CN105043680A - 一种微量液体泄漏侦测系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种微量液体泄漏侦测系统，其包括：漏液检测模块，其贴合设置在待检测部位上，用于在待检测部位存在液体泄漏时产生第一漏液响应信号；电流放大模块，其与漏液检测模块连接，用于对第一漏液响应信号进行电流放大，得到第二漏液响应信号；I/O模块，其与电流放大模块连接，用于根据接收到的第二漏液响应信号产生漏液状态信号；监测模块，其与I/O模块连接，其用于根据漏液状态信号确定待检测部位是否存在微量液体泄漏，从而实现对待检测部位是否存在微量液体泄漏的侦测。该系统能够侦测微量液体泄漏，并作出极早期预警，方便工作人员尽早发现微量泄漏源并及时处理，从而避免了出现液体大量泄漏的事故，避免了人员伤亡和财产损失。

Description

一种微量液体泄漏侦测系统

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体地说，涉及一种微量液体泄漏侦测系统。

背景技术

在半导体和面板等电子行业生产过程中会使用到各种液态化学品和水。在输送这些液态化学品和水过程中，设备、管道阀门和法兰连接处由于长期处于压力作用，在这些位置处很可能会导致出现微量液体泄漏。如果不能及时发现并处理这些泄漏点，则可能会导致出现大量液体泄漏事故，从而危及人身安全并造成财产损失。

目前在电子行业中广泛采用的液体泄漏侦测系统只能侦测大量液体泄漏，而对于微量液体泄漏的情况，这些侦测系统则无法进行准确、可靠地侦测，也就无法作出极早期预警。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是为了解决现有的漏液侦测系统只能够侦测大量液体泄漏而无法侦测微量液体泄漏的问题。为解决上述问题，本发明的一个实施例首先提供了一种微量液体泄漏侦测系统，所述系统包括：

漏液检测模块，其贴合设置在待检测部位上，用于在待检测部位存在液体泄漏时产生第一漏液响应信号；

电流放大模块，其与所述漏液检测模块连接，用于对所述第一漏液响应信号进行电流放大，得到第二漏液响应信号；

I/O模块，其与所述电流放大模块连接，用于根据接收到的所述第二漏液响应信号产生漏液状态信号；

监测模块，其与所述I/O模块连接，其用于根据所述漏液状态信号确定所述待检测部位是否存在微量液体泄漏，从而实现对所述待检测部位是否存在微量液体泄漏的侦测。

根据本发明的一个实施例，所述漏液检测模块包括多个漏液检测单元，所述电流放大模块包括多个电流放大单元，所述多个漏液检测单元贴合设置在多个待检测部位上且与所述多个电流放大单元对应连接，所述多个电流放大单元还与所述I/O模块的多个外接端口对应连接。

