CN105289926B - 涂敷装置以及涂敷方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种涂敷装置以及涂敷方法，其在构成通过连结部连结喷嘴与固化机构而成的涂膜形成单元的情况下，能够适当地确保喷嘴的行进速度(涂敷处理速度)而进行适当的涂敷处理，同时能够适当地进行固化处理开始时刻的调整，另外也能够适当地进行固化处理速度(固化处理时间)的调整。涂敷装置(1)使喷出涂液的喷嘴(8)与使涂液固化的固化机构(10)经由连结部(9)连结而成的涂膜形成单元(6)沿基板(2)的长度方向行进移动，在利用喷嘴对基板进行涂敷处理之后，利用固化机构对涂敷于基板的涂液进行固化处理，在连结部具备作为调整喷嘴与固化机构的水平方向间隔(D)的调整机构的、包括螺纹轴(11a)与螺母(11b)的滑动机构(11)。

Description

涂敷装置以及涂敷方法

技术领域

本发明涉及一种涂敷装置以及涂敷方法，所述涂敷装置以及涂敷方法在构成通过连结部来连结喷嘴与固化机构的涂膜形成单元的情况下，能够适当确保喷嘴的行进速度(涂敷处理速度)而进行适当的涂敷处理，同时能够适当进行固化处理开始时刻的调整，另外也能够适当进行固化处理速度(固化处理时间)的调整。

背景技术

以往，已知有利用从喷嘴喷出的涂液对载置于工作台(平台)的基板进行涂敷的基板的涂敷装置(例如称为工作台涂敷机(日本注册商标)等)，其中的喷嘴被升降自如地支承在沿着喷嘴用行进导轨行进的喷嘴用支承柱上。作为在这种涂敷装置中具备用于使涂敷于基板的涂液固化的固化机构的涂敷装置，已知有专利文献1～3。

专利文献1的“图案形成方法以及图案形成装置”从喷出喷嘴前端的喷出口朝向基板喷出涂敷液，并且对刚刚涂敷于基板上的涂敷液从第一照射光源照射波长365nm的UV光。由此使涂敷液的表面固化。接着，从第二照射光源对刚才受到UV光照射的涂敷液照射更长波长(例如为385nm或395nm)的UV光。由于长波长的光进一步浸透至涂敷液的内部，因此促进内部的固化。照射光源经由头部的基底与注射器泵而与喷出喷嘴相连结。

专利文献2的“狭缝涂装式涂敷装置”具备保持基板的保持工作台和涂敷头，所述涂敷头与所述基板的被所述保持工作台保持的保持面相反一侧的涂敷面相对置且设有供液体流出的狭缝状的喷嘴开口，通过使所述基板与所述涂敷头在所述涂敷面的面方向上相对移动而向所述基板的所述涂敷面涂敷液体，所述狭缝涂装式涂敷装置设有加热机构，一边利用所述涂敷头向所述基板涂敷液体，一边利用加热机构对刚刚涂敷于该基板上的液体进行加热。

专利文献3涉及一种“薄膜形成装置以及薄膜形成方法”，其中的薄膜形成装置具备：对涂敷对象物进行吸附保持的吸附工作台；从喷墨式喷嘴向吸附保持于吸附工作台的涂敷对象物的表面喷出涂敷材料并且进行薄膜形成的多个涂敷头；以及使涂敷头在涂敷对象物的上方位置处移动的门架，在门架上还具备对涂敷对象物的表面进行加热的热源装置。热源装置经由门架与涂敷头连结起来。

在上述所有专利文献中，皆将使涂液固化、或加热液体或涂敷对象物的表面的照射光源、加热机构、热源装置以及排出喷嘴等隔着规定间隔连结固定。

专利文献1：日本特开2012-143691号公报

专利文献2：日本特开2005-218969号公报

专利文献3：日本特开2013-000656号公报

与上述专利文献相同，如图8所示，当由喷出涂液e进行涂敷处理的喷嘴f、照射UV光i等而对涂液e进行固化处理的固化机构g、以及将这些固化机构g与喷嘴f隔着恒定的间隔(图中，间隔LX：不变)连结固定的连结部h构成为了在载置于工作台a上的基板b处形成涂膜c而行进移动的涂膜形成单元d时，第一，无法对固化机构g与喷嘴f的间隔LX进行变更调整。

