CN105339098A - 用于电接触压电陶瓷的方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于电接触一压电陶瓷(14)的方法，其包括如下步骤：a)提供具有电极(40，42)的所述压电陶瓷(14)，所述电极用于将所述压电陶瓷(14)与一柔性导电膜(16)电接触；b)通过将所述柔性导电膜(14)至少部分地安装到所述压电陶瓷(14)的一电极上，构成一复合结构(46)；c)在所述柔性导电膜(16)和所述压电陶瓷(14)的电极(40，42)之间构成持久的导电连接。此外，本发明涉及借助于该用于电接触压电陶瓷(14)的方法制造的一种声转换器(14)和一种声转换器阵列。

Description

用于电接触压电陶瓷的方法

技术领域

本发明涉及一种用于电接触压电陶瓷的方法。此外，本发明还涉及一种具有相应的被接触的压电陶瓷的声转换器以及一种具有这样的声转换器的超声阵列。

背景技术

当今的超声停车系统基于超声传感器，所述超声传感器以发送接收运行的方式工作并且分散地集成在后和前保险杠中。在此，前后分别布置四到六个这样的传感器并且垂直地取向，使得该单个声场覆盖在车辆前后的整个空间并且不会获得地面反射。当在声空间中探测到一个对象时，这样的系统有显著的预警功能。为了改进这样基于超声的系统的功能性，在较新的应用中使用阵列传感器，所述阵列传感器包括具有多个超声传感器的矩阵或者线。

由EP0853919A2公开了一种超声传感器的布置，所述布置包括具有带状导体的柔性材料。在该柔性材料上设置超声元件和集成的电子元件，所述超声元件和集成的电子元件通过信号线在该柔性材料上彼此连接。

在DE102011077553A1中描述了一种超声转换器，其具有压电陶瓷、电路板和膜锅。在此，压电陶瓷固定在膜锅的前端侧上。此外，该压电陶瓷通过至少两个导线与电路板的信号连接位置连接，其中，所述信号连接位置设置在膜锅内部的电路板的接头上。导线本身构造成电线或单芯绞合电缆。

DE102009040374A1描述了一种超声转换器，其具有用于阻尼机械振动的去耦环，所述去耦环设置在被屏蔽传导的壳体和产生振动的膜之间。该去耦环由传导的材料构成并且制造在膜和地电位之间的传导连接。

在制造这样的传感器系统时，压电陶瓷以例如热压缩焊接的方法接触。但是这在构造超声阵列时仅仅有条件地被使用，原因是该接触极其精确并且在最小的空间进行。附加地，在借助于热压缩焊接制造接触时，出现弱位置。这样的弱位置降低接触的质量并且减少这种传感器的使用寿命。因此，持续感兴趣的是，提供用于传感器的接触技术，特别是声转换器，所述接触技术简单、可靠并且成本低廉地构成各个传感器元件的接触。

发明内容

根据本发明建议一种用于电接触压电陶瓷(14)的方法，其包括如下步骤：

a)提供一种具有电极的压电陶瓷，所述电极用于将所述压电陶瓷与一柔性导电膜电接触；

b)通过将所述柔性导电膜至少部分地施加到所述压电陶瓷的一个电极上，构成一复合结构；

c)在所述柔性导电膜和所述压电陶瓷的电极之间构成持久的导电连接。

通过应用柔性导电膜，根据本发明的方法实现了压电陶瓷稳定和坚固的接触。因此，特别是对于在汽车领域(在汽车领域中振动载荷和温度载荷常常是很高的)中的应用可以提供可靠的接触，所述接触提高系统(在所述系统中使用这样接触的压电陶瓷)的使用寿命和可靠性。附加地，该方法在实施时是简单的和可靠的。因此，提供一种成本低廉的方法，所述方法实现高的过程可靠性并且适合于在大批量的生产。

根据本发明的方法特别是适合用于制造声转换器，例如超声转换器，所述声转换器通过压电陶瓷将声波转换(即探测)成电压信号，或者通过施加电压将声波发送到压电陶瓷上。因此，根据本发明的方法特别是适合用于制造厚度振动器或者弯曲振动器。

为了制造声转换器，压电陶瓷可以首先根据本发明的方法被接触并且接着被引入到转换器元件中。替代地，压电陶瓷可以引入到转换器元件中并且接着被接触。也允许组合这些方法步骤，在所述方法步骤中压电陶瓷被部分地接触，然后被引入到该转换器元件中并且接着实施压电陶瓷的其他接触。

