CN105508822B - 一种镜头夹持装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种镜头夹持装置，包括：底座；第一滑座；第一驱动机构，与第一滑座驱动连接，第一驱动机构驱动第一滑座沿第一方向运动；第二滑座，沿水平的第二方向滑动设置于第一滑座上；第二驱动机构，与第二滑座驱动连接，第二驱动机构驱动第二滑座沿第二方向运动；竖向弹簧座，竖立固定于第二滑座上；第三滑座，沿竖直方向滑动设置于竖向弹簧座上；第三驱动机构，与第三滑座驱动连接，第三驱动机构驱动第三滑座沿竖直方向运动；夹持机构，安装于第三滑座上，用于夹持镜头。本发明的镜头夹持装置，能够沿三个方向调节夹持的镜头，使得该装置能够满足不同尺寸的芯片的背部检测。另外，该装置降低了操作人员的调试工作，大大提高了检测的效率。

Description

一种镜头夹持装置
技术领域
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种镜头夹持装置。
背景技术
在芯片等半导体制造领域中，许多设备制造商对芯片上表面的要求很高，通过对芯片上表面的图像识别，进行芯片质量好坏的的区分。但是现有技术中，这一方式存在以下缺点：
1)当前道工序完成后，对芯片的背部是否损伤，无法检测。这将对芯片的后续加工与使用造成影响。
2)在生产过程中，芯片种类、大小不一，X、Y、Z方向的位置需频繁的调节。传统的镜头夹持机构只通过机械装配对准中心，位置固定。检测过程中，当识别镜头机构发生位置偏移后，检测镜头机构需要重新调整，但是相机和镜头在设备内部，空间狭小，很不方便调整，由此给调机工艺人员造成很大的障碍，严重影响工作效率。
3)在镜头夹持机构中，对相机尺寸要求固定，不方便不同种型号相机的装配和调整。
发明内容
为了克服现有技术中检测芯片的镜头夹持机构不能进行方向调节的技术问题，本发明提供了一种镜头夹持装置。
为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：
本发明提供了一种镜头夹持装置，包括：
底座；
第一滑座，沿水平的第一方向滑动设置于所述底座上；
第一驱动机构，与所述第一滑座驱动连接，所述第一驱动机构驱动所述第一滑座沿第一方向运动；
第二滑座，沿水平的第二方向滑动设置于所述第一滑座上；
第二驱动机构，与所述第二滑座驱动连接，所述第二驱动机构驱动所述第二滑座沿第二方向运动；
竖向弹簧座，竖立固定于所述第二滑座上；
第三滑座，沿竖直方向滑动设置于所述竖向弹簧座上；
第三驱动机构，与所述第三滑座驱动连接，所述第三驱动机构驱动所述第三滑座沿竖直方向运动；
夹持机构，安装于所述第三滑座上，用于夹持镜头。
进一步来说，所述的镜头夹持装置中，所述第一驱动机构包括：
第一调节轮；
第一加长杆，沿所述第一方向设置，一端与所述第一调节轮连接；
第一调节丝杠，通过一第一连接套与所述第一加长杆轴向连接；
第一调节支座，固定于所述底座上；
所述第一调节丝杠穿过所述第一调节支座与所述第一滑座沿第一方向的一侧抵接。
进一步来说，所述的镜头夹持装置中，所述第二驱动机构包括：
第二方向手持调节机构和第一变向机构，所述第二方向手持调节机构沿第一方向推动所述第一变向机构，所述第一变向机构向沿第二方向推动所述第二滑座；
所述第一变向机构包括：
第二支座，固定于所述底座上；
第二连接座，固定于所述第二支座上；
第一转座，铰接于所述第二支座上，所述第一转座可沿一竖直轴线为旋转轴旋转；
第一轴承，通过第一轴承传动轴与所述第一转座铰接；
所述第一轴承抵靠在所述第二滑座沿第二方向的一侧。
进一步来说，所述的镜头夹持装置中，所述第三驱动机构包括：
第三方向手持调节机构和第二变向机构，所述第三方向手持调节机构沿第一方向推动所述第二变向机构，所述第二变向机构向沿竖直方向推动所述第三滑座；
所述第二变向机构包括：
连接块，固定于所述第二滑座上；
第三支座，设置于所述连接块上；
