CN104976365A - 真空阀 - Google Patents

真空阀 Download PDF

Info

Publication number
CN104976365A
CN104976365A CN201510153752.6A CN201510153752A CN104976365A CN 104976365 A CN104976365 A CN 104976365A CN 201510153752 A CN201510153752 A CN 201510153752A CN 104976365 A CN104976365 A CN 104976365A
Authority
CN
China
Prior art keywords
valve
seal
housing
vacuum valve
vacuum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201510153752.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104976365B (zh
Inventor
M.基恩雷奇
M.内特泽
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
VAT Holding AG
Original Assignee
VAT Holding AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by VAT Holding AG filed Critical VAT Holding AG
Publication of CN104976365A publication Critical patent/CN104976365A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104976365B publication Critical patent/CN104976365B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/02—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces with screw-spindle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/32—Details
    • F16K1/34—Cutting-off parts, e.g. valve members, seats
    • F16K1/42—Valve seats
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/32—Details
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/32—Details
    • F16K1/34—Cutting-off parts, e.g. valve members, seats
    • F16K1/36—Valve members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/02—Construction of housing; Use of materials therefor of lift valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
    • F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
    • F16K31/1221—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston one side of the piston being spring-loaded
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K41/00—Spindle sealings
    • F16K41/10—Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube
    • F16K41/103—Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube the diaphragm and the closure member being integrated in one member
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations

Abstract

本发明涉及一种真空阀，其包括：带有第一壳体件(1a)和第二壳体件(1b)的阀壳体(1)，在壳体件之间布置有环状的壳体密封件(3b)；和封闭元件(9)，其可在真空阀被打开的打开位置与真空阀被关闭的关闭位置之间调节。壳体密封件(3b)被安装在环状的支架(3a)处。此外，在支架(3a)处径向上在壳体密封件(3b)内安装有环状的阀座密封件(3c)，封闭元件(9)在封闭元件(9)的关闭位置中被按压在阀座密封件(3c)处，其中，阀座密封件(3c)贴靠在阀壳体(1)的密封面处。

