CN105416972B - 基板输送装置和基板输送方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基板输送装置和基板输送方法，其能够延长引导辊的寿命，并且不蜿蜒前行地输送基板。该基板输送装置的特征在于具有：多个输送辊(2)，其与所述基板的下表面抵接，将所述基板向规定的输送方向输送；引导辊(4)，其在与所述输送方向垂直的方向上被设置成夹着所述基板，并且沿着所述基板的输送方向配置有多个；以及引导辊调整部(40)，其调整所述引导辊的位置，引导辊调整部(40)具有：第1可动部件(45)，其将引导辊(4)保持成能够旋转；和Z轴调整机构(300)，其调整第1可动部件(45)在基板(W)的厚度方向上的高度位置。

Description

基板输送装置和基板输送方法

技术领域

本发明的实施方式涉及基板输送装置和基板输送方法。

背景技术

作为基板输送装置，公知有这样的装置：该装置在沿着与基板的输送方向垂直的方向延伸的轴上设置多个输送辊，使基板的下表面抵接到该输送辊上来输送该基板。而且，该基板输送装置构成为：除了输送辊之外，沿着所输送的基板的输送方向还设置有多个引导辊，利用该引导辊来引导基板的侧面，由此，对被输送辊输送的基板进行定位，能够不蜿蜒前行地输送基板。

专利文献1：日本特开2010-42902号公报

上述基板输送装置被用于各种基板的输送，但是，例如在液晶面板制造装置的领域，近年来，作为输送对象的基板不断变薄。以往，一般情况下，一边输送例如1mm左右的厚度的基板一边进行处理。但是，近年来，处理0.01mm～0.3mm左右的厚度的基板的情况增多。如果基板变薄，则相应地，引导辊表面上的与基板的侧面接触的表面积(接触的区域)变小。因此，基板集中地与引导辊的表面上的小表面积持续接触。引导辊表面的与基板集中接触的部分随着时间的经过(即，如果所要引导的基板的个数增加)而慢慢磨损，成为以基板的厚度为高度的凹形状。在引导辊上形成有凹形状的槽(凹部)的部分处，在基板的侧面与引导辊之间空出比最初规定的间隙大的间隙。如果成为这样的状态，则存在下述情况：基板蜿蜒前行，无法顺利地进行输送，或者由此导致基板的角部与引导辊碰撞等，在基板上产生裂纹或缺口。因此，在引导辊像这样磨损的情况下，必须将引导辊更换为新品。特别地，如果基板的厚度变薄，则基板的侧面像刀刃一样作用于引导辊上，引导辊急剧磨损，因此，需要在短期间内频繁地更换引导辊。

发明内容

本发明要解决的课题是提供一种可延长引导辊的寿命、并且不蜿蜒前行地输送基板的基板输送装置和基板输送方法。

实施方式的基板输送装置输送基板，其特征在于，该基板输送装置具有：多个输送辊，它们与所述基板的下表面抵接，将所述基板向规定的输送方向输送；引导辊，其在与所述输送方向垂直的方向上被设置成夹着所述基板，并且该引导辊沿着所述基板的输送方向配置有多个；以及引导辊调整部，其调整所述引导辊的位置，所述引导辊调整部具有：将所述引导辊保持成能够旋转的部件；和Z轴调整机构，其调整所述部件的相对于所述基板的厚度方向的高度位置。

实施方式的基板输送方法是输送基板的方法，其特征在于，使多个输送辊与所述基板的下表面抵接，将所述基板向规定的输送方向输送，利用引导辊以夹住所述基板的侧面的方式引导所述基板，该引导辊沿着向所述输送方向输送的所述基板的所述输送方向设置有多个，并且，在所述引导辊磨损时，在所述基板的厚度方向上调整所述引导辊的位置后继续使用。

根据本发明，能够延长引导辊的寿命，并且能够不蜿蜒前行地输送基板。

附图说明

图1是示出第1实施方式的基板输送装置的概要结构的主视图。

图2是第1实施方式的基板输送装置的概要俯视图。

图3示出了第1实施方式的引导辊调整部的侧面，是沿图4中的A-A的剖视图。

图4是示出第1实施方式的引导辊调整部的俯视面的图。

图5是示出第2实施方式的引导辊调整部的侧面的图。

图6是示出第2实施方式的引导辊调整部的侧面的图。

标号说明

1：轴；2：输送辊；3：轴承；400：Z轴调整机构；4：引导辊；5：轴；40、400：引导辊调整部；41：固定部件；42：第2可动部件(第2部件)；43：拉紧螺栓；44A、B：紧固螺栓；45：第1可动部件(第1部件)；45A：滑动孔；46A、B：调整螺栓；G：刻度板；W：基板；

