CN105375903A - 表面声波器件和液态材料特性测量装置 - Google Patents

表面声波器件和液态材料特性测量装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种表面声波器件和液态材料特性测量装置。一种具有设置在压电基板上的电极的表面声波器件，该表面声波器件包括用于密封所述电极的密封件和密封加强物，即使将所述表面声波器件或液态材料特性测量装置浸入到测量物的液态材料中，也可以在不会造成输入电极和输出电极短路的情况下测量液态材料的物理特性。

Description

表面声波器件和液态材料特性测量装置
本申请是原案申请号为200880116502.3的发明专利申请(国际申请号：PCT/JP2008/070879，申请日：2008年11月17日，发明名称：表面声波元件和液态材料特性测量装置)的分案申请。
技术领域
本发明涉及具有设置在压电基板上的密封电极的表面声波器件(元件)以及包括这种表面声波器件的液态材料特性(性质)测量设备(装置)。
背景技术
通常，表面声波器件包括压电基板以及输入电极和输出电极，这些电极包括设置在压电基板上的梳齿电极指。当电信号被输入到表面声波器件的输入电极时，在电极指之间产生了电场，由于压电效应而激发出了表面声波并在压电基板上传播。已经在研究一种用于检测各种物质并测量其特性的表面声波传感器，它包含了利用上述激发出的表面声波中的剪力水平表面声波(SH-SAW：shearhorizontalsurfacewave)的表面声波器件。剪力水平表面声波在与表面声波的传播方向垂直的方向上移动(日本专利No.3481298)。
表面声波传感器的工作利用了这样的事实：压电基板上待测液态材料所处的区域为电气断开时与该压电基板的相同区域为电气短路时相比，从输出电极输出的输出信号具有不同的特性。更具体来讲，当压电基板的该区域为开路时产生的输出信号受到了电气相互作用和机械相互作用二者的影响，而在压电基板的该区域为短路时产生的输出信号仅受到机械相互作用的影响。因此，可以通过抵消机械相互作用来确定液态材料的物理特性，如介电常数、电导率等，随后从输出信号中提取出电气相互作用。
对于采用表面声波传感器来测量液态材料的物理特性，存在将表面声波传感器浸入液态材料中的例子。在该应用中，通过密封件对表面声波传感器的表面声波器件的电极进行密封，来防止电极由于该液态材料而变短路。
如果密封件设置在表面声波的传播路径上，则由于密封件在传播方向上的厚度由表面声波的传播特性来决定，因此必须非常精确地形成密封件。此外，经过一段时间以后，用于密封电极的密封件有可能从压电基板上剥离，结果液态材料会进入剥离的密封件与压电基板之间的空隙中，由此引起电极的短路。
发明内容
本发明是针对上述问题而作出的。本发明的一个目的是提供一种表面声波器件，即使在该表面声波器件浸入液态材料中时，它也能防止电极短路。本发明还有个目的是提供一种液态材料特性测量装置，该液态材料特性测量装置中包括了这种表面声波器件，用于测量液态材料的物理特性。
本发明提供了一种具有设置在压电基板上的电极的表面声波器件，该表面声波器件包括：密封件，其具有设置在所述压电基板上的围绕所述电极的周壁(peripheralwall)和覆盖所述周壁的顶板(topplate)。此外，密封加强物设置在所述压电基板上，面向施加在所述压电基板上的液态材料，并平行于所述周壁的一部分延伸。
根据本发明，所述密封加强物防止了液态材料与周壁进行接触，防止了周壁从压电基板上剥离，并防止了液态材料被施加到输入电极和输出电极上。
本发明的另一方面提供了一种具有设置在压电基板上的电极的表面声波器件，该表面声波器件包括：密封件，其具有设置在所述压电基板上的围绕所述电极的周壁、设置在所述压电基板上的面向施加在所述压电基板上的液态材料且平行于所述周壁的一部分延伸的第一壁，和覆盖所述周壁和所述第一壁的顶板。
