CN105271792A - 固化装置及固化方法 - Google Patents

固化装置及固化方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105271792A
CN105271792A CN201510617156.9A CN201510617156A CN105271792A CN 105271792 A CN105271792 A CN 105271792A CN 201510617156 A CN201510617156 A CN 201510617156A CN 105271792 A CN105271792 A CN 105271792A
Authority
CN
China
Prior art keywords
heating
chamber
substrate
solidification equipment
glue
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201510617156.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105271792B (zh
Inventor
熊黎
陆忠
张文轩
范真瑞
张宇
杨远江
蒋冬华
李炳天
高胜洲
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BOE Technology Group Co Ltd
Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
BOE Technology Group Co Ltd
Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BOE Technology Group Co Ltd, Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical BOE Technology Group Co Ltd
Priority to CN201510617156.9A priority Critical patent/CN105271792B/zh
Publication of CN105271792A publication Critical patent/CN105271792A/zh
Priority to US15/157,979 priority patent/US10406557B2/en
Application granted granted Critical
Publication of CN105271792B publication Critical patent/CN105271792B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
    • B05D3/02—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by baking
    • B05D3/0254—After-treatment
    • B05D3/0272—After-treatment with ovens
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B21/00—Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects
    • F26B21/14—Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects using gases or vapours other than air or steam, e.g. inert gases
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D2203/00—Other substrates
    • B05D2203/30—Other inorganic substrates, e.g. ceramics, silicon
    • B05D2203/35—Glass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D2505/00—Polyamides
    • B05D2505/50—Polyimides

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

本发明提供了一种固化装置及固化方法，该固化装置包括：腔室，用于盛放涂覆有聚酰亚胺PI胶的基板；抽气装置，用于对所述腔室抽真空；加热装置，用于在所述抽真空的过程中当所述腔室内达到第一预设压强时对所述基板进行第一加热以去除所述PI胶中的有机气体，以及在所述第一加热之后对所述基板进行第二加热固化所述PI胶。本发明提供的固化装置，通过将去除PI胶中有机气体的工序在真空抽气的条件下进行，相比现有技术，能够大大提高有机气体的排出效果，不但能够有效降低有机气体凝结为颗粒的概率，还能减少所需的工艺时间，并且，由于不要持续通入氮气，还能大大降低产品制作成本。