第二转座，铰接于所述第三支座上，所述第二转座可沿一水平轴线为旋转轴旋转；
第二轴承，通过第二轴承传动轴与所述第二转座铰接；
所述第二轴承抵靠在所述第三滑座的一侧。
进一步来说，所述的镜头夹持装置中，所述第二方向手持调节机构包括：
第二调节轮；
第二加长杆，沿所述第一方向设置，一端与所述第二调节轮连接；
第二调节丝杠，通过一第二连接套与所述第二加长杆轴向连接；
所述第二调节丝杠穿过所述第二连接座与所述第一转座抵接。
进一步来说，所述的镜头夹持装置中，所述第三方向手持调节机构包括：
第三调节轮；
第三加长杆，沿所述第一方向设置，一端与所述第三调节轮连接；
第三调节丝杠，通过一第三连接套与所述第三加长杆轴向连接；
所述第三调节丝杠穿过一第三调节支座与所述第二转座抵接。
进一步来说，所述的镜头夹持装置中，所述第一转座和所述第二支座之间铰接一第一转动轴，所述第一转动轴沿竖直方向设置；所述第一转动轴上设置有两个第一挡边轴承，两个所述第一挡边轴承分别位于所述第二支座的上下两端。
进一步来说，所述的镜头夹持装置中，所述第二转座和所述第三支座之间铰接一第二转动轴，所述第二转动轴沿水平方向设置；所述第二转动轴上设置有两个第二挡边轴承，两个所述第二挡边轴承分别位于所述第三支座的内外两端。
进一步来说，所述的镜头夹持装置中，所述第一滑座沿第一方向的另一侧设置有第一弹簧座，所述第一弹簧座设置在所述底座上；所述第一弹簧座与所述第一滑座之间设置一第一弹簧。
进一步来说，所述的镜头夹持装置中，所述第二滑座沿第二方向的另一侧设置有第二弹簧座，所述第二弹簧座与所述第二滑座之间设置一第二弹簧。
进一步来说，所述的镜头夹持装置中，所述夹持机构包括：
夹块，所述夹块固定在所述第三滑座上，所述第三滑座与所述竖向弹簧座之间设置一第三弹簧。
本发明的有益效果是：本发明的镜头夹持装置，能够沿三个方向调节夹持的镜头，使得该装置能够满足不同尺寸的芯片的背部检测。另外，该装置降低了操作人员的调试工作，大大提高了检测的效率。
附图说明
图1表示本发明实施例中镜头夹持装置的平面示意图一；
图2表示本发明实施例中镜头夹持装置的平面示意图二；
图3表示本发明实施例中镜头夹持装置的立体示意图一；
图4表示本发明实施例中镜头夹持装置的立体示意图二；
图5表示本发明实施例中第二转向机构的局部放大示意图；
图6表示本发明实施例中第一转向机构的局部放大示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例对本发明进行详细描述。
参照图1至图6所示，本发明提供了一种镜头夹持装置，包括：底座9；第一滑座6，沿水平的第一方向滑动设置于底座9上；第一驱动机构，与第一滑座6驱动连接，第一驱动机构驱动第一滑座6沿第一方向运动；第二滑座12，沿水平的第二方向滑动设置于第一滑座6上；第二驱动机构，与第二滑座12驱动连接，第二驱动机构驱动第二滑座12沿第二方向运动；竖向弹簧座20，竖立固定于第二滑座12上；第三滑座21，沿竖直方向滑动设置于竖向弹簧座20上；第三驱动机构，与第三滑座21驱动连接，第三驱动机构驱动第三滑座21沿竖直方向运动；夹持机构，安装于第三滑座21上，用于夹持镜头。
具体来说，本发明的镜头夹持装置，其由下到上依次设置底座9、第一滑座6、第二滑座12、第三滑座21和夹持机构。当第一驱动机构驱动第一滑座6沿第一方向运动时，第一滑座6承载的第二滑座12、第三滑座21和夹持机构均被带动沿水平的第一方向运动。同理，当第二滑座12被第二驱动机构沿第二方向驱动运动时，第三滑座21和夹持机构均被带动沿水平的第二方向运动。同理，当第三滑座21被第三驱动机构沿竖直方向运动时，夹持机构被带动沿竖直方向运动。所以，当检测不同形状的芯片时，需要调整夹持机构夹持位置，通过三个驱动机构即可完成对相机17、镜头18和光源19的位置于水平的两个方向和竖直的一个方向的调节，实现相机17的中心十字线和工作距离的调整。该装置实现在芯片生产制造等半导体的后封装工序中，通过固定夹持的镜头18对各种芯片的背部进行检测，并通过三个驱动机构的调整，使图像识别相机和相机17中心在一条中心线上。通过图像识别和图像检测，筛选出合格的芯片，然后进入下道工序，使得调节更简便，检测效率更高。