Description

真空阀
技术领域
本发明涉及一种真空阀，其包括：带有第一壳体件和第二壳体件的阀壳体，在壳体件之间布置有环状的壳体密封件；和封闭元件(Verschlussglied)，其可在真空阀被打开的打开位置与真空阀被关闭的关闭位置之间调节。
背景技术
多件式地构造真空阀的阀壳体且通过弹性密封圈(其也被称为“静态密封件”)将各个壳体件相对彼此密封是已知且常见的。在此，阀壳体的壳体盖大多被构造为单独的部分，其经由密封件与阀壳体的基体相连接，以便使真空阀的装配和必要时服务的执行成为可能或容易。
例如，这样的真空阀可以以角阀的形式构造，如其此外由文件US 6,669,170 B2、US 6,289,932 B1、DE 40 23 845 C1、US 2009/0194728 A1、DE 10 2005 004 987 A1、DE 10 2008 003 725 A1和DE 31 25 034 A1已知的那样。但是例如滑阀或L形阀也以该形式来构造。在滑阀中，封闭元件被直线地从其打开位置推到其关闭位置中或承载封闭元件的支架件被直线地从起始位置推到最终位置中，其中，在最终位置中或靠近最终位置作用有杆元件或分叉元件，其将封闭元件相对于支架件的运动方向有角度地按压到阀座处。这样的滑阀大多数仅具有单个的移动支架件的促动器或也可通过手动驱动器来操纵。尤其板状构造的封闭元件的L形运动也可通过单独的在阀杆的纵向和横向上起作用的促动器来实施或者阀杆可首先被直线地推动且然后例如通过滑块引导(Kulissenfuehrung)被翻倾，以便将封闭元件靠放到阀座处。
由文件DE 37 17 724 A1得悉一种真空阀，在其中阀壳体“沿纵向”被两分，使得这两个壳体半部中的每个具有阀开口中的一个，其中，这两个壳体半部经由密封圈相互连接。
也已知将阀壳体的至少一个法兰(其具有阀开口)构造为单独的部件且与阀壳体的基体经由弹性的密封圈相连接。这样的构造例如由文件GB 990,624得悉。在此，相对基体借助于密封圈密封的法兰中的一个也具有密封面，在真空阀的关闭状态中封闭元件以布置在其处的弹性密封圈(=真空阀的“动态密封件”)被按压到该密封面处。
在传统的真空阀中，动态密封件大多数被安装在封闭元件处且阀座由密封面来形成，封闭元件以布置在其处的密封件在真空阀的关闭状态中贴靠在该密封面处。但是还已知在密封座处设置弹性的密封件，封闭元件在关闭位置中以封闭元件的密封面贴靠在其处。
由文件WO 2012/162051 A1已知经由薄的接片连接两个或更多个O形圈，接片与O形圈材料一体地来构造。O形圈由此可彼此如此靠近地来布置，从而未留有足够空间用于构造用于所有O形圈的燕尾槽。在此，插入燕尾槽中的O形圈可保持至少另一被插入矩形槽中的O形圈。
发明内容
本发明的目的是提供一种开头所提及的类型的可成本有利地构造的且可简单地装配的真空阀。根据本发明，这通过一种带有权利要求1的特征的真空阀来实现。
在根据本发明的真空阀中，壳体密封件(其布置在第一与第二壳体件之间的壳体密封件且将它们相对彼此密封)被安装在环状的支架处。此外，在支架处径向上在壳体密封件内安装有环状的阀座密封件，封闭元件在其关闭位置中被按压在该阀座密封件处。在此，阀座密封件贴靠在阀壳体的密封面处。尤其地，这两个由壳体密封件密封的壳体件中的一个具有密封面。在封闭元件的关闭位置中，封闭元件通过阀座密封件相对阀壳体来密封。
在根据本发明的真空阀中，因此设置有接下来也被称为密封单元的构件，其一方面具有壳体密封件(其形成在阀壳体的两个壳体件之间的静态密封件)、另一方面具有阀座密封件(其形成在真空阀的关闭状态中密封通过真空阀的通道的动态密封件)。阀座密封件与壳体件的密封面(阀座密封件置于其上)共同形成真空阀的阀座。
在根据本发明的真空阀中可使简单的装配过程成为可能，其中，壳体密封件和阀座密封件是共同的构件的部件，由此实现简单的操作。此外，阀壳体可在密封座的区域中非常简单地来构造、尤其具有平的密封面(阀座密封件贴靠在其处)。
在一可能的构造形式中，壳体密封件和阀座密封件被固化到支架(其在该实施形式中优选地由金属构成)处。在此，支架具有大于壳体密封件和阀座密封件的弹性模量。在另一可能的实施形式中，壳体密封件和阀座密封件被喷注到支架处，其中，支架由必要时包含添加剂(如强化纤维)的塑料构成，其具有比构成壳体密封件和阀座密封件的材料更大的弹性模量。在两个实施形式中，如果壳体密封件在支架的整个外周缘上径向向外伸出超过支架而阀座密封件在支架的整个内周缘上径向向内伸出超过支架，是有利的。
在本发明的一有利的实施形式中，真空阀以角阀的形式来构造且第一和第二壳体件(壳体密封件处于它们之间)由阀壳体的基体和阀壳体的具有阀开口的部分形成。阀壳体的具有阀开口的该部分设有用于将真空阀与另外的真空构件、例如腔室或真空管连接的法兰。在此，密封面(阀座密封件贴靠在其处)有利地布置在具有阀开口的第二壳体件处且围绕阀开口的轴线。
附图说明
接下来根据附图来阐述本发明的另外的优点和细节。其中：
图1显示了根据本发明的真空阀的一实施例的斜视图；
图2显示了图1的真空阀的侧视图；
图3显示了在封闭元件的打开位置中沿着图2的线AA的剖面；
图4显示了在封闭元件的关闭位置中沿着图2的线AA的剖面；
图5显示了密封单元的斜视图；
图6和图7显示了密封单元的视图和侧视图；
图8显示了沿着图6的线BB的剖面；
图9显示了沿着图6的线CC的剖面；
图10显示了根据本发明的第二实施例的真空阀的斜视图；
图11显示了图10的真空阀的侧视图；
