CN104995146B - 结晶化玻璃及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明实现一种不必需光路调整机能的光波分复用器。将结晶化玻璃(1)的30℃时的长度设为L、各温度时的长度(Lt)与30℃时的长度(L)之差设为ΔL时，-40℃～80℃的范围内的最大值ΔLmax与最小值ΔLmin之差除以L得到的值(ΔLmax－ΔLmin)/L在8×10‑6以下。

Description

结晶化玻璃及其制造方法
技术领域
本发明涉及结晶化玻璃及其制造方法。
背景技术
在现有技术中，使用着利用了密集波分复用通信(DWDM：Dense WavelengthDivision Multiplex)的光通信系统。DWDM使用光波分复用器。专利文献1中记载了光波分复用器的一例。专利文献1所述的光波分复用器形成在硅基板上。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2006-284955号公报
发明内容
发明所要解决的课题
光波分复用器中，设置的各光学元件间的位置精度至关重要。但是，一旦光波分复用器的温度变化，各光学元件的相对位置关系就会发生变化。鉴于此，为了在各光学元件的相对位置关系发生变化时调节光路，可以考虑对MEMS(Micro Electro MechanicalSystems：微机电系统)镜等构成的光路调节器件进行反馈，或者能够将光波分复用器本身调节为恒定温度。但是，如上所述的方法中，产生光波分复用器大型化这样的问题、和光波分复用器的控制变得繁琐的问题。
本发明的主要目的在于实现一种不必需光路调节机能的光波分复用器。
用于解决课题的方法
本发明的结晶化玻璃板中，将30℃时的长度设为L、各温度时的长度(Lt)与30℃时的长度(L)之差设为ΔL时，－40℃～80℃的范围内的最大值ΔLmax与最小值ΔLmin之差除以L得到的值(ΔLmax－ΔLmin)/L在8×10-6以下。
本发明的结晶化玻璃板中，优选在－40℃～80℃的范围内存在ΔL/L的极大点和极小点。
本发明的结晶化玻璃的制造方法包括准备结晶性玻璃的工序和使结晶性玻璃结晶化而得到结晶化玻璃的结晶化工序。将结晶化工序中的最高温度控制为与所要得到的结晶化玻璃的热膨胀特性相对应的温度。
本发明的结晶化玻璃的制造方法中，优选设定结晶化工序中的最高温度，使得将结晶化玻璃的30℃时的长度设为L、各温度时的长度(Lt)与30℃时的长度(L)之差设为ΔL时，－40℃～80℃的范围内的最大值ΔLmax与最小值ΔLmin之差除以L得到的值(ΔLmax－ΔLmin)/L在8×10-6以下。
发明的效果
根据本发明，能够实现一种不必需光路调节机能的光波分复用器。
附图说明
图1是本发明的一个实施方式的结晶化玻璃的立体示意图。
图2是表示各实施例和各比较例中的ΔL/L的曲线图。
图3是表示结晶化工序中的最高温度与所得到的结晶化玻璃板的－40℃～80℃的范围内的最大值ΔLmax与最小值ΔLmin之差除以L得到的值(ΔLmax－ΔLmin)/L的关系的曲线图。
具体实施方式
以下，对实施本发明的优选方式的一例进行说明。但是，下述的实施方式仅仅用于例示。本发明不受下述实施方式任何限定。
(结晶化玻璃1)
图1是光波分复用器等中使用的结晶化玻璃1。其中，结晶化玻璃1例如优选为板状体，板状的结晶化玻璃通过将熔融玻璃成形为板状并结晶化而制得，或者通过将溶融玻璃成形为块状并使其结晶化后切割为板状并进行研磨而制得。
如上所述，在光波分复用器中，抑制各光学元件的相对位置关系伴随温度变化而发生变化变得至关重要。作为其解决方法，例如，可以考虑使用平均线热膨胀系数小的玻璃板。但是，本发明的发明人深入研究的结果发现，有时即使是平均线热膨胀系数小的玻璃板，也不能充分抑制各光学元件伴随温度变化的相对位置关系的变化。另外，本发明的发明人发现，其原因在于，即使平均线热膨胀系数小时，在特定的温度区域中的热膨胀量也增大。
