CN104984654A - 一种硅料酸洗机的废气回收装置及其废气回收方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及光伏技术领域，具体涉及一种硅料酸洗机的废气回收装置及其废气回收方法。本发明提供一种硅料酸洗机的废气回收装置，包括顶面设有第一排风管的第一反应槽，第一排风管与设置在第二反应槽侧壁的第一进风管连接，第二反应槽的顶面设有进水管，第二反应槽侧面设置的第二排风管与顶面设有第二进风管的第三反应槽连接，第三反应槽侧壁设置的第三排风管穿通第四反应槽的顶面且长度大于第四反应槽高度的1/2，第四反应槽通过排酸管与第二反应槽的底面连接，第四反应槽的侧壁和底面分别设有第四排风管和排酸口。本发明能有效降低废气的排出量、对废气进行有效的回收利用、实现稀硝酸的回收利用和降低对大气的污染。
Description
技术领域
本发明涉及光伏技术领域，具体涉及一种硅料酸洗机的废气回收装置及其废气回收方法。
背景技术
现有光伏行业中，对硅料的清洗是一项非常重要的工作，其目的是使硅料表面清洁无杂质污染，根据使用腐蚀液的不同，分为酸洗和碱洗两种，酸洗在规模生产中，一般采用氢氟酸和硝酸的混合液，在清洗硅料过程中，会出现大量的黄色烟雾，主要成分为氮的氧化物，如一氧化氮、二氧化氮，二氧化氮的量占到90％以上，由于这些气体对人体有极大的伤害，因此在后续处理中根据各个厂家情况的不同，有的进行了废气处理，而有的则直接排放到大气中，对大气造成了一定的污染。
中国专利202538505U公开了一种硅料浸泡次酸过滤回收装置，包括酸洗池(1)，其特在于，所述酸洗池(1)进口端设有过滤挡板网(2)，酸洗池(1)出口连接储酸池(6)，储酸池(6)进口端设有过滤篮(3)，所述储酸池(6)出口连接泵(7)。该专利结构不合理，回收的效果不好。
发明内容
为了克服现有技术中的缺陷，本发明提硅料酸洗过程中产生的废气进行回收转化，重新利用。
本发明是通过如下技术方案实现的一种硅料酸洗机的废气回收装置，所述废气回收装置包括顶面设有第一排风管的第一反应槽，所述第一排风管与设置在第二反应槽侧壁的第一进风管连接，所述第二反应槽的顶面设有进水管，所述第二反应槽侧面设置的第二排风管与顶面设有第二进风管的第三反应槽连接，所述第三反应槽侧壁设置的第三排风管穿通第四反应槽的顶面且长度大于所述第四反应槽高度的1/2，所述第四反应槽通过排酸管与第二反应槽的底面连接，所述第四反应槽的侧壁和底面分别设有第四排风管和排酸口。
进一步地，所述第一进风管与设置在第二反应槽内腔的导气管连接。
进一步地，所述导气管与第二反应槽的底面设有夹角。
进一步地，所述夹角大于150°。
进一步地，所述第二排风管设置在第二反应槽侧面的位置高于第二反应槽高度的1/2。
进一步地，所述第三排风管设置在第三反应槽侧壁的中下部。
进一步地，所述第四排风管设置在第四反应槽的侧壁中上部。
进一步地，硅料酸洗机的废气回收方法，其特征在于，所述废气回收方法包括以下步骤：
步骤1)在第一反应槽中使用浓度为65-68％的稀硝酸对硅料清洗，产生主要成分为NO2的NOX黄烟气；
步骤2)步骤1)中产生的主要成分为NO2的NOX黄烟气，通过第一排风管将所述NOX黄烟气输送到第二反应槽，在事先通入的去离子水中进行吸收，发生4NO2↑+O2↑+2H2O＝4HNO3反应，形成稀硝酸溶液，所述稀硝酸溶液通入到第四反应槽内；
步骤3)将步骤2)中未被吸收的含有NO和NO2的气体，通过第二排风管输送到第三反应槽内，所述第三反应槽通过第二进风管控制空气的进气量，使第三反应槽中的压强保持在1MPa，使空气中的氧气和NO进行充分的NO+O2＝NO2反应，将反应后生成NO2气体通入到第四反应槽的稀硝酸中进行吸收，形成浓度约为65％-67％的稀硝酸；
步骤4)将第四反应槽内进行回收的气体排出，所述气体中NOX含量约为180ppm。
与现有技术相比，优越效果在于：本发明通过对酸洗机改进的技术方案，有效降低了废气的排出量，同时对废气进行了有效的回收利用，实现了对稀硝酸的回收利用，同时降低了对大气的污染。
附图说明
图1为本发明所述硅料酸洗机的废气回收装置的结构示意图。
附图标记如下：
1-第一反应槽，2-第一排风管，3-第一进风管，4-第二反应槽，5-进水管，6-第二排风管，7-第三反应槽，8-第二进风管，9-第三排风管，10-第四反应槽，11-第四排风管，12-排酸管，13-导气管，14-排酸口。
图中箭头方向为气体流动方向。
具体实施方式
下面结合附图对本发明具体实施方式作进一步详细说明。
