CN105403209A - 物理量传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种具有优异的检测精度的物理量传感器元件，而且还提供具备所涉及的物理量传感器元件的物理量传感器、电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器元件(1)具备：检测部(21)；驱动部(24)；梁部(25)，其连接检测部(21)与驱动部(24)，梁部(25)具有分岔的部分。梁部(25)具有从驱动部(24)的互不相同的两个位置延伸出的两个质量部侧梁部、和从检测部(21)的互不相同的两个位置延伸出的两个支承部侧梁部，两个质量部侧梁部的检测部(21)侧的端部彼此互相连接，并且两个支承部侧梁部的驱动部(24)侧的端部彼此互相连接。

Description

物理量传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体

技术领域

本发明涉及一种物理量传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

近年来，作为使用了硅MEMS(MicroElectroMechanicalSystem：微机电系统)技术的物理量传感器元件，例如已知有一种对角速度进行检测的静电电容型的陀螺传感器元件(角速度传感器)(例如，参照专利文献1)。

例如，在专利文献1所涉及的角速度传感器中，两个质量体被间接地连结在框架上。这两个质量体以必须沿着Z方向而向相反方向移动的方式通过链接装置而被连结。以Y轴为中心的传感器的角速度能够通过使两个质量体以相反相位在Z方向上进行振动并对由此而被施加于框架上的角振动的振幅进行测定，从而被感知。

但是，在专利文献1所涉及的角速度传感器中，对各个质量部与框架进行连接的铰链的变形较大，从而使作用于各个质量部的科里奥利力无法高效地传递到框架上，其结果为，存在检测精度降低的问题。

本发明的目的在于，提供一种具有优异的检测精度的物理量传感器元件，而且还提供一种具备所涉及的物理量传感器元件的物理量传感器、电子设备以及移动体。

专利文献1：日本特表2007-509346号公报

发明内容

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的发明，并且能够作为以下的方式或应用例而实现。

应用例1

本发明的物理量传感器元件的特征在于，具备：支承部；质量部；梁部，其连接所述支承部与所述质量部，所述梁部具有分岔的部分。

根据这种物理量传感器元件，由于梁部具有分岔的部分，因此能够提高作用于质量部的科里奥利力的方向上的梁部的弯曲刚性。因此，能够有效率地从质量部向支承部传递科里奥利力，其结果为，能够减少振动泄漏从而提高检测精度。

应用例2

在本发明的物理量传感器元件中，优选为，所述梁部具有从所述质量部的互不相同的两个位置延伸出的两个质量部侧梁部，所述两个质量部侧梁部的所述支承部侧的端部彼此互相连接。

由此，能够通过简单的结构来提高科里奥利力的方向上的梁部的刚性。

应用例3

在本发明的物理量传感器元件中，优选为，各个所述质量部侧梁部的所述质量部侧的端部的宽度与各个所述质量部侧梁部的中途的宽度相比而较宽。

由此，能够通过简单的结构来提高科里奥利力的方向上的梁部的刚性。

应用例4

在本发明的物理量传感器元件中，优选为，所述梁部具有从所述支承部的互不相同的两个位置延伸出的两个支承部侧梁部，

所述两个支承部侧梁部的所述质量部侧的端部彼此互相连接。

由此，能够通过简单的结构来提高科里奥利力的方向上的梁部的刚性。

应用例5

在本发明的物理量传感器元件中，优选为，各个所述支承部侧梁部的所述支承部侧的端部的宽度与各个所述支承部侧梁部的中途的宽度相比而较宽。

由此，能够通过简单的结构来提高科里奥利力的方向上的梁部的刚性。

应用例6

在本发明的物理量传感器元件中，优选为，所述梁部具有在所述梁部的中途处分岔的两个分岔梁部，

所述两个分岔梁部的所述质量部侧的端部彼此连接，并且所述两个分岔梁部的所述支承部侧的端部彼此互相连接。

由此，能够通过简单的结构来提高科里奥利力的方向上的梁部的刚性。

应用例7

在本发明的物理量传感器元件中，优选为，具备：第一质量部以及第二质量部，所述第一质量部以及第二质量部分别构成所述质量部；第一支承部以及第二支承部，所述第一支承部以及第二支承部分别构成所述支承部；第一梁部，其构成对所述第一质量部和所述第一支承部进行连接的所述梁部；第二梁部，其构成对所述第二质量部和所述第二支承部进行连接的所述梁部；连结部，其对所述第一质量部和所述第二质量部进行连接。

由此，通过使第一质量部和第二质量部以反相进行振动，从而能够使这些振动抵消，由此能够减少振动泄漏。

应用例8

在本发明的物理量传感器元件中，优选为，所述连结部的一端部与所述第一质量部的内侧的部分连接，所述连结部的另一端部与所述第二质量部的内侧的部分连接，所述第一质量部具有第一易变形部，所述第一易变形部与所述连结部的所述一端部连接，且能够以减少相对于基准面而言的所述第一质量部的姿态的变化的方式进行变形，所述第二质量部具有第二易变形部，所述第二易变形部与所述连结部的所述另一端部连接，且能够以减少相对于所述基准面而言的所述第二质量部的姿态的变化的方式进行变形。

由此，能够减少相对于基准面的第一质量部以及第二质量部的姿态变化，从而能够进一步减少振动泄漏。

应用例9

在本发明的物理量传感器元件中，优选为，所述第一质量部具有第一间隙部，所述第一间隙部中配置有所述第一易变形部，所述第二质量部具有第二间隙部，所述第二间隙部中配置有所述第二易变形部。

由此，能够通过比较简单的结构而将相对于基准面而言的第一质量部以及第二质量部的姿态保持为固定。能够由同一基板来形成第一质量部以及第一易变形部。同样地，能够由同一基板来形成第二质量部以及第二易变形部。

应用例10

在本发明的物理量传感器元件中，优选为，具备对沿着基准面的所述第一支承部以及所述第二支承部的振动进行检测的电极。

由此，在对第一质量部以及第二质量部向面外方向进行驱动时，能够对因作用于第一质量部以及第二质量部上的科里奥利力而产生的第一支持部以及第二支承部的位移进行检测。因此，能够实现角速度传感器的作用。