夹持机构包括：夹块16，夹块16通过紧固螺钉固定在第三滑座21上，相机17固定在相机夹块16上，相机镜头18机构整体固定在相机夹块16上，可以实现对相机镜头机构的夹持。不同类型的相机可以根据尺寸对相机夹块进行加工，便于更换。夹块16可以方便的整体拆卸，也可以根据在固定不同型号、尺寸的相机时方便整体设计替换，不但可以固定相机，也可以灵活的固定其它种类的被夹持物体。
本实施例中，设定水平的第一方向为Y向，水平的第二方向为与Y向垂直的X向，第三方向为竖直的Z向。下面分别对本装置进行X向、Y向和Z向的调节过程及设置方式来详细说明。当然，也可以根据实际测试需要对第一方向、第二方向和第三方向进行设置。
其中，该装置中关于对夹持机构及其夹持的镜头进行Y向调节的结构形式设置方式如下：
第一驱动机构实现对第一滑座6沿Y向的驱动。第一驱动机构包括：第一调节轮101；第一加长杆102，沿Y向设置，一端与第一调节轮101连接；第一调节丝杠104，通过一第一连接套103与第一加长杆102轴向连接；第一调节支座105安装在底座9上；第一调节丝杠104穿过第一调节支座105与第一滑座6沿Y向的一侧抵接。当转动第一调节轮101的时候，第一加长杆102、第一连接套103和第一调节丝杠104转动。由于第一调节支座105和第一调节丝杠104的螺纹配合作用，使得第一调节丝杠104的转动变为沿Y向的移动。其中第一丝杠104与第一滑座6抵接，便可驱动第一滑座6沿Y向滑动。
第一滑座6沿Y向的另一侧设置有第一弹簧座10，第一弹簧座10安装在底座9上。第一弹簧座10安装在第一弹簧座10与第一滑座6之间设置第一弹簧111。第一弹簧座10和第一弹簧111为第一滑座6在Y向提供了一弹力，保证了第一滑座6在Y向移动的时候，第一调节丝杠104和第一滑座6保持压紧的状态。
第一滑座6与底座9通过导轨连接，第一弹簧座10上装安装第一弹簧111；第一弹簧座10连接固定在底座9上。通过旋转第一调节轮101使第一调节丝杠104对第一滑座6产生压力后沿Y向移动，第一弹簧111沿Y向产生形变，从而实现在狭小空间内对该装置上部的夹持机构的Y方向的调节。
其中，该装置中关于对夹持机构及其夹持的镜头进行X向调节的结构形式设置方式如下：
第二驱动机构驱动第二滑座12运动。第二驱动机构包括：第二方向手持调节机构和第一变向机构，第二方向手持调节机构沿Y向推动第一变向机构，第一变向机构将Y向推力转化为沿X向推动第二滑座12的力。
第一变向机构包括：第二支座26，固定于底座9上；第二连接座25，固定于第二支座26上；第一转座114，铰接于第二支座26上，第一转座114可沿一竖直轴线为旋转轴旋转；第一轴承115，通过第一轴承传动轴127与第一转座114铰接；第一轴承115抵靠在第二滑座12沿X向的一侧。第一转座114和第二支座26之间铰接一第一转动轴122，第一转动轴122沿竖直方向设置；第一转动轴122上设置有两个第一挡边轴承123，两个第一挡边轴承123分别位于第二支座26的上下两端。
第一转向机构使得第二驱动机构驱动沿Y向的动作，转化为对第二滑座12沿X向的驱动。
第二滑座12沿第二方向的另一侧设置有第二弹簧座7，第二弹簧座7与第二滑座12之间设置一第二弹簧。第二弹簧座7和第二弹簧为第二滑座12在X向提供了一弹力，保证了第二滑座12在X向移动的时候，第二调节丝杠204和第二滑座12保持压紧的状态。
其中，第二方向手持调节机构与第一驱动结构的设置类似。第二方向手持调节机构包括：第二调节轮201；第二加长杆202，沿第一方向设置，一端与第二调节轮201连接；第二调节丝杠204，通过一第二连接套203与第二加长杆202轴向连接；第二调节丝杠204穿过第二连接座25与第一转座114抵接。