具体实施方式

(第1实施方式)

参照图1～图4对第1实施方式进行说明。

如图1、图2所示，第1实施方式的基板输送装置100具有：轴1，其被设置成沿着与基板W的输送方向(在图1中与纸面垂直的方向)垂直的方向(以下，也称为“基板W的宽度方向”。)延伸；输送辊2，其在该轴1上以一定的间隔设置有多个，并且设置为与基板W的下表面抵接；以及轴承3，其保持轴1。而且，多个引导辊4以在基板W的宽度方向上夹着基板W的方式，沿着基板W的输送方向以一定的间隔经由轴5(参照图2)进行设置。该引导辊4由橡胶等弹性体或树脂等构成，并且形成为具有基板W的厚度的2倍以上的高度的圆柱状，如使用图3、图4进行说明的那样，各引导辊4构成为能够通过对应于每个引导辊4设置的引导辊调整部40来调整基板的厚度方向上的高度位置和基板W的宽度方向上的水平位置。另外，在图3中，设基板W的宽度方向为X方向，设基板W的输送方向为Y方向(与X方向垂直的方向)，设与X方向和Y方向都垂直的方向(与基板W的表面垂直的方向)为Z方向。

如图3、图4所示，引导辊调整部40具有X轴调整机构200和Z轴调整机构300。X轴调整机构200对引导辊4在基板W的宽度方向(X方向)上的水平位置进行调整。Z轴调整机构300对引导辊4在基板W的厚度方向(Z方向)上的高度位置进行调整。

X轴调整机构200构成为具有被固定支承于基板输送装置100的架台(未图示)上的固定部件41、第1可动部件45(第1部件)、第2可动部件42(第2部件)以及调整螺栓46A、46B。第1可动部件45是被固定部件41沿水平方向支承的板状部件，如图4所示，第1可动部件45沿X方向具有滑动孔45A，经由滑动孔45A将调整螺栓46A、46B螺入第2可动部件42的一端部侧，由此第1可动部件45与第2可动部件42成为一体。而且，轴5能够旋转地支承于第1可动部件45上的基板W侧的端部，引导辊4被保持于该轴5上。轴5沿Z方向设置。另外，如图4所示，在第2可动部件42上，沿X方向切出有滑动槽D，该滑动槽D具有与第1可动部件45的宽度同等的宽度。由此，通过第1可动部件45在该滑动槽D内滑动，第1可动部件45能够在沿着滑动孔45A的方向、即基板的宽度方向上移动。

Z轴调整机构300构成为具有固定部件41、第2可动部件42、拉紧螺栓43、设于该拉紧螺栓43的两侧的紧固螺栓44A、44B、以及引导件S1、S2。第2可动部件42是被固定部件41沿水平方向支承的板状部件。拉紧螺栓43穿过设于第2可动部件42的另一端部侧的贯通孔42a而被螺入固定部件41中。紧固螺栓44A与44B构成为分别螺入第2可动部件42中，并且，螺栓末端与固定部件41的上表面抵接。而且，在第2可动部件42的另一端部的侧面上设有切口K1、切口K2。在固定部件41上固定有棒状的引导部件S1、引导部件S2，引导部件S1被设置为与切口K1抵接，引导部件S2被设置为与切口K2抵接。另外，在本实施方式中，在图4所示的俯视图中的基板的宽度方向(图4中的左右方向)上，切口K1(引导件S1)设于拉紧螺栓43与紧固螺栓44A之间，切口K2(引导件S2)设于拉紧螺栓43与紧固螺栓44B之间。在通过后述的调整使第2可动部件42相对于固定部件41上升或下降时，第2可动部件42沿引导件S1、引导件S2上下运动，因此，能够防止第2可动部件42及引导辊4以拉紧螺栓43为中心回旋或晃动。而且，可以具有一端固定于第2可动部件42上的刻度板G。

接下来，对基板输送装置100的动作进行说明。

首先，在准备阶段，在将基板W搬入基板输送装置100时，基板W被载置于输送辊2上。此时，与基板W的宽度方向两端分别对置地配置的多个引导辊4相对于规定的位置(引导基板W的侧面的位置)被定位在远离基板的侧面的方向上，即以成为比基板W的宽度方向的长度大的间隔的方式进行定位。有关该调整，在后面进行叙述。