当间隔LX恒定不变时，来自喷嘴f的涂液喷出时刻与固化机构g到达至在该时刻喷出的涂液e的位置而开始固化处理的固化处理开始时刻的时间间隔是根据涂膜形成单元d的行进速度VX(喷嘴f以及固化机构g的移动速度也相同)而决定的恒定的时间(间隔LX/行进速度VX)。

涂膜形成单元d的行进速度VX通常基于涂敷处理而设定。关于涂敷处理，例如根据涂液e的种类(粘度、材质等)、膜厚等条件而具有优选的涂敷处理速度(行进速度VX)。另一方面，关于固化处理，与涂敷处理相同地，例如根据涂液e的种类、膜厚等条件而具有开始涂敷后的涂液e的固化处理的优选的固化处理开始时机。

当喷嘴f与固化机构g通过连结部h来连结且它们的间隔LX恒定不变时，如上所述从涂液喷出时刻到固化处理开始时刻的时间间隔由行进速度VX决定，因此，当以优先涂敷处理的行进速度VX来进行固化处理时，存在有固化处理开始时刻过早或过迟从而无法在恰当的固化处理开始时刻开始固化处理、进而无法适当地进行固化处理这样的问题。

与之相反，当优先固化处理而设定为与能够适当进行固化处理的时间间隔相适的行进速度VX时，需要根据基于固化处理的行进速度VX而从喷嘴f喷出涂液e，从而存在有喷出量等的控制变得繁琐、并且无法适当地进行涂敷处理这样的问题。

第二，喷嘴f的移动速度与固化机构g的移动速度成为相同速度VX，无法对涂敷处理速度与固化处理速度进行变更调整。关于涂敷处理，如上所述地具有优选的涂敷处理速度。另一方面，关于固化处理也同样地根据涂液的种类、膜厚等而具有优选的固化处理速度。

当单位时间内的固化处理能量恒定时，在固化处理速度较迟的情况下，固化处理时间变长，从而对涂液e施加的固化处理能量变大，在固化处理速度较快的情况下，固化处理时间变短从而固化处理能量变小。

当优先涂敷处理而设定移动速度(涂膜形成单元的行进速度VX)时，由于固化机构g只能以相同的速度移动，因此无法适当地确保固化处理速度(固化处理时间)，存在有固化处理能量变得过多或不足而无法适当地进行固化处理这样的问题。与之相反，当优先固化处理时，与第一情况同样地存在有无法适当地进行涂敷处理这样的问题。

综上所述，在将固化机构g与喷嘴f通过连结部h隔着恒定不变的间隔LX进行连结固定的涂膜形成单元d中，存在难以形成膜厚、膜质等均匀且品质较高的涂膜这样的课题。

发明内容

【发明要解决的课题】

本发明是鉴于上述以往的课题而作出的，其目的在于提供一种涂敷装置以及涂敷方法，该涂敷装置以及涂敷方法在构成通过连结部连结喷嘴与固化机构的涂膜形成单元的情况下，能够适当地确保喷嘴的行进速度(涂敷处理速度)而进行适当的涂敷处理，同时能够适当地进行固化处理开始时刻的调整，另外也能够适当地进行固化处理速度(固化处理时间)的调整。

【用于解决课题的方案】

本发明所涉及的涂敷装置使喷出涂液的喷嘴与使涂液固化的固化机构经由连结部连结而成的涂膜形成单元沿基板的长度方向行进移动，在利用该喷嘴对基板进行涂敷处理之后，利用该固化机构对涂敷于基板的涂液进行固化处理，所述涂敷装置的特征在于，在所述连结部具备对所述喷嘴与所述固化机构的水平方向间隔进行调整的调整机构。