所述第一壁和所述周壁共同地形成了双重保护壁，防止液态材料与周壁进行接触，防止周壁从压电基板上剥离，并防止液态材料被施加到输入电极和输出电极上。此外，还可以设置密封加强物，其填充在所述第一壁和所述周壁的面向所述第一壁的壁部之间的空间内。
所述周壁由感光树脂制成。因此，周壁可以在表面声波的传播方向上具有理想的厚度，由此防止表面声波的传播特性变差。
本发明的再一方面提供了一种液态材料特性测量装置，其包括上述表面声波器件，其中所述电极包括输入电极和输出电极，它们都由所述密封件来密封，并且其中所述液态材料特性测量装置确定施加在设置于所述输入电极与所述输出电极之间的传输路径上的所述液态材料的物理特性。所述表面声波器件包括：具有设置在第一输入电极与第一输出电极之间的第一传播路径的第一表面声波器件；以及具有设置在第二输入电极与第二输出电极之间的第二传播路径并具有与第一传播路径不同的振幅和相位特性的第二表面声波器件。相应地，所述表面声波器件可以确定加在第一传播路径和第二传播路径上的所述液态材料的物理特性。第一输入电极和第二输入电极可以由同一电极组成。
根据本发明，密封加强物防止了液态材料与周壁进行接触，防止了周壁从压电基板上剥离，还防止了液态材料被施加到电极上。
所述周壁和面向所述液态材料并平行于所述周壁的一部分延伸的第一壁共同组成了双重保护壁，该双重保护壁防止液态材料与所述周壁进行接触，防止周壁从压电基板上剥离，并防止液态材料被施加到电极上。此外，填充所述第一壁和所述周壁的面向所述第一壁的壁部之间的空间的密封加强物的效果在于可靠地防止了液态材料被施加到电极上。
所述周壁由感光树脂制成，由此使周壁可以在表面声波的传播方向上具有理想的厚度，并防止表面声波的传播特性变差。
在包括上述表面声波器件的液态材料特性测量装置中，电极包括输入电极和输出电极，它们都由所述密封件来密封。所述液态材料特性测量装置确定施加在设置于所述输入电极和输出电极之间的传输路径上的所述液态材料的物理特性。
附图说明
图1为根据本发明第一实施方式的液态材料特性测量装置的平面图；
图2A为沿着图1的线IIA-IIA截取的局部端视图；
图2B为图2A的局部放大图；
图3为根据本发明第二实施方式的液态材料特性测量装置的平面图；
图4A为沿着图3的线IVA-IVA截取的局部端视图；
图4B为图4A的局部放大图；
图5为根据本发明第三实施方式的液态材料特性测量装置的平面图；
图6A为沿着图5的线VIA-VIA截取的局部端视图；
图6B为图6A的局部放大图；
图7为根据本发明第四实施方式的液态材料特性测量装置的平面图；而
图8为根据本发明第五实施方式的液态材料特性测量装置的平面图。
具体实施方式
下面将参照附图描述本发明的第一实施方式。图1为根据本发明第一实施方式的液态材料特性测量装置50的平面图。图2A为沿着图1的线IIA-IIA截取的局部端视图，图2B为图2A的局部放大图。
如图1所示，液态材料特性测量装置50包括第一表面声波器件10和第二表面声波器件20。第一表面声波器件10具有输入电极12和输出电极14，在输入电极12和输出电极14之间布置有第一传播路径16。第二表面声波器件20具有输入电极22和输出电极24，在输入电极22和输出电极24之间布置有第二传播路径26。
输入电极12和输入电极22包括梳齿电极，用于根据从振荡器(未示出)输入进来的电信号来激发表面声波。输出电极14和输出电极24包括梳齿电极，用于接收由输入电极12和输入电极22激发并传播来的表面声波。
输入电极12和输入电极22由密封件30a进行密封，输出电极14和输出电极24由密封件30b进行密封。密封件30a、30b用于防止液态材料形式的待测物52在其物理特性被测量时施加到梳齿电极上。
