CN105525267A - 一种磁控溅射法制备涂层导体Y1-XRExBCO超导层的方法 - Google Patents

一种磁控溅射法制备涂层导体Y1-XRExBCO超导层的方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种涂层导体Y1-xRExBCO超导层的生长方法,具体涉及一种利用磁控溅射法在铝酸镧(LAO)基片上制备Y1-xRExBCO超导层的方法,有效克服YBCO超导层的厚度效应,提高超导载流能力。先用Sm或者Gd部分代替Y制备Y1-xRExBCO磁控溅射靶材,然后再将反应室抽真空至真空度小于等于5×10-4Pa,将LAO基片加热至600~700℃,20~30分钟后充入氩气和氧气至腔体气压稳定在30~60Pa,氧气氩气比例为1:2~1:3,以Y1-xRExBCO为靶材,开始溅射。溅射结束后,降温至400~450℃并充入氧气至气压维持在700~750mbar,进行40~80分钟退火处理。镀膜结束,将温度降至室温,得到LAO基带上生长的Y1-xRExBCO超导层。利用该方法能生产出Y1-xRExBCO超导层的厚度达到3μm的涂层导体。

Description

一种磁控溅射法制备涂层导体Y1-XRExBCO超导层的方法
技术领域
本发明属于超导层制备领域,具体涉及磁控溅射法制备涂层导体YBCO领域。
背景技术
随着现代化社会的发展,各行业用电需求的增加,我们对传输电缆的要求越来越高,但是现在的传输电缆普遍都会在传输过程中消耗掉大量的电能,造成不必要的浪费。如果使用超导带材来传输,则不仅可以避免电能的损失,而且还可以节省大量金属材料。
当今超导带材的研究热点在基于YBCO(钇钡铜氧)体系的第二代高温超导带材,目前制备第二代Y系高温超导带材的主要方法是涂层导体的方法,涂层导体的最底层为基带,然后是缓冲层、超导涂层和稳定层。但是基于YBCO体系的涂层导体存在厚度效应,即当其厚度大于一定值(约1μm)时临界电流密度、甚至临界电流出现减少的现象,这使人们试图通过增加厚度来提高超导载流能力的设想难于实现。研究发现,随着YBCO薄膜厚度的增加,其膜内应力也会随之变化。其中压应力有利于维持c轴取向的生长,但是随着厚度的增加这种压应力会慢慢被释放掉,所以维持膜内压应力是解决厚度效应的一个有效办法。常见的REBCO涂层导体中,GdBCO和SmBCO的晶格常数都要大于YBCO的晶格常数,若使用稀土元素Gd3+或者Sm3+部分替代钇位,则YBCO就会对GdBCO或者SmBCO产生这种压应力,从而维持c轴取向生长,保持较高载流能力,有效克服厚度效应。
磁控溅射技术是在涂层导体的制备过程中一个比较有效的方法,具有沉积速度快,基材温度低,对膜层损伤小等特点,而且溅射所得的薄膜与基片结合较好,而且膜的纯度高,同时易于实现工业化。
发明内容
根据以上技术背景,本发明的目的在于提供一种低成本,高效率,有利于工业化生产高质量Y1-xRExBCO涂层导体的方法,采用磁控溅射技术,通过较大离子半径的Sm3+或者Gd3+部分替代Y3+位的方法制备Y1-xRExBCO磁控溅射的靶材,然后溅射成膜,再进行退火处理,最后可得到厚度为3.0μm的高载流能力的涂层导体。
为了实现上述发明目的,本发明采用以下技术方案:
步骤1:氧化钇、氧化钐、氧化钡、氧化铜或氧化钇、氧化钆、氧化钡和氧化铜四种金属氧化物粉末按照金属阳离子摩尔比:Y:RE:Ba:Cu=1-x:x:2:3的比例混合在一起利用球形研磨机研磨5~10小时,其中RE是Gd或者Sm,0.1≦x≦0.6;