所述涂敷装置的特征在于，所述调整机构具备用于使所述固化机构相对于所述喷嘴进行相对移动的驱动机构。

所述涂敷装置的特征在于，所述调整机构是使所述固化机构能够沿着基板的长度方向滑动的滑动机构。

所述涂敷装置的特征在于，所述调整机构是使所述固化机构能够沿着基板面回旋的回旋机构。

所述涂敷装置的特征在于，所述固化机构在基板的宽度方向上排列多个，所述连结部为了将这些固化机构独立地与所述喷嘴连结而设有多个。

本发明所涉及的涂敷方法的特征在于，该涂敷方法使用具备上述调整机构的涂敷装置，在利用所述调整机构设定所述喷嘴与所述固化机构的水平方向间隔之后，使所述涂膜形成单元行进移动，进行利用该喷嘴的涂敷处理与利用该固化机构的固化处理。

本发明所涉及的涂敷方法的特征在于，该涂敷方法使用具备具有上述驱动机构的调整机构的涂敷装置，在使所述涂膜形成单元行进移动而进行利用所述喷嘴的涂敷处理时，一边通过所述驱动机构使所述固化机构相对于该喷嘴相对移动，一边进行固化处理。

【发明效果】

在本发明所涉及的涂敷装置以及涂敷方法中，在构成通过连结部连结喷嘴与固化机构而成的涂膜形成单元的情况下，能够适当地确保喷嘴的行进速度(涂敷处理速度)而进行适当的涂敷处理，同时能够适当地进行固化处理开始时刻的调整，另外也能够适当地进行固化处理速度(固化处理时间)的调整。

附图说明

图1是表示本发明的涂敷装置的第一实施方式的立体图。

图2是图1所示的涂敷装置的俯视图。

图3是表示利用图1所示的涂敷装置在基板上形成涂膜的状态的侧视图。

图4是说明本发明的涂敷方法的优选实施方式的概略说明图。

图5是表示第一实施方式的变形例的涂敷装置的俯视图。

图6是表示本发明的涂敷装置的第二实施方式的俯视图。

图7是图6中的A方向向视局部放大图。

图8是说明背景技术的说明图。

符号说明

1 涂敷装置

2 基板

2a 涂敷始端

2b 涂敷终端

3 工作台

4 基台

5 行进导轨

6 涂膜形成单元

7 行进体

7a 柱部

7b 梁部

7c 前进行进方向前表面

7d 升降用狭缝

7e 前进行进方向后表面

8 喷嘴

9 连结部

10 固化机构

11 滑动机构

11a 螺纹轴

11b 螺母

12 马达

13 回旋机构

14 支承构件

14a 后端

15 摆动臂

15a 一端

16 旋转轴

C 涂液

D 水平方向间隔

F UV光

L 基板的长度

V 行进体的行进速度(涂敷处理速度)

Va 固化机构的移动速度

a 工作台

b 基板

c 涂膜

d 涂膜形成单元

e 涂液

f 喷嘴

g 固化机构

h 连结部

i UV光

LX 间隔

VX 行进速度

θ 摆动臂的角度

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的涂敷装置以及涂敷方法的优选实施方式进行详细说明。图1是表示本发明的涂敷装置的第一实施方式的立体图，图2是图1所示的涂敷装置的俯视图，图3是表示通过图1所示的涂敷装置在基板上形成涂膜的状态的侧视图。

第一实施方式的涂敷装置1如图1～图3所示，主要包括工作台(平台)3、左右一对行进导轨5、涂膜形成单元6构成，工作台(平台)3能够更换地载置有作为涂敷对象物的基板2，左右一对行进导轨5以在工作台3外侧的基台4上从宽度方向两侧夹持基板2的配置而沿着基板2的长度方向设置，涂膜形成单元6沿着基板2的长度方向在行进导轨5上行进移动。

涂膜形成单元6包括：在行进导轨5上行进移动的行进体7、设于行进体7且喷出涂液C的喷嘴8、设于行进体5的连结部9、以及经由连结部9支承于行进体5且对涂液C进行固化处理的固化机构10。

行进体7包括左右一对柱部7a、以及在这些柱部7a之间沿着基板2的宽度方向架设的梁部7b，行进体7以门形形态形成。行进体7借助公知的线性马达、滚珠丝杠机构等在行进导轨5上行进移动。行进体7沿着基板2的长度方向在该基板2的一端(涂敷始端2a)侧与另一端(涂敷终端2b)侧之间往复行进。