接下来，使引导辊4以沿着从基板W的宽度方向两端侧朝向基板W中央侧的方向将基板W夹入的方式相对于基板W的宽度方向两端的侧面移动。而且，调整并移动引导辊4，以使基板W的侧面在Z方向上也抵接于引导辊4的比Z方向长度的一半(高度方向中央)靠上侧的位置，准备阶段结束。另外，在后面对这些调整进行叙述。

在引导辊4的位置调整结束后，使输送辊2旋转，基板W被从前一个工序的装置搬入，该基板W被输送辊2向输送方向输送，并且被引导辊4以不蜿蜒前行的方式引导。在输送装置100的上方设有未图示的处理工具(例如供给处理液的喷嘴或供给干燥空气的气刀等)，一边利用基板输送装置100输送基板W一边依次进行处理。

如上所述，多个引导辊4被设置为能够分别通过引导辊调整部40调整位置，并且通过X轴调整机构200、Z轴调整机构300如接下来那样调整位置。

首先，对基于X轴调整机构200的位置调整进行说明。如图3、图4所示，使螺入第2可动部件42中的调整螺栓46A、46B松弛，由此，安装有保持引导辊4的轴5的第1可动部件45在滑动槽D内被引导，同时，滑动孔45A能够在延伸的X方向上运动。当在该状态下将引导辊4调整至与基板W的侧面抵接的位置后，将调整螺栓46A、46B紧固而固定，进行X方向上的位置调整(引导辊4的表面与基板W之间的距离的调整)。

接下来，对基于Z轴调整机构300的位置调整进行说明。如图3、图4所示，引导辊调整部40的第1可动部件45被安装并固定于第2可动部件42上。即，通过调整第2可动部件42的Z方向高度，来进行第1可动部件45、即引导辊4的Z方向的调整。

在拉紧螺栓43上的长度方向的下半部分设有螺纹，该拉紧螺栓43被固定于固定部件41上，但是相对于第2可动部件42是自由的。在2个紧固螺栓44A、44B上的长度方向的上半部分设有螺纹。另外，紧固螺栓44A、44B的末端与固定部件41的上表面抵接。

在图3的状态下，如果被引导辊4引导的基板W的个数增加，则引导辊4会产生磨损。因此，在本实施方式中，假设为这样的情况：从开始输送基板W起，每经过规定的时间使保持引导辊4的第2可动部件42沿Z方向向上方上升5毫米。

首先，使拉紧螺栓43松弛，并目测使其向上方向上升大致2厘米。接下来，对紧固螺栓44A、44B均等地进行紧固。通过对紧固螺栓44A、44B进行紧固，第2可动部件42向远离固定部件41的方向移动。即，第2可动部件42沿着引导件S1、S2向Z方向上升。参照刻度板G，使第2可动部件42的Z方向位置上升，当上升至作为目标的5毫米的上升地点时，本次将拉紧螺栓43紧固到固定部件41中。这种情况下，如果将拉紧螺栓43紧固大约1.5厘米的量，则第2可动部件42被固定于固定部件41中。通过像这样使第2可动部件42上升，由此，固定于第2可动部件42上的第1可动部件45、和保持于第1可动部件45上的引导辊4也随着上升。在希望引导辊4下降的情况下，只要如下述这样既可：首先，在使拉紧螺栓43松弛后使紧固螺栓44A、44B松弛，在使第2可动部件42下降之后，将拉紧螺栓43紧固并固定。

另外，在图3、图4中，示出了一个引导辊4的引导辊调整部40，但是该引导辊调整部40在Y方向上也配置有多个，而且，对于夹着基板W对置地配置的引导辊4也配置有引导辊调整部40。即，对每个引导辊设置引导辊调整部40。

如以上说明的那样，根据具有这样的引导辊调整部40的基板输送装置，即使由于多个基板W与引导辊4的表面抵接而使得引导辊4表面磨损，在引导辊4的表面上出现凹部，并由此使基板W的侧面与引导辊4之间的距离相对于引导辊4被最初定位时发生变化，也能够容易地相对于X方向与Z方向的任意的方向进行引导辊4的位置调整，因此，无需立即将引导辊4更换为新品，能够继续使用，因此，能够延长引导辊的寿命。

