CN106679894A - 划片机漏水检测方法及装置 - Google Patents

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孟庆嵩
李战伟
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    • G01M3/165—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using electric detection means by means of cables or similar elongated devices, e.g. tapes

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Abstract

本发明提供了一种划片机漏水检测方法及装置，属于集成电路封装设备制造领域。所述划片机放置在两条相对设置的导轨上，所述导轨放置在导轨安装基座上，所述漏水检测装置包括：设置在所述导轨安装基座上、相互绝缘并行缠绕的第一漏水检测线和第二漏水检测线，所述第一漏水检测线和第二漏水检测线的第一端均悬空；与所述第一漏水检测线和第二漏水检测线的第二端分别连接的漏水检测电路，在所述划片机漏水时，所述漏水检测电路的输出端的输出电位能够发生变化；与所述漏水检测电路的输出端连接的处理器，能够根据所述漏水检测电路的输出电位判断所述划片机是否漏水。本发明的技术方案能够检测划片机的划切箱是否漏水。

Description

划片机漏水检测方法及装置
技术领域
本发明涉及集成电路封装设备制造领域，特别涉及一种划片机漏水检测方法及装置。
背景技术
划片机是集成电路生产线上将晶圆或硅片分割成独立单元的设备，在对晶圆或硅片进行分割的过程中需要用到水和气，如果在分割过程中出现漏水现象，不仅会造成设备导轨丝杠生锈、变形，还会造成电气线路短路毁坏设备，更严重的还有可能使人触电。目前，划片机还没有简便可靠的漏水检测方法与装置。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种划片机漏水检测方法及装置，能够检测划片机的划切箱是否漏水。
为解决上述技术问题，本发明的实施例提供技术方案如下：
一方面，提供一种划片机漏水检测装置，应用于划片机，所述划片机放置在两条相对设置的导轨上，所述导轨放置在导轨安装基座上，所述漏水检测装置包括：
设置在所述导轨安装基座上、相互绝缘并行缠绕的第一漏水检测线和第二漏水检测线，所述第一漏水检测线和第二漏水检测线的第一端均悬空；
与所述第一漏水检测线和第二漏水检测线的第二端分别连接的漏水检测电路，在所述划片机漏水时，所述漏水检测电路的输出端的输出电位能够发生变化；
与所述漏水检测电路的输出端连接的处理器，能够根据所述漏水检测电路的输出电位判断所述划片机是否漏水。
进一步地，所述漏水检测电路包括：
PNP三极管和NPN三极管；
其中，所述PNP三极管的发射极通过第一电阻与高电位连接，所述PNP三极管的发射极与第一漏水检测线连接，所述PNP三极管的集电极通过第五电阻接地；所述PNP三极管的基极通过第二电阻与所述NPN三极管的集电极连接，所述NPN三极管的发射极接地，所述NPN三极管的基极通过第四电阻接地，同时所述NPN三极管的基极通过第三电阻与第二漏水检测线连接，所述NPN三极管的集电极为所述漏水检测电路的输出端。
进一步地，还包括：
发光二极管，所述发光二极管的阴极与所述PNP三极管的集电极连接，所述发光二极管的阳极与第五电阻连接，所述第五电阻的另一端接地。
进一步地，所述PNP三极管为三极管8550。
进一步地，所述NPN三极管为三极管9014。
进一步地，所述处理器与所述NPN三极管的集电极连接。
进一步地，所述处理器具体用于将所述NPN三极管的集电极的输出电位与预设电位进行比较，在所述NPN三极管的集电极的输出电位与预设电位不同时，判断划片机漏水。
本发明实施例还提供了一种划片机漏水检测方法，应用于如上所述的划片机漏水检测装置，所述漏水检测方法包括：
利用所述处理器检测所述漏水检测电路的输出端的输出电位是否发生变化；
在所述漏水检测电路的输出端的输出电位发生变化时，判断所述划片机漏水。