应用例11

本发明的物理量传感器的特征在于，具备：本发明的物理量传感器元件；封装件，其收纳所述物理量传感器元件。

由此，能够提供一种具有优异的检测精度的物理量传感器。

应用例12

本发明的电子设备的特征在于，具备本发明的物理量传感器元件。

由此，能够提供一种具备拥有优异的检测精度的物理量传感器元件的电子设备。

应用例13

本发明的移动体的特征在于，具备本发明的物理量传感器元件。

由此，能够提供一种具备拥有优异的检测精度的物理量传感器元件的移动体。

附图说明

图1为表示本发明的第一实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。

图2为图1中的A-A线剖视图。

图3为图1中的B-B线剖视图。

图4为用于对图1所示的物理量传感器的动作进行说明的模式化的图，(a)为俯视图，(b)为剖视图。

图5为用于对图1所示的物理量传感器所具备的梁部进行说明的放大俯视图。

图6为表示本发明的第二实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。

图7为用于对图5所示物理量传感器所具备的梁部进行说明的放大俯视图。

图8为模式化地表示作为本发明的电子设备的一个示例的移动型的个人计算机的结构的立体图。

图9为模式化地表示作为本发明的电子设备的一个示例的便携式电话机的结构的立体图。

图10为表示作为本发明的电子设备的一个示例的数码照相机的结构的立体图。

图11为表示作为本发明的移动体的一个示例的汽车的结构的立体图。

具体实施方式

以下，根据附图所示的优选实施方式来对本发明的物理量传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体进行详细说明。

1.物理量传感器

首先，对本发明的物理量传感器(具备本发明的物理量传感器元件的物理量传感器)的实施方式进行说明。

第一实施方式

图1为表示本发明的第一实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图，图2为图1中的A-A线剖视图，图3为图1中的B-B线剖视图。此外，图4为用于对图1所示的物理量传感器的动作进行说明的模式化的图，图4(a)为俯视图，图4(b)为剖视图。图5为用于对图1所示的物理量传感器所具备的梁部进行说明的放大俯视图。

另外，在各附图中，为了便于说明，而以箭头标记图示了作为互相正交的三个轴的X轴(第三轴)、Y轴(第二轴)以及Z轴(第一轴)，并且将该箭头标记的顶端侧设为“+(正)”，将基端侧设为“-(负)”。此外，在下文中，将与X轴平行的方向称为“X轴方向”、将与Y轴平行的方向称为“Y轴方向”、将与Z轴平行的方向称为“Z轴方向”。此外，在下文中，为了便于说明，而将图2以及图3中的上侧(+Z轴方向侧)称为“上”，将下侧(-Z轴方向侧)称为“下”。

图1所示的物理量传感器10为对围绕Y轴的角速度进行检测的陀螺传感器。如图2以及图3所示那样，该物理量传感器10具有作为陀螺元件的物理量传感器元件1、和对物理量传感器元件1进行收纳的封装件11。

封装件

封装件11具有对物理量传感器元件1进行支承的底基板12(基板)与被接合在底基板12上的盖部件13，并且在底基板12与盖部件13之间形成有对物理量传感器元件1进行收纳的空间。另外，也可以认为，底基板12构成了物理量传感器元件1的一部分。

底基板12以及盖部件13分别呈板状，并沿着包括X轴以及Y轴的平面、即XY平面(基准面)而配置。此外，在底基板12的上表面(即，设置有物理量传感器元件1一侧的面)上设置有凹部121，所述凹部121具有防止物理量传感器元件1的振动部分(除了后文所述的振动结构体2a、2b的固定部22之外的部分)与底基板12接触的功能。由此，能够在容许物理量传感器元件1的驱动的同时，使底基板12对物理量传感器元件1进行支承。此外，在盖部件13的下表面(即，与底基板12接合一侧的面)上设置有以如下方式形成的凹部131，所述凹部131以非接触的方式覆盖物理量传感器元件1。由此，能够在容许物理量传感器元件1的驱动的同时，在底基板12与盖部件13之间形成对物理量传感器元件1进行收纳的空间。

另外，在图示中，底基板12以及盖部件13分别由单部件构成，但是也可以由两个以上的部件接合而构成。例如，也可以通过使框状的部件和板状的部件贴合在一起来构成底基板12或盖部件13。

作为这种底基板12与盖部件13的接合方法，根据底基板12以及盖部件13的结构材料不同而不同，并未被特别限定，例如能够使用粘合剂、焊料等的接合材料的接合法、直接接合、阳极接合等的固体接合法等。

此外，虽然作为底基板12的结构材料未被特别限定，但优选为，使用具有绝缘性的材料，具体而言，优选为，使用高阻抗的硅材料、玻璃材料，特别优选为，使用含有碱金属离子(可动离子)的玻璃材料(例如，如派莱克斯玻璃(注册商标)这样的硼珪酸玻璃)。由此，在振动结构体2a、2b为以硅为主要材料而构成的情况下，能够对底基板12和振动结构体2a、2b进行阳极接合。

此外，作为盖部件13的结构材料并未被特别限定，例如能够使用与前文所述的底基板12相同的材料。

这种底基板12以及盖部件13分别能够使用例如光刻法以及蚀刻法等而形成。

物理量传感器元件

物理量传感器元件1具有：两个振动结构体2a、2b；对这两个振动结构体2a、2b进行连结的连结结构体2c；使振动结构体2a、2b进行驱动振动的两个驱动用固定电极部3；对振动结构体2a、2b的检测振动进行检测的四个检测用固定电极部4；对振动结构体2a、2b的驱动状态进行检测的两个驱动监控用电极5。以下，依次对物理量传感器元件1的各个部进行说明。

振动结构体

振动结构体2a、2b在X轴方向上并排配置。振动结构体2a、2b除了在图1中被配置为左右对称以外，其余均采用了互相相同的结构，而且分别具有：检测部21、被固定在封装件11的底基板12上的四个固定部22、对检测部21和四个固定部22进行连接的四个梁部23、驱动部24、对检测部21和驱动部24进行连接的四个梁部25。在此，振动结构体2a的梁部25构成“第一梁部”、梁部23构成“第三梁部”、固定部22构成“第一固定部”、驱动部24构成“第一质量部(质量部)”、检测部21构成“第一支承部(支承部)”。此外，振动结构体2b的梁部25构成“第二梁部(梁部)”、梁部23构成“第四梁部”、固定部22构成“第二固定部”、驱动部24构成“第二质量部(质量部)”、检测部21构成“第二支承部(支承部)”。