转换器元件可以在此与声转换器的构型相适配。例如弯曲振动器的转换器元件实施成转换器头，在所述转换器头的底部内侧引入压电陶瓷。在厚度振动器中，该转换器元件包括两个转换器体，在所述两个转换器体之间引入压电陶瓷。

压电陶瓷在本发明的情况中是一种陶瓷材料，所述陶瓷材料在外力的作用下(例如通过超声波)变形并且由该变形引起电荷分离(Ladungstrennung)。压电陶瓷可基于不同的材料得到。对此一个例子是铅锆钛酸盐(PZT)，或压电陶瓷，如摩根电陶瓷PZT-5A(MorganElectroCeramicsPZT-5A)或赛琅泰克P5(CeramtecP5)。优选地，压电陶瓷扁平地构造，也就是说，在长度或者宽度和厚度之间的比例最小是2，优选是8-40，特别优选的是20。附加地，压电陶瓷可以具有任意几何形状。例如其可以是圆形、矩形、椭圆形或正方形。

柔性膜包括载体膜、粘合层以及导电层，它们的厚度可以是在20μm和250μm之间，优选在30μm和230μm之间并且特别优选在40μm和90μm之间。此外，该膜耐高温直到优选250℃的温度。例如该柔性膜包括作为基于聚酰亚胺或PET或PEN的载体膜的塑料膜。这样的聚酰亚胺膜例如可以以商品名获得。

为了使该柔性膜导电地构型，该柔性膜可以单侧或者两侧地涂覆有导电的材料。该涂层在此可以是均匀地施加在该柔性膜上或者压到带状导体中。作为涂层材料可以使用金属，例如铜，金，铝或金的合金。通过使该柔性膜涂覆有导电材料，在该柔性膜上构成接触面，所述接触面可以优选直接地与压电陶瓷的电极连接。附加地，通过该柔性导电膜的接触的质量贡献是最小的。因此，特别是在声转换器中使用接触方案时，振动特性基本上是不受影响的。

在一个实施形式中，为了构成该复合结构，在所述柔性导电膜和所述压电陶瓷的电极之间施加一导电粘接剂或者一焊膏。在此，焊膏可以包括焊料金属粉末(例如基于铜，锡，银或它们的混合物)和助熔剂。作为导电粘接剂可以使用各向异性或各向同性的导电粘接剂。各向异性的导电粘接剂例如包括环氧树脂，在所述各向异性的导电粘接剂中可以在金属球中包括10-20重量％的环氧树脂。这样的球可以具有5μm到50μm、优选8μm到25μm的大小。各向同性的导电粘接剂同样可以基于环氧树脂构成，在金属的小板中，所述金属的小板具有30μm到70μm的长度或者宽度并且相对于厚度的比例是5，同样允许各向同性的导电粘接剂具有金属球，其中，金属重量％的比重比在各向异性的导电粘接剂中大，例如在从20到7重量％的范围内。例如银或者铝或者金属与镍外层或者仅仅镍的复合适合于作为用于球和小板的金属。

在另一实施形式中，借助于一热电极(Thermode)将热和/或压力引入到所述复合结构中，以便在所述压电陶瓷的电极和所述柔性电膜之间构成持久的电连接。通过使用热和/或压力，可以实现短的生产周期，所述短的生产周期使该方法适合于大量生产。为此，该热电极可以包括至少一个热电极头，所述热电极头具有至少一个接触面，所述接触面将热和/或压力引入到该复合结构中。此外，热电极头可以包括多个呈一定几何形状的接触面。因此，热电极头包括例如圆形、矩形、椭圆形或者正方形的接触面或者不同几何形状的接触面并且也可被划分。在另一实施形式中，该热电极头包括一用于将热引入到该复合结构中的加热器和一用于将压力以压紧力的形式引入的后弹簧装置。在此，热电极头的每个接触面可以单独地被后弹动，以便实现适合地补偿公差。

通过该热电极实现，提供完全自动的方法，所述完全自动的方法可以简单地匹配不同的要求。因此，可以借助于相应构型的热电极头和声转换器阵列同样简单地构造各个声转换器，在所述声转换器阵列中，可以以矩阵的方式设置多个声转换器。附加地，该接触技术实现了低阻抗的接触，通过所述低阻抗的接触，与热压缩焊接相比需要低的热输入并且可以避免压电陶瓷的去极化。