本发明的实施例具有以下有益效果：
上述方案中，第一漏水检测线和第二漏水检测线设置在导轨安装基座上、相互绝缘并行缠绕，第一漏水检测线和第二漏水检测线的第一端均悬空，漏水检测电路与第一漏水检测线和第二漏水检测线的第二端分别连接，在划片机漏水时，漏水检测电路的输出端的输出电位能够发生变化，这样与漏水检测电路的输出端连接的处理器能够根据漏水检测电路的输出电位判断划片机是否漏水。
附图说明
图1为本发明实施例划片机漏水检测装置的结构示意图；
图2为本发明实施例划片机漏水检测电路的示意图。
具体实施方式
为使本发明的实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
本发明的实施例针对现有技术中划片机还没有简便可靠的漏水检测方法与装置的问题，提供一种划片机漏水检测方法及装置，能够检测划片机的划切箱是否漏水。
本发明实施例提供一种划片机漏水检测装置，应用于划片机，所述划片机放置在两条相对设置的导轨上，所述导轨放置在导轨安装基座上，所述漏水检测装置包括：
设置在所述导轨安装基座上、相互绝缘并行缠绕的第一漏水检测线和第二漏水检测线，所述第一漏水检测线和第二漏水检测线的第一端均悬空；
与所述第一漏水检测线和第二漏水检测线的第二端分别连接的漏水检测电路，在所述划片机漏水时，所述漏水检测电路的输出端的输出电位能够发生变化；
与所述漏水检测电路的输出端连接的处理器，能够根据所述漏水检测电路的输出电位判断所述划片机是否漏水。
本发明实施例中，第一漏水检测线和第二漏水检测线设置在导轨安装基座上、相互绝缘并行缠绕，第一漏水检测线和第二漏水检测线的第一端均悬空，漏水检测电路与第一漏水检测线和第二漏水检测线的第二端分别连接，在划片机漏水时，漏水检测电路的输出端的输出电位能够发生变化，这样与漏水检测电路的输出端连接的处理器能够根据漏水检测电路的输出电位判断划片机是否漏水。
进一步地，所述漏水检测电路包括：
PNP三极管和NPN三极管；
其中，所述PNP三极管的发射极通过第一电阻与高电位连接，所述PNP三极管的发射极与第一漏水检测线连接，所述PNP三极管的集电极通过第五电阻接地；所述PNP三极管的基极通过第二电阻与所述NPN三极管的集电极连接，所述NPN三极管的发射极接地，所述NPN三极管的基极通过第四电阻接地，同时所述NPN三极管的基极通过第三电阻与第二漏水检测线连接，所述NPN三极管的集电极为所述漏水检测电路的输出端。
进一步地，还包括：
发光二极管，所述发光二极管的阴极与所述PNP三极管的集电极连接，所述发光二极管的阳极与第五电阻连接，所述第五电阻的另一端接地。
进一步地，所述PNP三极管为三极管8550。
进一步地，所述NPN三极管为三极管9014。
进一步地，所述处理器与所述NPN三极管的集电极连接。
进一步地，所述处理器具体用于将所述NPN三极管的集电极的输出电位与预设电位进行比较，在所述NPN三极管的集电极的输出电位与预设电位不同时，判断划片机漏水。
本发明实施例还提供了一种划片机漏水检测方法，应用于如上所述的划片机漏水检测装置，所述漏水检测方法包括：
利用所述处理器检测所述漏水检测电路的输出端的输出电位是否发生变化；
在所述漏水检测电路的输出端的输出电位发生变化时，判断所述划片机漏水。
本发明实施例中，第一漏水检测线和第二漏水检测线设置在导轨安装基座上、相互绝缘并行缠绕，第一漏水检测线和第二漏水检测线的第一端均悬空，漏水检测电路与第一漏水检测线和第二漏水检测线的第二端分别连接，在划片机漏水时，漏水检测电路的输出端的输出电位能够发生变化，这样与漏水检测电路的输出端连接的处理器能够根据漏水检测电路的输出电位判断划片机是否漏水。
下面结合附图对本发明的技术方案进行详细介绍：
图1为本实施例划片机漏水检测装置的结构示意图，其中导轨3和导轨4设置在导轨安装基座5上，检测线1和检测线2设置在导轨安装基座5上，并行缠绕，彼此之间相互绝缘。
如图2所示，本实施例的漏水检测电路包括PNP型三极管8550、NPN型三极管9014、发光二极管、第一电阻R1、第二电阻R2、第三电阻R3、第四电阻R4和第五电阻R5。