该振动结构体2a、2b与连结结构体2c一体形成。此外，作为振动结构体2a、2b的结构材料，例如能够使用通过掺杂磷、硼等的杂质而被赋予了导电性的硅。此外，振动结构体2a、2b是通过对一个基板(例如硅基板)进行加工(例如蚀刻加工)，从而与连结结构体2c一起被形成的。

检测部(第一、第二支承部)

振动结构体2a、2b各自所具备的检测部21具有框架部211和被设置在框架部211上的检测用可动电极部212。

在从Z轴方向(沿着基准面的法线的方向)进行俯视观察(以下，仅称为“俯视观察”)时，框架部211呈在周向上缺损了一部分的框状。具体而言，框架部211由以互相平行的方式沿着X轴方向而延伸的一对第一部分、在Y轴方向上延伸并对一对第一部分的一端部彼此进行连接的第二部分、和分别从一对第一部分的另一端部起以互相对顶的方式向Y轴方向延伸的一对第三部分构成。

检测用可动电极部212由从前文所述的框架部211的各个第一部分起沿着Y轴方向而延伸的多个电极指构成。另外，该电极指的数量并不限定于图示的数量，为任意数量。

第一、第二固定部

振动结构体2a、2b各自所具备的四个固定部22在前文所述的封装件11的底基板12的凹部121的外侧处被接合并固定在底基板12的上表面上。虽然作为所涉及的接合方法根据底基板12以及固定部22的结构材料的不同而不同，未被特别限定，但例如能够使用直接接合、阳极接合等的固体接合法等。

在俯视观察时，四个固定部22分别在检测部21的外侧处以互相分离的方式而被配置。在本实施方式中，在俯视观察时，四个固定部22被配置在与检测部21的框架部211的各个角部(第一部分和第二部分以及第三部分的各个连接部)相对应的位置处。

第三、第四梁部

在俯视观察时，振动结构体2a、2b各自所具备的四个梁部23与检测部21的框架部211的各个角部相对应，并分别将所对应的检测部21和固定部22连结在一起。

在俯视观察时，各个梁部23均呈在Y轴方向上往返同时沿着X轴方向延伸的蜿蜒形状。由此，能够在实现小型化的同时，使各个梁部23的长度增长。此外，通过使各个梁部23的长度增长，从而能够使伴随着各个梁部23的弯曲变形的、检测部21的X轴方向上的位移变得容易。

在此，虽然各个梁部23具有沿着Y轴方向延伸的部分和沿着X轴方向延伸的部分，但沿着Y轴方向延伸的部分的长度与沿着X轴方向延伸的部分的长度相比而较长。由此，能够减少各个梁部23的Y轴方向上弯曲变形，其结果为，能够使伴随于各个梁部23的弯曲变形的、检测部21的Y轴方向上的位移减少。

另外，各个梁部23也可以不如前文所述那样呈蜿蜒形状，例如也可以为在俯视观察时沿着Y轴方向而延伸的形状。

此外，各个梁部23的宽度(沿着X轴方向的长度)与各个梁部23的厚度(沿着Z轴方向的长度)相比而较小。换言之，各个梁部23的厚度与各个梁部23的宽度相比而较大。由此，各个梁部23易于在X轴方向上进行弯曲变形、且难以在Z轴方向上进行弯曲变形。即，各个梁部23的Z轴方向上的弹簧常数与各个梁部23的X轴方向上的弹簧常数相比而较大。因此，能够使伴随于各个梁部23的弯曲变形的、检测部21的X轴方向上的位移较为容易，并且能够减少检测部21的Z轴方向上的位移。另外，梁部23整体的Z轴方向上的弹簧常数与梁部23整体的X轴方向上的弹簧常数相比而较大。

驱动部(第一、第二质量部)

振动结构体2a、2b各自所具备的驱动部24被配置于前文所述的检测部21的框架部211的内侧处。驱动部24将前文所述的封装件11的底基板12的上表面设为基准面，并呈沿着该基准面的板状。在本实施方式中，驱动部24具有在俯视观察时沿着框架部211的形状的大致四边形的外形。

此外，在驱动部24上设置有沿着Y轴方向延伸的梁部29。各个梁部29的两端被固定在所对应的驱动部24上。在此，驱动部24具有间隙部241，所述间隙部241中配置有梁部29。在此，一方的驱动部24的间隙部241构成了“第一间隙部”，另一方的驱动部24的间隙部241构成了“第二间隙”。

第一、第二梁部(梁部)

振动结构体2a、2b各自所具备的四个梁部25与框架部211的各个角部以及驱动部24的各个角部相对应，并且分别将所对应的检测部21和驱动部24连结在一起。

各个梁部25具有与驱动部24的于X轴方向上分离的两处相连接的一对一端部、和与检测部21的于X轴方向上分离的两处相连接的一对另一端部，并且所述各个梁部25呈如下形状，即，从该一对一端部中的各个端部起向检测部21侧延伸，并且从该一对另一端部的各个端部起向驱动部24侧延伸，且在中途集合于一处的形状。这种各个梁部25具有分岔的部分。由此，能够提高作用于驱动部24的科里奥利力的方向(X轴方向)上的各个梁部25的弯曲刚性。因此，能够将科里奥利力有效率地从驱动部24向检测部21进行传递，其结果为，能够减少振动泄漏并提高检测精度。

如果进行具体说明，则如图5所示的那样，各个梁部25具有从驱动部24(质量部)起向检测部21(支承部)侧延伸的一对质量部侧梁部251、从检测部21起向驱动部24侧延伸的一对支承部侧梁部252、和将这些部汇总于一处并进行连接的连接梁部253。

一对质量部侧梁部251以一方的质量部侧梁部251朝向另一方的质量部侧梁部251侧的方式，从驱动部24起朝向检测部21侧延伸，且一对质量部侧梁部251的与驱动部24为相反侧的端部彼此互相连接。此外，一对质量部侧梁部251以在X轴方向上互相对称的方式而形成。

各个质量部侧梁部251呈从驱动部24起朝向检测部21侧并且在沿着Y轴方向的方向与沿着X轴方向的方向上交替延伸的阶梯状。即，各个质量部侧梁部251具有：从驱动部24起沿着Y轴方向延伸的部分2511、从部分2511的与驱动部24为相反侧的端部起沿着X轴方向延伸的部分2512、从部分2512的与部分2511为相反侧的端部起沿着Y轴方向延伸的部分2513、从部分2513的与部分2512为相反侧的端部起沿着X轴方向延伸的部分2514。