密封件30a包括周壁32a和顶板34a。周壁32a围绕输入电极12、22设置在压电基板54上。顶板34a通过粘合剂36以覆盖周壁32a的形式结合在周壁32a的上端。将顶板34a与压电基板54大致平行地结合在周壁32a的上端。顶板34a从输入电极12、22朝着第一传播路径16和第二传播路径26延伸，在顶板34a的端部35a和压电基板54之间限定出了间隙38a。该间隙38a被填充了密封加强物40a，该密封加强物40a作用在周壁32a的面向施加于压电基板54上的物体52的壁部42a。与密封件30a一样，密封件30b也包括周壁32b和顶板34b。在端部35b和压电基板54之间限定成的间隙38b被填充了密封加强物40b，该密封加强物40b作用于周壁32b的壁部42b。密封加强物40a、40b设置在压电基板54上，该压电基板面向施加在第一传播路径16和第二传播路径26上的物体52。
第一传播路径16和第二传播路径26包括分别蒸发在压电基板54上的金属膜56、58。金属膜56、58为电气短路的。第一传播路径16的金属膜56被部分地剥离，因此在开放区域60露出了压电基板54。由于开放区域60是电气断开的，因此第一传播路径16用作开路传播路径。金属膜56的残余带是电气短路的。第二传播路径26由金属膜58整体地构成，因此用作电气短路的短路传播路径。为了提高对物体52的物理特性的测量准确度，将金属膜56、58接地。金属膜56、58可以由任何材料制成，且不限于特定材料，但是金属膜56、58优选地由相对于物体52化学稳定的金制成。沿着第一传播路径16和第二传播路径26的旁边在压电基板54上设置有侧壁62。侧壁62从输入电极12、22伸出并向着输出电极14、24延伸。压电基板54不限于任何特定材料。压电基板54可以是由压电材料制成的单个基板的形式，也可以是这样的基板：包括玻璃基板，在该玻璃基板上设置有压电材料的薄膜。
第一表面声波器件10和第二表面声波器件20彼此平行地设置在压电基板54上，该压电基板54通过芯片焊接(diebonding)安装在印制电路板64上。设置在印制电路板64上的焊盘66通过焊线68连接至输入电极12、22和输出电极14、24。在印制电路板64的外边缘设置有外周壁70。周壁32a、32b、侧壁62和外周壁70共同限定成了其间的凹部72，该凹部72由保护树脂74填充。
下面描述根据第一实施方式的制造液态材料特性测量装置50的方法。
首先，通过光刻法在压电基板54上形成输入电极12，22、输出电极14，24、第一传播路径16和第二传播路径26。围绕输入电极12，22形成周壁32a，围绕输出电极14，24形成周壁32b，并沿着第一传播路径16和第二传播路径26的旁边形成侧壁62，所有这些壁都由在光刻中使用的感光树脂(SU-8：由KayakuMicrochem公司制造的感光环氧树脂)形成。
然后，在包括玻璃基板的顶板34a，34b的表面上涂覆粘合剂。将涂覆了粘合剂的顶板34a结合到周壁32a的上端，并类似地将顶板34b结合到周壁32b的上端。
通过芯片焊接将其上形成有输入电极12等的压电基板54连接到印制电路板64。通过焊线68将印制电路板64上的焊盘66连接至输入电极12、22和输出电极14、24。随后，在印制电路板64的外边缘使用热固树脂形成外周壁70。之后，用触变底层填料剂(thixotropicunderfillingagent)(充当密封加强物40a、40b)填充由顶板34a、34b和压电基板54形成的间隙38a、38b。由于将触变底层填料剂用作密封加强物40a，40b，因此密封加强物40a、40b通过毛细作用填充了间隙38a，38b。结果，由于防止了物体52与周壁32a，32b进行接触，因此就防止了周壁32a、32b从压电基板54上剥离，由此防止了物体52被施加到输入电极12，22和输出电极14、24上。然后，用保护树脂74填充形成在周壁32a，32b、侧壁62和外周壁70之间的凹部72。这样，就制备出了液态材料特性测量装置50。
液态材料特性测量装置50如下来测量物体52的物理特性。将液态材料特性测量装置50浸入到物体52中，并且振荡器(未示出)向输入电极12、22输入相同的信号。输入电极12基于所输入的信号激发出表面声波，该表面声波沿着第一传播路径16传播并由输出电极14接收。类似地，输入电极22基于所输入的信号激发出表面声波，该表面声波沿着第二传播路径26传播并由输出电极24接收。根据输出电极14、24所接收的表面声波产生输出信号，由此来检测输出信号的振幅比和相位差。根据检测到的振幅比和检测到的相位差来测量物体52的物理特性。