在另一个实施形式中，所述热电极具有多个热电极头，所述多个热电极头共同地或者单独地被控制。由此，可以实现串行或者并行的运行。在串行的运行中，可以前后相继地控制多个热电极头，而在并行的运行中可以同时控制所有热电极头。由此，根据本发明的方法是完全可自动化的并且适合于大量生产。因此，在结构上可以组合多个具有不同接触面形状的热电极头。由此可能的是，在仅仅一个工作步骤中接触1D或者2D阵列布局。此外可能的是，一个热电极头设有多个接触面并且以这种方式同时构成一个阵列的多个单转换器。另一可能性是，在复杂的、几何形状的阵列布局中串行地以多个热电极头工作。

该热电极可以包括多个热电极头，所述多个热电极头此外可以被多倍地后弹动，以便构成多个被接触的压电陶瓷或者转换器元件的一维或者二维的、几何形状的布置。这可以在一个工作步骤中进行。替代地，以仅仅一个被后弹动的热电极头串行地进行该转换器布置的构造。在此，待接触的压电陶瓷或者转换器元件的整个几何形状布置的被后弹动的热电极头的几何形状构造也可以划分成子组并且以该子组热头在串行的工作步骤中制造整个布置。此外替代地，该热头也可以多倍地设置有子组，从而在一个工作步骤中可以硬化待接触的压电陶瓷或者转换器元件的整个布局。热头的接触面可以不仅对称地而且不对称地实施。因此，热头可以构造有纯对称的，纯不对称的接触面或者对称的和不对称的接触面的组合。接触面在此可以具有任意的形状或者也可以划分。

在构造该持久的导电连接时，可以使用各向同性的或者各向异性的导电粘接剂和焊膏。在焊膏的情况下，在此例如将接触面加热到焊料的熔化温度，例如240℃并且接着与该复合结构连接和压紧。通过焊料熔化并且焊料均匀地分布在柔性导电膜和压电陶瓷的电极之间，热电极头的接触面与用于导电粘接剂的接触面相比可以设计的更小。当该复合结构被挤压直到该球压成金属上和下接触对时，在使用具有球的各向异性的导电粘接剂的情况下，在加热该复合结构中产生竖直的导电性。在此，接触面被加热到直到250℃，优选190℃的温度并且因此明显地在典型压电陶瓷的居里温度的一半以下，以便避免去极化。在使用各向同性的导电粘接剂时，除了在压电陶瓷的电极和该柔性导电膜之间的竖直的导电性之外还导致竖直的和水平的传导。因此与各向异性的导电粘接剂相比，可能在阵列的压电陶瓷之间的边缘区域中造成短路。因此特别是在制造声转换器阵列时，有利的是，使用各向异性导电粘接剂。

优选地，通过将该热电极头或者这些热电极头调节到如下温度，所述温度与焊膏的加工温度或者导电粘接剂的硬化温度相匹配，将热引入到该复合结构中。通过将热电极头与该复合结构接触并且由于弹簧特性被压紧直到达到期望的压紧力。在此，可以如下地选择该压紧力，在将热电极头放到该复合结构上时没有面力作用，以便避免陶瓷断裂。在被压紧的位置，热电极头可以停留一保持时间，所述保持时间例如可以持续几秒钟。接着，热电极头可以被去压力并且被带到起动位置。在典型的方法条件下，该热电极头在5和30秒之间以在1到2N/mm2的范围内的压紧力作用到由压电陶瓷和柔性导电膜组成的复合结构上。因此，硬化时间在压紧力的作用下是小的并且为了大量生产，可以在最短时间内达到大件数。

在另一实施形式中，所述柔性导电膜在构成柔性导电膜和压电陶瓷的电极之间的持久的导电连接之后或者在接触压电陶瓷之后与一电组件连接。柔性传导膜因此在一端部上与压电陶瓷连接并且在另一端部上与该电组件连接。该电组件在此可以用于控制和测量压电陶瓷的信号。因此，该电组件可以具有结构元件，特别是电子部件，所述结构元件安装在柔性导电膜、柔性电路板或者刚性电路板上。在此，柔性导电膜在电组件的区域中可以具有40μm到400μm的厚度。此外，该柔性电路板可以具有同样柔性导电膜例如用于接触的柔性导电膜并且在结构元件的区域被加强。为了接触该柔性或者刚性电路板，柔性导电膜在接触电路板的端部上被加强。因此，可以特别是平行于电路板地设置带状导体，从而该柔性导电膜的该部分例如可以可延展地与电子部件、例如SMD(Surface-MountedDevice，表面贴装技术)插板连接。

