CN105235350A - 板材抽气贴合方法及抽气基座 - Google Patents
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Abstract
一种板材抽气贴合方法及抽气基座，该方法包含：(A)提供一抽气基座，该抽气基座包括内外间隔的一内周缘与一外周缘、一自该内周缘朝该外周缘凹设且环绕设置的插槽，及一自该外周缘朝该插槽延伸连通的抽气孔；(B)将一第一板材与一第二板材上下叠置，并插设于该插槽；(C)经由该抽气基座的抽气孔对该抽气基座抽气，使该第一板材与该第二板材吸附在一起。通过该抽气基座供所述板材插置，并能进行抽气使所述板材紧密吸附结合。本发明以创新的制程步骤与设备，相对于传统结合方式而言，所需要使用的设备成本较低，而且各步骤简单、方便进行。
Description
技术领域
本发明涉及一种板材抽气贴合方法及抽气基座，特别是涉及一种利用抽气方式使两个相叠置的板材相贴合固定的板材贴合方法，以及该方法所使用到的抽气基座。
背景技术
磁控溅镀镀膜方式，主要是通过一轰击气体(例如氩气)的离子撞击一靶材，使靶材材料被溅射出而沉积在一欲镀膜的基板上，进而使该基板上形成薄膜。而实际上该靶材在使用上，会先将一金属制的背板结合于其背面，以构成一靶材与背板的组合件。通过该金属背板，一方面可提供该靶材足够的机械强度作为支撑，另一方面该背板可以与一冷却水循环系统连接，以通过该背板带走该靶材于溅镀过程中产生的热。
而现有技术中，该靶材与该背板之间主要是透过焊接方式结合，但由于焊接过程中该靶材容易氧化，如此会影响靶材材料纯度。而若要避免氧化问题，例如可以在真空环境下进行焊接，但要额外提供一可供焊接的真空设备，又会造成整体制程成本高。而且焊接结合制程较为麻烦、不方便进行，因此已知靶材与背板结合的方式有待改良。
另外，在触控面板、太阳能电池或其他光电元件，在制作上会有需要将软材与软材(filmtofilm)贴合的需求，或者需要将软材与硬材(例如玻璃基板，此称为filmtoglass)贴合，或者其他种需要贴合至少两个板材以构成一板材组合件的需求。有鉴于两个板材间的贴合于许多产业中皆有所应用，因此本案申请人认为有必要开发出一种步骤简单且易于进行的板材贴合方法。
发明内容
本发明的目的在于提供一种步骤创新、设备成本较低，而且步骤简单、方便进行的板材抽气贴合方法及抽气基座。
本发明板材抽气贴合方法，包含：步骤A：提供一个抽气基座，该抽气基座包含一个呈环形的围壁，该围壁包括内外间隔的一个内周缘与一个外周缘、一个自该内周缘朝该外周缘凹设且沿着该围壁环绕设置的插槽，以及一个自该外周缘朝该插槽延伸连通的抽气孔。步骤B：将一个第一板材与一个第二板材上下叠置，并一同插设于该抽气基座的该插槽，且该抽气基座的该围壁围绕该第一板材与该第二板材。步骤C：经由该抽气基座的该抽气孔对该抽气基座抽气，使该第一板材与该第二板材吸附在一起。
本发明所述板材抽气贴合方法，该第一板材与该第二板材之间还设有一个黏胶层，该步骤C在抽气后，还对该抽气基座加热，使该黏胶层呈熔融态，并且待该黏胶层冷却硬化后，该第一板材与该第二板材会黏结固定在一起。
本发明所述板材抽气贴合方法，该步骤C的加热温度为130℃～160℃。
本发明所述板材抽气贴合方法，该抽气基座的材质为硅胶。
本发明抽气基座，包含：一个呈环形的围壁，该围壁包括内外间隔的一个内周缘与一个外周缘、一个自该内周缘朝该外周缘凹设且沿着该围壁环绕设置的插槽，以及一个自该外周缘朝该插槽延伸连通的抽气孔。
本发明所述抽气基座，还包含一个对应该抽气孔而连接于该围壁的外周缘的抽气管，该抽气管与该围壁一体连接。
本发明所述抽气基座，该抽气基座的材质为硅胶。
本发明所述抽气基座，该抽气基座包括二个可拆离地上下对接的座体，所述座体对接后共同界定出该围壁。