这里，在结晶化玻璃1中，将30℃时的结晶化玻璃1的长度设为L、各温度时的结晶化玻璃1的长度(Lt)与30℃时的结晶化玻璃板1的长度(L)之差设为ΔL时，－40℃～80℃的范围内的最大值ΔLmax与最小值ΔLmin之差除以L得到的值(ΔLmax－ΔLmin)/L在8×10-6以下。因此，在作为光波分复用器的保证温度区域的－40℃～80℃的各温度下，结晶化玻璃1发生温度变化时的变形量小。因此，通过使用结晶化玻璃1，即使在温度变化时，各光学元件的相对位置关系也不易发生变化。因此，通过使用结晶化玻璃1，能够实现一种不必需光路调节机能的光波分复用器。
从更有效地抑制各光学元件伴随温度变化的相对位置关系的变化的观点出发，优选－40℃～80℃的范围内的(ΔLmax-ΔLmin)/L为6×10-6以下，更优选为5×10-6以下，进一步优选为3×10-6以下，最优选为2×10-6以下。
其中，硅的－40℃～80℃的范围内的(ΔLmax－ΔLmin)/L为300×10-6。石英玻璃的－40℃～80℃的范围内的(ΔLmax－ΔLmin)/L为34×10-6。含有β-石英固溶体作为主结晶的结晶化玻璃(日本电气硝子株式会社制Neoceram N-0)的－40℃～80℃的范围内的(ΔLmax－ΔLmin)/L为24×10-6。含有β-锂辉石固溶体作为主结晶的结晶化玻璃(日本电气硝子株式会社制Neoceram N-11)的－40℃～80℃的范围内的(ΔLmax－ΔLmin)/L为62×10-6。
另外，含有β-石英固溶体作为主结晶的结晶化玻璃(日本电气硝子株式会社制Neoceram N-0)的热膨胀系数在－40℃～80℃的温度范围内随着温度升高而单调减少。另一方面，含有β-锂辉石固溶体作为主结晶的结晶化玻璃(日本电气硝子株式会社制Neoceram N-11)的热膨胀系数在－40℃～80℃的温度范围内随着温度升高而单调增加。因此，在仅含有β-石英固溶体和β-锂辉石固溶体的任一种作为主结晶的结晶化玻璃中，难以减小－40℃～80℃的范围中的(ΔLmax－ΔLmin)/L。可以认为，通过含有β-石英固溶体和β-锂辉石固溶体双方作为主结晶，能够充分减小结晶化玻璃的－40℃～80℃的范围内的(ΔLmax－ΔLmin)/L。特别是可以认为，通过以在－40℃～80℃的范围内存在ΔL/L的极大点和极小点的比例含有β-石英固溶体和β-锂辉石固溶体双方作为主结晶，能够进一步减小结晶化玻璃的－40℃～80℃的范围内的(ΔLmax－ΔLmin)/L。
(结晶化玻璃1的制造方法)
结晶化玻璃1能够通过以下的要点制造。
首先，准备用于构成结晶化玻璃1的结晶性玻璃。接着，使该结晶性玻璃结晶化而得到结晶化玻璃1(结晶化工序)。
其中，结晶性玻璃优选具有能够析出β-石英固溶体和β-锂辉石固溶体双方的组成。具体而言，结晶性玻璃的优选的组成为，质量％计，SiO255～75％、Al2O320.5～27％、Li2O超过2并在8％以下、TiO21.5～3％、SnO20.1～0.5％、TiO2+ZrO23.8～5％、Li2O+0.741MgO+0.367ZnO 3.7～4.5％、SrO+1.847CaO 0.5％以下。
本发明的发明人深入研究的结果发现，通过使结晶化工序中的最高温度变化，能够使所得到的结晶化玻璃1的热膨胀系数和(ΔLmax－ΔLmin)/L发生变化。即，本发明的发明人发现，即使是相同组成的结晶性玻璃，通过使结晶化工序中的最高温度不同，能够得到(ΔLmax－ΔLmin)/L不同的结晶化玻璃1。因此，发现了可以根据所要得到的结晶化玻璃的热膨胀特性来选择结晶化工序中的最高温度。因此，在本实施方式中，优选设定结晶化工序中的最高温度，使得结晶化玻璃1的－40℃～80℃的范围内的(ΔLmax－ΔLmin)/L在8×10-6以下、更优选在6×10-6以下、进一步优选在5×10-6以下、更进一步优选在3×10-6以下、最优选在2×10-6以下。优选设定结晶化工序中的最高温度以使得析出β-石英固溶体和β-锂辉石固溶体双方。
