CN201993207U

CN201993207U - 改进型漏水检知系统

Info

Publication number: CN201993207U
Application number: CN2011200050568U
Authority: CN
Inventors: 沈祖宏
Original assignee: Shanghai Hua Hong NEC Electronics Co Ltd
Current assignee: Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp
Priority date: 2011-01-10
Filing date: 2011-01-10
Publication date: 2011-09-28
Anticipated expiration: 2021-01-10

Abstract

本实用新型公开了一种改进型漏水检知系统包括检测装置、两根检知线，检测装置中设有电源、报警电路，检知线由金属导线和棉纱绝缘层组成，棉纱绝缘层夹杂有溶于水导电的晶体颗粒，检知线的前端和末端分别通过辅助继电器的触点接入报警电路，报警电路包括脉冲信号输入继电器、计数器、定时器，脉冲信号输入继电器的常开触点与计数器串联为一个支路，计数器的常开触点与定时器串联为另一支路，计数器的复位端接定时器的常开触点，计数器的输出接检知线末端的辅助继电器。本实用新型可以有效解决对高电阻率的超纯水检测能力差的问题，并且系统可每隔一段时间对全线路进行断线检测，避免了检知线断裂后报警功能丧失的情况。

Description

改进型漏水检知系统

技术领域

本实用新型涉及一种故障报警系统，具体属于一种用于集成电路工厂洁净室内的漏水检知系统。

背景技术

在集成电路工厂的洁净室内广泛使用漏水检知系统来检测管道、设备的漏水、漏液(包括酸液和碱液)情况，漏水检知系统是洁净室和其他重要区域非常必须的安全防护报警装置。

目前常用的漏水检知系统由漏水检知线和检测装置组成，其中漏水检知线通常分为两线和三线，结构形式为外层的中空棉纱线包裹内部的金属导线，金属导线之间依靠干燥的棉纱外套保持绝缘。如图1所示为两线漏水检知系统，三线漏水检知系统，如图2所示，在两线基础上增加了一根导线，用于判断断线故障。

两线漏水检知系统的原理是检测装置在两根检知线上加电压，当漏水发生时棉纱线润湿导电，检知线发生短路，检测装置检测到检知线的短路信号后发出报警。三线漏水检知系统增加了一根用于判断断线的导线，其末端与一根检知线短接，在检测装置中设有一个回路专门检测短接的两线是否导通，如果线路断裂，则该回路发出断线报警，其检测漏水的原理与两线检测系统的原理相同，即检测两根检知线是否发生短路。

在实际应用中，上述系统存在两个缺陷：1)在集成电路工厂中常用到超纯水，它的电阻率达到18.2MΩ，对这种高电阻率的超纯水系统的漏水报警不灵敏；2)当检知线断裂后系统失去报警功能，虽然三线漏水检知线系统作了一定程度的改进，但是当未与导线短接的检知线断裂，短接的两线仍然导通时系统仍然显示正常，无法发出断线报警，此时当漏水点位于断裂点之后时系统就无法发出漏水报警，存在很大的安全隐患，会造成严重的经济损失。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种改进型漏水检知系统，能够提高对高电阻率的超纯水的检测能力，并解决检知线断裂后丧失报警功能的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型的改进型漏水检知系统包括检测装置、两根检知线，所述检测装置中设有电源、与检知线相连通的报警电路，所述检知线由内部的金属导线和外部的棉纱绝缘层组成，所述检知线的棉纱绝缘层夹杂有溶于水导电的晶体颗粒；检知线的前端和末端分别通过辅助继电器的触点接入报警电路，所述报警电路包括脉冲信号输入继电器、计数器、定时器、报警器，脉冲信号输入继电器的常开触点与计数器串联为一个支路，计数器的常开触点与定时器串联为另一支路，计数器的复位端接定时器的常开触点，计数器的输出接检知线末端的辅助继电器。

其中优选的，所述晶体颗粒为氯化钾或氯化钠。

其中，所述报警电路还包括复位按钮、漏水报警继电器、断线报警继电器、用于漏水报警的红色指示灯、用于断线报警的黄色指示灯；检知线的前端通过第一辅助继电器的常开触点接入报警电路，检知线的末端通过第二辅助继电器的常开触点接入报警电路；所述第一输入继电器的常开触点和计数器的常闭触点串联，与串连在一起的漏水报警继电器的第一常开触点和复位按钮的第一常闭触点并联后再与漏水报警继电器的线圈串联组成第一支路；所述脉冲信号输入继电器的常开触点与计数器的线圈串联组成第二支路；所述定时器的常开触点与计数器的复位端相连组成第三支路；所述计数器的第一常开触点与定时器的线圈串联组成第四支路；所述第一输入继电器的常闭触点、计数器的第二常开触点、第二输入继电器的常开触点串联，与串联在一起的断线报警继电器的第一常开触点和复位按钮的第二常闭触点并联后再与断线报警继电器的线圈串联组成第五支路；所述漏水报警继电器的第二常开触点与红色指示灯串联组成第六支路；所述断线报警继电器的第二常开触点与黄色指示灯串联组成第七支路。