如上所述，根据第一实施方式的液态材料特性测量装置50包括：具有布置在输入电极12与输出电极14之间的第一传播路径16的第一表面声波器件10；和具有布置在输入电极22与输出电极24之间的第二传播路径26的第二表面声波器件20，其中第二传播路径26具有不同于第一传播路径16的振幅和相位。液态材料特性测量装置50确定施加在第一传播路径16和第二传播路径26上的物体52的物理特性。
在液态材料特性测量装置50中，输入电极12、22被密封件30a围绕，该密封件30a是由布置在压电基板54上的感光树脂的周壁32a和覆盖周壁32a的顶板34a限定形成的。密封加强物40a设置在压电基板54上，面向施加在压电基板54上的物体52，使得密封加强物40a平行于壁42a延伸。输出电极14、24被密封件30b围绕，该密封件30b是由布置在压电基板54上的感光树脂的周壁32b和覆盖周壁32b的顶板34b限定形成的。密封加强物40b设置在压电基板54上，面向施加在压电基板54上的物体52，使得密封加强物40b平行于壁42b延伸。第一表面声波器件10和第二表面声波器件20防止了施加在压电基板54上的物体52与周壁32a、32b进行接触，防止了周壁32a、32b从压电基板54上剥离，并防止了压电基板54被施加到输入电极12，22和输出电极14、24上。
下面将描述根据本发明第二实施方式的液态材料特性测量装置50A。图3为根据本发明第二实施方式的液态材料特性测量装置50A的平面图。图4A为沿着图1的线IVA-IVA截取的局部端视图，图4B为图4A的局部放大图。第二实施方式的与第一实施方式相同的部分采用相同的附图标记来表示，并在下面不再详细描述这些特征。
液态材料特性测量装置50A不同于液态材料特性测量装置50之处在于：对密封件30Aa、30Ab添加了第一壁80a、80b，并且周壁32a、32b没有涂覆密封加强物40a、40b。在液态材料特性测量装置50A中，由感光树脂制成的第一壁80a、80b布置在压电基板54上，面向施加在压电基板54上的物体52。此外，密封件30Aa是由第一壁80a、壁42a和顶板34a构建成的，密封件30Ab是由第一壁80b、壁42b和顶板34b构建成的。壁42a和面向壁42a的第一壁80a，以及壁42b和面向壁42b的第一壁80b分别构成了双重保护壁，用于保护物体52。此外，第一传播路径16和第二传播路径26被第一壁80a、80b和侧壁62所围绕。一面涂有粘合剂36的顶板34a被结合到周壁32a和第一壁80a的相应上端。并且，一面涂有粘合剂36的顶板34b被结合到周壁32b和第一壁80b的相应上端。顶板34a、周壁32a、压电基板54和第一壁80a共同限定了封闭空间82a，而顶板34b、周壁32b、压电基板54和第一壁80b共同限定了另一封闭空间82b。由输入电极12，22、输出电极14，24和印制电路板64之间的焊线68形成的连接、布置在印制电路板64上的外周壁70和保护树脂74与第一实施方式中的相同，因此下面将不再对这些特征进行详细描述。
在液态材料特性测量装置50A中，输入电极12、22被密封件30Aa围绕，该密封件30Aa包括：布置在压电基板54上的感光树脂的周壁32a；面向施加在压电基板54上的物体52并平行于周壁32a的一部分延伸的第一壁80a；以及覆盖了周壁32a和第一壁80a的顶板34a。输出电极14、24被密封件30Ab围绕，该密封件30Ab包括：布置在压电基板54上的感光树脂的周壁32a；面向施加在压电基板54上的物体52并平行于周壁32a的一部分延伸的第一壁80b；以及覆盖了周壁32b和第一壁80b的顶板34b。