根据本发明的一个实施例，所述监测模块还能够根据所述漏液状态信号，从所述多个待检测部位中确定出存在微量液体泄露的待检测部位，从而实现漏液的定位。

根据本发明的一个实施例，所述漏液检测模块包括漏液检测带，所述漏液检测带包括互不导通的第一检测电极和第二检测电极，其中，

当所述漏液检测模块中存在液体时，所述第一检测电极与第二检测电极之间的电连接导通。

根据本发明的一个实施例，所述第一检测电极和第二检测电极通过所述电流放大模块与所述I/O模块的两个外接端口对应连接。

根据本发明的一个实施例，在进行微量漏液检测时，所述I/O模块配置为向所述第一检测电极施加预设激励信号，使得所述第一检测电极与第二检测电极之间存在预设电压差。

根据本发明的一个实施例，所述预设电压差的取值范围包括[12V，30V]。

根据本发明的一个实施例，所述第一检测电极和第二检测电极为柔性电极。

根据本发明的一个实施例，所述漏液检测带还包括柔性透明的护套，所述护套包裹住所述第一检测电极和第二检测电极。

根据本发明的一个实施例，所述系统还包括：

告警模块，其与所述监测模块连接，当所述监测模块确定出所述待检测部位存在微量液体泄漏时，所述检测模块还能够产生告警信号，以控制所述告警模块进行告警提示。

从上述描述中可以看出，本发明所提供的微量液体泄漏侦测系统将漏液检测模块贴合设置在待检测部位(例如重要设备和管道的阀门以及法兰连接处)，只要待检测部位发生微量液体泄漏，那么漏液检测模块便可以产生对应的漏液响应信号，最终由监测模块根据该电流信号确定出发生液体泄露的待检测部位，并通过告警模块进行告警提示。该系统能够侦测微量液体泄漏，并作出极早期预警，方便工作人员尽早发现微量泄漏源并及时处理，从而避免了出现液体大量泄漏的事故，避免了人员伤亡和财产损失。

本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要的附图做简单的介绍：

图1是根据本发明一个实施例的微量液体泄漏侦测系统的结构示意图；

图2是根据本发明一个实施例的漏液检测带的结构示意图；

图3是根据本发明一个实施例的微量液体泄漏侦测系统的结构示意图。

具体实施方式

以下将结合附图及实施例来详细说明本发明的实施方式，借此对本发明如何应用技术手段来解决技术问题，并达成技术效果的实现过程能充分理解并据以实施。需要说明的是，只要不构成冲突，本发明中的各个实施例以及各实施例中的各个特征可以相互结合，所形成的技术方案均在本发明的保护范围之内。

同时，在以下说明中，出于解释的目的而阐述了许多具体细节，以提供对本发明实施例的彻底理解。然而，对本领域的技术人员来说显而易见的是，本发明可以不用这里的具体细节或者所描述的特定方式来实施。

图1示出了本实施例所提供的微量液体泄漏侦测系统的结构示意图。

如图1所示，微量漏液泄漏侦测系统包括：漏液检测模块101、电流放大模块102、I/O模块103以及监测模块104。其中，在使用时，漏液检测模块101贴合设置在待检测部位上。当待检测部位出现液体泄漏时，漏液检测模块101将产生第一漏液响应信号。电流放大模块102连接在漏液检测模块101与I/O模块103之间，其能够将接收到的第一漏液响应信号进行电流放大从而得到第二漏液响应信号，并将第二漏液响应信号传输给I/O模块103以进行进一步的处理。

具体地，如图2所示，本实施例中，漏液检测模块101采用了漏液检测带来实现。该漏液检测带包括第一检测电极201和第二检测电极202。其中，在正常情况下(即待检测部位不存在漏液时)，第一检测电极201与第二检测电极202互不导通。当然，在本发明的其他实施例中，漏液检测模块101还可以采用其他合理的元器件或电路来实现，本发明不限于此。

在使用的过程中，漏液检测带贴合设置在待检测部位的表面，并且第一检测电极201与第二检测电极202之间存在预设电压电压差。具体地，本实施例中，第一检测电极201与第二检测电极202之间的电压差为24V。当然，在本发明的其他实施例中，第一检测电极201与第二检测电极202之间的电压差还可以配置为其他合理值，本发明同样不限于此。例如，在本发明的不同实施例中，第一检测电极201与第二检测电极202之间的电压差还可以配置为[12V，30V]中的其他合理值，诸如15V、20V以及28V等。

在正常情况下(即待检测部位不存在漏液时)，由于第一检测电极201与第二检测电极202之间互不导通，因此此时漏液检测带也就没有电流输出。而当待检测部位(例如设备和管道阀门以及法兰连接处)出现微量漏液时，液体便会侵入到贴合设置在待检测部位的漏液检测带中。由于液体的导电作用，此时第一检测电极201与第二检测电极202之间的电连接将会导通，这样漏液检测带便会输出电流信号，该电流信号也就是第一漏液响应信号。

由于漏液检测带是贴合在待检测部位表面的，并且只要微量的液体侵入到漏液检测带中便可以使得漏液检测带中的第一检测电极201与第二检测电极202之间的电来接导通，因此本实施例所提供的漏液侦测系统便能够准确地侦测到待检测部位是否存在微量漏液。