本发明的有益效果在于：通过该抽气基座供该第一板材与第二板材插置，并能进行抽气使该第一板材与第二板材紧密吸附结合，能提升结合稳固性。本发明以创新的制程步骤与设备，相对于传统结合方式而言，所需要使用的设备成本较低，而且各步骤简单、方便进行。而该抽气基座的创新结构，可使本发明的方法顺利进行。
附图说明
图1是本发明抽气基座的一第一实施例的立体图；
图2是该第一实施例的一侧视剖视图；
图3是本发明板材抽气贴合方法的一第一实施例的步骤流程方块图；
图4是本发明抽气基座的一第二实施例的立体图；
图5是该第二实施例的一侧视剖视图；
图6是该第二实施例的组合俯视图，同时示意数个抽气管连接该第二实施例。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明，要注意的是，在以下的说明内容中，类似的元件以相同的编号来表示。
参阅图1、2，本发明抽气基座的第一实施例，适合供上下叠置的一第一板材11与一第二板材12插置于其中。该抽气基座的材质为可耐热的硅胶或其他可耐热的材质。该抽气基座包含：一呈环形的围壁2，以及一连该围壁2的抽气管3。
本实施例的围壁2大致呈四方环形，并围绕界定出一基座空间20。该围壁2包括二左右间隔的第一壁部21，以及二间隔相对且分别连接在所述第一壁部21的两端间的第二壁部22。所述第一壁部21与第二壁部22连接在一起并共同界定出内外间隔且呈环形的一内周缘23与一外周缘24、一自该内周缘23朝该外周缘24凹设且沿着该围壁2环绕设置的插槽25，以及一自该外周缘24朝该插槽25延伸连通的抽气孔26。其中，该插槽25连通该基座空间20。
该抽气管3对应该抽气孔26地连接于该围壁2的外周缘24，且该抽气管3与该围壁2一体连接，使该抽气基座形成一个一体式的构件。但在实施时，不以设置该抽气管3为必要，因为该抽气管3也可以是一独立元件，并且于该抽气基座需要抽气时再接上即可。
参阅图1～3，本发明板材抽气贴合方法的第一实施例包含：
步骤41：提供该抽气基座。
步骤42：将该第一板材11与该第二板材12上下叠置，并一同插设于该抽气基座的插槽25，此时该抽气基座的围壁2围绕该第一板材11与该第二板材12，并包覆于该第一板材11与第二板材12的四周缘。该第一板材11与该第二板材12之间可设置一黏胶层13，该黏胶层13例如OCA光学胶。由于该抽气基座由硅胶制成，具有柔软弹性，因此其围壁2可被稍微扳开并略微变形，接着即可将该第一板材11、第二板材12与黏胶层13一同插设于该插槽25。
步骤43：经由该抽气基座的抽气孔26对该抽气基座抽气，使该第一板材11与该第二板材12吸附在一起。具体来说，本步骤主要是将一抽气装置(图未示)连接该抽气基座的抽气管3，接着启动该抽气装置来对该抽气基座抽气，使该插槽25中的空气以及该第一板材11与该第二板材12之间的空气可经由该抽气孔26被抽走。如此一来，该第一板材11与第二板材12彼此之间会紧密贴合，而且可以抽走该第一板材11与第二板材12间的气体，避免两者间有气泡存在，从而使两者可以平整贴合，提升结合稳固性；较佳地，该插槽25可被抽气达到10-2托耳(Torr)～10-4Torr左右的真空度。后续则另外通过一加热步骤，本步骤是将该抽气基座放入一加热设备(例如一烘箱)中，该加热设备可设定为阶段式升温，最后达到的加热温度较佳地为130℃～160℃，本实施例则采用145℃，使该黏胶层13呈熔融态，并且待该黏胶层13冷却硬化后，即可将该第一板材11与该第二板材12黏结固定在一起。
补充说明的是，在步骤43中，透过适当的加热温度使该黏胶层13能熔融，且该加热温度为该第一板材11、该第二板材12与该抽气基座所能耐受的温度范围。因此该加热温度较佳地为130℃～160℃，不宜过高或过低。该第一板材11与该第二板材12的其中一个，亦可以为表面具有黏胶的膜片或硬质板片，此时可以不用另外设置该黏胶层13。