同样地，一对支承部侧梁部252以一方的支承部侧梁部252朝向另一方的支承部侧梁部252侧的方式，从检测部21起朝向驱动部24侧延伸，且一对支承部侧梁部252的与检测部21为相反侧的端部彼此互相连接。此外，一对支承部侧梁部252以在X轴方向上互相对称的方式而形成。

各个支承部侧梁部252呈从检测部21起朝向驱动部24侧并且在沿着Y轴方向的方向与沿着X轴方向的方向上交替延伸的阶梯状。即，各个支承部侧梁部252具有：从检测部21起沿着Y轴方向延伸的部分2521、从部分2521的与检测部21为相反侧的端部起沿着X轴方向延伸的部分2522、从部分2522的与部分2521为相反侧的端部起沿着Y轴方向延伸的部分2523、从部分2523的与部分2522为相反侧的端部起沿着X轴方向延伸的部分2524。

连接梁部253沿着Y轴方向延伸，并在一端部上连接有前文所述的各个质量部侧梁部251的与驱动部24为相反侧的端部(即部分2514的与部分2513为相反侧的端部)，在另一端部上连接有前文所述的各个支承部侧梁部252的与检测部21为相反侧的端部(即部分2524的与部分2523为相反侧的端部)连接。

如此，可以认为，梁部25从连接梁部253起向驱动部24侧分岔为一对质量部侧梁部251，并且从连接梁部253起向检测部21侧分岔为一对支承部侧梁部252。

此外，虽然各个梁部25具有沿着X轴方向延伸的部分2512、2514、2522、2524和沿着Y轴方向延伸的部分2511、2513、2521、2523以及连接梁部253，但沿着X轴方向延伸的各个部分的长度与沿着Y轴方向延伸的各个部分的长度相比而较长。由此，能够减少各个梁部25的X轴方向上的弯曲变形，其结果为，能够使伴随于各个梁部25的弯曲变形的、驱动部24的X轴方向上的位移减少。因此，能够将在驱动部24上产生的X轴方向上的科里奥利力经由梁部25而有效率地向检测部21进行传递。此外，在这样的各个梁部25中，在驱动部24进行Z轴方向的位移时，各个梁部25的沿着X轴方向延伸的部分将进行扭曲变形以及弯曲变形，并且各个梁部25的沿着Y轴方向延伸的部分向Z轴方向倾斜。此时，虽然各个梁部25的Y轴方向上延伸的部分几乎不发生变形，但通过如前文所述那样进行倾斜，从而对所涉及的部分作为根据长度而扩大驱动部24的Z轴方向上的位移的位移扩大机构而发挥功能。

此外，通过缩短各个梁部25的沿着Y轴方向延伸的各个部分的长度，从而能够分别减小各个梁部25的沿着X轴方向延伸的部分彼此之间的间隙、各个梁部25的沿着X轴方向延伸的部分与检测部21之间的间隙、以及各个梁部25沿着X轴方向延伸的部分与驱动部24之间的间隙。由此，能够对各个梁部25的Y轴方向上的弯曲变形进行规定或限制，其结果为，能够减少驱动部24的Y轴方向上的位移。

此外，各个梁部25的长度与前文所述的各个梁部23的长度相比而较长。由此，各个梁部25与各个梁部23相比，而容易在Z轴方向上进行弯曲变形。即，各个梁部25的Z轴方向上的弹簧常数与各个梁部23的Z轴方向上的弹簧常数相比而较小。另外，由于梁部25的数量与梁部23的数量相等，因此梁部25整体的Z轴方向上的弹簧常数与梁部23整体的Z轴方向上的弹簧常数相比而较小。

连结结构体

如图1所示的那样，连结结构体2c被配置于两个振动结构体2a、2b之间。该连结结构体2c具有：两个固定部26、对两个固定部26之间进行连接的支承梁部27、被支承梁部27支承并且对振动结构体2a、2b的梁部29彼此进行连结的连结部28。

两个固定部26在Y轴方向上并排配置。而且，将这两个固定部26间连接在一起的支承梁部27沿着Y轴方向而延伸。此外，连结部28沿着X轴方向延伸，且一端部与一方的梁部29的中途连接，而另一端部则与另一方的梁部29的中途连接。此外，俯视观察时，连结部28与支持梁部27交叉，且连结部28的中途部分与支承梁部27的中途部分连接。

驱动用固定电极

两个驱动用固定电极部3分别被固定在前文所述的封装件11的底基板12上所形成的凹部121的底面上。该各个驱动用固定电极部3以相对于所对应的驱动部24而隔开间隔并对置的方式而被配置。在此，各个驱动用固定电极部3在俯视观察时被配置在与所对应的驱动部24重叠的位置上。在本实施方式中，各个驱动用固定电极部3在俯视观察时呈沿着所对应的驱动部24的外周的大致环状。

这种驱动用固定电极部3经由配线31而与被设置在底基板12的上表面的凹部121的外侧的端子32电连接。

作为驱动用固定电极部3、配线31以及端子32的结构材料，分别能够使用如下材料，例如：ITO(IndiumTinOxide：铟锡氧化物)、ZnO(氧化亚锌)等的透明电极材料、金(Au)、金合金、铂(Pt)、铝(Al)、铝合金、银(Ag)、银合金、铬(Cr)、铬合金、铜(Cu)、钼(Mo)、铌Nb、钨(W)、铁(Fe)、钛(Ti)、钴(Co)、锌(Zn)、锆(Zr)等的金属材料。

此外，驱动用固定电极部3、配线31以及端子32是通过使用光刻法以及蚀刻法等而对使用溅射法、蒸镀法等的气相成膜法而使前文所述的材料成膜的膜进行图案形成从而一并形成的。另外，在底基板12由硅这样的半导体材料构成的情况下，优选为，在驱动用固定电极部3、配线31以及端子32和底基板12之间设置绝缘层。作为所涉及的绝缘层的结构材料，例如能够使用SiO2(二氧化硅)、AlN(氮化铝)、SiN(氮化硅)等。

