CN105350044A - 一种石英玻璃的电镀前处理方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种石英玻璃的电镀前处理方法,包括如下步骤:(1)清洁处理;(2)粗化处理;(3)敏化处理;(4)活化处理;(5)热处理。本发明一种石英玻璃的电镀前处理方法,操作简便,容易实现,其通过合理的处理工艺和处理液配方设计,使处理后的石英玻璃表面粗化效果好,活化性能好,为表面化学镀作好了准备。
Description
技术领域
本发明涉及金刚石设备领域,特别是涉及一种石英玻璃的电镀前处理方法。
背景技术
电真空器件在宇航工业、能源、汽车工业、化学工业等领域有着极其重要的作用。石英玻璃是电真空器件的主要组成部分,在制造电真空器件中,玻璃-金属封接是获得气密性好电真空器件的关键技术之一。但石英玻璃的脆性大,不能塑性变形,与金属性质差异大,为获得石英玻璃和金属的气密性封接,首先必须解决石英玻璃的金属化问题。而化学镀由于具有适用范围广,可在常用金属及经特殊处理的非导体和半导体材料表面沉积出金属或合金镀层等优点,有望解决此问题。但由于石英玻璃不具有催化活性,在化学镀前必须进行前处理,以获得能使化学镀镍反应能够发生的洁净的催化过渡表面。而传统的前处理方法不能使石英玻璃具有良好的催化活性。
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供一种石英玻璃的电镀前处理方法,能够解决传统的前处理处理效果差的问题。
为解决上述技术问题,本发明采用的一个技术方案是:提供一种石英玻璃的电镀前处理方法,包括如下步骤:
(1)清洁处理:将待电镀的石英玻璃置于清洗液中在50~60℃下浸泡20~30min,去除表面的油污,然后用清水冲洗干净;
(2)粗化处理:将步骤(1)中清洁处理后的石英玻璃置于粗化处理液中,在50~55℃下浸泡处理30~45min,取出后用清水冲洗干净,完成粗化处理;
(3)敏化处理:将步骤(2)中粗化处理后的石英玻璃置于敏化处理液中,在35~40℃下处理1~3min,取出后用清水冲洗干净,完成敏化处理;
(4)活化处理:将步骤(3)中敏化处理后的石英玻璃置于活化处理液中,在室温下处理8~15min,取出后冲洗干净,完成活化处理;
(5)热处理:将步骤(4)中活化后的石英玻璃先用压缩空气吹干,再置于惰性气体炉内于130~140℃下恒温保持1~2h。
在本发明一个较佳实施例中,所述步骤(1)中,所述清洗液的配方为:十二烷基苯黄酸钠15~20g/L、磷酸钠150~180g/L、铬酸钾10~15g/L。
在本发明一个较佳实施例中,所述步骤(2)中,所述粗化处理液的配方为:质量分数为50~60%硫酸20~40mL/L、磷酸130~150g/L、铬酸酐30~50g/L。
在本发明一个较佳实施例中,所述步骤(3)中,所述敏化处理液的配方为:30~40ml/L盐酸和45~50g/L氯化亚锡溶液。
在本发明一个较佳实施例中,所述步骤(4)中,所述活化处理液的配方为:15~20ml/L盐酸和1~3g/L氯化钯。
本发明的有益效果是:本发明一种石英玻璃的电镀前处理方法,操作简便,容易实现,其通过合理的处理工艺和处理液配方设计,使处理后的石英玻璃表面粗化效果好,活化性能好,为表面化学镀作好了准备。
具体实施方式
下面对本发明的较佳实施例进行详细阐述,以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。
本发明实施例包括:
实施例1
一种石英玻璃的电镀前处理方法,包括如下步骤:
(1)清洁处理:将待电镀的石英玻璃置于清洗液中在50℃下浸泡30min,去除表面的油污,然后用清水冲洗5~8次至干净;所述清洗液的配方为:十二烷基苯黄酸钠15g/L、磷酸钠150g/L、铬酸钾15g/L;