Description

固化装置及固化方法
技术领域
本发明涉及显示领域，尤其涉及一种固化装置及固化方法。
背景技术
柔性显示是下一代显示技术的重要发展方向，该技术具有可弯曲、不易碎、超轻超薄、低功耗、便携等特点，在电子书、移动通信、笔记本、电视、公共信息等领域具有广阔的应用前景和良好的发展前景。
目前柔性基板的制备方法通常是在玻璃基板上涂覆PI(聚酰亚胺)胶，而后将该玻璃基板送入PI胶固化腔室中进行固化，在固化过程中，为了防止有机物被氧化，并将PI胶中产生的有机气体(fume)及时地带出，需要持续地通入大量的N2，在上述的固化过程中，固化腔室内的角落等位置非常容易产生涡流，从而导致该位置处的有机气体很难排出，进而容易在柔性基板上凝结为颗粒(particle)，造成不良。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明要解决的技术问题是：提供一种固化装置及固化方法，能够提高柔性基板制作过程中有机气体从固化腔室排出的效果。
(二)技术方案
为解决上述技术问题，本发明的技术方案提供了一种固化装置，包括：
腔室，用于盛放涂覆有聚酰亚胺PI胶的基板；
抽气装置，用于对所述腔室抽真空；
加热装置，用于在所述抽真空的过程中当所述腔室内达到第一预设压强时对所述基板进行第一加热以去除所述PI胶中的有机气体，以及在所述第一加热之后对所述基板进行第二加热固化所述PI胶。
优选地，还包括送气装置，用于在所述第一加热之后，所述第二加热之前向所述腔室输送氮气使所述腔室内达到第二预设压强，所述第二预设压强大于所述第一预设压强。
优选地，所述第一预设压强为20pa～30pa，所述第二预设压强为1000pa～2000pa。
优选地，还包括冷却装置，用于当所述第二加热后对所述基板进行降温。
优选地，所述冷却装置通过对所述腔室循环氮气对所述基板进行降温。
优选地，所述腔室包括用于放置和取出所述基板的开口以及用于打开和关闭所述开口的闭合构件，所述闭合构件通过气缸控制将所述开口打开或关闭。
优选地，所述开口的周边或者所述闭合构件上安装有密封圈。
优选地，包括呈层叠设置的多个所述腔室，每一个所述腔室用于盛放一个所述基板。
优选地，所述第一加热的温度为200摄氏度～300摄氏度，所述第二加热的温度为400摄氏度～500摄氏度。
为解决上述技术问题，本发明还提供了一种固化方法，包括：
将涂覆有聚酰亚胺PI胶的基板放入腔室；
对所述腔室抽真空；
在所述抽真空的过程中当所述腔室内达到第一预设压强时对所述基板进行第一加热以去所述PI胶中的有机气体；
对所述基板进行第二加热固化所述PI胶。
优选地，在所述第一加热之后，所述第二加热之前还包括：
向所述腔室输送氮气使所述腔室内达到第二预设压强。
优选地，在所述第二加热后还包括：对所述基板进行降温处理。
(三)有益效果
本发明提供的固化装置，通过将去除PI胶中有机气体的工序在真空抽气的条件下进行，相比现有技术，能够大大提高有机气体的排出效果，不但能够有效降低有机气体凝结为颗粒的概率，还能减少所需的工艺时间，并且，由于不要持续通入氮气，还能大大降低产品制作成本。
附图说明
图1是本发明实施方式提供的一种固化装置的示意图；
图2是图1中固化装置的俯视图；
图3是本发明实施方式提供的一种腔室的示意图；
图4是图3中腔室开口关闭的俯视图；
图5是本发明实施方式提供的一种固化装置的示意图；
图6是图5中固化装置中加热炉的侧视图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
本发明实施方式提供了一种固化装置，该固化装置包括：
腔室，用于盛放涂覆有聚酰亚胺PI胶的基板；
抽气装置，用于对所述腔室抽真空；
加热装置，用于在所述抽真空的过程中当所述腔室内达到第一预设压强时对所述基板进行第一加热以去除所述PI胶中的有机气体，以及在所述第一加热之后对所述基板进行第二加热固化所述PI胶。
本发明实施方式提供的固化装置，通过将去除PI胶中有机气体的工序在真空抽气的条件下进行，相比现有技术，能够大大提高有机气体的排出效果，不但能够有效降低有机气体凝结为颗粒的概率，还能减少所需的工艺时间，并且，由于不要持续通入氮气，还能大大降低产品制作成本。
参见图1，图1是本发明实施方式提供的一种固化装置的示意图，该固化装置包括：