检测用固定电极

四个检测用固定电极部4分别在前文所述的封装件11的底基板12的凹部121的外侧处被接合并固定在底基板12的上表面上。该四个检测用固定电极部4由对振动结构体2a的检测振动进行检测的两个检测用固定电极部4(第一检测电极)、和对振动结构体2b的检测振动进行检测的两个检测用固定电极部4(第二检测电极)构成。对振动结构体2a的检测振动进行检测的两个检测用固定电极部4以夹着振动结构体2a的方式在Y轴方向上并排配置。同样地，对振动结构体2b的检测振动进行检测的两个检测用固定电极部4也以夹着振动结构体2b的方式在Y轴方向上并排配置。

这样的四个检测用固定电极部4通过对一个基板(例如硅基板)进行加工(例如蚀刻加工)，从而与两个振动结构体2a、2b以及连结结构体2c一并被形成。

各个检测用固定电极部4由沿着X轴方向而交替并排配置的多个电极指41以及多个电极指42、和将多个电极指42的振动结构体2a、2b的相反侧的端部彼此连接在一起的连接部43构成。

各个电极指41、42沿着Y轴方向而延伸。而且，各个电极指41与前文所述的检测用可动电极部212的电极指的一方的侧面对置，另一方面，各个电极指42与检测用可动电极部212的电极指的另一方的侧面对置。通过以此方式配置各个电极指41、42，从而在检测部21于X轴方向上进行位移时，使电极指41和检测用可动电极部212的电极指之间的静电电容、以及电极指42和检测用可动电极部212的电极指之间的静电电容中的一方的静电电容增加，并使另一方的静电电容减少。

连接部43具有确保多个电极指42之间的导通的功能。由此，能够提高各个电极指42与后文所述的配线44之间的电连接的可靠性。

这种检测用固定电极部4经由配线44而与被设置在底基板12的上表面的凹部121的外侧的端子45电连接。作为配线44以及端子45的结构材料以及形成方法，能够使用与前文所述的驱动用固定电极部3、配线31以及端子32相同的结构材料以及形成方法。

驱动监控用电极

两个驱动监控用电极5分别被接合并固定在前文所述的封装件11的底基板12上所形成的凹部121的底面上。该各个驱动监控用电极5以相对于所对应的驱动部24而隔开间隔并对置的方式而配置。在此，各个驱动监控用电极5在俯视观察时被配置于与所对应的驱动部24重叠的位置上。在本实施方式中，各个驱动监控用电极5在俯视观察时被配置于前文所述的呈环状的驱动用固定电极部3的内侧处，并与所对应的驱动部24的中央部重叠。

这种驱动监控用电极5经由配线51而与被设置在底基板12的上表面的凹部121的外侧的端子52电连接。

作为驱动监控用电极5、配线51以及端子52的结构材料以及形成方法，能够使用与前文所述的驱动用固定电极部3、配线31以及端子32相同的结构材料以及形成方法。

以上述方式构成的物理量传感器10，以如下方式进行工作。

向互相对置的驱动用固定电极部3与驱动部24之间施加作为驱动电压的周期性变化的电压(例如交流电压)。于是，在驱动用固定电极部3与驱动部24之间产生强度周期性变化的静电引力，由此，驱动部24随着梁部25的弾性变形而在Z轴方向上进行振动。

此时，向振动结构体2a的驱动用固定电极部3与驱动部24之间施加的电压、和向振动结构体2b的驱动用固定电极部3与驱动部24之间施加的电压的相位互相错开180°。由此，振动结构体2a的驱动部24与振动结构体2b的驱动部24以反相的方式进行振动。即，如图4(b)所示那样，交替重复如下状态，即，一方的驱动部24在成为+Z轴方向的方向α1上进行位移并且另一方的驱动部24在成为-Z轴方向的方向α2上进行位移状态、和该一方的驱动部24在方向α2上进行位移并且该另一方的驱动部24在方向α1上进行位移的状态。由此，能够减少振动泄漏。另外，在图4(b)中，图示了图中左侧的驱动部24在方向α1上进行位移，右侧的驱动部24在方向α2上进行位移的情况。

此外，此时，在支承梁部27围绕沿着Y轴方向的轴线a而进行扭曲变形的同时，连结部28进行倾斜。由此，能够以使与连结部28的两端连接的两个驱动部24的振幅相等的方式使各个驱动部24进行振动。此时，一方的驱动部24的梁部29围绕沿着Y轴方向的轴线a1进行扭曲变形，另一方的驱动部24的梁部29围绕沿着Y轴方向的轴线a2进行扭曲变形。在此，连结部28的一端部与一方的驱动部24(第一质量部)的内侧的部分连接，连结部28的另一端部与另一方的驱动部24(第二质量部)的内侧的部分连接。因此，能够随着前文所述那样的梁部29的扭曲变形，而使各个驱动部24维持相对于XY平面而平行的状态。

此外，此时，对驱动监控用电极5与驱动部24之间的静电电容进行检测，并根据该检测结果根据需要而对驱动电压进行控制。由此，能够以使驱动部24的振动成为所需的振动的方式进行控制。另外，也能够使用各个驱动用固定电极部3而对沿着各个驱动部24的基准面的法线的方向上的振动进行检测。

在以此方式使驱动部24振动的状态下，当向物理量传感器10施加有围绕Y轴的角速度时，将在驱动部24上产生X轴方向的科里奥利力，并通过该科里奥利力的作用而使检测部21在X轴方向上振动。即，如图4(a)所示那样，交替重复如下状态，即，一方的检测部21在成为X轴方向的方向β1上进行位移并且另一方的检测部21在成为-X轴方向的方向β2上进行位移的状态、和该一方的检测部21在方向β2上进行位移并且该另一方的检测部21在方向β1上进行位移的状态。由此，检测用固定电极部4的电极指41、42与检测用可动电极部212的电极指之间的静电电容发生变化。因此，根据所涉及的静电电容而能够对施加于物理量传感器10上的角速度进行检测。

此时，电极指41与检测用可动电极部212的电极指之间的间隙g1、以及电极指42与检测用可动电极部212的电极指之间的间隙g2中一方的间隙变大，而另一方的间隙则变小。因此，在电极指41与检测用可动电极部212的电极指之间的静电电容、以及电极指42与检测用可动电极部212的电极指之间的静电电容中，当一方的静电电容增加时，另一方的静电电容将减少。因此，通过差动放大这些静电电容，从而能够获得高输出的检测信号。其结果为，能够高精度地对角速度进行检测。