这样，虽然通过使结晶化工序中的最高温度变化能够使所得到的结晶化玻璃1的(ΔLmax－ΔLmin)/L变化的理由尚不确定，但可以考虑以下的理由。即，可以认为，通过使结晶化工序中的最高温度变化，析出β-石英固溶体和β-锂辉石固溶体双方，它们的析出比例发生变化，其结果，(ΔLmax－ΔLmin)/L变化。
此外，在结晶化工序中，为了使β-石英固溶体和β-锂辉石固溶体双方容易析出，优选将最高温度－100℃～最高温度的加热速度设定为0.05℃/分钟～5℃/分钟。
以下，基于具体的实施例对本发明进行更加详细的说明，但是本发明不受以下的实施例任何限定，在不改变其要点的范围内能够适当变更来实施。
(实施例1)
配合原料，使得组成以质量％计SiO265.75％、Al2O322.3％、Li2O3.6％、MgO0.7％、TiO22.0％、ZrO22.2％、P2O51.4％、Na2O 0.35％、K2O 0.3％、BaO 1.2％、SnO20.2％，通过混合得到原料母料。将该原料母料以1600℃熔融24小时之后，进行辊制板，从而得到结晶性玻璃板。
接着，将所得到的结晶性玻璃板以最高温度为925℃、最高温度下的保持时间为30分钟、加热速度为1℃/分钟、冷却速度为1℃/分钟来进行热处理，由此使其结晶化，得到结晶化玻璃板。所得到的结晶化玻璃板的尺寸为300mm×300mm×5mm。
接着，测定所得到的结晶化玻璃板的－40℃～80℃的范围内的ΔL/L。将结果示于图2。
(实施例2)
除了将结晶化工序中的最高温度设定为930℃以外，与实施例1同样操作，制作结晶化玻璃板，测定所得到的结晶化玻璃板的－40℃～80℃的范围内的ΔL/L。将结果示于图2。
(实施例3)
除了将结晶化工序中的最高温度设定为935℃以外，与实施例1同样操作，制作结晶化玻璃板，测定所得到的结晶化玻璃板的－40℃～80℃的范围内的ΔL/L。将结果示于图2。
(比较例1)
作为比较例1，准备石英玻璃板，测定－40℃～80℃的范围内的ΔL/L。将结果示于图2。
(比较例2)
作为比较例2，准备硅板，测定－40℃～80℃的范围内的ΔL/L。将结果示于图2。
(比较例3)
准备仅含有β-石英固溶体作为主结晶的结晶化玻璃板(日本电气硝子株式会社制Neoceram N-0)，测定－40℃～80℃的范围内的ΔL/L。将结果示于图2。
(比较例4)
准备仅含有β-锂辉石固溶体作为主结晶的结晶化玻璃板(日本电气硝子株式会社制Neoceram N-11)，测定－40℃～80℃的范围内的ΔL/L。将结果示于图2。
(比较例5)
除了将结晶化工序中的最高温度设定为910℃以外，与实施例1同样操作，制作结晶化玻璃板，测定所得到的结晶化玻璃板的－40℃～80℃的范围内的ΔL/L。将结果示于图2。
(比较例6)
除了将结晶化工序中的最高温度设定为940℃以外，与实施例1同样操作，制作结晶化玻璃板，测定所得到的结晶化玻璃板的－40℃～80℃的范围内的ΔL/L。将结果示于图2。
另外，对于实施例1～3、比较例5和6中得到的结晶化玻璃板，求出－40℃～80℃的范围内的(ΔLmax－ΔLmin)/L。将结果示于图3。
根据图2和图3所示的结果可知，实施例1～3中，在－40℃～80℃的范围内的(ΔLmax－ΔLmin)/L低至6×10-6以下，并且，－40℃～80℃的范围内存在ΔL/L的极大点和极小点。并且可知通过使结晶化工序中的最高温度变化，能够使－40℃～80℃的范围内的(ΔLmax－ΔLmin)/L变化。
工业上的可利用性
本发明的结晶化玻璃不限于光波分复用器的基板用途，例如，也能够作为气隙测量器(air gap etalon)的间隔件、线性编码器位置测量(linear encoder positionscale)等的精密测量用的部件、精密仪器的构造部件、精密镜的基材使用。
符号说明
1…结晶化玻璃