本实施例中，漏液检测带具有柔性透明的护套203，这样，漏液检测带便可以更加紧密地贴合在待检测部位上，从而使得得到的漏液信息更加准确。具体地，本实施例中，漏液检测带的护套203优选地采用苯乙烯材料制成。当然。在本发明的其他实施例中，漏液检测带的护套203还可以采用其他合理材料来实现，本发明不限于此。

再次如图1所示，由于漏液检测模块101所输出的第一漏液响应信号较小，因此为了后续处理的方便，本实施例所提供的微量液体泄漏侦测系统中配置了与漏液检测模块101连接的电流放大模块102。电流放大模块102能够对漏液检测模块101输出的第一漏液响应信号进行电流放大，从而得到电流值较大的、便于处理和识别的第二漏液响应信号。

I/O模块103通过电流放大模块102与漏液检测模块101连接。本实施例中，漏液检测模块101的激励信号是由I/O模块103来提供的。当待检测部位不存在液体泄漏时，由于此时漏液检测模块101相当于处于断路状态，因此I/O模块103与漏液检测模块101将无法形成导电回路，这样I/O模块103也就无法接收到漏液检测模块101的反馈信号。而当待检测部位存在液体泄漏时，此时漏液检测模块101相当于处于导通状态，因此I/O模块103与漏液检测模块101将形成导电回路，这样I/O模块103也就可以通过电流放大模块102接收到漏液检测模块101输出的的反馈数据(即第一漏液响应信号)。

I/O模块103接收到电流放大模块102传输来的第二漏液响应信号后，会将该信号转换为对应的模拟信号(即漏液状态信号)，并将该模拟信号传输给监测模块104。监测模块104根据接收到的漏液状态信号便可以判断出该漏液检测模块101所处的待检测部位出现了液体泄漏。

为了更加准确、全面地得到待检测部位以及待检测系统的漏液状况，如图3所示，本实施例中，微量液体泄漏侦测系统中的漏液检测模块101包含了多个漏液检测单元(即第一漏液检测单元101_1、第二漏液检测单元101_2至第N漏液检测单元101_N)。对应地，电流放大电路102包括多个电流放大单元(即第一电流放大单元102_1、第二电流放大单元102_2至第N电流放大单元102_N)。其中，这些电流放大单元分别与漏液而检测单元一一对应连接，同时，这些电流放大单元分别与信号I/O模块103的多个外接端口对应连接。

本实施例中，与电流放大单元连接的I/O模块103的不同输入端均对应有不同的地址编码，I/O模块103接收到各个电流放大单元传输来的第二漏液响应信号后，会将该信号转换为对应的模拟信号(即漏液状态信号)，并将该模拟信号传输给检测模块104。具体地，监测模块104通过PXI总线与I/O模块103连接，监测模块104通过I/O模块103传输来的信号还能够确定该信号所对应的输入端口。由于I/O模块103的输入端口与漏液检测单元是一一对应的。因此，监测模块104确定了信号的输入端口也就确定了导通的漏液检测单元，而这也就确定了发生漏液的部位。

需要说明的是，在本发明的其他实施例中，监测模块104与I/O模块103之间还可以采用其他合理的连接方式(例如无线连接或光纤连接等)，本发明不限于此。

因此，通过将多个漏液检测单元设置在某一待检测部件的不同位置，或是将多个漏液检测单元设置在待检测系统的不同部件处，便可以更加全面、准确地反映出待检测部件或是待检测系统是否发生漏液以及发生漏液的确切部位。

再次如图1所示，本实施例所提供的微量漏液检测系统还配置有告警模块105。其中，告警模块105与监测模块104连接，当监测模块104确定出待检测部位存在漏液后，检测模块104便会产生报警信号并将该告警信号发送给告警模块105。告警模块105接收到告警信号收，会产生相应的告警提示信息，从而提示相关工作人员进行相应操作。