(2)粗化处理:将步骤(1)中清洁处理后的石英玻璃置于粗化处理液中,在50℃下浸泡处理45min,取出后用清水冲洗5~8次至干净,完成粗化处理;所述粗化处理液的配方为:质量分数为50%硫酸40mL/L、磷酸130g/L、铬酸酐50g/L;
(3)敏化处理:将步骤(2)中粗化处理后的石英玻璃置于由30ml/L盐酸和50g/L氯化亚锡配制而成的敏化处理液中,在35℃下处理3min,取出后用清水冲洗5~8次至干净,完成敏化处理;
(4)活化处理:将步骤(3)中敏化处理后的石英玻璃置于由15ml/L盐酸和3g/L氯化钯配制而成的活化处理液中,在室温下处理8~15min,取出后冲洗5~8次至干净,完成活化处理;
(5)热处理:将步骤(5)中活化后的石英玻璃先用5~10MPa的压缩空气吹干,再置于惰性氮气气体炉内于140℃下恒温保持1h。
实施例2
一种石英玻璃的电镀前处理方法,包括如下步骤:
(1)清洁处理:将待电镀的石英玻璃置于清洗液中在60℃下浸泡20min,去除表面的油污,然后用清水冲洗5~8次至干净;所述清洗液的配方为:十二烷基苯黄酸钠20g/L、磷酸钠180g/L、铬酸钾10g/L;
(2)粗化处理:将步骤(1)中清洁处理后的石英玻璃置于粗化处理液中,在55℃下浸泡处理30min,取出后用清水冲洗5~8次至干净,完成粗化处理;所述粗化处理液的配方为:质量分数为60%硫酸20mL/L、磷酸150g/L、铬酸酐30g/L;
(3)敏化处理:将步骤(2)中粗化处理后的石英玻璃置于由40ml/L盐酸和45g/L氯化亚锡配制成的敏化处理液中,在40℃下处理1min,取出后用清水冲洗干净,完成敏化处理;
(4)活化处理:将步骤(3)中敏化处理后的石英玻璃置于由20ml/L盐酸和1g/L氯化钯配制而成的活化处理液中,在室温下处理8~15min,取出后冲洗5~8次至干净,完成活化处理;
(5)热处理:将步骤(5)中活化后的石英玻璃先用5~10MPa的压缩空气吹干,再置于惰性氮气气体炉内于130℃下恒温保持2h。
以上所述仅为本发明的实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (5)
1.一种石英玻璃的电镀前处理方法,其特征在于,包括如下步骤:
(1)清洁处理:将待电镀的石英玻璃置于清洗液中在50~60℃下浸泡20~30min,去除表面的油污,然后用清水冲洗干净;
(2)粗化处理:将步骤(1)中清洁处理后的石英玻璃置于粗化处理液中,在50~55℃下浸泡处理30~45min,取出后用清水冲洗干净,完成粗化处理;
(3)敏化处理:将步骤(2)中粗化处理后的石英玻璃置于敏化处理液中,在35~40℃下处理1~3min,取出后用清水冲洗干净,完成敏化处理;
(4)活化处理:将步骤(3)中敏化处理后的石英玻璃置于活化处理液中,在室温下处理8~15min,取出后冲洗干净,完成活化处理;
(5)热处理:将步骤(5)中活化后的石英玻璃先用压缩空气吹干,再置于惰性气体炉内于130~140℃下恒温保持1~2h。
2.根据权利要求1所述的石英玻璃的电镀前处理方法,其特征在于,所述步骤(1)中,所述清洗液的配方为:十二烷基苯黄酸钠15~20g/L、磷酸钠150~180g/L、铬酸钾10~15g/L。
3.根据权利要求1所述的石英玻璃的电镀前处理方法,其特征在于,所述步骤(2)中,所述粗化处理液的配方为:质量分数为50~60%硫酸20~40mL/L、磷酸130~150g/L、铬酸酐30~50g/L。
4.根据权利要求1所述的石英玻璃的电镀前处理方法,其特征在于,所述步骤(3)中,所述敏化处理液的配方为:30~40ml/L盐酸和45~50g/L氯化亚锡溶液。
5.根据权利要求1所述的石英玻璃的电镀前处理方法,其特征在于,所述步骤(4)中,所述活化处理液的配方为:15~20ml/L盐酸和1~3g/L氯化钯。
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