Claims (3)

1.一种光波分复用器用结晶化玻璃的制造方法，其特征在于，包括：
准备结晶性玻璃的工序；和
使所述结晶性玻璃结晶化而得到结晶化玻璃的结晶化工序，其中，所述结晶化玻璃中，作为主结晶具有β-石英固溶体和β-锂辉石固溶体双方，
设定所述结晶化工序中的最高温度，使得将所要得到的结晶化玻璃的各温度时的长度Lt与30℃时的长度L之差设为ΔL时，－40℃～80℃的范围内的最大值ΔLmax与最小值ΔLmin之差除以L得到的值(ΔLmax－ΔLmin)/L在8×10-6以下，并且，将最高温度－100℃～最高温度的加热速度设定为0.05℃/分钟～5℃/分钟。
2.通过权利要求1所述的光波分复用器用结晶化玻璃的制造方法得到的光波分复用器用结晶化玻璃，其特征在于：
以质量％计，具有SiO2 55～75％、Al2O3 20.5～27％、Li2O超过2并在8％以下、TiO2 1.5～3％、SnO2 0.1～0.5％、TiO2+ZrO2 3.8～5％、Li2O+0.741MgO+0.367ZnO 3.7～4.5％、SrO+1.847CaO 0.5％以下的组成，并且作为主结晶具有β-石英固溶体和β-锂辉石固溶体双方，
将30℃时的长度设为L、各温度时的长度Lt与30℃时的长度L之差设为ΔL时，－40℃～80℃的范围内的最大值ΔLmax与最小值ΔLmin之差除以L得到的值(ΔLmax－ΔLmin)/L在8×10-6以下。
3.如权利要求2所述的光波分复用器用结晶化玻璃，其特征在于：
在－40℃～80℃的范围内存在ΔL/L的极大点和极小点。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016017435A1 (ja) * 2014-07-30 2016-02-04 日本電気硝子株式会社 結晶化ガラス

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1237546A (zh) * 1998-03-03 1999-12-08 株式会社小原 磁信息记录介质的玻璃—陶瓷基底

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10017701C2 (de) * 2000-04-08 2002-03-07 Schott Glas Gefloatetes Flachglas
JP2002154840A (ja) * 2000-11-16 2002-05-28 Nippon Electric Glass Co Ltd Ｌｉ２Ｏ−Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２系結晶化ガラス
EP1625099A2 (en) * 2003-04-01 2006-02-15 Corning Incorporated Lamp reflector substrate, glass, glass-ceramic materials and process for making the same
JP2006008488A (ja) * 2004-06-29 2006-01-12 Nippon Electric Glass Co Ltd 熱処理用セッター及びその製造方法、並びにガラス基板の熱処理方法
JP2006199538A (ja) 2005-01-20 2006-08-03 Huzhou Daikyo Hari Seihin Yugenkoshi Ｌｉ２Ｏ−Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２系結晶性ガラス及び結晶化ガラス並びにＬｉ２Ｏ−Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２系結晶化ガラスの製造方法。
US7943539B2 (en) 2005-01-31 2011-05-17 Kabushiki Kaisha Ohara Glass-ceramics and method for manufacturing the same
JP2006284955A (ja) 2005-03-31 2006-10-19 Nec Corp 光波長合分波器
FR2902421B1 (fr) * 2005-12-07 2008-11-07 Snc Eurokera Soc En Nom Collec Vitroceramiques de b quartz et/ou de b spodumene, verres precurseurs, articles en lesdites vitroceramiques, elaboration desdits vitroceramiques et articles
ES2306312T3 (es) * 2006-03-20 2008-11-01 Schott Ag Vidrio a base de silicato de litio y aluminio ceramizable, que contiene arsenico y antimonio, obtenido por flotacion y detectable optimamente.
JP4755135B2 (ja) * 2007-04-27 2011-08-24 株式会社オハラ 結晶化ガラス
JP5458532B2 (ja) * 2008-09-08 2014-04-02 日本電気硝子株式会社 Ｌａｓ系フロートガラス
JP2011157265A (ja) * 2010-01-08 2011-08-18 Nippon Electric Glass Co Ltd 結晶化ガラスの製造方法
EP2364957A1 (en) * 2010-02-26 2011-09-14 Corning Incorporated Glass ceramics with bulk scattering properties and methods of making them
JP6202775B2 (ja) * 2010-08-11 2017-09-27 日本電気硝子株式会社 Ｌｉ２Ｏ−Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２系結晶化ガラス
JP5935304B2 (ja) * 2010-12-27 2016-06-15 日本電気硝子株式会社 結晶化ガラス
JP2013121890A (ja) * 2011-12-12 2013-06-20 Nippon Electric Glass Co Ltd Ｌｉ２Ｏ−Ａｌ２Ｏ３−ＳｉＯ２系結晶化ガラス
FR2990690B1 (fr) * 2012-05-15 2016-01-01 Eurokera Vitroceramiques de quartz-beta, transparentes, essentiellement incolores et non diffusantes; articles en lesdites vitroceramiques; verres precurseurs

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1237546A (zh) * 1998-03-03 1999-12-08 株式会社小原 磁信息记录介质的玻璃—陶瓷基底

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