而且，通过经常对引导辊4进行高度调整，即使输送薄的基板，也能够避免基板集中地与引导辊4的表面(与基板接触的面)上的同一区域接触，从而能够防止引导辊4局部磨损，因此，能够延长引导辊的寿命。

此外，如上所述，引导辊4的Z方向的长度具有基板W的厚度的2倍以上的长度，最初，调整并移动引导辊4，以使基板W的侧面与引导辊4的比Z方向长度的一半靠上侧的区域抵接。然后，可以在引导辊4的表面上不断形成凹部的时刻调整引导辊在Z方向上的位置，以使基板W的侧面与引导辊4的比Z方向长度的一半靠下侧的区域抵接。另外，也可以先使用引导辊4的比Z轴方向长度的一半靠下侧的区域，在发生磨损后再使用比Z轴方向长度的一半靠上侧的区域。无论哪种方式，通过在引导辊4的Z方向长度的恰好一半的部位预先添加标记等，即使使用刻度板G没有准确地进行调整，也能够良好地进行调整。即，只要是在比标记靠上(或者下)的部位，则任何部位都是未形成凹部的状态(区域)，因此，只要调整成使基板W的侧面抵接于该区域，则也可以不对所有的引导辊正确地调整其在所输送的基板W的厚度方向(上下方向)上的位置。但是，在实施方式中，也可以不将引导辊4的与基板W的侧面抵接的区域分成比引导辊4的Z方向长度的一半靠上侧的区域和靠下侧的区域，仅在引导辊4上形成有凹部时，使用Z轴调整机构300在引导辊4的高度方向(Z方向)上改变基板W与引导辊4相接触的接触区域，也能够充分地得到使引导辊的寿命延长这样的作用效果。

而且，在通过改变引导辊4的高度方向(Z方向)上的位置来改变基板W与引导辊4的接触区域的情况下，如先前所述，只要新的接触区域是未使用的区域即可，因此，不但可以没有正确地调整Z方向上的位置，也能够省去在上述的准备阶段进行的在基板宽度方向(X方向)上的位置调整。关于这一点，与下述情况相比在提高作业性这一方面上非常有利：在引导辊4上形成凹部时，使引导辊4沿X方向移动来对与基板的侧面的抵接状态再次进行调整。

但是，这种情况下，需要使引导辊的与基板的侧面接触的、高度方向(Z方向)上的至少多个区域的部分相对于轴5的旋转中心具有相同的直径。例如，可以使引导辊整体形成为圆柱状，也可以只使与基板的侧面接触的区域形成为圆柱状，而使其他的部分形成为圆锥形等。

(第2实施方式)

参照图5、图6对第2实施方式进行说明。

第2实施方式与第1实施方式基本相同。因此，在第2实施方式中，对与第1实施方式的不同之处进行说明，对于与在第1实施方式中说明的部分相同的部分，以相同的标号来表示，并省略其说明。

如图5所示，第2实施方式的基板输送装置具备引导辊调整部400。引导辊调整部400的X轴调整机构与第1实施方式的X轴调整机构200相同。Z轴调整机构与第1实施方式不同，其在固定部件41与第2可动部件42之间具备调整部件(隔离部件)400A。预先准备多个厚度为多级的尺寸的调整部件400A，通过更换调整部件400A来调整第2可动部件42的位置，从而能够调整引导辊4的Z方向上的位置。即，调整部件相对于所述拉紧螺栓的长度方向的长度是不同的。

以下，使用图5、图6对引导辊调整部400的Z轴调整机构的调整方法进行说明。

首先，在希望第2可动部件42上升的情况下，将拉紧螺栓43松弛，将调整部件400A与第2可动部件42从固定部件41卸下。使Z方向的长度比卸下的调整部件400A长的另一个调整部件400B(参照图6)介于固定部件41与第2可动部件42之间，并使用拉紧螺栓43将其固定到固定部件41上，完成Z方向的调整。

在希望第2可动部件42下降的情况下，只要使用拉紧螺栓43来安装Z方向的长度比固定部件400A短的调整部件400C(未图示)即可。

根据具有这样的引导辊调整部400的基板输送装置，即使由于多个基板W与引导辊4的表面抵接等并在引导辊4的表面上出现凹部而导致基板W与引导辊4之间的距离相对于引导辊4被最初定位时发生变化，也无需立即更换引导辊4，能够继续使用，并且能够容易地进行引导辊4的位置调整。由此，能够延长引导辊的寿命。