在本发明的不同实施例中，告警模块105既可以配置为通过发出告警声进行提示，也可以配置为通过发出告警光信号(例如告警灯闪烁)进行提示，还可以同时采用声音提示和光线提示的方式进行漏液提示，本发明不限于此。

从上述描述中可以看出，本实施例所提供的微量液体泄漏侦测系统将漏液检测模块贴合设置在待检测部位(例如重要设备和管道的阀门以及法兰连接处)，只要待检测部位发生微量液体泄漏，那么漏液检测模块便可以产生对应的漏液响应信号，最终由监测模块根据该电流信号确定出发生液体泄露的待检测部位，并通过告警模块进行告警提示。该系统能够侦测微量液体泄漏，并作出极早期预警，方便工作人员尽早发现微量泄漏源并及时处理，从而避免了出现液体大量泄漏的事故，避免了人员伤亡和财产损失。

应该理解的是，本发明所公开的实施例不限于这里所公开的特定结构，而应当延伸到相关领域的普通技术人员所理解的这些特征的等同替代。还应当理解的是，在此使用的术语仅用于描述特定实施例的目的，而并不意味着限制。

说明书中提到的“一个实施例”或“实施例”意指结合实施例描述的特定特征、结构或特性包括在本发明的至少一个实施例中。因此，说明书通篇各个地方出现的短语“一个实施例”或“实施例”并不一定均指同一个实施例。

虽然上述示例用于说明本发明在一个或多个应用中的原理，但对于本领域的技术人员来说，在不背离本发明的原理和思想的情况下，明显可以在形式上、用法及实施的细节上作各种修改而不用付出创造性劳动。因此，本发明由所附的权利要求书来限定。

Claims (10)

1.一种微量液体泄漏侦测系统，其特征在于，所述系统包括：

漏液检测模块，其贴合设置在待检测部位上，用于在待检测部位存在液体泄漏时产生第一漏液响应信号；

电流放大模块，其与所述漏液检测模块连接，用于对所述第一漏液响应信号进行电流放大，得到第二漏液响应信号；

I/O模块，其与所述电流放大模块连接，用于根据接收到的所述第二漏液响应信号产生漏液状态信号；

监测模块，其与所述I/O模块连接，其用于根据所述漏液状态信号确定所述待检测部位是否存在微量液体泄漏，从而实现对所述待检测部位是否存在微量液体泄漏的侦测。

2.如要求1所述的系统，其特征在于，所述漏液检测模块包括多个漏液检测单元，所述电流放大模块包括多个电流放大单元，所述多个漏液检测单元贴合设置在多个待检测部位上且与所述多个电流放大单元对应连接，所述多个电流放大单元还与所述I/O模块的多个外接端口对应连接。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述监测模块还能够根据所述漏液状态信号，从所述多个待检测部位中确定出存在微量液体泄露的待检测部位，从而实现漏液的定位。

4.如权利要求1～3中任一项所述的系统，其特征在于，所述漏液检测模块包括漏液检测带，所述漏液检测带包括互不导通的第一检测电极和第二检测电极，其中，

当所述漏液检测模块中存在液体时，所述第一检测电极与第二检测电极之间的电连接导通。

5.如权利要求4所述的系统，其特征在于，所述第一检测电极和第二检测电极通过所述电流放大模块与所述I/O模块的两个外接端口对应连接。

6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，在进行微量漏液检测时，所述I/O模块配置为向所述第一检测电极施加预设激励信号，使得所述第一检测电极与第二检测电极之间存在预设电压差。

7.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述预设电压差的取值范围包括[12V，30V]。

8.如权利要求4～7中任一项所述的系统，其特征在于，所述第一检测电极和第二检测电极为柔性电极。

9.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述漏液检测带还包括柔性透明的护套，所述护套包裹住所述第一检测电极和第二检测电极。

10.如权利要求1～9中任一项所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：

告警模块，其与所述监测模块连接，当所述监测模块确定出所述待检测部位存在微量液体泄漏时，所述检测模块还能够产生告警信号，以控制所述告警模块进行告警提示。