图12显示了在封闭元件的打开位置中沿着图11的线DD的剖面；
图13显示了在封闭元件的关闭位置中沿着图11的线DD的剖面；
图14显示了对图10的真空阀的俯视图；
图15显示了在封闭元件的关闭位置中沿着图14的线EE的剖面；
图16 显示了分解图示。
附图标记清单
1 阀壳体
1a 壳体件
1b 壳体件
2 螺栓
3 密封单元
3a 支架
3b 壳体密封件
3c 阀座密封件
3d 轴线
4 阀座
5 阀开口
6 阀开口
7 轴线
8 轴线
9 封闭元件
10 关闭方向
11 联接法兰
12 连接法兰
13 联接法兰
14 缸体
14a 底部
15 促动器
17 凹部
18 活塞
19 活塞杆
20 阀杆
21 导向套
22 闭合弹簧
23 缸体室
24 穿通孔
25 盒管
26 密封圈
27 旋转件
28 旋转轴线
29 第一驱动件
30 第二驱动件
31 止挡
32 壳体盖
33 标记环
34 环形凸缘
35 止挡
36 螺母。
具体实施方式
根据本发明的真空阀的第一实施例在图1至9中示出。
真空阀具有阀壳体1。其在该实施例中包括第一壳体件1a(其构造真空阀的基体)和第二壳体件1b(其具有带有轴线7的阀开口5)。第一和第二壳体件1a、1b借助于环状的壳体密封件3b(其在下面进一步更精确地来说明)相互密封。
具有阀开口5的第二壳体件1b具有联接法兰11。真空阀可经由该联接法兰与另外的真空构件、例如真空腔或真空管相连接。联接法兰11布置在壳体件1b的管状的截段处。在它的面向壳体件1a的端部处，壳体件1b具有用于与壳体件1a连接的连接法兰12。壳体件1b也可被称为阀接管(Ventilstutzen)。
形成阀壳体的基体的壳体件1a设有与阀壳体的基体一件式地构造的或设有被焊接到基体处的阀接管。该阀接管具有带有轴线8的真空阀的另一阀开口6且包括管状的截段和布置在管状的截段的自由端处的用于将真空阀与另外的真空构件连接的联接法兰13。
壳体件1a、1b例如由铝构成。例如，由优质钢构造也是可能的。
在该实施例中，气动的活塞缸体单元的缸体14被安放到壳体件1a的敞开侧上。该活塞缸体单元是用于自动地(机械地)调节封闭元件9的促动器15。因此，缸体14的封闭壳体件1a的敞开侧的底部14a同样可被视为以壳体盖的形式的阀壳体1的壳体件。缸体14的该底部14a然而在该实施例中处于真空阀的真空区域之外，如下面进一步更精确地来阐述的那样。
真空阀的所示的实施例以角阀的形式来构造。因此，第一和第二阀开口5、6的轴线7、8彼此成角度、尤其成直角。
使用螺栓2用于连接壳体件1a、1b。其贯穿在壳体件1a中的钻孔(其在图1至4中不可见、但是以与在第二实施例中类似的方式来构造，参见图15)。
螺栓2的头部和/或被置入其下的垫圈搭接连接法兰12且因此将壳体件1b拉向壳体件1a。壳体件1a具有凹部17，连接法兰12被插入其中。凹部17的底部有利地成阶梯形地构造且具有第一截段(连接法兰12置于其上)和相对于此凹入的第二截段(壳体密封件3d置于其上)。在壳体件1a、1b的相连接的状态中，连接法兰12的外表面(至少在由螺栓2和垫圈(倘若存在)所搭接的区域中)优选地与壳体件1a的外表面的联接到连接法兰12处的、被由螺栓2和垫圈(倘若存在)遮盖的截段齐平。
螺栓2被拧入缸体14的内螺纹中。作为替代，其也可贯穿通过缸体14的钻孔且被拧入抵靠缸体14支撑的螺母中。
通过所说明的构造来实现壳体件1a与壳体件1b且还与缸体14的非常简单的连接。
壳体件1b的管状的截段也可取消且联接法兰11可直接布置在连接法兰12处。
壳体件1a的连接接管同样可由单独的部件来形成，其经由旋拧与壳体件1a相连接。管状的截段(联接法兰13布置在其处)也可取消而联接法兰13可直接布置在阀壳体1的基体处。
在阀壳体1中布置有尤其板状构造的封闭元件9。在真空阀的关闭的(密封的)状态中，封闭元件9占据其关闭位置且被按压到阀座4处，参见图4。阀座4由在该实施例中布置在第二壳体件1b处的密封面和置于该密封面上的环状的阀座密封件3c形成。锁闭连杆9具有优选地平面地构造的密封面，封闭元件以该密封面贴靠在阀座密封件3c处。阀座密封件3c是在下面进一步更精确地来阐述的密封单元3的部分。
壳体件1b的密封面(阀座密封件3c贴靠在其处)有利地平面地来构造且优选地处在垂直于第二壳体件1b的阀开口5的轴线7的平面中。
在真空阀的完全打开的状态中，封闭元件9占据打开位置且被从阀座4提起，参见图3。
在该实施例中，已提及的、构造成气动的活塞缸体单元的形式的促动器15用于打开和关闭真空阀。在缸体14中布置有活塞18，其与封闭元件9相连接。为了将活塞18与封闭元件9连接，在活塞18处安装有活塞杆19，其具有外螺纹且被拧入安装在封闭元件9处的阀杆20的内螺纹中。活塞杆19也可具有内螺纹且被拧到阀杆20的外螺纹上。活塞杆和阀杆19、20也可一件式地来构造。封闭元件9能够可松开地例如经由旋拧与阀杆20相连接或不可分地安装在其处。
在该实施例中，阀杆20由导向套21(其被安装在缸体14的底部14a处、例如与它一件式地来构造)可移动地来引导。
在该实施例中，在封闭元件9与缸体14之间作用有闭合弹簧。在缸体14的无压力的状态中，封闭元件9被闭合弹簧22压向阀座4且真空阀被关闭。为了打开真空阀，以压缩空气来加载缸体室23且活塞18将封闭元件9逆着闭合弹簧22的力从阀座4取下。
作为替代，也可使用双重作用的活塞18或者例如可将在活塞18与缸体的底部14a之间起作用的开启弹簧与单重作用到相反方向上的活塞一起使用。
