CN105525267A - 一种磁控溅射法制备涂层导体Y1-XRExBCO超导层的方法 - Google Patents
一种磁控溅射法制备涂层导体Y1-XRExBCO超导层的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105525267A CN105525267A CN201610037521.3A CN201610037521A CN105525267A CN 105525267 A CN105525267 A CN 105525267A CN 201610037521 A CN201610037521 A CN 201610037521A CN 105525267 A CN105525267 A CN 105525267A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- bco
- superconducting layer
- magnetron sputtering
- oxygen
- coating conductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/08—Oxides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B12/00—Superconductive or hyperconductive conductors, cables, or transmission lines
- H01B12/02—Superconductive or hyperconductive conductors, cables, or transmission lines characterised by their form
- H01B12/06—Films or wires on bases or cores
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E40/00—Technologies for an efficient electrical power generation, transmission or distribution
- Y02E40/60—Superconducting electric elements or equipment; Power systems integrating superconducting elements or equipment
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
Abstract
本发明提供一种涂层导体Y1-xRExBCO超导层的生长方法,具体涉及一种利用磁控溅射法在铝酸镧(LAO)基片上制备Y1-xRExBCO超导层的方法,有效克服YBCO超导层的厚度效应,提高超导载流能力。先用Sm或者Gd部分代替Y制备Y1-xRExBCO磁控溅射靶材,然后再将反应室抽真空至真空度小于等于5×10-4Pa,将LAO基片加热至600~700℃,20~30分钟后充入氩气和氧气至腔体气压稳定在30~60Pa,氧气氩气比例为1:2~1:3,以Y1-xRExBCO为靶材,开始溅射。溅射结束后,降温至400~450℃并充入氧气至气压维持在700~750mbar,进行40~80分钟退火处理。镀膜结束,将温度降至室温,得到LAO基带上生长的Y1-xRExBCO超导层。利用该方法能生产出Y1-xRExBCO超导层的厚度达到3μm的涂层导体。
Description
技术领域
本发明属于超导层制备领域,具体涉及磁控溅射法制备涂层导体YBCO领域。
背景技术
随着现代化社会的发展,各行业用电需求的增加,我们对传输电缆的要求越来越高,但是现在的传输电缆普遍都会在传输过程中消耗掉大量的电能,造成不必要的浪费。如果使用超导带材来传输,则不仅可以避免电能的损失,而且还可以节省大量金属材料。
当今超导带材的研究热点在基于YBCO(钇钡铜氧)体系的第二代高温超导带材,目前制备第二代Y系高温超导带材的主要方法是涂层导体的方法,涂层导体的最底层为基带,然后是缓冲层、超导涂层和稳定层。但是基于YBCO体系的涂层导体存在厚度效应,即当其厚度大于一定值(约1μm)时临界电流密度、甚至临界电流出现减少的现象,这使人们试图通过增加厚度来提高超导载流能力的设想难于实现。研究发现,随着YBCO薄膜厚度的增加,其膜内应力也会随之变化。其中压应力有利于维持c轴取向的生长,但是随着厚度的增加这种压应力会慢慢被释放掉,所以维持膜内压应力是解决厚度效应的一个有效办法。常见的REBCO涂层导体中,GdBCO和SmBCO的晶格常数都要大于YBCO的晶格常数,若使用稀土元素Gd3+或者Sm3+部分替代钇位,则YBCO就会对GdBCO或者SmBCO产生这种压应力,从而维持c轴取向生长,保持较高载流能力,有效克服厚度效应。