该第一板材11与第二板材12的其中一个可以为一金属或陶瓷基板，另一个为一真空镀膜用的靶材；或者两者都是软性的膜片；或者两者都是硬质板材(例如玻璃)；或者其中一个为软性膜片，另一个为硬质板材；或者为其他种需要进行贴合的板材。因此，本发明可应用于磁控溅镀设备中的背板与靶材的结合，也可以应用于平板电脑、智能手机、太阳能电池等产业中，用于将两个板材结合固定。
综上所述，通过将该第一板材11与第二板材12插置于该抽气基座，并抽气使该第一板材11与第二板材12间的空气被抽走，使该第一板材11与第二板材12紧密吸附结合，能提升结合稳固性。而该加热步骤进一步地则可使该第一板材11与第二板材12间通过黏结方式固定。本发明以创新的制程步骤与设备，相对于传统结合方式而言，所需要使用的设备成本较低，而且各步骤简单、方便进行。而该抽气基座的创新结构，可使本发明的方法顺利进行。
参阅图4、5、6，本发明抽气基座的第二实施例与该第一实施例的结构大致相同，不同的地方在于，本实施例的抽气基座包括二可拆离地上下对接的座体27，所述座体27呈四方形环框结构，两者间可以为紧配合地卡合，或者利用螺丝锁固，或者可以用其他方式固定。所述座体27对接后共同界定出该围壁2。该围壁2同样包括一内周缘23、一外周缘24，以及一自该内周缘23朝该外周缘24凹设且沿着该围壁2环绕设置的插槽25。此外，该围壁2还包括数个分别位于其四周缘的抽气孔26。
本实施例的抽气贴合方法与该第一实施例相同，不再说明，但本实施例抽气时，需要另外装上数个抽气管3来连接该围壁2的抽气孔26。由于本实施例的抽气孔26数量较多，因此可以同时经由所述抽气孔26进行抽气。当第一板材11与第二板材12为较大型的板材时，本发明抽气基座也必须加大设计，此时使用较多的抽气孔26同时抽气，可提升抽气效率。
Claims (8)
1.一种板材抽气贴合方法，其特征在于其包含：
步骤A：提供一个抽气基座，该抽气基座包含一个呈环形的围壁，该围壁包括内外间隔的一个内周缘与一个外周缘、一个自该内周缘朝该外周缘凹设且沿着该围壁环绕设置的插槽，以及一个自该外周缘朝该插槽延伸连通的抽气孔；
步骤B：将一个第一板材与一个第二板材上下叠置，并一同插设于该抽气基座的该插槽，且该抽气基座的该围壁围绕该第一板材与该第二板材；
步骤C：经由该抽气基座的该抽气孔对该抽气基座抽气，使该第一板材与该第二板材吸附在一起。
2.如权利要求1所述的板材抽气贴合方法，其特征在于：该第一板材与该第二板材之间还设有一个黏胶层，该步骤C在抽气后，还对该抽气基座加热，使该黏胶层呈熔融态，并且待该黏胶层冷却硬化后，该第一板材与该第二板材会黏结固定在一起。
3.如权利要求2所述的板材抽气贴合方法，其特征在于：该步骤C的加热温度为130℃～160℃。
4.如权利要求1至3中任一项所述的板材抽气贴合方法，其特征在于：该抽气基座的材质为硅胶。
5.一种抽气基座，其特征在于其包含：一个呈环形的围壁，该围壁包括内外间隔的一个内周缘与一个外周缘、一个自该内周缘朝该外周缘凹设且沿着该围壁环绕设置的插槽，以及一个自该外周缘朝该插槽延伸连通的抽气孔。
6.如权利要求5所述的抽气基座，其特征在于：该抽气基座还包含一个对应该抽气孔而连接于该围壁的外周缘的抽气管，该抽气管与该围壁一体连接。
7.如权利要求5或6所述的抽气基座，其特征在于：该抽气基座的材质为硅胶。
8.如权利要求5所述的抽气基座，其特征在于：该抽气基座包括二个可拆离地上下对接的座体，所述座体对接后共同界定出该围壁。
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