在该实施例中使用盒管25用于密封阀杆20通过阀壳体1的穿引部。作为替代，弹性的密封圈例如也可布置在阀杆20与导向套21之间。
盒管25例如如所示出的那样以波纹盒管的形式来构造。在此，波纹在附图中仅在盒管25的两个端部截段中示出。盒管也可构造为折叠盒管或薄膜盒管。
折叠盒管的一端与封闭元件9真空密封地相连接、优选地被焊接到其处。另一端与阀壳体1真空密封地相连接、例如借助于被焊接的法兰环和被插入法兰环与壳体件1a之间的密封圈26。盒管25限制位于阀壳体1的内腔中的真空区域，其在真空阀的被装入真空设备中的状态中可抽真空。
如已提及的那样，在图5至9中示出的密封单元3包括环状的、尤其圆环状的壳体密封件3b和环状的、尤其圆环状的阀座密封件3c。壳体密封件3b和阀座密封件3c被安装在共同的环状的、尤其圆环状的支架3a处。在此，壳体密封件3b径向上处于阀座密封件3c之外且优选地与其相间隔。
支架3a由与构成壳体密封件3b的弹性材料且与构成阀座密封件3c的弹性材料不同的材料构成。
壳体密封件3b和阀座密封件3c优选地由相同的弹性材料构成。
构成支架3a的材料的弹性模量优选地比构成壳体密封件3b的材料的弹性模量至少大4倍且优选地比构成阀座密封件3c的材料至少大4倍。
该密封单元有利地自承载地构造。
在所示的实施例中，壳体密封件3b在支架3a的外周缘的整个延伸上径向向外伸出超过支架3a的外周缘而阀座密封件3c在支架3a的内周缘的整个延伸上径向向内伸出超过支架3a的内周缘，尤其参见图8和9。
为了使在支架3a与密封面(阀座密封件3c置于其上)之间的空间能够通风，支架3a设有穿通孔24。
如所示出的那样，阀座密封件3c可具有比壳体密封件3b更大的在密封单元3的轴线3d的方向上所测量的厚度。
壳体密封件3b和阀座密封件3c关于轴线3d在两个轴向上伸出超过支架3a。有利地，支架3a以平面的盘的形式来构造。
为了制造密封单元3，在一可能的构造形式中壳体密封件3b和阀座密封件3c被固化到支架3a处。壳体密封件3b和阀座密封件3c例如可由FKM(氟橡胶)或FFKM构成。支架3a在该构造形式中优选地由金属、例如铝或优质钢构成。
在另一可能的构造形式中，壳体密封件3b和阀座密封件3c被喷注到支架3a处。在该情况中，壳体密封件3b和阀座密封件3c由可喷注的材料、例如聚氨酯构成。优选地，支架3a在该情况中同样具有塑料作为基础材料、尤其可喷注的塑料。因此，支架3a同样可以以注塑方法来制造。例如，支架3a可由纤维强化的、尤其玻璃纤维强化的聚丙烯酰胺构成，其中，纤维份额优选地处于20%至60%的范围中、特别优选地处于50%。
为了装配真空阀，将密封单元3插入壳体件1a、1b之间。另外，包括促动器15和封闭元件9以及盒管25的单元被安放到带有被插入其间的密封圈26的壳体件1a上。此外，螺栓2被拧入。
第二实施例在图10至16中示出。
除了下面所说明的区别之外，根据该第二实施例的真空阀的构造相应于之前所说明的第一实施例。尤其地，密封单元3相同地来构造且其在壳体件1a、1b之间的布置相应于第一实施例的布置。
根据第二实施例的真空阀又以角阀的形式来构造。为了封闭元件9在其打开位置与其关闭位置之间的调节，此处但是设置有手动驱动器。在此，使旋转件27围绕旋转轴线28旋转。旋转件27与螺栓螺纹共同作用，其包括与旋转件27相连接的第一驱动件29和与封闭元件9相连接的第二驱动件30。驱动件中的一个、此处第一驱动件29具有外螺纹，其与另一驱动件、此处第二驱动件30的内螺纹处于螺纹接合中。闭合弹簧22在其关闭位置的方向上加载封闭元件9(不管封闭元件是处在其打开位置还是处在其关闭位置中)。在封闭元件9的打开位置中，旋转件27支撑在固定在阀壳体处的止挡31处。该止挡31例如布置在从壳体盖32伸出的管件处。在该实施例中，壳体盖32代替缸体14封闭壳体件1a的敞开侧。壳体盖32此处具有导向套21，其可轴向移动地引导杆状的第二驱动件30。
如果在通过旋转旋转件27关闭真空阀时封闭元件9驶到阀座4处且接着使旋转件27在相同的旋转方向上继续旋转，则旋转件27可从止挡31抬起，参见图13。然后有利地标记环33变得可见，标记环指示到达封闭元件9的关闭位置。通过使旋转件27的环形凸缘34驶到止挡35处，尤其参见图15，关闭位置的到达也以触觉方式被告知用户。止挡35有利地构造成使得其在超过作用到其上的力的极限值的情况下屈服，使得环形凸缘34可在其处驶过。由此来限制可由手动驱动器最大施加到阀座密封件3c上的力。由此避免阀座密封件3c的过高的应力负荷。
根据第二实施例的真空阀的装配以与在第一实施例中类似的方式实现。代替包括促动器15的单元，此处包括壳体盖32、带有旋转件27的手动驱动器和与其相连接的封闭元件9的单元被安放到壳体件1a上。该单元与壳体件1a(其中，密封圈26被置入其间)以及壳体件1a、1b(其中，密封单元3的壳体密封件3b被置入其间)的连接又借助于螺栓2实现，此处螺母36被拧到螺栓2上。
所示的实施例的不同的变型是可考虑的且可能的，而不不离开本发明的范围。由此，为了操纵封闭元件9也可使用与所示的驱动器不同的驱动器。根据本发明的构造在不同于角阀的真空阀中也是可考虑的且可能的，例如在滑阀或L形阀中。在所说明的实施例中，为了打开和关闭真空阀使封闭元件9线性移动。封闭元件的调节的其它形式也是可考虑的且可能的，例如封闭元件可通过L形的运动被引导到阀座处，例如通过阀杆的移动和接着的翻倾或借助于分叉元件(其在封闭元件与可线性移动的支撑单元之间起作用)。