磁控溅射技术是在涂层导体的制备过程中一个比较有效的方法,具有沉积速度快,基材温度低,对膜层损伤小等特点,而且溅射所得的薄膜与基片结合较好,而且膜的纯度高,同时易于实现工业化。
发明内容
根据以上技术背景,本发明的目的在于提供一种低成本,高效率,有利于工业化生产高质量Y1-xRExBCO涂层导体的方法,采用磁控溅射技术,通过较大离子半径的Sm3+或者Gd3+部分替代Y3+位的方法制备Y1-xRExBCO磁控溅射的靶材,然后溅射成膜,再进行退火处理,最后可得到厚度为3.0μm的高载流能力的涂层导体。
为了实现上述发明目的,本发明采用以下技术方案:
步骤1:氧化钇、氧化钐、氧化钡、氧化铜或氧化钇、氧化钆、氧化钡和氧化铜四种金属氧化物粉末按照金属阳离子摩尔比:Y:RE:Ba:Cu=1-x:x:2:3的比例混合在一起利用球形研磨机研磨5~10小时,其中RE是Gd或者Sm,0.1≦x≦0.6;
步骤2:对粉末进行压缩成型,采用干压成型工艺,使用的磨具规格为直径5cm,成型压力为8~14kg/cm2;
步骤3:压制好的块状样品放入炉中,以10℃/min的速率升温到850~900℃,并保持此温度24小时,然后以10℃/min的速率升到1050~1100℃保持1小时,然后再以2℃/min的速度降温到950℃,然后自然降温得到块状Y1-xRExBCO靶材;
步骤4:对铝酸镧(LAO)基片进行清洁处理;
步骤5:对磁控溅射腔体抽真空至真空度小于等于5×10-4Pa,将金属基带加热至600℃~700℃,20~30分钟后充入氩气和氧气至腔体,气压稳定在30~60Pa,氧气氩气比例为1:2~1:3,以Y1-xRExBCO为靶材,开始溅射4~12小时以上;
步骤6:溅射结束后,降温至400~450℃并充入氧气,气压维持在700~750mbar,进行40~80分钟退火处理。镀膜结束,将温度降至室温,得到具有立方织构氧化物隔离层的金属基带上生长的Y1-xRExBCO超导层。
本发明提供一种磁控溅射法制备涂层导体Y1-xRExBCO超导层的方法,其优点在于:
1、在原来制备YBCO靶材的基础上,用Sm离子或者Gd离子部分替代Y离子,可以改变膜内剩余应力,从而达到有效克服厚度效应的目的,实现涂层导体的高载流能力
2、采用磁控溅射技术生长Y1-xRExBCO超导层具有较高的生长速率,能够降低生产成本;
3、采用磁控溅射技术生长Y1-xRExBCO超导层工艺简单、生产过程中工艺参数容易控制。
附图说明
图1:Y1-xRExBCO涂层导体超导层XRD衍射图
图2:Jc和Ic随厚度变化图像
具体实施方式
实例1
本实施例为在铝酸镧(LAO)基片上制备厚度为1μm的Y1-xRExBCO超导层。采用常规的磁控溅射沉积工艺,在磁控溅射设备中进行。具体工艺如下:
(1)、氧化钇、氧化钆、氧化钡、氧化铜四种金属氧化物粉末按照金属阳离子摩尔比:Y:Gd:Ba:Cu=0.9:0.1:2:3的比例混合在一起利用球形研磨机研磨5小时;
(2)、采用干压成型工艺对粉末进行压缩成型,使用的磨具规格为直径5cm,成型压力为8~14kg/cm2;
(3)、压制好的块状样品放入炉中,以10℃/min的速率升温到850~900℃,并保持此温度24小时,然后以10℃/min的速率升到1050~1100℃保持1小时,然后再以2℃/min的速度降温到950℃,然后自然降温得到块状Y1-xRExBCO靶材;
(4)、对铝酸镧(LAO)基片进行清洁处理;
(5)、对磁控溅射腔体抽真空至真空度小于等于5×10-4Pa,将金属基带加热至600℃~700℃,20~30分钟后充入氩气和氧气至腔体气压稳定在30~60Pa,氧气氩气比例为1:2~1:3,以Y1-xRExBCO为靶材,溅射4小时;
(6)、溅射结束后,降温至400~450℃并充入氧气至气压维持在700~750mbar,进行40~80分钟退火处理。镀膜结束,将温度降至室温,得到具有立方织构氧化物隔离层的金属基带上生长的Y1-xRExBCO超导层。
实例2
本实施例为在铝酸镧(LAO)基片上制备厚度为2μm的Y1-xRExBCO超导层。采用常规的磁控溅射沉积工艺,在磁控溅射设备中进行。具体工艺如下:
(1)、氧化钇、氧化钆、氧化钡、氧化铜四种金属氧化物粉末按照金属阳离子摩尔比:Y:Gd:Ba:Cu=0.7:0.3:2:3的比例混合在一起利用球形研磨机研磨7小时;
(2)、重复实施例1中的步骤(2);
(3)、重复实施例1中的步骤(3);
(4)、重复实施例1中的步骤(4);
(5)、对磁控溅射腔体抽真空至真空度小于等于5×10-4Pa,将金属基带加热至600℃~700℃,20~30分钟后充入氩气和氧气至腔体气压稳定在30~60Pa,氧气氩气比例为1:2~1:3,以Y1-xRExBCO为靶材,溅射8小时;