其中，PNP三极管的发射极通过R1与高电位VCC连接，PNP三极管的发射极E与检测线1连接，PNP三极管的集电极C与发光二极管的阴极连接，发光二极管的阳极通过R5接地；PNP三极管的基极b通过R2与NPN三极管的集电极C连接，NPN三极管的发射极E接地，NPN三极管的基极b通过R4接地，同时NPN三极管的基极b通过R3与检测线2连接，NPN三极管的集电极b为漏水检测电路的输出端。
本实施例中，检测线1与检测线2并行缠绕在一起，两根线之间的是绝缘的，三极管9014和三极管8550都不导通。由于检测线1和检测线2是缠绕在导轨安装基座的底部，在正常情况下未漏水时，两条检测线之间绝缘；当划片机漏水时，在重力作用下，漏水会浸湿检测线，由于水具有导电性，原本绝缘的两根检测线会导通，一旦导通，漏水检测电路中元器件的状态随即发生改变，NPN三极管的集电极b的电位U会发生变化，处理器检测到电位U发生变化后，判定划片机发生漏水。
具体地，在检测线1和检测线2导通时，三极管9014的基极b相对于发射极E有正向电位差，三极管9014导通工作，三极管9014的集电极的电流同时也是三极管8550的基极电流，三极管8550也导通工作，此时的三极管8550的集电极电位U发生改变：
U＝ic2×(R5+R6)+ib2×R2+Ubc2+Uled，
其中，ic2为三极管8550(PNP型)的集电极电流，
ib2为三极管8550(PNP型)的基极电流，
Ubc2为三极管8550(PNP型)的基极与集电极之间的电压，
Uled为发光二极管的电压。
同时图2中的发光二极管变亮，处理器检测到NPN三极管的集电极b的电位U发生改变，做出漏水判断，完成划片机的漏水检测工作。
本实施例的划片机漏水检测方法采用的元器件性能可靠，结构简单，提高了信号传输和处理的可靠性；实时性能好，电路延时小，提高了漏水检测结果的精度和准确性。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种划片机漏水检测装置，应用于划片机，所述划片机放置在两条相对设置的导轨上，所述导轨放置在导轨安装基座上，其特征在于，所述漏水检测装置包括：
设置在所述导轨安装基座上、相互绝缘并行缠绕的第一漏水检测线和第二漏水检测线，所述第一漏水检测线和第二漏水检测线的第一端均悬空；
与所述第一漏水检测线和第二漏水检测线的第二端分别连接的漏水检测电路，在所述划片机漏水时，所述漏水检测电路的输出端的输出电位能够发生变化；
与所述漏水检测电路的输出端连接的处理器，能够根据所述漏水检测电路的输出电位判断所述划片机是否漏水。
2.根据权利要求1所述的划片机漏水检测装置，其特征在于，所述漏水检测电路包括：
PNP三极管和NPN三极管；
其中，所述PNP三极管的发射极通过第一电阻与高电位连接，所述PNP三极管的发射极与第一漏水检测线连接，所述PNP三极管的集电极通过第五电阻接地；所述PNP三极管的基极通过第二电阻与所述NPN三极管的集电极连接，所述NPN三极管的发射极接地，所述NPN三极管的基极通过第四电阻接地，同时所述NPN三极管的基极通过第三电阻与第二漏水检测线连接，所述NPN三极管的集电极为所述漏水检测电路的输出端。
3.根据权利要求2所述的划片机漏水检测装置，其特征在于，还包括：
发光二极管，所述发光二极管的阴极与所述PNP三极管的集电极连接，所述发光二极管的阳极与第五电阻连接，所述第五电阻的另一端接地。
4.根据权利要求2所述的划片机漏水检测装置，其特征在于，所述PNP三极管为三极管8550。
5.根据权利要求2所述的划片机漏水检测装置，其特征在于，所述NPN三极管为三极管9014。
6.根据权利要求2所述的划片机漏水检测装置，其特征在于，所述处理器与所述NPN三极管的集电极连接。
7.根据权利要求6所述的划片机漏水检测装置，其特征在于，所述处理器具体用于将所述NPN三极管的集电极的输出电位与预设电位进行比较，在所述NPN三极管的集电极的输出电位与预设电位不同时，判断划片机漏水。
8.一种划片机漏水检测方法，其特征在于，应用于如权利要求1-7中任一项所述的划片机漏水检测装置，所述漏水检测方法包括：
利用所述处理器检测所述漏水检测电路的输出端的输出电位是否发生变化；
在所述漏水检测电路的输出端的输出电位发生变化时，判断所述划片机漏水。
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