在液态材料特性测量装置50A中，双重保护壁防止了物体52被施加到输入电极12，22和输出电极14，24上。即使第一壁80a、80b从压电基板54上剥离，由此使物体52进入封闭空间82a、82b，在周壁32a、32b由于进入到封闭空间82a、82b的物体52而从压电基板54上剥离之前仍需要相当长的一段时间。因此，可以维持正常的一段时间，在此期间可以使用液态材料特性测量装置50A。
液态材料特性测量装置50A按照与第一实施方式相同的方式来测量物体52的物理特性。因此，下面将不再详细描述通过液态材料特性测量装置50A对物体52的物理特性的测量。
下面将描述根据本发明第三实施方式的液态材料特性测量装置50B。图5为根据本发明第三实施方式的液态材料特性测量装置50B的平面图。图6A为沿着图5的线VIA-VIA截取的局部端视图，图6B为图6A的局部放大图。第三实施方式的与第一和第二实施方式相同的部分采用相同的附图标记来表示，并在下面不再详细描述这些特征。
液态材料特性测量装置50B不同于液态材料特性测量装置50之处在于：对密封件30Ba、30Bb添加了第一壁80a、80b。在液态材料特性测量装置50B中，由感光树脂制成的第一壁80a、80b布置在压电基板54上，面向施加在压电基板54上的物体52。密封件30Ba是由第一壁80a、壁42a和顶板34a构建成的，而密封件30Bb是由第一壁80b、壁42b和顶板34b构建成的。此外，第一传播路径16和第二传播路径26被第一壁80a、80b和侧壁62所围绕。一面涂有粘合剂36的顶板34a被结合到周壁32a和第一壁80a的相应上端。一面涂有粘合剂36的顶板34b被结合到周壁32b和第一壁80b的相应上端。顶板34a、周壁32a、压电基板54和第一壁80a共同限定了封闭空间82a，而顶板34b、周壁32b、压电基板54和第一壁80b共同限定了另一封闭空间82b。分别用包括触变底层填料剂的密封加强物84a、84b来填充封闭空间82a和封闭空间82b，以便更可靠地防止物体52施加到输入电极12、22和输出电极14、24上。
由输入电极12，22、输出电极14，24和印制电路板64之间的焊线68形成的连接、布置在印制电路板64上的外周壁70，以及保护树脂74与第一实施方式中的相同，因此下面将不再对这些特征进行详细描述。液态材料特性测量装置50B按照与第一实施方式相同的方式来测量物体52的物理特性。因此，下面将不再详细描述通过液态材料特性测量装置50B对物体52的物理特性的测量。
下面将描述根据本发明第四实施方式的液态材料特性测量装置50C。图7为根据本发明第四实施方式的液态材料特性测量装置50C的平面图。在上述第一至第三实施方式中，第一表面声波器件10和第二表面声波器件20包括各自的输入电极12和各自的输出电极14。但是，液态材料特性测量装置50C有单个输入电极。第四实施方式的与第一实施方式相同的其它部分采用相同的附图标记来表示，并在下面不再详细描述这些特征。
液态材料特性测量装置50C包括：具有一个输入电极112和输出电极114、124的表面声波器件；被设置为输入电极112与输出电极114之间的断路传输路径的第一传输路径116；以及被设置为输入电极112与输出电极124之间的短路传输路径的第二传输路径126。
输入电极112由密封件130a进行密封，输出电极114由密封件130b进行密封，而输出电极124由密封件130c进行密封，用于在测量物体52的物理特性时防止物体52施加在梳齿电极上。
密封件130a包括周壁132a和顶板134a。周壁132a以围绕输入电极112的形式设置在压电基板54上。顶板134a通过粘合剂136结合在周壁132a的上端。顶板134a与压电基板54大致平行地结合在周壁132a的上端。顶板134a向着输出电极114、124延伸，在顶板134a的一端与压电基板54之间限定了间隙138a。该间隙138a用密封加强物140a进行填充，该密封加强物140a施加在周壁132a的面向施加于压电基板54上的物体52的表面。类似于密封件130a，密封件130b也包括周壁132b和顶板134b。间隙138b用施加在周壁132b上的密封加强物140b进行填充。类似于密封件130a，密封件130c也包括周壁132c和顶板134c。间隙138c用施加在周壁132c上的密封加强物140c进行填充。
