系统界面共一界面，包括MFC气体控制区、伺服传动控制区、报警区、实物模拟控制四部分。
MFC气体控制：此系统有六个流量计，各分为三个氩气控制和三个氧气控制，输入所需流量大小，自动供给与反馈流量；
伺服传动控制：在功能设计方面，手动部分有点动正反转、搜索原点、自动返回原点四种功能，方便手动调试，手动运行。自动部分中有镀膜次数用户自设、当前已运行镀膜周期次数、起点角度值、终点角度值、镀膜速度设置、另包括自动镀膜开始按钮。其镀膜次数和当前镀膜次数，是在自动镀膜运行前预设和反馈镀膜周期量；同时起点的角度和终点角度值也是预设功能，由于我们的实验线体为旋转式镀膜方式，所以存在角度转向，本功能中增加角度设置，自动运行所设角度区域周期反复镀膜，比如本硬件箱体结构为四方型，东南西北四面，各对应原点60度角度分布，由于西面为泵组接口，故只有三面可以镀膜，东南北面，以西面为零位，当北面正角为60度时，东面即为120度、南面为180度，从而实现自选镀膜区域，方便简洁操作；
报警窗口：实时体现当前和历史故障信息，方便用户随时查阅；
实物模拟控制部分：本装置有三个泵(旋片泵、罗茨泵、分子泵)、三个真空阀门(碟阀、前级阀、挡板阀)。其中泵组控制是有顺序控制的，需先开启旋片泵后，再开启罗茨泵，同时在满足以许开启分子泵真空度时，方可开启分子泵；各阀是对应各泵组控制，进行管道开关以至连接箱体，动态显示开关状态，互动直观。
以上所述只是本发明较佳的实施例，并不用于限制本发明，凡在本发明的技术范围内所做的修改、等同替换或者改进等，均应包含在本发明所保护的范围内。

Claims (7)

1.一种真空镀膜实验线控制系统，其特征在于，包括有：
一气体控制单元(1)，用于控制输入气体的流量；
一伺服传动控制单元(2)，用于控制真空镀膜实验线运转；
一报警单元(3)，用于发出声、光和信息提示；
一模拟开关单元(4)，用于控制输送管道的开关状态；
一界面单元(5)，所述界面单元(5)对应气体控制单元(1)、伺服传动控制单元(2)、报警单元(3)和模拟开关单元(4)分别设有操作显示交互栏，所述操作显示交互栏用于显示数据和键入控制指令。
2.如权利要求1所述的真空镀膜实验线控制系统，其特征在于，所述气体控制单元(1)包括有六个流量计，六个流量计包括有三个氩气控制流量计和三个氧气控制流量计。
3.如权利要求1所述的真空镀膜实验线控制系统，其特征在于，所述伺服传动控制单元(2)包括有手动控制模块和自动控制模块。
4.如权利要求3所述的真空镀膜实验线控制系统，其特征在于，所述自动控制模块用于设置镀膜次数、已运行镀膜周期次数、起点角度值、终点角度值和镀膜速度。
5.如权利要求1所述的真空镀膜实验线控制系统，其特征在于，所述模拟开关单元(4)包括有三个泵体和三个真空阀门。
6.如权利要求5所述的真空镀膜实验线控制系统，其特征在于，三个泵体分别为旋片泵、罗茨泵和分子泵，三个真空阀门分别为碟阀、前级阀和挡板阀。
7.如权利要求1所述的真空镀膜实验线控制系统，其特征在于，所述界面单元(5)是显示于计算机的界面单元。
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CN1603461A (zh) * 2004-11-17 2005-04-06 中国科学院上海光学精密机械研究所 镀膜夹具的计算机控制装置
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