喷嘴8的长度方向两端部支承于行进体7的一对柱部7a，由此喷嘴8以其长度方向朝向基板2的宽度方向的方式设于行进体7。在图示例中，喷嘴8面对行进体7的前进行进方向前表面7c地设置。喷嘴8借助形成于柱部7a的升降用狭缝7d而升降自如地设于柱部7a，以能够调节其与基板2之间的间隙间隔。使喷嘴8升降的机构由公知的滚珠丝杠机构等构成。

在喷嘴8处，为了向其供给涂液C而连接有未图示的涂液供给机构。通过从涂液供给机构向喷嘴8供给涂液C，喷嘴8朝向基板2喷出涂液C。通过从支承于行进移动的行进体7的喷嘴8喷出涂液C而对基板2进行涂敷处理(图3中，由梨皮地部分来表示)。

连结部9包括滑动杆(或者替代该滑动杆的螺纹轴11a)和滑动块(或者替代该滑动块的螺母11b)，滑动杆(或者替代该滑动杆的螺纹轴11a)从行进体7的前进行进方向后表面7e沿着基板2的长度方向朝向后方水平延伸地配置于该后表面7e，滑动块(或者替代该滑动块的螺母11b)以能够沿着基板2的长度方向滑动移动的方式设于滑动杆。即，连结部9具备滑动机构11。

或者，也可以由滚珠丝杠机构构成连结部9所具备的滑动机构11。即，也可以构成如下的连结部9：将滑动杆替换为螺纹轴11a、将滑动块替换为螺母11b，利用设置在涂膜形成单元6的任意部位的作为驱动机构的马达12来驱动螺纹轴11a，由此能够进行螺母11b的滑动。

在图示例中，螺纹轴11a在基板2的宽度方向(行进体7的梁部7b的架设方向)上左右一对地设有两根。因此，螺母11b安装于各螺纹轴11a，在基板2的宽度方向上也左右设有两个。

在由滑动杆以及滑动块构成的情况下，滑动块借助由手操作的紧固构件等安装于滑动杆。通过对紧固构件等进行加紧而将滑动块固定于滑动杆，通过放松，滑动块相对于滑动杆能够滑动。以下，对于作为连结部9而采用了滚珠丝杠机构的情况进行说明。

固化机构10的长度方向两端侧支承于左右的螺母11b，由此固化机构10以长度方向朝向基板2的宽度方向的方式与连结部9连结。设有固化机构10的连结部9无论是采取滚珠丝杠机构，还是采取上述的由滑动杆与滑动块构成的构造，螺母11b、滑动块都能够滑动。

因此，连结部9具备在行进体5的行进移动方向(基板2的长度方向)上调整喷嘴8与固化机构10的水平方向间隔D的调整机构。在滚珠丝杠机构的情况下，通过利用作为驱动机构的马达12使螺纹轴11a旋转而能够进行螺母11b的滑动，因此在行进体7的行进移动中能够使螺母11b沿着螺纹轴11a滑动，由此，能够使固化机构10相对于喷嘴8相对移动。当然，连结部9对于行进体7的喷嘴8具备连结固化机构10的功能。

作为固化机构10，若涂液C为UV固化类型，则使用UV照射体，若涂液C为热固化类型，则使用发热体，若为自然干燥类型，则使用喷出空气等干燥用气体的干燥机。

固化机构10利用经由与其连接的未图示的电气布线供给来的电力，朝向基板2发出UV光F、或者发热而朝向基板2放热、或者朝向基板2喷射干燥用气体。作为固化机构10，当然能够根据涂液C的种类而采用各种结构。通过从经由连结部9与行进体7连结的固化机构10发出UV光F等，对由喷嘴8涂敷于基板2的涂液C进行固化处理(图3中，由黑色部分表示)。

接下来，对使用了第一实施方式的涂敷装置1的涂敷方法进行说明。图4示出了本涂敷方法的概略说明图。当在基板2上形成涂膜时，涂膜形成单元6的行进体7在行进导轨5上沿基板2的长度方向行进移动。喷嘴8最先到达基板2的涂敷始端2a，喷出涂液C而开始涂敷处理。