第二支座26上依次装有第二连接座25、第一转动轴122和第一挡边轴承123，第一转动轴122与第一轴承传动轴127连接，第一轴承115装在第一轴承传动轴127上。第一滑座6上依次装有第二弹簧座7和导轨8。第二弹簧座7装有第二压缩弹簧。通过旋转第二调节轮201使第一转座114绕第一转动轴122转动，从而使第一轴承115挤压第二滑座12，第二压缩弹簧产生形变，从而实现在狭小空间内对该装置上部的夹持机构的X向的调节。
其中，该装置中关于对夹持机构及其夹持的镜头进行Z向调节的结构形式设置方式如下：
第三驱动机构包括：第三方向手持调节机构和第二变向机构，第三方向手持调节机构沿第一方向推动第二变向机构，第二变向机构向沿竖直方向推动第三滑座21；第二变向机构包括：连接块13，固定于第二滑座12上；第三支座24，设置于连接块13上；第二转座214，铰接于第三支座24上，第二转座214可沿一水平轴线为旋转轴旋转；第二轴承215，通过第二轴承传动轴与第二转座214铰接；第二轴承215抵靠在第三滑座21的一侧。
第二转向机构使得第三驱动机构驱动沿Y向的动作，转化为对第三滑座21沿Z向的驱动。
第三方向手持调节机构包括：第三调节轮301；第三加长杆302，沿第一方向设置，一端与第三调节轮301连接；第三调节丝杠304，通过一第三连接套303与第三加长杆302轴向连接；第三调节丝杠304穿过一第三调节支座305与第二转座214抵接。
第二转座214和第三支座24之间铰接一第二转动轴222，第二转动轴222沿水平方向设置；第二转动轴222上设置有两个第二挡边轴承223，两个第二挡边轴承223分别位于第三支座24的内外两端。第三滑座21与竖向弹簧座20之间设置一第三弹簧311。竖向弹簧座20和第三弹簧311为第三滑座21在Z向提供了一弹力，保证了第三滑座21在Z向移动的时候，第三调节丝杠304和第三滑座21保持压紧的状态。
第二滑座12上依次装有竖向弹簧座20、连接块13、第三支座24、第二转动轴222、第二挡边轴承223、第二转座214和第二轴承215。第三滑座21通过导轨与竖向弹簧座20连接。竖向弹簧座20上装有第三弹簧311。通过旋转第三调节轮301使第二转座214绕第二转动轴222转动，从而使第二轴承215挤压第三滑座21，第三弹簧311产生形变，从而实现在狭小空间内对该装置上部的夹持机构的Z向的调节。
需要说明的是，第一调节轮101、第二调节轮201和第三调节轮301均沿Y向(第一方向)设置，方便了整个装置在摆放的过程中，工作人员使用的便利性。通过转动第一调节轮101、第二调节轮201和第三调节轮301，实现对夹持的镜头的位置调节。
以上的是本发明的优选实施方式，应当指出对于本技术领域的普通人员来说，在不脱离本发明的原理前提下还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也在本发明的保护范围内。

Claims (11)

1.一种镜头夹持装置，其特征在于，包括：
底座(9)；
第一滑座(6)，沿水平的第一方向滑动设置于所述底座(9)上；
第一驱动机构，与所述第一滑座(6)驱动连接，所述第一驱动机构驱动所述第一滑座(6)沿第一方向运动；
第二滑座(12)，沿水平的第二方向滑动设置于所述第一滑座(6)上；
第二驱动机构，与所述第二滑座(12)驱动连接，所述第二驱动机构驱动所述第二滑座(12)沿第二方向运动；
所述第二驱动机构包括：第二方向手持调节机构和第一变向机构，所述第二方向手持调节机构沿第一方向推动所述第一变向机构，所述第一变向机构向沿第二方向推动所述第二滑座(12)；
竖向弹簧座(20)，竖立固定于所述第二滑座(12)上；
第三滑座(21)，沿竖直方向滑动设置于所述竖向弹簧座(20)上；
第三驱动机构，与所述第三滑座(21)驱动连接，所述第三驱动机构驱动所述第三滑座(21)沿竖直方向运动；
所述第三驱动机构包括：第三方向手持调节机构和第二变向机构，所述第三方向手持调节机构沿第一方向推动所述第二变向机构，所述第二变向机构向沿竖直方向推动所述第三滑座(21)；