为了接触该点电组件的结构元件，在柔性导电膜或者柔性电路板上设置带状导体。此外，电组件与该柔性导电膜可以一件式地或者两件式地构成。在两件式的构型中，柔性导电膜和电组件之间的接触例如通过导电粘接剂或者焊膏(如前所述地)进行。此外，该柔性导电膜和电组件可以以不同的形状构型并且相应地匹配于不同的应用。因此，可以提供用于接触压电陶瓷的成本低廉的总系统，所述总系统“似乎”来自一个来源并且因此实现坚固的接触。

根据本发明，此外建议一种声转换器，特别是超声转换器，所述声转换器包括一压电陶瓷，所述压电陶瓷通过一柔性导电膜(16)与一电组件连接。在一个优选的实施形式中，该声转换器通过上述的方法制造。相应地，在该方法的框架中所述的特征也适用于该声转换器。相反，在下面所述的特征也适用于该方法。

由于通过柔性导电膜接触该压电陶瓷，可以将该接触的附加的质量贡献降到最小。该接触因此仅仅最小地影响该声转换器的振动特性并且可以避免由于该接触的不期望的副作用。因此，提供一种声转换器，所述声转换器也在大量生产中具有小的质量分布并且因此具有基本上恒定的振动特性。

该声转换器特别是可以构型为弯曲振动器或者厚度振动器。该接触在此可以通过该压电陶瓷的后侧电极与金属转换器头、金属质量或者金属化的塑料构件进行。此外，该压电陶瓷的前侧电极和/或绕接触的后侧电极的接触通过该柔性导电膜进行。绕接触这里理解成，压电元件的两个电极中的不能被接近的那个电极在压电元件上通过所施加的导电带被引导到可被接近的侧上并且最终被扩展从而适合于被接触。

此外，根据本发明建议一种声转换器阵列，特别是超声转换器阵列，所述声转换器阵列包括多个上述的声转换器。在此，声转换器阵列可以是1D或者2D阵列，也就是说，各个声转换器可以设置在具有一个或者多个列的矩阵中。此外，该阵列的各个声转换器元件可以对称地或者不对称地设置。

附图说明

现在参照附图更详细地说明本发明的其他方面和优点。在此示出了：

图1：用于用柔性导电膜将压电陶瓷与电声转换器接触的装置；

图2a、2b、2c：用于热电极头的接触面的典型的实施形式；

图3a、3b：具有压电陶瓷的弯曲振动器的一个实施形式，通过柔性膜接触所述压电陶瓷；

图4：具有压电陶瓷的弯曲振动器的另一个实施形式，通过柔性膜接触所述压电陶瓷；

图5：厚度振动器的一个实施形式，通过柔性膜接触所述厚度振动器的压电陶瓷；

图6：具有压电陶瓷的厚度振动器的另一个实施形式，通过柔性膜接触所述压电陶瓷；

图7：具有压电陶瓷的厚度振动器的另一个实施形式，通过柔性膜接触所述压电陶瓷；

图8：具有压电陶瓷的厚度振动器的另一个实施形式，通过柔性膜接触所述压电陶瓷；

具体实施方式

图1示例地示出了用于使压电陶瓷14的电极40，42与柔性导电膜16接触的装置10。

装置10包括热电极18，所述热电极具有热电极头20。传递单元22连接在热电极头20上，所述传递单元具有加热器24和预紧的压力弹簧26。传递单元22由在导向装置30中的固定单元28导向。以这种方式，可以通过导向装置30和传递单元22将压力传递到经加热的热电极头20上。为此，导向装置30在竖直方向32上可运动地被支承。

为了制造声转换器12，在图1中示例地示出具有压电陶瓷14的超声弯曲振动器12的构造。此外，将金属转换器元件36(这里金属转换器锅)安装到保持板34上。接着借助于分配器将导电粘接剂38(例如各向异性或者各向同性的导电粘接剂)施加到转换器元件36上并且借助于例如真空夹具放置压电陶瓷14。由此，在该复合结构硬化之后在转换器元件36和压电陶瓷14的后侧电极40之间产生导电连接。