由输入电极112、输出电极114，124和印制电路板64之间的焊线68形成的连接、布置在印制电路板64上的外周壁70，以及保护树脂74与第一实施方式中的相同，因此下面将不再对这些特征进行详细描述。
液态材料特性测量装置50C如下来测量物体52的物理特性。将液态材料特性测量装置50C浸入到物体52中，并且振荡器(未示出)向输入电极112输入电信号。基于所输入的信号，从输入电极112的两侧激发出相同的表面声波，其中一个表面声波在第一传播路径116上传播并由输出电极114接收，另一个表面声波在第二传播路径126上传播并由输出电极124接收。
根据输出电极114、124所接收的表面声波产生输出信号，由此来检测输出信号的振幅比和相位差。根据检测到的振幅比和检测到的相位差来测量物体52的物理特性。
除了液态材料特性测量装置50C仅有单个输入电极以外，液态材料特性测量装置50C的结构类似于根据第一实施方式的液态材料特性测量装置50。但是，应当理解，液态材料特性测量装置50C可以被构造为类似于根据第二实施方式的液态材料特性测量装置50A，除了有单个输入电极外。此外，液态材料特性测量装置50C可以被构造为类似于根据第三实施方式的液态材料特性测量装置50B的结构，除了有单个输入电极外。
下面将描述根据本发明第五实施方式的液态材料特性测量装置50D。图8为根据本发明第五实施方式的液态材料特性测量装置50D的平面图。在上述第一实施方式中，液态材料特性测量装置50包括第一表面声波器件10和第二表面声波器件20。但是，液态材料特性测量装置50D还包括第二表面声波器件20D。第五实施方式的与第一实施方式相同的其它部分采用相同的附图标记来表示，并在下面不再详细描述这些特征。
在液态材料特性测量装置50D中，输入电极22被密封件30Da围绕，该密封件30Da包括布置在压电基板54上的感光树脂的周壁32a和覆盖了周壁32a的顶板34a。密封加强物40a设置在物体52与周壁32a的壁部42a之间，该壁部42a面向施加在压电基板54上的物体52。输出电极24由密封件30Db围绕，该密封件30Db包括布置在压电基板54上的感光树脂的周壁32b和覆盖了周壁32b的顶板34b。密封加强物40b设置在物体52与周壁32b的壁部42b之间，该壁部42b面向施加在压电基板54上的物体52。第二表面声波器件20D防止物体52与周壁32a、32b进行接触，防止周壁32a、32b从压电基板54上剥离，并防止压电基板54被施加到输入电极22和输出电极24上。由输入电极12、输出电极24和印制电路板64之间的焊线68形成的连接、布置在印制电路板64上的外周壁70，以及保护树脂74与第一实施方式中的相同，因此下面将不再对这些特征进行详细描述。
液态材料特性测量装置50D如下来测量物体52的物理特性。将液态材料特性测量装置50D浸入到物体52中，并且振荡器(未示出)向输入电极22输入电信号。表面声波从输入电极22激发出来，在第二传播路径26上传播，并由输出电极24接收。根据输出电极24所接收的表面声波产生输出信号，并检测输出信号以及来自振荡器的电信号的振幅比和相位差。根据检测到的振幅比和检测到的相位差来测量作为物体52的物理特性的物体52的密度、黏度和固定化量(immobilizedquantity)。
液态材料特性测量装置50D可以通过如下方式被构造成包括双重保护壁：类似于第一实施方式，提供形成在周壁32a的壁42a与施加在压电基板54上的物体52之间的感光树脂的第一壁，以及形成在周壁32b的壁42b与施加在压电基板54上的物体52之间的感光树脂的第二壁。液态材料特性测量装置50D也可以类似于第三实施方式通过用密封加强物填充由顶板34a、周壁32a、压电基板54和第一壁限定的封闭空间以及由顶板34b、周壁32b、压电基板54和第一壁限定的封闭空间来构造。