本实用新型的检知线棉纱绝缘层中夹杂有溶于水导电的晶体颗粒，该检知线遇到超纯水之后，金属导线之间就形成导电溶液从而造成短路，有效地解决了对高电阻率的超纯水检测能力差的问题。此外，检测装置的报警电路中设有断线定时自检的回路，每隔一段时间对全线路进行断线检测，避免了检知线断裂后报警功能丧失的情况。

附图说明

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明：

图1是已知的两线漏水检知系统的示意图；

图2是已知的三线漏水检知系统的示意图；

图3是本实用新型的电气示意图；

图4是本实用新型的报警电路图。

其中附图标记说明如下：

1为检测装置；2为检知线；A1为漏水报警继电器；A2为断线报警继电器；C1为计数器；M1为第一辅助继电器；M2为第二辅助继电器；T1为定时器；X1为第一输入继电器；X2为脉冲信号输入继电器；X3为第二输入继电器；RST为复位按钮；RL为红色指示灯；YL为黄色指示灯；BZ为蜂鸣器。

具体实施方式

本实用新型提供的改进型漏水检知系统，包括检测装置1和两根检知线2，所述检测装置1中设有电源、与检知线2相连通的报警电路，所述检知线2由内部的金属导线和外部的棉纱绝缘层组成，所述检知线2的棉纱绝缘层夹杂有溶于水导电的晶体颗粒，检知线2的前端和末端分别通过辅助继电器的触点接入报警电路，如图3所示。

所述优选的晶体颗粒为氯化钾或氯化钠。本实用新型利用氯化钾或氯化钠晶体不导电而溶液导电的原理，将检知线2在氯化钾溶液或氯化钠溶液中浸泡并烘干，棉纱绝缘层中就会夹杂有氯化钾或氯化钠的晶体颗粒。当这种检知线碰到超纯水后，金属导线间就形成了导电的氯化钾溶液或氯化钠溶液，从而形成短路触发报警。

所述报警电路可以使用继电器控制，也使用可编程逻辑控制器(PLC)减少继电器数量、优化布线，达到增加功能和提高系统可靠性的目的，本实施例中以欧姆龙PLC为例。

所述报警电路，如图4所示，包括脉冲信号输入继电器X2、计数器C1、定时器T1、复位按钮RST、漏水报警继电器A1、断线报警继电器A2、用于漏水报警的红色指示灯RL、用于断线报警的黄色指示灯YL，其中计数器C1的复位端接计时器T1的常开触点。检知线2的前端通过第一辅助继电器M1的常开触点接入报警电路，末端通过第二辅助继电器M2的常开触点接入报警电路，当第二辅助继电器M2吸合两根检知线的末端连通。

所述第一输入继电器X1的常开触点和计数器C1的常闭触点串联，与串连在一起的漏水报警继电器A1的第一常开触点和复位按钮RST的第一常闭触点并联后再与漏水报警继电器A1的线圈串联组成第一支路。所述脉冲信号输入继电器X2的常开触点与计数器C1的线圈串联组成第二支路。所述定时器T1的常开触点与计数器C1的复位端串连组成第三支路。所述计数器C1的第一常开触点与定时器T1的线圈串联组成第四支路。所述第一输入继电器X1的常闭触点、计数器C1的第二常开触点、第二输入继电器X3的常开触点串联，与串联在一起的断线报警继电器A2的第一常开触点和复位按钮RST的第二常闭触点并联后再与断线报警继电器A2的线圈串联组成第五支路。所述漏水报警继电器A1的第二常开触点与红色指示灯RL串联组成第六支路。所述断线报警继电器A2的第二常开触点与黄色指示灯YL串联组成第七支路。所述报警电路还包括蜂鸣器BZ，所述漏水报警继电器A1的第三常开触点和断线报警继电器A2的第三常开触点并联后与蜂鸣器BZ串联组成第八支路。

所述第一支路、第六支路和第八支路组成漏水检测报警回路，第二支路、第三支路和第四支路组成断线定时自检回路，第五支路、第七支路和第八支路组成断线报警回路。

当检知线2短路时，第一输入继电器X1受外部信号驱动，常开触点闭合，常闭触点打开，未短路时常开触点打开，常闭触点闭合。当第二辅助继电器M2的常开触点闭合使得检知线2末端短接时，第二输入继电器X3受外部信号驱动，其常开触点闭合。

当有漏水情况发生时，漏水检知线发生短路，在第一支路中，第一输入继电器X1的常开触点闭合，计数器C1的常闭触点处于闭合状态，漏水报警继电器A1的线圈受电，输出漏水报警信号，同时漏水报警继电器A1的常开触点闭合形成自锁，报警无法自动消除，第六支路中漏水报警继电器A1的第二常开触点和第八支路中漏水报警继电器A1的第三常开触点都闭合，红色指示灯RL一直亮并且蜂鸣器BZ一直鸣响。当运行人员排除漏水点且漏水检知线无短路点，并按下复位按钮RST时，第一支路中复位按钮RST的第一常闭触点打开，漏水报警继电器A1的线圈失电，红色指示灯RL熄灭，蜂鸣器BZ停止鸣响，漏水报警消除。在第五支路中，计数器C1的常开触点处于打开状态，因此断线报警继电器A2不动作。