在下一步骤中，将一层导电粘接剂44施加到压电陶瓷14的前侧电极42上。借助于真空夹具将柔性导电膜16放置到该导电粘接剂层44上，所述柔性导电膜例如包括镀铜聚酰亚胺膜。因此，该复合结构46由转换器元件36、压电陶瓷14和柔性导电膜16如此程度地构造，使得可以在各个部件之间构成持久导电连接。

为此，如下地控制导向装置30，在该热电极头20和该具有转换器36、柔性导电膜16和压电陶瓷14的复合结构46之间制造接触。例如可以借助于线性调节器或者主轴驱动实现导向装置30。因此，可以首先使导向装置30与该复合结构46接触，其中，被预加热的热电极头20在导向装置30进一步运行时通过预紧的压力弹簧26施加压力到该复合结构46上并且通过热传导将热施加到导电粘接剂38，44上。与之相应地，热电极头20可以时间控制地行驶在一个位置上，使得在复合结构46中的导电粘接剂38，44硬化并且因此在复合结构46中的部件36，14，16之间构成持久导电连接。

图2a，2b和2c以俯视图示出了热电极头20的不同实施形式，所述热电极头例如可以使用在根据图1的装置10中。

热电极头20的构造基本上通过接触面48确定复合结构46的各个组件之间的连接。由此，同时可以接触或者硬化多个转换器结构。在图2a中示出了例如具有单个接触面48的热电极头20，所述接触面实现具有矩形基面的转换器结构。而在图2b和2c中构成三个矩形的接触面48，通过所述三个矩形的接触面同时可以接触三个转换器结构。在这样的具有多个接触面48的实施形式中可以是规则的布置(如图2b所示)或者不规则的布置(如图2c所示)。同时硬化多个转换器结构在构造一维或者二维的转换器阵列时是特别有利的。

在图2中示出的热电极头形状也可以具有任意其他几何形状。因此，热电极头20的接触面48可以具有圆形的、有角的、椭圆形的或者其他形状或者这些几何形状的组合。此外，该接触面48可以均匀地或者不均匀地划分，当绕接触的压电陶瓷被例如圆形地或者矩形地接触时，这是特别有利的。

在用根据图1的装置10来硬化该复合结构46时，因此可以使用不同的热电极头20，所述不同的热电极头实现了，在一个工作步骤中接触用于转换器阵列的所有1D或2D阵列布局。同样可以以相对彼此稍微较大的间距来组合同类的热电极头20，其中，该总的头可以位于一个站中。由此，可以并行地也就是说同时制造多个单声转换器。如果使用具有多个平行的接触面48的热电极头20用于同时接触转换器阵列的多个单声转换器，此外根据转换器阵列的公差有意义的是，单独地后弹动接触面48并且因此实现合适的公差补偿。

另一可能性是，串行地使用一个或者多个热电极头20。为此，该保持板34通过线性桌和旋转桌运行并且相对于相应的热电极头20定位转换器阵列的相应的布局部分。由此，虽然周期时间增大了，但是在仅仅一个或者两个热电极头时在阵列的布局中产生较高的灵活性。

所述的接触过程因此是可完全自动化的并且适合于大量生产。附加地，可以实现不同的声转换器方案，例如具有弯曲元件、声转换器锅或者厚度振动器的阵列传感器。图3到8示出这样应用的例子。

图3a示出具有转换器元件36和压电陶瓷14的弯曲振动器50，通过柔性导电膜16接触所述压电陶瓷。

图3a的弯曲振动器50具有转换器元件36，所述转换器元件锅形地构造有侧壁54和锅底56。在该锅内部紧邻在锅底56上设置压电陶瓷14，所述压电陶瓷将锅底56的弯曲振动转化成电信号。为此，压电陶瓷14具有电极40，42，所述电极通过柔性导电膜16与电组件52连接。电组件52在此包括用于接收压电陶瓷14的信号和用于控制压电陶瓷14以发送声波的元件。此外，电组件52的元件设置在柔性导线膜上，所述柔性导线膜与所述接触的该柔性导线膜16一致或者实施成刚性电路板并且与导电柔膜连接。