Claims (11)

1. 一种真空阀，其包括：带有第一壳体件(1a)和第二壳体件(1b)的阀壳体(1)，在所述壳体件之间布置有环状的壳体密封件(3b)；和封闭元件(9)，其能够在所述真空阀被打开的打开位置与所述真空阀被关闭的关闭位置之间调节，其特征在于，所述壳体密封件(3b)被安装在环状的支架(3a)处并且此外在所述支架(3a)处径向上在所述壳体密封件(3b)内安装有环状的阀座密封件(3c)，所述封闭元件(9)在所述封闭元件(9)的关闭位置中被按压在所述阀座密封件(3c)处，其中，所述阀座密封件(3c)贴靠在所述阀壳体(1)的密封面处。
2. 根据权利要求1所述的真空阀，其特征在于，所述支架(3a)由与构成所述壳体密封件(3b)的弹性材料且与构成所述阀座密封件(3c)的弹性材料不同的材料构成。
3. 根据权利要求2所述的真空阀，其特征在于，所述支架(3a)具有大于所述壳体密封件(3b)和所述阀座密封件(3c)的弹性模量。
4. 根据权利要求3所述的真空阀，其特征在于，所述支架(3a)的弹性模量比所述壳体密封件(3b)的弹性模量和所述阀座密封件(3c)的弹性模量至少大4倍。
5. 根据权利要求1至4中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述第二壳体件(1b)具有密封面，所述阀座密封件(3c)贴靠在其处。
6. 根据权利要求1至5中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述第二壳体件(1b)具有带有轴线(7)的阀开口(5)，并且所述阀座密封件(3c)所贴靠的密封面围绕所述阀开口(5)的轴线(7)。
7. 根据权利要求1至6中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述支架(3a)以平面的盘的形式来构造。
8. 根据权利要求1至6中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述壳体密封件(3b)在所述支架(3a)的整个外周缘上径向向外伸出超过所述支架(3a)而所述阀座密封件(3c)在所述支架(3a)的整个内周缘上径向向内伸出超过所述支架(3a)。
9. 根据权利要求1至8中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述支架(3a)在处于所述壳体密封件(3b)与所述阀座密封件(3c)之间的区域中具有至少一个穿通孔(24)。
10. 根据权利要求1至9中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述壳体密封件(3b)和所述阀座密封件(3c)被固化到所述支架(3a)处。
11. 根据权利要求1至10中任一项所述的真空阀，其特征在于，所述壳体密封件(3b)和所述阀座密封件(3c)被喷注到所述支架(3a)处。
CN201510153752.6A 2014-04-02 2015-04-02 真空阀 Active CN104976365B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
ATA241/2014 2014-04-02
AT2412014 2014-04-02