此外，由于的通过更换调整部件来进行引导辊4的Z方向上的位置调整，因此，即使没有刻度板等其它的部件也能够进行调整。

(其它例子)

而且，在上述的第1实施方式中，使基板W的侧面与引导辊4的比Z方向长度的一半靠下侧(或者上侧)的区域抵接，接下来，使基板W的侧面与引导辊4的比Z方向长度的一半靠上侧(或者下侧)的区域抵接，但是不限于此，也可以在使用引导辊4的Z方向长度的例如下半部分(或者上半部分)的区域进行一定时间的基板引导后，使引导辊4自身上下反转，使用反转后的引导辊4的Z方向长度的下半部分(或者上半部分)的区域，由此来进行Z轴调整。这种情况下，虽然需要使引导辊4反转的作业，但是引导辊4在Z方向上的移动调整范围只要为Z方向长度的一半即可，引导辊4在Z方向上的移动调整范围变窄，因此能够使Z轴调整机构小型化，并且能够减少调整引导辊4的时间，因此，能够高效地输送基板。此外，即使在这种情况下，即使由于引导辊4的磨损而导致基板W与引导辊4之间的距离相对于引导辊4最初被定位时发生变化，也无需立即更换引导辊4，能够继续使用，从而能够延长引导辊的寿命。

此外，引导辊调整部40、400具有X轴调整机构与Z轴调整机构的双方，但是只要具有至少一个即可。

而且，引导辊调整部40、400既可以通过一个调整部40、400来调整多个引导辊，也可以对每个引导辊一个一个地设置调整部。在对每个引导辊一个一个地设置调整部的情况下，即使在引导辊的磨损情况存在差异时，也能够选择性地对想要调整的引导辊进行调整。

以上，对本发明的几个实施方式进行了说明，但是这些实施方式是作为例子而呈现的，并不用于限定发明的范围。能够在其他的各种方式来实施这些新的实施方式，在不脱离发明的主旨的范围内，能够进行各种省略、替换、变更。这些实施方式及其变形包含于发明的范围及主旨，并且也包含于权利要求书中记载的发明及其等同的范围内。

Claims (4)

1.一种基板输送装置，该基板输送装置输送基板，其特征在于，

该基板输送装置具有：

多个输送辊，它们与所述基板的下表面抵接，将所述基板向规定的输送方向输送；

圆柱状的引导辊，其在与所述输送方向垂直的方向上被设置成夹着所述基板，并且该引导辊沿着所述基板的输送方向配置有多个，所述引导辊具有所述基板的厚度的2倍以上的高度；以及

引导辊调整部，其调整所述引导辊的位置，

所述引导辊调整部具有：

Z轴调整机构，其调整所述引导辊的相对于所述基板的厚度方向的高度位置；以及

X轴调整机构，该X轴调整机构调整所述引导辊的表面与所述基板的侧面之间的距离，

所述X轴调整机构具有：

第1可动部件，其将所述引导辊保持成能够旋转自如，并且沿着与所述输送方向垂直的方向具有滑动孔；和

第2可动部件，其通过经由所述滑动孔的调整螺栓固定该第1可动部件，

所述Z轴调整机构使所述第2可动部件上升或下降，

在通过所述Z轴调整机构调整所述引导辊相对于所述基板的厚度方向的位置时，通过使所述第2可动部件上升或下降，由此，固定于所述第2可动部件上的所述第1可动部件、和保持于所述第1可动部件上的所述引导辊也随着上升或下降。

2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，

所述Z轴调整机构具备：

拉紧螺栓，其固定所述第2可动部件和固定部件；和

一对紧固螺栓，它们以末端抵接在所述固定部件上的状态螺入所述第2可动部件，并且被配置成夹着所述拉紧螺栓。

3.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，

所述Z轴调整机构具有：

拉紧螺栓，其固定所述第2可动部件和固定部件；和

调整部件，其介于所述第2可动部件与所述固定部件之间，

对相对于所述拉紧螺栓的长度方向的长度不同的多个所述调整部件进行更换。

4.一种基板输送方法，其是利用引导辊对基板的侧面进行引导来输送所述基板的方法，其中，

使用权利要求1所述的基板输送装置，所述引导辊在输送所述基板时，以所述基板的侧面与所述引导辊的比高度方向的中央靠上或者靠下的区域接触的方式进行引导，

在所述引导辊磨损时，使所述引导辊的上下反转，由此变更所述基板的侧面与所述引导辊接触的区域，然后继续使用。