(6)、重复实施例1中的步骤(6);
实例3
本实施例为在铝酸镧(LAO)基片上制备厚度为3μm的Y1-xRExBCO超导层。采用常规的磁控溅射沉积工艺,在磁控溅射设备中进行。具体工艺如下:
(1)、氧化钇、氧化钆、氧化钡、氧化铜四种金属氧化物粉末按照金属阳离子摩尔比:Y:Gd:Ba:Cu=0.4:0.6:2:3的比例混合在一起利用球形研磨机研磨9小时;
(2)、重复实施例1中的步骤(2);
(3)、重复实施例1中的步骤(3);
(4)、重复实施例1中的步骤(4);
(5)、对磁控溅射腔体抽真空至真空度小于等于5×10-4Pa,将金属基带加热至600℃~700℃,20~30分钟后充入氩气和氧气至腔体气压稳定在30~60Pa,氧气氩气比例为1:2~1:3,以Y1-xRExBCO为靶材,溅射12小时;
(6)、重复实施例1中的步骤(6);
实例4
本实施例为在铝酸镧(LAO)基片上制备厚度为1μm的Y1-xRExBCO超导层。采用常规的磁控溅射沉积工艺,在磁控溅射设备中进行。具体工艺如下:
(1)、氧化钇、氧化钐、氧化钡、氧化铜四种金属氧化物粉末按照金属阳离子摩尔比:Y:Sm:Ba:Cu=0.9:0.1:2:3的比例混合在一起利用球形研磨机研磨5小时;
(2)、重复实施例1中的步骤(2);
(3)、重复实施例1中的步骤(3);
(4)、重复实施例1中的步骤(4);
(5)、重复实施例1中的步骤(5);
(6)、重复实施例1中的步骤(6);
实例5
本实施例为在铝酸镧(LAO)基片上制备厚度为2μm的Y1-xRExBCO超导层。采用常规的磁控溅射沉积工艺,在磁控溅射设备中进行。具体工艺如下:
(1)、氧化钇、氧化钆、氧化钡、氧化铜四种金属氧化物粉末按照金属阳离子摩尔比:Y:Sm:Ba:Cu=0.7:0.3:2:3的比例混合在一起利用球形研磨机研磨7小时;
(2)、重复实施例1中的步骤(2);
(3)、重复实施例1中的步骤(3);
(4)、重复实施例1中的步骤(4);
(5)、重复实施例2中的步骤(5);
(6)、重复实施例1中的步骤(6);
实例5
本实施例为在铝酸镧(LAO)基片上制备厚度为3μm的Y1-xRExBCO超导层。采用常规的磁控溅射沉积工艺,在磁控溅射设备中进行。具体工艺如下:
(1)、氧化钇、氧化钆、氧化钡、氧化铜四种金属氧化物粉末按照金属阳离子摩尔比:Y:Sm:Ba:Cu=0.4:0.6:2:3的比例混合在一起利用球形研磨机研磨9小时;
(2)、重复实施例1中的步骤(2);
(3)、重复实施例1中的步骤(3);
(4)、重复实施例1中的步骤(4);
(5)、重复实施例3中的步骤(5);
(6)、重复实施例1中的步骤(6);
根据本发明技术方案所得的Y1-xRExBCO超导层,如图1所示的XRD图谱,可以看出REBO超导层具有很好的c轴取向;
根据本发明还能得到厚度大于2μm的Y1-xRExBCO涂层导体,该涂层导体是现有技术所没有,其优点在于随着超导层厚度的增加,Y1-xRExBCO超导层具有很好的c轴取向和双轴织构水平,因此其临界电流密度没有明显的降低。,如图2所示,因此,该涂层导体能够通过增加厚度实现超导载流能力的增加,有效克服YBCO超导带材的厚度效应。
Claims (7)
1.一种磁控溅射法制备涂层导体Y1-xRExBCO超导层的方法,其特征在于,方法的步骤如下:
步骤1:氧化钇、氧化钐、氧化钡和氧化铜或氧化钇、氧化钆、氧化钡和氧化铜四种金属氧化物粉末按照金属阳离子摩尔比:Y:RE:Ba:Cu=1-x:x:2:3的比例混合在一起研磨;
步骤2:对粉末进行压缩成型;
步骤3:压制好的块状样品放入炉中,以5℃/min的速率升温到850~900℃,并保持此温度24小时,然后以5℃/min的速率升到1050~1100℃保持1小时,然后再以2℃/min的速度降温到950℃,然后自然降温得到块状Y1-XREXBCO靶材;
步骤4:对铝酸镧(LAO)基片进行清洁处理;
步骤5:对磁控溅射腔体抽真空至真空度小于等于5×10-4Pa,将LAO基片加热至600℃~700℃,20~30分钟后充入氩气和氧气至腔体气压稳定在30~60Pa,以Y1-XREXBCO为靶材,开始溅射4~12小时以上;
步骤6:溅射结束后,降温至400~450℃并充入氧气,进行40~80分钟退火处理。镀膜结束,将温度降至室温,得到LAO基片上生长的Y1-XREXBCO超导层。
2.根据权利要求1所述的磁控溅射法制备涂层导体Y1-XREXBCO超导层的方法,其特征在于,步骤1中四种金属阳离子浓度摩尔比为Y:RE:Ba:Cu=1-x:x:2:3,其中RE是Gd或者Sm,0.1≦x≦0.6;
3.根据权利要求1所述的磁控溅射法制备涂层导体Y1-XREXBCO涂层导体的方法,其特征在于,步骤6中Y1-XREXBCO超导涂层的厚度为3μm。