步骤2:对粉末进行压缩成型,采用干压成型工艺,使用的磨具规格为直径5cm,成型压力为8~14kg/cm2
步骤3:压制好的块状样品放入炉中,以10℃/min的速率升温到850~900℃,并保持此温度24小时,然后以10℃/min的速率升到1050~1100℃保持1小时,然后再以2℃/min的速度降温到950℃,然后自然降温得到块状Y1-xRExBCO靶材;
步骤4:对铝酸镧(LAO)基片进行清洁处理;
步骤5:对磁控溅射腔体抽真空至真空度小于等于5×10-4Pa,将金属基带加热至600℃~700℃,20~30分钟后充入氩气和氧气至腔体,气压稳定在30~60Pa,氧气氩气比例为1:2~1:3,以Y1-xRExBCO为靶材,开始溅射4~12小时以上;
步骤6:溅射结束后,降温至400~450℃并充入氧气,气压维持在700~750mbar,进行40~80分钟退火处理。镀膜结束,将温度降至室温,得到具有立方织构氧化物隔离层的金属基带上生长的Y1-xRExBCO超导层。
本发明提供一种磁控溅射法制备涂层导体Y1-xRExBCO超导层的方法,其优点在于:
1、在原来制备YBCO靶材的基础上,用Sm离子或者Gd离子部分替代Y离子,可以改变膜内剩余应力,从而达到有效克服厚度效应的目的,实现涂层导体的高载流能力
2、采用磁控溅射技术生长Y1-xRExBCO超导层具有较高的生长速率,能够降低生产成本;
3、采用磁控溅射技术生长Y1-xRExBCO超导层工艺简单、生产过程中工艺参数容易控制。
附图说明
图1:Y1-xRExBCO涂层导体超导层XRD衍射图
图2:Jc和Ic随厚度变化图像
具体实施方式
实例1
本实施例为在铝酸镧(LAO)基片上制备厚度为1μm的Y1-xRExBCO超导层。采用常规的磁控溅射沉积工艺,在磁控溅射设备中进行。具体工艺如下:
(1)、氧化钇、氧化钆、氧化钡、氧化铜四种金属氧化物粉末按照金属阳离子摩尔比:Y:Gd:Ba:Cu=0.9:0.1:2:3的比例混合在一起利用球形研磨机研磨5小时;
(2)、采用干压成型工艺对粉末进行压缩成型,使用的磨具规格为直径5cm,成型压力为8~14kg/cm2
(3)、压制好的块状样品放入炉中,以10℃/min的速率升温到850~900℃,并保持此温度24小时,然后以10℃/min的速率升到1050~1100℃保持1小时,然后再以2℃/min的速度降温到950℃,然后自然降温得到块状Y1-xRExBCO靶材;
(4)、对铝酸镧(LAO)基片进行清洁处理;
(5)、对磁控溅射腔体抽真空至真空度小于等于5×10-4Pa,将金属基带加热至600℃~700℃,20~30分钟后充入氩气和氧气至腔体气压稳定在30~60Pa,氧气氩气比例为1:2~1:3,以Y1-xRExBCO为靶材,溅射4小时;
(6)、溅射结束后,降温至400~450℃并充入氧气至气压维持在700~750mbar,进行40~80分钟退火处理。镀膜结束,将温度降至室温,得到具有立方织构氧化物隔离层的金属基带上生长的Y1-xRExBCO超导层。
实例2
本实施例为在铝酸镧(LAO)基片上制备厚度为2μm的Y1-xRExBCO超导层。采用常规的磁控溅射沉积工艺,在磁控溅射设备中进行。具体工艺如下:
(1)、氧化钇、氧化钆、氧化钡、氧化铜四种金属氧化物粉末按照金属阳离子摩尔比:Y:Gd:Ba:Cu=0.7:0.3:2:3的比例混合在一起利用球形研磨机研磨7小时;
(2)、重复实施例1中的步骤(2);
(3)、重复实施例1中的步骤(3);