图3b示出了具有压电陶瓷14的弯曲振动器50的这样的另一构造，所述压电陶瓷通过柔性导电膜16与电路板52连接。

在图4中示出具有压电陶瓷14的弯曲振动器50的另一构造，通过柔性导电膜16接触所述压电陶瓷。

在图4的实施形式中，通过柔性导电膜16使压电陶瓷14的后侧电极40与转换器元件36的侧面54接触。在此，转换器元件36是导电的并且将该接触导到压电陶瓷14或者其电极40上。此外可能的是，将一绕接触的压电陶瓷14与一柔性膜16接触。在这种情况下，在压电陶瓷上的两个电连接位置分别与柔膜的导体接触。

图5示出具有压电陶瓷14的厚度振动器58，通过柔性导电膜接触所述压电陶瓷。

这为了传递板64的振动包括前体60和后体62，在所述前体和后体之间设置压电陶瓷14。在该实施形式中，在前体60和后体62的外端侧66上进行接触，所述外端侧背离压电陶瓷14。不仅前体60而且后体62是导电的并且将柔性导电膜16的接触导到压电陶瓷14和其电极40，42上。柔性导电膜16可以因此制造在压电陶瓷14或者其电极40，42和电组件52之间的导电连接。

图6示出厚度振动器58的另一实施形式和该厚度振动器的接触。

图6的厚度振动器58与图5的不同地示出在前后体60，62的端侧68上的接触，所述端侧邻接压电陶瓷14。该柔性导电膜可以因此制造在压电陶瓷14或者其电极40，42和电组件52之间的导电连接。

图7示出厚度振动器58的另一实施形式，所述厚度振动器通过柔性导电膜16接触。

在此，与柔性导电膜16的接触通过前体60的侧面进行，其中，压电陶瓷14安装在前体的侧面上。此外，柔性导电膜16导电地与压电陶瓷14的电极连接。前体和后体60，62同样是导电的并且将该接触导到压电陶瓷14或者其电极40，42上。因此，柔性导电膜16接触压电陶瓷14的电极40和前体60，对此，另一柔性膜16仅仅接触该压电陶瓷14。这两个接触可以继续导向电组件52。

图8示出厚度振动器58的另一实施形式，通过柔性导电膜16接触所述厚度振动器。

与上述的实施形式相比，在图8中的接触通过唯一的柔性导电膜16进行，所述柔性导电膜接触前体60和后体62的侧面。前体和后体60，62在此是导电的并且将该接触导到压电陶瓷14或者其电极40，42上。

本发明不限于在此所述的例子或者在此强调的方面。相反在权利要求给出的范围内可以考虑很多其他专业处理范围内的变型。

Claims (10)

1.一种用于电接触一压电陶瓷(14)的方法，其包括如下步骤：

a)提供具有电极(40，42)的压电陶瓷(14)，所述电极用于使所述压电陶瓷(14)与一柔性导电膜(16)电接触；

b)通过将所述柔性导电膜(14)至少部分地施加到所述压电陶瓷(14)的一电极上，构成一复合结构(46)；

c)在所述柔性导电膜(16)和所述压电陶瓷(14)的电极(40，42)之间构成持久的导电连接。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，为了构成所述复合结构(46)，在所述柔性导电膜(16)和所述压电陶瓷(14)的电极(40，42)之间涂覆导电粘接剂(38，44)或者焊膏。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，借助于一热电极(18)将热和/或压力引入到所述复合结构(46)中，以便在所述压电陶瓷(14)的电极(40，42)和所述柔性电膜(16)之间构成持久的电连接。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述热电极(18)包括至少一个热电极头(20)，所述至少一个热电极头具有至少一个任意成型的接触面(48)，所述至少一个任意成型的接触面可以被划分并且将热和/或压力引入到所述复合结构(46)中。

5.根据权利要求3或4所述的方法，其特征在于，所述热电极头(20)包括一用于将热引入到所述复合结构(46)中的加热器(24)和一用于将压力以压紧力的形式引入的后弹簧装置(26)。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的方法，其特征在于，所述热电极(18)具有多个热电极头(20)，所述多个热电极头共同地或者单独地被控制。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其特征在于，所述柔性导电膜(16)在构成持久的导电连接之后与一电组件(52)连接。

8.一种声转换器(50，58)，其具有一压电陶瓷(14)，所述压电陶瓷通过一柔性导电膜(16)与一电组件(52)连接。

9.根据权利要求8所述的声转换器(50，58)，所述声转换器构型成弯曲振动器(50)或者厚度振动器(58)。

10.一种声转换器阵列，其具有多个根据权利要求8所述的声转换器(50，58)。