4.根据权利要求1所述的磁控溅射法制备涂层导体Y1-XREXBCO超导层的方法,其特征在于,步骤2中对粉末进行压缩成型的方法是采用干压成型工艺。
5.根据权利要求4所述的磁控溅射法制备涂层导体Y1-XREXBCO超导层的方法,其特征在于,干压成型使用的磨具规格为直径5cm,成型压力为8~14kg/cm2。
6.根据权利要求1所述的磁控溅射法制备涂层导体Y1-XREXBCO超导层的方法,其特征在于,步骤5中氧气氩气比例为1:2~1:3。
7.根据权利要求1所述的磁控溅射法制备涂层导体Y1-XREXBCO超导层的方法,其特征在于,步骤6中充入氧气后的气压维持在700~750mbar。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610037521.3A CN105525267A (zh) | 2016-01-20 | 2016-01-20 | 一种磁控溅射法制备涂层导体Y1-XRExBCO超导层的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610037521.3A CN105525267A (zh) | 2016-01-20 | 2016-01-20 | 一种磁控溅射法制备涂层导体Y1-XRExBCO超导层的方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN105525267A true CN105525267A (zh) | 2016-04-27 |
Family
ID=55767784
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201610037521.3A Pending CN105525267A (zh) | 2016-01-20 | 2016-01-20 | 一种磁控溅射法制备涂层导体Y1-XRExBCO超导层的方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN105525267A (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106282923A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-01-04 | 北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司 | 高温超导薄膜制备方法 |
CN112962075A (zh) * | 2021-02-04 | 2021-06-15 | 西南交通大学 | 一种三靶共溅射制备第二代高温超导带材的方法 |
RU2767282C1 (ru) * | 2020-11-03 | 2022-03-17 | Санам Ко., Лтд. | Сверхпроводящий провод и способ его формирования |
KR20220059886A (ko) * | 2020-11-03 | 2022-05-10 | 주식회사 서남 | 초전도 와이어 및 그 제조 방법 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103614697A (zh) * | 2013-11-08 | 2014-03-05 | 南京邮电大学 | 一种涂层导体DyBCO超导层的生长方法及DyBCO涂层导体 |
-
2016
- 2016-01-20 CN CN201610037521.3A patent/CN105525267A/zh active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103614697A (zh) * | 2013-11-08 | 2014-03-05 | 南京邮电大学 | 一种涂层导体DyBCO超导层的生长方法及DyBCO涂层导体 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
LINFEI LIU ETAL: ""fabrication of thick rebco-coated conductors with high performance on metal tapes by pulsed laser deposition process", 《J SUPERCOND NOV MAGN》 * |