腔室(chamber)1，用于盛放涂覆有聚酰亚胺PI胶的基板4，其顶部设置有排气装置(Exhaust)11；
抽气装置2，用于对所述腔室1抽真空；
加热装置3，设置在腔室1的内部，用于在所述抽真空的过程中当所述腔室内达到第一预设压强时对所述基板进行第一加热以去除所述PI胶中的有机气体，以及在所述第一加热之后对所述基板进行第二加热固化所述PI胶，其中，所述第一加热的温度为200摄氏度～300摄氏度，例如可以为220摄氏度、250摄氏度、280摄氏度等，所述第二加热的温度为400摄氏度～500摄氏度，例如可以为420摄氏度等。
图2是图1中固化装置的俯视图，如图2所示，排气装置11包括多条平行的排气管111以及将该多条排气管相连的连通部112，每条排气管上均匀分布有多个气孔，抽气装置与连通部112相连从而能够实现对腔室内各个位置抽气的均匀性；
腔室1的具体结构可以如图3所示，其包括用于放置和取出所述基板的开口12以及用于打开和关闭开口12的闭合构件13，闭合构件13通过气缸14控制将开口12打开或关闭，关闭后的腔室如图4所示，优选地，为了提高腔室的密封性，可以在开口12的周边或者闭合构件13上安装密封圈；
具体地，在将基板4放入腔室中后，首先通过抽气装置2开始对腔室抽真空，当腔室内达到第一预设压强时，加热装置3开始对基板进行第一加热，使得PI胶产生有机气体，在进行第一加热的过程中，抽气装置持续对腔室抽真空，使腔室内的压强保持在预设的范围内，从而使得腔室内各处的有机气体能够及时排除；
待经过预设的时间后，通过第一加热将PI胶中的有机气体去除完毕后，抽气装置可以停止抽真空，同时使加热装置继续升高温度，进行第二加热，以固化PI胶；
优选地，本发明中的固化装置还包括送气装置，用于在所述第一加热之后，所述第二加热之前向所述腔室输送氮气使所述腔室内达到第二预设压强，所述第二预设压强大于所述第一预设压强，通过该送气装置向腔室内输送氮气，以作为热量的传导介质，从而便于热量传导至基板固化其上的PI胶，其中，所述第一预设压强为20pa～30pa，例如，可以为22pa、25pa、28pa等，所述第二预设压强为1000pa～2000pa，例如可以为1300pa、1500pa、1800pa等，例如，可以在上述腔室的侧壁上设置氮气(N2)进气口，送气装置通过设置的氮气进气口向腔室内输送氮气，使腔室内的压力维持在1000pa～2000pa范围内。
优选地，为了进一步地缩短工艺时间，本发明的固化装置还包括冷却装置，用于当所述第二加热后对所述基板进行降温。
参见图5，图5是本发明实施方式提供的另一种固化装置的示意图，该固化装置包括加热炉100、抽气装置2以及冷却装置5；
其中，加热炉100的侧视图如图6所示，其内部设置有多个如图1所示的腔室1，该多个腔室呈层叠设置，每一个腔室用于盛放一个待固化的基板，并且每一个腔室与一个抽气装置2相连；
冷却装置5，用于在固化后对基板进行冷却，其可以采用对整个加热炉循环氮气方式，也可以采用对每个腔室循环氮气的方式，使腔室内的压强与外界相同，待基板冷却后，打开腔室的开口，取出基板。
本发明实施方式提供的固化装置，可以用于柔性(Flexible)基板的制作，在PI胶的固化过程中，将去除PI胶中有机气体的工序在真空抽气的条件下进行，相比现有技术，能够大大提高有机气体的排出效果，不但能够有效降低有机气体凝结为颗粒的概率，还能减少所需的工艺时间，并且，由于不要持续通入氮气，还能大大降低产品制作成本。
此外，本发明还提供了一种固化方法，包括：
将涂覆有聚酰亚胺PI胶的基板放入腔室；
对所述腔室抽真空；
在所述抽真空的过程中当所述腔室内达到第一预设压强时对所述基板进行第一加热以去所述PI胶中的有机气体；
对所述基板进行第二加热固化所述PI胶。
优选地，在所述第一加热之后，所述第二加热之前还包括：
向所述腔室输送氮气使所述腔室内达到第二预设压强，其中，所述第一预设压强为20pa～30pa，例如，可以为22pa、25pa、28pa等，所述第二预设压强为1000pa～2000pa，例如可以为1300pa、1500pa、1800pa等，
优选地，在所述第二加热后还包括：对所述基板进行降温处理。例如，可以采用循环氮气的方式进行冷却。
以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。