喷嘴8在基板2上继续前进，之后，支承在连结部9所具备的滚珠丝杠机构的螺母11b上的固化机构10到达基板2的涂敷始端2a。若以在涂敷始端2a进行的涂敷处理以及固化处理为例进行说明，则从喷嘴8向涂敷始端2a喷出涂液的涂液喷出时刻与涂敷于涂敷始端2a的涂液C的固化处理开始的固化处理开始时刻之间的时间间隔基于涂膜形成单元6的行进速度V而由喷嘴8与固化机构10的水平方向间隔D来决定。

在本实施方式中，由于连结部9具备调整水平方向间隔D的调整机构(滚珠丝杠机构)，因此能够扩宽或缩窄该水平方向间隔D，与背景技术不同，能够对从涂液喷出时刻到固化处理开始时刻的时间间隔进行变更调整。

例如，在涂膜形成单元6的行进速度V为20mm/sec.、并将水平方向间隔D固定为80mm的情况下，时间间隔为4秒(＝D/V)且恒定不变，但由于能够利用调整机构调整水平方向间隔D，因此能够将水平方向间隔D扩宽为100mm而将时间间隔设为5秒，或者缩窄为60mm而将时间间隔设为3秒，从而能够自由调整从涂敷涂液C后到开始固化处理的时间。

这样，在第一实施方式的涂敷装置1以及使用该涂敷装置1的涂敷方法中，即使在例如以优先涂敷处理的行进速度V进行涂膜形成的情况下，也能够通过水平方向间隔D的调整而在恰当的固化处理开始时刻开始固化处理，能够适当地进行固化处理。水平方向间隔D的调整能够通过由马达12驱动滚珠丝杠机构而自动地进行。

在调整机构由滑动杆与滑动块构成的情况下，在涂膜形成单元6的行进停止状态下，由手操作而沿着滑动杆来滑动滑动块，从而调整水平方向间隔D，之后，通过紧固构件等将滑动块紧固于滑动杆即可。这样设定了水平方向间隔D之后，使涂膜形成单元6行进移动，进行基于喷嘴8的涂敷处理与基于固化机构10的固化处理。

另外，在使用了第一实施方式的涂敷装置的涂敷方法中，通过由滚珠丝杠机构构成调整机构，在涂敷处理中，能够沿着基板2的长度方向使固化机构10相对于喷嘴8相对移动。

例如，在利用设定为行进速度V＝20mm/sec.的涂膜形成单元6对长度L＝1000mm的基板2进行涂膜形成的情况下，当固化机构10相对于喷嘴8不进行相对移动时，固化机构10的固化处理速度与行进体7同样地成为20mm/sec.。这种情况下的固化处理时间为50秒。

与此相对，在利用行进移动的喷嘴8进行涂敷处理时，当使螺母11b、即固化机构10相对于螺纹轴11a以移动速度Va＝10mm/sec.在与涂膜形成单元6的前进行进方向相反的方向上朝向逐渐远离喷嘴8的方向相对移动时，固化机构10相对于基板2的相对移动速度为10mm/sec.，这种情况下的固化处理时间为100秒。

在这种情况下，当将在涂装始端2a的从涂液喷出时刻到固化处理开始时刻的时间间隔设定为例如20秒(喷嘴8与固化机构10的水平方向间隔D为400mm)时，作为螺纹轴11a，使用至少900mm((100-50)秒×10mm/sec.+400mm)的长度的结构即可。

相反，在利用行进移动的喷嘴8进行涂敷处理时，当使固化机构10相对于螺纹轴11a以移动速度Va＝5mm/sec.在与涂膜形成单元6的前进行进方向相同的方向上朝向逐渐接近喷嘴8的方向相对移动时，固化机构10相对于基板2的相对移动速度为25mm/sec.，这种情况下的固化处理时间为40秒。

在使固化机构10以接近喷嘴8的方式相对移动的情况下，为了不产生喷嘴8与固化机构10发生碰撞等干扰，设定为至固化处理结束为止固化机构10相对移动的距离(200mm＝5mm/sec.×40秒)短于设定涂装始端2a处的从涂液喷出时刻到固化处理开始时刻的时间间隔的喷嘴8与固化机构10之间的水平方向间隔D、例如上述400mm。