由液态材料特性测量装置50测量出的物体的物理特性并不限于如上所述的相对介电常数、电导率和密度。例如，液态材料特性测量装置50还可以测量被测物体的黏度。
待测物体并不限于任何特定物质，但可以包含至少一种液体。待测物体可以包含纯液体或混合液体。本发明在测量醇类(如甲醇、乙醇等)的物理特性方面尤其有效。即使待测物体包含抗原、抗体和细菌等，也可以测量该物体的物理特性。
如果待测物体包含带电细菌，则可以通过测量该物体的电导率来测量这些细菌的百分含量。如果待测物体包含不同极性的带电细菌，则可以通过测量该物体的电导率来识别该物体中占主导地位的细菌类型。如果将细菌施加在施加有物体的传播路径上，则可以通过测量物体的密度和黏度来检测施加的细菌的增加或减少。
此外，在蛋白质被金属膜的表面吸附的情况下，可以检测质量变化或黏度变化。更具体地，可以通过测量在金属膜上传播的表面声波的振幅和相位来检测蛋白质的吸附量和吸附的蛋白质的类型。
如果金属膜的表面固定有抗体，并且金属膜表面上施加了抗原溶液，则可以通过绑定抗原和抗体来检测质量变化和黏度变化。更具体地，可以通过测量在金属膜上传播的表面声波的振幅和相位来检测施加的抗原量。因此明显的是，如果金属膜的表面固定有抗体，并在金属膜表面上施加了抗原溶液，则可以检测施加的抗体量。
本发明并不限于上述实施方式，而是可以在不偏离本发明的范围的情况下采用多种结构。

Claims (5)

1.一种具有设置在压电基板(54)上的电极的表面声波器件，该表面声波器件包括用于密封所述电极的密封件，
其中，所述密封件具有：周壁(32a、32b)，所述周壁(32a、32b)围绕所述电极设置在所述压电基板(54)上；第一壁(80a、80b)，所述第一壁(80a、80b)设置在所述压电基板(54)上，面向施加在所述压电基板(54)上的传播路径上的液态材料，并且平行于所述周壁(32a、32b)的面向所述传播路径的壁部延伸；和顶板(34a、34b)，所述顶板(34a、34b)覆盖所述周壁(32a、32b)和所述第一壁(80a、80b)，
其中，所述周壁(32a、32b)的面向所述顶板(34a、34b)的一部分通过粘合剂(36)结合到所述顶板(34a、34b)，
所述顶板(34a、34b)的面向所述传播路径的端部朝着所述传播路径延伸过所述周壁(32a、32b)的面向所述传播路径的所述壁部，
所述第一壁(80a、80b)设置在在所述端部和所述压电基板(54)之间形成的间隙中，从而通过所述顶板(34a、34b)、所述周壁(32a、32b)的面向所述传播路径的所述壁部、所述压电基板(54)和所述第一壁(80a、80b)来限定封闭空间(82a、82b)，
该表面声波器件还包括：密封加强物(84a、84b)，其填充了所述封闭空间(82a、82b)，其中，所述密封加强物(84a、84b)是底层填料剂，
其中，所述周壁(32a、32b)由感光树脂制成。
2.根据权利要求1所述的表面声波器件，其中，所述底层填料剂是触变底层填料剂。
3.根据权利要求1所述的表面声波器件，其中，所述传播路径被所述第一壁(80a、80b)和侧壁(62)围绕。
4.一种包括根据权利要求1所述的表面声波器件的液态材料特性测量装置，其中，所述电极包括输入电极(12、22)和输出电极(14、24)，所述输入电极(12、22)和所述输出电极(14、24)中的每一个由所述密封件进行密封，并且其中，所述液态材料特性测量装置确定施加在设置于所述输入电极(12、22)与所述输出电极(14、24)之间的传输路径上的液态材料的物理特性。
5.根据权利要求4所述的液态材料特性测量装置，其中，所述传播路径被所述第一壁(80a、80b)和侧壁(62)围绕。
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