Claims (12)

1.一种固化装置，其特征在于，包括：
腔室，用于盛放涂覆有聚酰亚胺PI胶的基板；
抽气装置，用于对所述腔室抽真空；
加热装置，用于在所述抽真空的过程中当所述腔室内达到第一预设压强时对所述基板进行第一加热以去除所述PI胶中的有机气体，以及在所述第一加热之后对所述基板进行第二加热固化所述PI胶。
2.根据权利要求1所述的固化装置，其特征在于，还包括送气装置，用于在所述第一加热之后，所述第二加热之前向所述腔室输送氮气使所述腔室内达到第二预设压强，所述第二预设压强大于所述第一预设压强。
3.根据权利要求2所述的固化装置，其特征在于，所述第一预设压强为20pa～30pa，所述第二预设压强为1000pa～2000pa。
4.根据权利要求1所述的固化装置，其特征在于，还包括冷却装置，用于当所述第二加热后对所述基板进行降温。
5.根据权利要求4所述的固化装置，其特征在于，所述冷却装置通过对所述腔室循环氮气对所述基板进行降温。
6.根据权利要求1所述的固化装置，其特征在于，所述腔室包括用于放置和取出所述基板的开口以及用于打开和关闭所述开口的闭合构件，所述闭合构件通过气缸控制将所述开口打开或关闭。
7.根据权利要求6所述的固化装置，其特征在于，所述开口的周边或者所述闭合构件上安装有密封圈。
8.根据权利要求1所述的固化装置，其特征在于，包括呈层叠设置的多个所述腔室，每一个所述腔室用于盛放一个所述基板。
9.根据权利要求1所述的固化装置，其特征在于，所述第一加热的温度为200摄氏度～300摄氏度，所述第二加热的温度为400摄氏度～500摄氏度。
10.一种固化方法，其特征在于，包括：
将涂覆有聚酰亚胺PI胶的基板放入腔室；
对所述腔室抽真空；
在所述抽真空的过程中当所述腔室内达到第一预设压强时对所述基板进行第一加热以去所述PI胶中的有机气体；
对所述基板进行第二加热固化所述PI胶。
11.根据权利要求10所述的固化方法，其特征在于，在所述第一加热之后，所述第二加热之前还包括：
向所述腔室输送氮气使所述腔室内达到第二预设压强。
12.根据权利要求10所述的固化方法，其特征在于，在所述第二加热后还包括：对所述基板进行降温处理。
CN201510617156.9A 2015-09-24 2015-09-24 固化装置及固化方法 Expired - Fee Related CN105271792B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510617156.9A CN105271792B (zh) 2015-09-24 2015-09-24 固化装置及固化方法
US15/157,979 US10406557B2 (en) 2015-09-24 2016-05-18 Curing apparatus and curing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510617156.9A CN105271792B (zh) 2015-09-24 2015-09-24 固化装置及固化方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105271792A true CN105271792A (zh) 2016-01-27
CN105271792B CN105271792B (zh) 2018-03-27

Family

ID=55141717

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510617156.9A Expired - Fee Related CN105271792B (zh) 2015-09-24 2015-09-24 固化装置及固化方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US10406557B2 (zh)
CN (1) CN105271792B (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105783438A (zh) * 2016-03-09 2016-07-20 武汉华星光电技术有限公司 一种减压加热干燥装置
CN109888129A (zh) * 2019-01-30 2019-06-14 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 用以去除柔性基板中气泡的设备与方法
CN111293063A (zh) * 2020-02-28 2020-06-16 昆山国显光电有限公司 一种加热固化装置
CN116222163A (zh) * 2022-12-20 2023-06-06 江苏深绿新能源科技有限公司 绝热间隔物的真空高温清洁吸附活化工艺方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110156990B (zh) * 2019-05-30 2020-12-08 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种聚酰亚胺复合物、制备方法及其应用
CN115179469B (zh) * 2022-07-21 2023-06-23 江苏邑文微电子科技有限公司 一种应用于半导体器件的聚酰亚胺烘箱固化工艺转化方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200734729A (en) * 2006-03-10 2007-09-16 Quanta Display Inc Low-pressure process apparatus
CN103008203A (zh) * 2012-12-13 2013-04-03 京东方科技集团股份有限公司 一种膜固化装置
CN103278966A (zh) * 2013-04-22 2013-09-04 合肥京东方光电科技有限公司 一种取向膜预固化设备
CN103707451A (zh) * 2013-12-27 2014-04-09 京东方科技集团股份有限公司 一种基板真空干燥装置和基板真空干燥方法
CN103730331A (zh) * 2012-10-10 2014-04-16 辛耘企业股份有限公司 干燥方法及干燥装置
CN103949386A (zh) * 2014-04-24 2014-07-30 广东工业大学 远红外线环氧树脂固化装置及方法
JP2014199806A (ja) * 2013-03-14 2014-10-23 東京エレクトロン株式会社 乾燥装置及び乾燥処理方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6673155B2 (en) * 1998-10-15 2004-01-06 Tokyo Electron Limited Apparatus for forming coating film and apparatus for curing the coating film