这样，在第一实施方式中，由于进一步在涂膜形成单元6上具备使固化机构10相对于喷嘴9相对移动的马达12，因此不仅能够自由地调整固化处理开始时刻，还能够自由调整与涂敷处理速度V不同的固化处理速度、即固化处理时间，进而能够以适当的固化处理能量使涂液C固化。

因此，即使在例如以优先涂敷处理的行进速度V进行涂膜形成的情况下，也可调整能够移动的固化机构10的相对移动速度，因此能够适当地确保固化处理速度(固化处理时间)，由此能够适当地进行固化处理。

如以上说明那样，在第一实施方式的涂敷装置以及涂敷方法中，当构成通过连结部9连结喷嘴8与固化机构10的涂膜形成单元6时，能够利用调整机构来调整喷嘴8与固化机构10的水平方向间隔D，因此能够适当地进行固化处理开始时刻的调整，另外，利用使固化机构10相对移动的马达12也能够适当地进行固化处理速度(固化处理时间)的调整，从而能够形成膜厚、膜质等均匀且品质较高的涂膜。

图5是表示上述第一实施方式的变形例的俯视图。在第一实施方式中，固化机构10在基板2的宽度方向上设有一个，但在该变形例中，以将该一个固化机构10分割为多个的形态，多个固化机构10构成为沿基板2的宽度方向排列。连结部9为了将上述多个固化机构10独立地与喷嘴8、具体来说支承喷嘴8的行进体7连结而设有多个。连结部9的结构与第一实施方式相同。

当如此构成时，相对于沿基板2的宽度方向排列的固化机构10各自设定不同的水平方向间隔D，能够使固化机构10分别以不同的动作相对移动。

在向基板2涂敷涂液C时，由于与基板2的外周端缘区域相比，基板2的中央区域难以自然干燥，因此如果对上述外周端缘区域以及中央区域进行的固化处理(固化处理开始时刻、固化处理时间等)相同，有可能在基板2整面范围内无法形成均质的涂膜。

在该变形例中，由于能够对沿基板2的宽度方向排列的固化机构10各自进行独立的设定，因此，例如能够将对中央区域进行固化处理的任一固化机构10相对于对外周端缘区域进行固化处理的其他固化机构10设定为提早或者延迟固化处理开始时刻，或者设定为加速或减速相对移动速度，由此，能够按照自然干燥的容易度不同的基板2上的各区域，进行与该各区域分别对应的适当的固化处理，从而能够形成膜厚、膜质等均匀且品质较高的涂膜。

需要说明的是，在将多个固化机构10以一直线排列的情况下，能够进行与上述第一实施方式的单一的固化机构10的情况相同的涂膜形成。

在图6以及图7中，示出了第二实施方式的涂敷装置。图6是表示本发明的涂敷装置的第二实施方式的俯视图，图7是图6中的A方向向视局部放大图。第二实施方式是调整机构为回旋机构13而替代第一实施方式的滑动机构11的情况。其它结构与第一实施方式相同。

连结部9包括支承构件14和左右一对摆动臂15，所述支承构件14从行进体7的前进行进方向后表面7e的中央沿着基板2的长度方向朝向后方水平延伸地设置于该后表面7e，所述左右一对摆动臂15的一端15a借助旋转轴16能够旋转地支承于支承构件14的后端14a。即，连结部9具备回旋机构13，该回旋机构13具有回旋的摆动臂15。

摆动臂15利用由手操作的紧固构件等而安装于支承构件14。通过拧紧紧固构件等，将摆动臂15固定于支承构件14，通过松开紧固构件等，使摆动臂15相对于支承构件14能够回旋。

也可以替代紧固构件等，将摆动臂15与设于支承构件14的作为驱动机构的马达(未图示)连结，以能够回旋驱动的方式安装于支承构件14。可以为了一并驱动左右一对摆动臂15而设置一个马达，或者也可以为了独立地驱动而设置两个马达。

另外，为了使左右一对摆动臂15以相同的回旋角度进行回旋，可以将以能够回旋的方式支承于支承构件14的各摆动臂15的一端15a彼此通过齿轮联轴器等结合。能够回旋的摆动臂15在从与行进体7、喷嘴8接近的朝向到远离的朝向的范围内，能够调整相对于支承构件14的角度θ。