夹持机构，安装于所述第三滑座(21)上，用于夹持镜头。
2.如权利要求1所述的镜头夹持装置，其特征在于，所述第一驱动机构包括：
第一调节轮(101)；
第一加长杆(102)，沿所述第一方向设置，一端与所述第一调节轮(101)连接；
第一调节丝杠(104)，通过一第一连接套(103)与所述第一加长杆(102)轴向连接；
第一调节支座(105)，固定于所述底座(9)上；
所述第一调节丝杠(104)穿过所述第一调节支座(105)与所述第一滑座(6)沿第一方向的一侧抵接。
3.如权利要求1所述的镜头夹持装置，其特征在于，所述第一变向机构包括：
第二支座(26)，固定于所述底座(9)上；
第二连接座(25)，固定于所述第二支座(26)上；
第一转座(114)，铰接于所述第二支座(26)上，所述第一转座(114)可沿一竖直轴线为旋转轴旋转；
第一轴承(115)，通过第一轴承传动轴(127)与所述第一转座(114)铰接；
所述第一轴承(115)抵靠在所述第二滑座(12)沿第二方向的一侧。
4.如权利要求3所述的镜头夹持装置，其特征在于，所述第二变向机构包括：
连接块(13)，固定于所述第二滑座(12)上；
第三支座(24)，设置于所述连接块(13)上；
第二转座(214)，铰接于所述第三支座(24)上，所述第二转座(214)可沿一水平轴线为旋转轴旋转；
第二轴承(215)，通过第二轴承传动轴与所述第二转座(214)铰接；
所述第二轴承(215)抵靠在所述第三滑座(21)的一侧。
5.如权利要求3所述的镜头夹持装置，其特征在于，所述第二方向手持调节机构包括：
第二调节轮(201)；
第二加长杆(202)，沿所述第一方向设置，一端与所述第二调节轮(201)连接；
第二调节丝杠(204)，通过一第二连接套(203)与所述第二加长杆(202)轴向连接；
所述第二调节丝杠(204)穿过所述第二连接座(25)与所述第一转座(114)抵接。
6.如权利要求4所述的镜头夹持装置，其特征在于，所述第三方向手持调节机构包括：
第三调节轮(301)；
第三加长杆(302)，沿所述第一方向设置，一端与所述第三调节轮(301)连接；
第三调节丝杠(304)，通过一第三连接套(303)与所述第三加长杆(302)轴向连接；
所述第三调节丝杠(304)穿过一第三调节支座(305)与所述第二转座(214)抵接。
7.如权利要求3所述的镜头夹持装置，其特征在于，所述第一转座(114)和所述第二支座(26)之间铰接一第一转动轴(122)，所述第一转动轴(122)沿竖直方向设置；所述第一转动轴(122)上设置有两个第一挡边轴承(123)，两个所述第一挡边轴承(123)分别位于所述第二支座(26)的上下两端。
8.如权利要求4所述的镜头夹持装置，其特征在于，所述第二转座(214)和所述第三支座(24)之间铰接一第二转动轴(222)，所述第二转动轴(222)沿水平方向设置；所述第二转动轴(222)上设置有两个第二挡边轴承(223)，两个所述第二挡边轴承(223)分别位于所述第三支座(24)的内外两端。
9.如权利要求2所述的镜头夹持装置，其特征在于，所述第一滑座(6)沿第一方向的另一侧设置有第一弹簧座(10)，所述第一弹簧座(10)设置在所述底座(9)上；所述第一弹簧座(10)与所述第一滑座(6)之间设置一第一弹簧(111)。
10.如权利要求3所述的镜头夹持装置，其特征在于，所述第二滑座(12)沿第二方向的另一侧设置有第二弹簧座(7)，所述第二弹簧座(7)与所述第二滑座(12)之间设置一第二弹簧。
11.如权利要求1所述的镜头夹持装置，其特征在于，所述夹持机构包括：
夹块(16)，所述夹块(16)固定在所述第三滑座(21)上，所述第三滑座(21)与所述竖向弹簧座(20)之间设置一第三弹簧(311)。
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