(4)、重复实施例1中的步骤(4);
(5)、对磁控溅射腔体抽真空至真空度小于等于5×10-4Pa,将金属基带加热至600℃~700℃,20~30分钟后充入氩气和氧气至腔体气压稳定在30~60Pa,氧气氩气比例为1:2~1:3,以Y1-xRExBCO为靶材,溅射8小时;
(6)、重复实施例1中的步骤(6);
实例3
本实施例为在铝酸镧(LAO)基片上制备厚度为3μm的Y1-xRExBCO超导层。采用常规的磁控溅射沉积工艺,在磁控溅射设备中进行。具体工艺如下:
(1)、氧化钇、氧化钆、氧化钡、氧化铜四种金属氧化物粉末按照金属阳离子摩尔比:Y:Gd:Ba:Cu=0.4:0.6:2:3的比例混合在一起利用球形研磨机研磨9小时;
(2)、重复实施例1中的步骤(2);
(3)、重复实施例1中的步骤(3);
(4)、重复实施例1中的步骤(4);
(5)、对磁控溅射腔体抽真空至真空度小于等于5×10-4Pa,将金属基带加热至600℃~700℃,20~30分钟后充入氩气和氧气至腔体气压稳定在30~60Pa,氧气氩气比例为1:2~1:3,以Y1-xRExBCO为靶材,溅射12小时;
(6)、重复实施例1中的步骤(6);
实例4
本实施例为在铝酸镧(LAO)基片上制备厚度为1μm的Y1-xRExBCO超导层。采用常规的磁控溅射沉积工艺,在磁控溅射设备中进行。具体工艺如下:
(1)、氧化钇、氧化钐、氧化钡、氧化铜四种金属氧化物粉末按照金属阳离子摩尔比:Y:Sm:Ba:Cu=0.9:0.1:2:3的比例混合在一起利用球形研磨机研磨5小时;
(2)、重复实施例1中的步骤(2);
(3)、重复实施例1中的步骤(3);
(4)、重复实施例1中的步骤(4);
(5)、重复实施例1中的步骤(5);
(6)、重复实施例1中的步骤(6);
实例5
本实施例为在铝酸镧(LAO)基片上制备厚度为2μm的Y1-xRExBCO超导层。采用常规的磁控溅射沉积工艺,在磁控溅射设备中进行。具体工艺如下:
(1)、氧化钇、氧化钆、氧化钡、氧化铜四种金属氧化物粉末按照金属阳离子摩尔比:Y:Sm:Ba:Cu=0.7:0.3:2:3的比例混合在一起利用球形研磨机研磨7小时;
(2)、重复实施例1中的步骤(2);
(3)、重复实施例1中的步骤(3);
(4)、重复实施例1中的步骤(4);
(5)、重复实施例2中的步骤(5);
(6)、重复实施例1中的步骤(6);
实例5
本实施例为在铝酸镧(LAO)基片上制备厚度为3μm的Y1-xRExBCO超导层。采用常规的磁控溅射沉积工艺,在磁控溅射设备中进行。具体工艺如下:
(1)、氧化钇、氧化钆、氧化钡、氧化铜四种金属氧化物粉末按照金属阳离子摩尔比:Y:Sm:Ba:Cu=0.4:0.6:2:3的比例混合在一起利用球形研磨机研磨9小时;
(2)、重复实施例1中的步骤(2);
(3)、重复实施例1中的步骤(3);
(4)、重复实施例1中的步骤(4);
(5)、重复实施例3中的步骤(5);
(6)、重复实施例1中的步骤(6);
根据本发明技术方案所得的Y1-xRExBCO超导层,如图1所示的XRD图谱,可以看出REBO超导层具有很好的c轴取向;
根据本发明还能得到厚度大于2μm的Y1-xRExBCO涂层导体,该涂层导体是现有技术所没有,其优点在于随着超导层厚度的增加,Y1-xRExBCO超导层具有很好的c轴取向和双轴织构水平,因此其临界电流密度没有明显的降低。,如图2所示,因此,该涂层导体能够通过增加厚度实现超导载流能力的增加,有效克服YBCO超导带材的厚度效应。