如图1所示，具体说明本发明提供一种硅料酸洗机的废气回收装置，包括顶面设有第一排风管2的第一反应槽1，所述第一排风管2与设置在第二反应槽4侧壁的第一进风管3连接，所述第二反应槽4的顶面设有进水管5，所述第二反应槽4侧面设置的第二排风管6与顶面设有第二进风管8的第三反应槽7连接，所述第三反应槽7侧壁设置的第三排风管9穿通第四反应槽10的顶面且长度大于所述第四反应槽10高度的1/2，所述第四反应槽10通过排酸管12与第二反应槽4的底面连接，所述第四反应槽10的侧壁和底面分别设有第四排风管11和排酸口14，所述第一进风管3与设置在第二反应槽4内腔的导气管13连接，所述导气管13与第二反应槽4的底面设有夹角，所述夹角大于150°，所述第二排风管6设置在第二反应槽4侧面的位置高于第二反应槽4高度的1/2，所述第三排风管9设置在第三反应槽7侧壁的中下部，所述第四排风管11设置在第四反应槽10的侧壁中上部。
本发明还提供了一种硅料酸洗机的废气回收方法，所述废气回收方法包括以下步骤：
步骤1)在第一反应槽1中使用浓度为65-68％的稀硝酸对硅料清洗，产生主要成分为NO2的NOX黄烟气；
步骤2)步骤1)中产生的主要成分为NO2的NOX黄烟气，通过第一排风管2将所述NOX黄烟气输送到第二反应槽4，在事先通入的去离子水(DI水)中进行吸收，发生4NO2↑+O2↑+2H2O＝4HNO3反应，形成稀硝酸溶液，所述稀硝酸溶液通入到第四反应槽10内；
步骤3)步骤2)中未被吸收的含有NO和NO2的气体，通过第二排风管6输送到第三反应槽7内，所述第三反应槽7通过第二进风管8控制空气的进气量，使第三反应槽7中的压强保持在1MPa，使空气中的氧气和NO进行充分的NO+O2＝NO2反应，将反应后生成NO2气体通入到第四反应槽10的稀硝酸中进行吸收，形成浓度约为65％-67％的稀硝酸；
步骤4)将第四反应槽10内进行回收的气体排出，所述气体中NOX含量约为180ppm。
本发明并不限于上述实施方式，在不背离本发明的实质内容的情况下，本领域技术人员可以想到的任何变形、改进、替换均落入本发明的保护范围。
Claims (8)
1.一种硅料酸洗机的废气回收装置，其特征在于，所述废气回收装置包括顶面设有第一排风管(2)的第一反应槽(1)，所述第一排风管(2)与设置在第二反应槽(4)侧壁的第一进风管(3)连接，所述第二反应槽(4)的顶面设有进水管(5)，所述第二反应槽(4)侧面设置的第二排风管(6)与顶面设有第二进风管(8)的第三反应槽(7)连接，所述第三反应槽(7)侧壁设置的第三排风管(9)穿通第四反应槽(10)的顶面且长度大于所述第四反应槽(10)高度的1/2，所述第四反应槽(10)通过排酸管(12)与第二反应槽(4)的底面连接，所述第四反应槽(10)的侧壁和底面分别设有第四排风管(11)和排酸口(14)。
2.根据权利要求1所述硅料酸洗机的废气回收装置，其特征在于，所述第一进风管(3)与设置在第二反应槽(4)内腔的导气管(13)连接。
3.根据权利要求2所述硅料酸洗机的废气回收装置，其特征在于，所述导气管(13)与第二反应槽(4)的底面设有夹角。
4.根据权利要求3所述硅料酸洗机的废气回收装置，其特征在于，所述夹角大于150°。
5.根据权利要求1所述硅料酸洗机的废气回收装置，其特征在于，所述第二排风管(6)设置在第二反应槽(4)侧面的位置高于第二反应槽(4)高度的1/2。
6.根据权利要求1所述硅料酸洗机的废气回收装置，其特征在于，所述第三排风管(9)设置在第三反应槽(7)侧壁的中下部。
7.根据权利要求1所述硅料酸洗机的废气回收装置，其特征在于，所述第四排风管(11)设置在第四反应槽(10)的侧壁中上部。
8.根据权利要求1所述硅料酸洗机的废气回收方法，其特征在于，所述废气回收方法包括以下步骤：
步骤1)在第一反应槽(1)中使用浓度为65-68％的稀硝酸对硅料清洗，产生主要成分为NO2的NOX黄烟气；
步骤2)步骤1)中产生的主要成分为NO2的NOX黄烟气，通过第一排风管(2)将所述NOX黄烟气输送到第二反应槽(4)，在事先通入的去离子水中进行吸收，发生4NO2↑+O2↑+2H2O＝4HNO3反应，形成稀硝酸溶液，所述稀硝酸溶液通入到第四反应槽(10)内；
步骤3)步骤2)中未被吸收的含有NO和NO2的气体，通过第二排风管(6)输送到第三反应槽(7)内，所述第三反应槽(7)通过第二进风管(8)控制空气的进气量，使第三反应槽(7)中的压强保持在1MPa，使空气中的氧气和NO进行充分的NO+O2＝NO2反应，将反应后生成NO2气体通入到第四反应槽(10)的稀硝酸中进行吸收，形成浓度约为65％-67％的稀硝酸；