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200734729A (en) * 2006-03-10 2007-09-16 Quanta Display Inc Low-pressure process apparatus
CN103730331A (zh) * 2012-10-10 2014-04-16 辛耘企业股份有限公司 干燥方法及干燥装置
CN103008203A (zh) * 2012-12-13 2013-04-03 京东方科技集团股份有限公司 一种膜固化装置
JP2014199806A (ja) * 2013-03-14 2014-10-23 東京エレクトロン株式会社 乾燥装置及び乾燥処理方法
CN103278966A (zh) * 2013-04-22 2013-09-04 合肥京东方光电科技有限公司 一种取向膜预固化设备
CN103707451A (zh) * 2013-12-27 2014-04-09 京东方科技集团股份有限公司 一种基板真空干燥装置和基板真空干燥方法
CN103949386A (zh) * 2014-04-24 2014-07-30 广东工业大学 远红外线环氧树脂固化装置及方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105783438A (zh) * 2016-03-09 2016-07-20 武汉华星光电技术有限公司 一种减压加热干燥装置
CN109888129A (zh) * 2019-01-30 2019-06-14 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 用以去除柔性基板中气泡的设备与方法
WO2020155409A1 (zh) * 2019-01-30 2020-08-06 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 用以去除柔性基板中气泡的设备与方法
CN111293063A (zh) * 2020-02-28 2020-06-16 昆山国显光电有限公司 一种加热固化装置
CN111293063B (zh) * 2020-02-28 2022-09-13 昆山国显光电有限公司 一种加热固化装置
CN116222163A (zh) * 2022-12-20 2023-06-06 江苏深绿新能源科技有限公司 绝热间隔物的真空高温清洁吸附活化工艺方法

Also Published As

Publication number Publication date
US10406557B2 (en) 2019-09-10
US20170087587A1 (en) 2017-03-30
CN105271792B (zh) 2018-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105271792A (zh) 固化装置及固化方法
TW200721273A (en) Plasma processing equipment, plasma processing method, dielectric window for use therein and method for producing the same
NZ618846A (en) Method and apparatus for treating sewage
CN110681690A (zh) 一种连续真空热脱附修复污染土壤装置及方法
CN202481732U (zh) 一种外传输校正系统
CN102603175B (zh) 钢化玻璃生产装置及其生产方法
CN205403462U (zh) 一种用于软磁铁氧体烧结高温气体的冷却装置及系统
CN106601987A (zh) 锂离子电池极片的冷却方法及锂离子电池极片冷却装置
CN205051904U (zh) 一种适用于粉体/易挥发物料的微波加热装置
CN109105538A (zh) 一种用于茶叶烘干设备的循环装置
CN204936300U (zh) 陶瓷、半金属刹车片热压模具预热烘箱
CN104110969A (zh) 一种气体冷却设备及高温操作系统
WO2017181593A1 (zh) 烧结设备、有机发光二极管器件用封装系统、烧结方法
CN202947462U (zh) 稀土永磁合金连续烧结炉
CN104019355B (zh) 多层缠绕真空绝热气瓶抽真空系统装备循环加热房
CN203772024U (zh) 一种快速冷却系统及间歇式碳化炉
CN102553805A (zh) 一种带低能电子束装置的真空压力浸渍方法及设备
CN205452250U (zh) 柔性基板的固化装置
CN2870156Y (zh) 一种等离子显示屏的封接排气设备
CN206847352U (zh) 一种钕铁硼磁烧结炉
CN106671233A (zh) 一种节能型微波源智能处理装置
CN203940221U (zh) 多层缠绕真空绝热气瓶抽真空系统装备循环加热房
CN203768030U (zh) 一种超高温石墨化处理设备
KR20080055062A (ko) 연속경화장치
CN115410825B (zh) 薄膜电容热聚合方法及装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20180327