以此方式，通过检测用固定电极部4对沿着XY平面的各个检测部21的振动进行检测，从而能够在使各个驱动部24于Z轴方向(面外方向)上进行驱动时，对由作用于各个驱动部24的科里奥利力而产生的各检测部21的位移进行检测。因此，能够通过物理量传感器10来实现角速度传感器。

在以上的这种物理量传感器10中，由于各个梁部25具有分岔的部分，因此能够提高作用于各个驱动部24的科里奥利力的方向上的各个梁部25的弯曲刚性。因此，能够从驱动部24向检测部21有效率地传递科里奥利力，其结果为，能够减少振动泄漏从而提高检测精度。

前文所述的那样，各个梁部25具有从驱动部24的互不相同的两个位置起延伸的两个质量部侧梁部251，且两个质量部侧梁部251的检测部21侧的端部彼此被互相连接在一起。此外，如前文所述的那样，各个梁部25具有从检测部21的互不相同的两个位置起延伸出的两个支承部侧梁部252，且两个支承部侧梁部252的驱动部24侧的端部彼此被互相连接在一起。通过具有这样的质量部侧梁部251以及支承部侧梁部252，从而能够以简单的结构提高在科里奥利力的方向上的梁部25的刚性。

此外，各个质量部侧梁部251的驱动部24侧的端部(部分2511)的宽度与各个质量部侧梁部251的中途(部分2512、2514)的宽度相比而较宽。此外，各个支承部侧梁部252的检测部21侧的端部(部分2521)的宽度与各个支承部侧梁部252的中途(部分2522、2524)的宽度相比而较宽。由此，能够提高这些端部的X轴方向上的弯曲刚性，其结果为，能够以简单的结构提高科里奥利力的方向上的梁部25的刚性。

此外，在物理量传感器元件1中，通过使两个驱动部24以反相进行振动，从而使这些振动互相抵消，由此能够进一步减少振动泄漏。此外，由于连结部28将一方的驱动部24(第一质量部)与另一方的驱动部24(第二质量部)连接在一起，因此能够在使这两个驱动部24在Z轴方向上以反相进行振动时，使两个驱动部24稳定地振动。

特别地，连结部28的一端部与一方的驱动部24(第一质量部)的内侧的部分连接，连结部28的另一端部与另一方的驱动部24(第二质量部)的内侧的部分连接。而且，一方的驱动部24的梁部29作为“第一易变形部”而发挥功能，所述第一易变形部能够以减少该一方的驱动部24的相对于成为基准面的XY平面的姿态的变化的方式进行变形。同样地，另一方的驱动部24的梁部29作为“第二易变形部”而发挥功能，所述第二易变形部能够以减少该另一方的驱动部24的相对于成为基准面的XY平面的姿态的变化的方式进行变形。

因此，在使两个驱动部24以反相在Z轴方向上进行振动时，由于各个梁部29以减少两个驱动部24的相对于XY平面的姿态的变化的方式进行变形，因此能够减少振动泄漏。根据以上情况，而使物理量传感器元件1以及物理量传感器10具有优异的检测精度。

在此，，各个梁部29在俯视观察时沿着相对于两个驱动部24的排列方向(X轴方向)而交叉的方向(Y轴方向)延伸。由此，通过使各个梁部29扭曲变形，从而能够减少两个驱动部24的相对于XY平面的姿态的变化。以此方式，能够通过比较简单的结构而减少相对于XY平面的两个驱动部24的姿态的变化。

此外，各个梁部29在俯视观察时被配置于包括所对应的驱动部24的重心的位置处。由此，能够有效地减少相对于XY平面的两个驱动部24的姿态的变化。

此外，在俯视观察时，各个梁部29的宽度与连结部28的宽度相比而较窄。由此，能够易于分别使第一易变形部以及第二易变形部进行扭曲变形，并能够有效率地减少两个驱动部24的相对于基准面的姿态的变化。此外，能够减少连结部28的非本意的变形，并能够实现两个驱动部24的振动的稳定化。

此外，如前文所述那样，各个驱动部24具有间隙部241，所述间隙部241中配置有梁部29。由此，通过对一个基板进行加工，从而能够使两个梁部29与两个驱动部24一并形成。各个间隙部241以容许梁部29的扭曲变形并且防止连结部28与驱动部24接触的方式而形成。

此外，由于在俯视观察时连结部28的中途被支承梁部27所支承，因此能够伴随于支承梁部27的扭曲变形而以支承梁部27为中心从而使连结部28稳定地进行转动。其结果为，能够实现两个驱动部24的振动的稳定化。

第二实施方式

接下来，对本发明的第二实施方式进行说明。

图6为表示本发明的第二实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图，图7为用于对图5所示的物理量传感器所具备的梁部进行说明的放大俯视图。

在本实施方式中，除了将驱动部(质量部)和检测部(支承部)连接在一起梁部的形状有所不同以外，其余均与前文所述的第一实施方式相同。

另外，在以下的说明中，对于第二实施方式，以与前文所述的实施方式不同点为中心进行说明，且对于相同的事项而省略其说明。

在图6所示的物理量传感器10A所具备的物理量传感器元件1A中，代替前文所述的第一实施方式的梁部25转而具有将检测部21和驱动部24连接在一起的梁部25A。

如图7所示的那样，各个梁部25A具有：从驱动部24(质量部)起向检测部21(支承部)侧延伸出的一对质量部侧梁部251A、从检测部21起向驱动部24侧延伸出的一对支承部侧梁部252A、对一对质量部侧梁部251A的与驱动部24为相反侧的端部彼此进行连接的连接梁部254、对一对支承部侧梁部252A的与检测部21为相反侧的端部彼此进行连接的连接梁部255、被设置于连接梁部254、255间的一对分岔梁部256。

一对质量部侧梁部251A以一方的质量部侧梁部251A朝向另一方的质量部侧梁部251A侧的方式而从驱动部24起朝向检测部21侧延伸，且一对质量部侧梁部251A的与驱动部24为相反侧的端部彼此互相连接。

各个质量部侧梁部251A具有从驱动部24起沿着Y轴方向延伸的部分2511、和从部分2511的与驱动部24为相反侧的端部起沿着X轴方向延伸的部分2512A。

同样地，一对支承部侧梁部252A以一方的支承部侧梁部252A朝向另一方的支承部侧梁部252A侧的方式而从检测部21起朝向驱动部24侧延伸，且一对支承部侧梁部252A的与检测部21为相反侧的端部彼此互相连接。