郭青蔚等: "YBCO高温超导靶材制备工艺研究", 《稀有金属》 * |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106282923A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-01-04 | 北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司 | 高温超导薄膜制备方法 |
CN106282923B (zh) * | 2016-08-31 | 2017-07-18 | 北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司 | 高温超导薄膜制备方法 |
RU2767282C1 (ru) * | 2020-11-03 | 2022-03-17 | Санам Ко., Лтд. | Сверхпроводящий провод и способ его формирования |
KR20220059886A (ko) * | 2020-11-03 | 2022-05-10 | 주식회사 서남 | 초전도 와이어 및 그 제조 방법 |
KR102577735B1 (ko) * | 2020-11-03 | 2023-09-14 | 주식회사 서남 | 초전도 와이어 및 그 제조 방법 |
CN112962075A (zh) * | 2021-02-04 | 2021-06-15 | 西南交通大学 | 一种三靶共溅射制备第二代高温超导带材的方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103526297B (zh) | 一种制备拓扑绝缘体Bi2Se3薄膜的方法 | |
CN103184513B (zh) | 高温超导薄膜的制备方法 | |
CN101456726B (zh) | 一种制备高临界电流密度钇钡铜氧超导薄膜的方法 | |
CN105525267A (zh) | 一种磁控溅射法制备涂层导体Y1-XRExBCO超导层的方法 | |
CN103985479A (zh) | 一种低成本高温超导涂层导体带材的制备方法 | |
JP3089294B2 (ja) | 超電導テープ材の製造方法 | |
CN103203913A (zh) | 高温超导薄膜 | |
CN102925985B (zh) | 基于双层碳化硅支架批量生长rebco高温超导块体的方法 | |
CN110373717B (zh) | 一种利用组分分层控制法生长rebco高温超导块材的方法 | |
CN101319379A (zh) | 45°稀土钡铜氧薄膜籽晶高速生长超导块材的方法 | |
CN103086709B (zh) | 钇钡铜氧超导薄膜的制备方法 | |
CN1905081A (zh) | 一种具有导电缓冲层的钇钡铜氧涂层导体及制备方法 | |
WO2004059752A1 (fr) | Procede d'amelioration de surface utilise dans la fabrication de dispositifs supraconducteurs a haute temperature | |
US7871663B1 (en) | Minute doping for YBCO flux pinning | |
CN102569636B (zh) | 一种化学溶液法制备钆钡铜氧高温超导薄膜的方法 | |
CN101649451A (zh) | MOD法在双轴织构NiW合金上制备镧锶钴氧导电薄膜 | |
CN103014861B (zh) | 宝塔形大尺寸rebco高温超导块体的制备方法 | |
US20110045984A1 (en) | Superconductive Compositions with Enhanced Flux Pinning | |
Zhang et al. | Tunable Density of FeSe $ _ {1-x} $ Te $ _x $ Targets With High Pressure Sintering | |
CN103243383B (zh) | 一种冷速控制高温超导块体材料的生长方法 | |
CN1258618C (zh) | 一种在金属基底上形成织构外延膜的方法 | |
CN102723141B (zh) | 一种高温超导涂层导体Gd1-xCaxBiO3缓冲层及其制备方法 | |
CN100368597C (zh) | 在无织构的金属基带上制备ybco高温超导薄膜的方法 | |
CN103614697A (zh) | 一种涂层导体DyBCO超导层的生长方法及DyBCO涂层导体 | |
CN118308692A (zh) | 一种在金属软基带上制备(Cu,C)Ba2Can-1CunO2n+3超导薄膜的方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20160427 |