步骤4)将第四反应槽(10)内进行回收的气体排出，所述气体中NOX含量约为180ppm。
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Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19807520A1 (de) * | 1998-02-21 | 1999-08-26 | Envital Umweltsysteme Gmbh | Verfahren zur Rückgewinnung von Fluorwasserstoff und von nitrosen Gasen aus Abluft |
| CN1425487A (zh) * | 2003-01-28 | 2003-06-25 | 南化集团研究院 | 一种用稀硝酸单级循环吸收尾气中氮氧化物的方法 |
| CN101274207A (zh) * | 2008-05-06 | 2008-10-01 | 林涛 | 一种含HCl工业废气的臭氧氧化脱硝方法 |
| US8123843B2 (en) * | 2007-10-17 | 2012-02-28 | Dow Global Technologies Llc | Rich gas absorption apparatus and method |
| KR20130063081A (ko) * | 2011-12-06 | 2013-06-14 | (주)기련이엔씨 | 흡수탑과 촉매 하이브리드 시스템을 이용한 고농도의 질소산화물의 처리방법 및 처리장치 |
| CN203425707U (zh) * | 2013-07-24 | 2014-02-12 | 浙江南化防腐设备有限公司 | 一种脱硝装置 |
| CN103877838A (zh) * | 2014-01-16 | 2014-06-25 | 湖北益泰药业有限公司 | 一种提高葡醛内酯生产中硝酸回收率的方法 |
| CN204996315U (zh) * | 2015-07-22 | 2016-01-27 | 光为绿色新能源股份有限公司 | 一种硅料酸洗机的废气回收装置 |
-
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Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19807520A1 (de) * | 1998-02-21 | 1999-08-26 | Envital Umweltsysteme Gmbh | Verfahren zur Rückgewinnung von Fluorwasserstoff und von nitrosen Gasen aus Abluft |
| CN1425487A (zh) * | 2003-01-28 | 2003-06-25 | 南化集团研究院 | 一种用稀硝酸单级循环吸收尾气中氮氧化物的方法 |
| US8123843B2 (en) * | 2007-10-17 | 2012-02-28 | Dow Global Technologies Llc | Rich gas absorption apparatus and method |
| CN101274207A (zh) * | 2008-05-06 | 2008-10-01 | 林涛 | 一种含HCl工业废气的臭氧氧化脱硝方法 |
| KR20130063081A (ko) * | 2011-12-06 | 2013-06-14 | (주)기련이엔씨 | 흡수탑과 촉매 하이브리드 시스템을 이용한 고농도의 질소산화물의 처리방법 및 처리장치 |
| CN203425707U (zh) * | 2013-07-24 | 2014-02-12 | 浙江南化防腐设备有限公司 | 一种脱硝装置 |
| CN103877838A (zh) * | 2014-01-16 | 2014-06-25 | 湖北益泰药业有限公司 | 一种提高葡醛内酯生产中硝酸回收率的方法 |
| CN204996315U (zh) * | 2015-07-22 | 2016-01-27 | 光为绿色新能源股份有限公司 | 一种硅料酸洗机的废气回收装置 |
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