Claims (7)

1.一种磁控溅射法制备涂层导体Y1-xRExBCO超导层的方法,其特征在于,方法的步骤如下:
步骤1:氧化钇、氧化钐、氧化钡和氧化铜或氧化钇、氧化钆、氧化钡和氧化铜四种金属氧化物粉末按照金属阳离子摩尔比:Y:RE:Ba:Cu=1-x:x:2:3的比例混合在一起研磨;
步骤2:对粉末进行压缩成型;
步骤3:压制好的块状样品放入炉中,以5℃/min的速率升温到850~900℃,并保持此温度24小时,然后以5℃/min的速率升到1050~1100℃保持1小时,然后再以2℃/min的速度降温到950℃,然后自然降温得到块状Y1-XREXBCO靶材;
步骤4:对铝酸镧(LAO)基片进行清洁处理;
步骤5:对磁控溅射腔体抽真空至真空度小于等于5×10-4Pa,将LAO基片加热至600℃~700℃,20~30分钟后充入氩气和氧气至腔体气压稳定在30~60Pa,以Y1-XREXBCO为靶材,开始溅射4~12小时以上;
步骤6:溅射结束后,降温至400~450℃并充入氧气,进行40~80分钟退火处理。镀膜结束,将温度降至室温,得到LAO基片上生长的Y1-XREXBCO超导层。
2.根据权利要求1所述的磁控溅射法制备涂层导体Y1-XREXBCO超导层的方法,其特征在于,步骤1中四种金属阳离子浓度摩尔比为Y:RE:Ba:Cu=1-x:x:2:3,其中RE是Gd或者Sm,0.1≦x≦0.6;
3.根据权利要求1所述的磁控溅射法制备涂层导体Y1-XREXBCO涂层导体的方法,其特征在于,步骤6中Y1-XREXBCO超导涂层的厚度为3μm。
4.根据权利要求1所述的磁控溅射法制备涂层导体Y1-XREXBCO超导层的方法,其特征在于,步骤2中对粉末进行压缩成型的方法是采用干压成型工艺。
5.根据权利要求4所述的磁控溅射法制备涂层导体Y1-XREXBCO超导层的方法,其特征在于,干压成型使用的磨具规格为直径5cm,成型压力为8~14kg/cm2
6.根据权利要求1所述的磁控溅射法制备涂层导体Y1-XREXBCO超导层的方法,其特征在于,步骤5中氧气氩气比例为1:2~1:3。
7.根据权利要求1所述的磁控溅射法制备涂层导体Y1-XREXBCO超导层的方法,其特征在于,步骤6中充入氧气后的气压维持在700~750mbar。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106282923A (zh) * 2016-08-31 2017-01-04 北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司 高温超导薄膜制备方法
CN112962075A (zh) * 2021-02-04 2021-06-15 西南交通大学 一种三靶共溅射制备第二代高温超导带材的方法
RU2767282C1 (ru) * 2020-11-03 2022-03-17 Санам Ко., Лтд. Сверхпроводящий провод и способ его формирования
KR20220059886A (ko) * 2020-11-03 2022-05-10 주식회사 서남 초전도 와이어 및 그 제조 방법

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103614697A (zh) * 2013-11-08 2014-03-05 南京邮电大学 一种涂层导体DyBCO超导层的生长方法及DyBCO涂层导体

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103614697A (zh) * 2013-11-08 2014-03-05 南京邮电大学 一种涂层导体DyBCO超导层的生长方法及DyBCO涂层导体

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
LINFEI LIU ETAL: ""fabrication of thick rebco-coated conductors with high performance on metal tapes by pulsed laser deposition process", 《J SUPERCOND NOV MAGN》 *
郭青蔚等: "YBCO高温超导靶材制备工艺研究", 《稀有金属》 *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106282923A (zh) * 2016-08-31 2017-01-04 北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司 高温超导薄膜制备方法
CN106282923B (zh) * 2016-08-31 2017-07-18 北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司 高温超导薄膜制备方法
RU2767282C1 (ru) * 2020-11-03 2022-03-17 Санам Ко., Лтд. Сверхпроводящий провод и способ его формирования
KR20220059886A (ko) * 2020-11-03 2022-05-10 주식회사 서남 초전도 와이어 및 그 제조 방법
KR102577735B1 (ko) * 2020-11-03 2023-09-14 주식회사 서남 초전도 와이어 및 그 제조 방법
CN112962075A (zh) * 2021-02-04 2021-06-15 西南交通大学 一种三靶共溅射制备第二代高温超导带材的方法

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