各个支承部侧梁部252A具有从检测部21起沿着Y轴方向延伸的部分2521、和从部分2521的与检测部21为相反侧的端部起沿着X轴方向延伸的部分2522A。

连接梁部254沿着Y轴方向延伸，且在一端部上连接有前文所述的各个质量部侧梁部251A的与驱动部24为相反侧的端部(即，部分2512A的与部分2511为相反侧的端部)，在另一端部上连接有一对分岔梁部256的一端部连接。

同样地，连接梁部255沿着Y轴方向延伸，且在一端部上连接有前文所述的各个支承部侧梁部252A的与检测部21为相反侧的端部(即，部分2522A的与部分2521为相反侧的端部)，在另一端部上连接有一对分岔梁部256的另一端部连接。

一对分岔梁部256使连接梁部254和连接梁部255分岔并连接。各个分岔梁部256具有从连接梁部254的与质量部侧梁部251A为相反侧的端部起沿着Y轴方向延伸的部分2561、和连接梁部255的与支承部侧梁部252A为相反侧的端部起沿着Y轴方向并向与部分2561相同方向延伸的部分2563、将部分2561、2563的与连接梁部254、255为相反侧的端部彼此连接在一起的部分2562。

在以上说明的物理量传感器元件1A以及物理量传感器10A中，梁部25A具有在梁部25A的中途分岔的两个分岔梁部256，且两个分岔梁部256的驱动部24侧的端部彼此连接，并且两个分岔梁部256的检测部21侧的端部彼此互相连接。即使根据这种结构，也能够以简单结构而提高在科里奥利力的方向上的梁部25A的刚性。

2.电子设备

接下来，根据图8至图10而对使用了物理量传感器元件1的电子设备进行详细说明。

图8为模式化地表示作为本发明的电子设备的一个示例的移动型的个人计算机的结构的立体图。

在该图中，个人计算机1100由具备键盘1102的主体部1104和具备显示部1108的显示单元1106构成，显示单元1106以能够经由铰链结构部而相对于主体部1104进行转动的方式被支承。在这种个人计算机1100中内置有作为陀螺传感器而发挥功能的物理量传感器元件1。

图9为模式化地表示作为本发明的电子设备的一个示例的便携式电话机的结构的立体图。

在该图中，移动电话1200具备多个操作按钮1202、听筒1204以及话筒1206，并且在操作按钮1202与听筒1204之间配置有显示部1208。在这种便携式电话机1200中内置有作为陀螺传感器而发挥功能的物理量传感器元件1。

图10为表示作为本发明的电子设备的一个示例的数码照相机的结构的立体图。另外，该图中还简单地图示了与外部设备的连接。在此，通常的照相机通过被摄物体的光图像而对银盐感光胶片进行感光，与此相对，数码照相机1300通过CCD(ChargeCoupledDevice：电荷耦合装置)等的摄像元件而对被摄物体的光图像进行光电变换，从而生成摄像信号(图像信号)。

在数码照相机1300的壳体(机身)1302的背面上设置有显示部1000，并且成为根据由CCD产生的摄像信号来进行显示的结构，显示部1310作为将被摄物体显示为电子图像的取景器而发挥功能。

此外，在壳体1302的正面侧(图中背面侧)设置有包括光学镜片(摄像光学系统)与CCD等在内的受光单元1304。

当摄影者对被显示在显示部上的被摄物体图像进行确认并按下快门按钮1306时，该时间点的CCD的摄像信号被转送并存储于存储器1308中。

此外，在该数码照相机1300中，在壳体1302的侧面上设置有影像信号输出端子1312和数据通信用的输入输出端子1314。而且，如图所示，根据需要而分别在影像信号输出端子1312上连接有影像监视器1430，在数据通信用的输入输出端子1314上连接有个人计算机1440。而且，成为如下的结构，即，通过预定的操作，从而使被存储于存储器1308中的摄像信号向影像监视器1430或个人计算机1440输出。

在这种数码照相机1300中，内置有作为陀螺传感器而发挥作用的物理量传感器元件1。

另外，具备本发明的物理量传感器元件的电子设备除了能够应用于图8中的个人计算机(移动型个人计算机)、图9中的便携式电话机、图10中的数码照相机中之外，还能够应用于如下电子装置中，例如：喷墨式喷出装置(例如喷墨打印机)、膝上型个人计算机、电视机、摄像机、录像机、导航装置、寻呼机、电子记事本(也包括附带通信功能的产品)、电子词典、电子计算器、电子游戏设备、文字处理机、工作台、可视电话、防盗用视频监控器、电子双筒望远镜、POS终端、医疗设备(例如电子体温计、血压计、血糖计、心电图计测装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测仪、各种测量设备、计量仪器类(例如，车辆、航空器、船舶的计量仪器类)、飞行模拟器等。

3.移动体

接下来，根据图11来对使用了物理量传感器元件1的移动体进行详细说明。

图11为表示作为本发明的移动体的一个示例的车辆的结构的立体图。

在车辆1500中内置有作为陀螺传感器而发挥功能的物理量传感器元件1，并且能够通过物理量传感器元件1而对车身1501的姿态进行检测。物理量传感器元件1的检测信号向车身姿态控制装置1502供给，车身姿态控制装置1502根据该信号而对车身1501的姿态进行检测，从而能够根据检测结果而对悬架的软硬进行控制或对各个车轮1503的制动器进行控制。此外，这种姿态控制也能够应用于双足行走机器人或遥控直升飞机中。如上文所述，在实现各种移动体的姿态控制时，可装入物理量传感器元件1。

以上，根据图示的实施方式而对本发明的物理量传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体进行了说明，但是本发明并不限定于此，各部的结构能够置换为具有相同的功能的任意结构。此外，本发明也可以追加其它的任意的结构物。