固化机构10安装在各摆动臂15之下，在基板2的宽度方向上设有两个。通过调整摆动臂15的角度θ，使固化机构10越靠向基板2的端缘侧则越接近或远离喷嘴8，或者通过将角度θ设为90°而使固化机构10朝向与喷嘴8平行的方向。也可以使左右一对摆动臂15的角度θ不同，从而使两个固化机构10的朝向不同。

无论设有固化机构10的连结部9是马达驱动式，还是由紧固构件等安装的形式，摆动臂15都能够回旋。因此，连结部9具备沿行进体7的行进移动方向(基板2的长度方向)调整喷嘴8与固化机构10的水平方向间隔D的调整机构。

在马达驱动式的情况下，由于能够利用马达16进行摆动臂15的回旋，因此在行进体6的行进移动中，能够使固化机构10相对于喷嘴8相对移动。当然，连结部9具备将固化机构10连结于行进体7的喷嘴8的功能。

在第二实施方式的涂敷装置以及涂敷方法中，通过相对于喷嘴8倾斜配置固化机构10的朝向，从而与第一实施方式的变形例相同地能够变更调整对于基板2的中央区域与外周端缘区域的固化处理，与该第一变形例相同地能够按照区域进行与基板2上的涂液厚度等状况相应的适当的固化处理，由此能够形成膜厚、膜质等均匀且品质较高的涂膜。

另一方面，通过将喷嘴8与固化机构10平行地配置，能够进行与第一实施方式相同的固化处理，能够实现与该第一实施方式相同的作用效果。

作为利用马达驱动而使固化机构10相对于喷嘴8以滑动式相对移动的机构，例示说明了滚珠丝杠机构，但不局限于此，当然也可以采用线性马达机构、齿轮齿条副机构等其它公知的移动机构。

Claims (7)

1.一种涂敷装置，其使喷出涂液的喷嘴与使涂液固化的固化机构经由连结部连结而成的涂膜形成单元沿基板的长度方向行进移动，在利用该喷嘴对基板进行涂敷处理之后，利用该固化机构对涂敷于基板的涂液进行固化处理，所述涂敷装置的特征在于，

在所述连结部具备对所述喷嘴与所述固化机构的水平方向间隔进行调整的调整机构，

所述调整机构是使所述固化机构能够沿着基板面回旋的回旋机构。

2.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，

所述固化机构以能够各自设定不同的所述水平方向间隔的方式在基板的宽度方向上排列多个，所述连结部为了将这些固化机构独立地与所述喷嘴连结而设有多个。

3.根据权利要求1或2所述的涂敷装置，其特征在于，

所述调整机构具备用于使所述固化机构相对于所述喷嘴进行相对移动的驱动机构。

4.一种涂敷装置，其使喷出涂液的喷嘴与使涂液固化的固化机构经由连结部连结而成的涂膜形成单元沿基板的长度方向行进移动，在利用该喷嘴对基板进行涂敷处理之后，利用该固化机构对涂敷于基板的涂液进行固化处理，所述涂敷装置的特征在于，

在所述连结部具备对所述喷嘴与所述固化机构的水平方向间隔进行调整的调整机构，

所述调整机构是使所述固化机构能够沿着基板的长度方向滑动的滑动机构，

所述固化机构以能够各自设定不同的所述水平方向间隔的方式在基板的宽度方向上排列多个，所述连结部为了将这些固化机构独立地与所述喷嘴连结而设有多个。

5.根据权利要求4所述的涂敷装置，其特征在于，

所述调整机构具备用于使所述固化机构相对于所述喷嘴进行相对移动的驱动机构。

6.一种涂敷方法，其特征在于，

该涂敷方法使用权利要求1、2、4中任一项所述的涂敷装置，在利用所述调整机构设定所述喷嘴与所述固化机构的水平方向间隔之后，使所述涂膜形成单元行进移动，进行利用该喷嘴的涂敷处理与利用该固化机构的固化处理。

7.一种涂敷方法，其特征在于，

该涂敷方法使用权利要求3或5所述的涂敷装置，在使所述涂膜形成单元行进移动而进行利用所述喷嘴的涂敷处理时，通过所述驱动机构使所述固化机构相对于该喷嘴相对移动，并且进行固化处理。