PLC通电后，脉冲信号输入继电器X2每隔1秒发出一个脉冲，计数器C1开始计数，当计数器到达预设值(如设定值为60)，第二支路中计数器C1的线圈受电。第四支路中计数器C1的常开触点闭合，第二辅助继电器M2的线圈受电，漏水检知线的末端短路，同时定时器T1开始计时进入断线自检。当检知线2没有断裂时，第五支路中第一输入继电器X1的常闭触点打开，计数器C1的常开触点闭合，第二输入继电器X3的常开触点闭合，断线报警继电器A2的线圈不受电，因此没有断线报警产生。当定时器T1达到预设值(如3秒)后，定时器T1动作，第三支路中定时器T1的常开触点闭合，计数器C1复位，断线自检结束，重新开始等待下一轮检测。在整个断线检测过程中，第一支路中计数器C1的常闭触点始终处于打开状态，因此不会触发漏水报警继电器A1动作。

当检知线2断裂时，计数器C1的线圈受电后，第二辅助继电器M2的线圈也受电，但是由于检知线2已经断裂，第一辅助继电器M1无法检测到短路信号，因此第五支路中第一输入继电器X1的常闭触点仍然处于闭合状态。同时计数器C1的常开触点和第二输入继电器X3的常开触点也已经闭合，因此断线报警继电器A2的线圈受电，输出断线报警信号，同时断线报警继电器A2的常开触点闭合形成自锁，报警无法自动消除，第七支路中断线报警继电器A2的第二常开触点和第八支路中断线报警继电器A2的第三常开触点都闭合，黄色指示灯YL一直亮并且蜂鸣器BZ一直鸣响。运行人员检查线路，重新接线并按下复位按钮RST后，第五支路中复位按钮RST的第二常闭触点打开，断线报警继电器A2的线圈失电，黄色指示灯YL熄灭，蜂鸣器BZ停止鸣响，断线报警消除。

以上通过具体实施例对本实用新型进行了详细的说明，但这些并非构成对本实用新型的限制。在不脱离本实用新型原理的情况下，本领域的技术人员还可对晶体颗粒的类型及报警电路等做出许多变形和等效置换，这些也应视为本实用新型的保护范围。

Claims

1.一种改进型漏水检知系统，包括检测装置、两根检知线，所述检测装置中设有电源、与检知线相连通的报警电路，所述检知线由内部的金属导线和外部的棉纱绝缘层组成，其特征在于：所述检知线的棉纱绝缘层夹杂有溶于水导电的晶体颗粒；检知线的前端和末端分别通过辅助继电器的触点接入报警电路，所述报警电路包括脉冲信号输入继电器、计数器、定时器、报警器，脉冲信号输入继电器的常开触点与计数器串联为一个支路，计数器的常开触点与定时器串联为另一支路，计数器的复位端接定时器的常开触点，计数器的输出接检知线末端的辅助继电器。

2.根据权利要求1所述的改进型漏水检知系统，其特征在于：所述晶体颗粒为氯化钾或氯化钠。

3.根据权利要求1所述的改进型漏水检知系统，其特征在于：所述报警电路还包括复位按钮、漏水报警继电器、断线报警继电器、用于漏水报警的红色指示灯、用于断线报警的黄色指示灯；检知线的前端通过第一辅助继电器的常开触点接入报警电路，检知线的末端通过第二辅助继电器的常开触点接入报警电路；

第一输入继电器的常开触点和计数器的常闭触点串联，与串连在一起的漏水报警继电器的第一常开触点和复位按钮的第一常闭触点并联后再与漏水报警继电器的线圈串联组成第一支路；

所述脉冲信号输入继电器的常开触点与计数器的线圈串联组成第二支路；

所述定时器的常开触点与计数器的复位端相连组成第三支路；

所述计数器的第一常开触点与定时器的线圈串联组成第四支路；

第一输入继电器的常闭触点、计数器的第二常开触点、第二输入继电器的常开触点串联，与串联在一起的断线报警继电器的第一常开触点和复位按钮的第二常闭触点并联后再与断线报警继电器的线圈串联组成第五支路；

漏水报警继电器的第二常开触点与红色指示灯串联组成第六支路；

断线报警继电器的第二常开触点与黄色指示灯串联组成第七支路。

4.根据权利要求3所示的改进型漏水检知系统，其特征在于：所述第一输入继电器当检知线短路时常开触点闭合，常闭触点打开，未短路时常开触点打开，常闭触点闭合。

5.根据权利要求3或4所述的改进型漏水检知系统，其特征在于：所述报警电路还包括蜂鸣器，所述漏水报警继电器的第三常开触点和断线报警继电器的第三常开触点并联后与蜂鸣器串联组成第八支路。

6.根据权利要求5所述的改进型漏水检知系统，其特征在于：所述第一支路、第六支路和第八支路组成漏水检测报警回路，第二支路、第三支路和第四支路组成断线定时自检回路，第五支路、第七支路和第八支路组成断线报警回路。