符号说明

1…物理量传感器元件；

1A…物理量传感器元件；

2a…振动结构体；

2b…振动结构体；

2c…连结结构体；

3…驱动用固定电极部；

4…检测用固定电极部；

5…驱动监控用电极；

10…物理量传感器；

10A…物理量传感器；

11…封装件；

12…底基板；

13…盖部材；

21…检测部；

22…固定部；

23…梁部；

24…驱动部；

25…梁部；

25A…梁部；

26…固定部；

27…支承梁部；

28…连结部；

29…梁部；

31…配线；

32…端子；

41…电极指；

42…电极指；

43…连接部；

44…配线；

45…端子；

51…配线；

52…端子；

121…凹部；

131…凹部；

211…框架部；

212…检测用可动电极部；

241…间隙部；

251…质量部侧梁部；

251A…质量部侧梁部；

252…支承部侧梁部；

252A…支承部侧梁部；

253…连接梁部；

254…连接梁部；

255…连接梁部；

256…分岔梁部；

1100…个人计算机；

1102…键盘；

1104…主体部；

1106…显示单元；

1108…显示部；

1200…便携式电话机；

1202…操作按钮；

1204…听筒；

1206…话筒；

1208…显示部；

1300…数码照相机；

1302…壳体；

1304…受光单元；

1306…快门按钮；

1308…存储器；

1310…显示部；

1312…影像信号输出端子；

1314…输入输出端子；

1430…影像监视器；

1440…个人计算机；

1500…车辆；

1501…车身；

1502…车身姿态控制装置；

1503…车轮；

2511…部分；

2512…部分；

2512A…部分；

2513…部分；

2514…部分；

2521…部分；

2522…部分；

2522A…部分；

2523…部分；

2524…部分；

2561…部分；

2562…部分；

2563…部分；

a…轴线；

a1…轴线；

a2…轴线；

g1…间隙；

g2…间隙；

α1…方向；

α2…方向；

β1…方向；

β2…方向。

Claims (18)

1.一种物理量传感器元件，其特征在于，具备：

支承部；

质量部；

梁部，其连接所述支承部与所述质量部，

所述梁部具有分岔的部分。

2.如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中，

所述梁部具有从所述质量部的互不相同的两个位置延伸出的两个质量部侧梁部，

所述两个质量部侧梁部的所述支承部侧的端部彼此互相连接。

3.如权利要求2所述的物理量传感器元件，其中，

各个所述质量部侧梁部的所述质量部侧的端部的宽度与各个所述质量部侧梁部的中途的宽度相比而较宽。

4.如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中，

所述梁部具有从所述支承部的互不相同的两个位置延伸出的两个支承部侧梁部，

所述两个支承部侧梁部的所述质量部侧的端部彼此互相连接。

5.如权利要求4所述的物理量传感器元件，其中，

各个所述支承部侧梁部的所述支承部侧的端部的宽度与各个所述支承部侧梁部的中途的宽度相比而较宽。

6.如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中，

所述梁部具有在所述梁部的中途处分岔的两个分岔梁部，

所述两个分岔梁部的所述质量部侧的端部彼此连接，并且所述两个分岔梁部的所述支承部侧的端部彼此互相连接。

7.如权利要求1所述的物理量传感器元件，其中，

具备：

第一质量部以及第二质量部，所述第一质量部以及第二质量部分别构成所述质量部；

第一支承部以及第二支承部，所述第一支承部以及第二支承部分别构成所述支承部；

第一梁部，其构成对所述第一质量部和所述第一支承部进行连接的所述梁部，

第二梁部，其构成对所述第二质量部和所述第二支承部进行连接的所述梁部，

连结部，其对所述第一质量部和所述第二质量部进行连接。

8.如权利要求7所述的物理量传感器元件，其中，

所述连结部的一端部与所述第一质量部的内侧的部分连接，所述连结部的另一端部与所述第二质量部的内侧的部分连接，

所述第一质量部具有第一易变形部，所述第一易变形部与所述连结部的所述一端部连接，且能够以减少相对于基准面而言的所述第一质量部的姿态的变化的方式进行变形，

所述第二质量部具有第二易变形部，所述第二易变形部与所述连结部的所述另一端部连接，且能够以减少相对于所述基准面而言的所述第二质量部的姿态的变化的方式进行变形。

9.如权利要求8所述的物理量传感器元件，其中，

所述第一质量部具有第一间隙部，所述第一间隙部中配置有所述第一易变形部，

所述第二质量部具有第二间隙部，所述第二间隙部中配置有所述第二易变形部。

10.如权利要求7所述的物理量传感器元件，其中，

具备对沿着基准面的所述第一支承部以及所述第二支承部的振动进行检测的电极。

11.一种物理量传感器，其特征在于，具备：

权利要求1所述的物理量传感器元件；

封装件，其收纳所述物理量传感器元件。

12.一种电子设备，其特征在于，具备：

权利要求1所述的物理量传感器元件。

13.一种移动体，其特征在于，具备：

权利要求1所述的物理量传感器元件。

14.如权利要求2所述的物理量传感器元件，其中，

所述梁部具有从所述支承部的互不相同的两个位置延伸出的两个支承部侧梁部，

所述两个支承部侧梁部的所述质量部侧的端部彼此互相连接。

15.如权利要求14所述的物理量传感器元件，其中，

具备：

第一质量部以及第二质量部，其分别构成所述质量部；

第一支承部以及第二支承部，其分别构成所述支承部，

第一梁部，其构成对所述第一质量部和所述第一支承部进行连接的所述梁部，

第二梁部，其构成对所述第二质量部和所述第二支承部进行连接的所述梁部，

连结部，其连接所述第一质量部与所述第二质量部。

16.如权利要求15所述的物理量传感器元件，其中，

所述连结部的一端部与所述第一质量部的内侧的部分连接，所述连结部的另一端部与所述第二质量部的内侧的部分连接，

所述第一质量部具有第一易变形部，所述第一易变形部与所述连结部的所述一端部连接，且能够以减少相对于基准面而言的所述第一质量部的姿态的变化的方式进行变形，

所述第二质量部具有第二易变形部，所述第二易变形部与所述连结部的所述另一端部连接，且能够以减少相对于所述基准面而言的所述第二质量部的姿态的变化的方式进行变形。

17.如权利要求16所述的物理量传感器元件，其中，

所述第一质量部具有第一间隙部，所述第一间隙部中配置有所述第一易变形部，

所述第二质量部具有第二间隙部，所述第二间隙部中配置有所述第二易变形部。

18.如权利要求17所述的物理量传感器元件，其中，

具备对沿着基准面的所述第一支承部以及所述第二支承部的振动进行检测的电极。