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104976365A true CN104976365A (zh) 2015-10-14
CN104976365B CN104976365B (zh) 2019-06-21

Family

ID=54209410

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510153752.6A Active CN104976365B (zh) 2014-04-02 2015-04-02 真空阀

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9851012B2 (zh)
JP (1) JP6594006B2 (zh)
KR (1) KR102270597B1 (zh)
CN (1) CN104976365B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107304742A (zh) * 2016-04-18 2017-10-31 罗伯特·博世有限公司 用于控制介质、尤其是燃料的控制阀

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9913577B2 (en) 2010-09-28 2018-03-13 Obp Medical Corporation Speculum
US9867602B2 (en) 2015-02-05 2018-01-16 Obp Medical Corporation Illuminated surgical retractor
US10420538B2 (en) 2015-02-05 2019-09-24 Obp Medical Corporation Illuminated surgical retractor
US10881387B2 (en) 2015-06-03 2021-01-05 Obp Medical Corporation Retractor
US10939899B2 (en) 2015-06-03 2021-03-09 Obp Medical Corporation End cap assembly for retractor and other medical devices
CN108348229A (zh) 2015-06-03 2018-07-31 Obp医学公司 牵开器
US20170292633A1 (en) 2016-04-11 2017-10-12 Mks Instruments, Inc. Actively cooled vacuum isolation valve
US10722621B2 (en) 2016-07-11 2020-07-28 Obp Medical Corporation Illuminated suction device
US20180021100A1 (en) * 2016-07-19 2018-01-25 Obp Medical Corporation Surgical retractor
TWI751273B (zh) * 2017-02-15 2022-01-01 瑞士商Ｖａｔ控股股份有限公司 真空閥
KR101966876B1 (ko) * 2017-04-14 2019-04-08 한국항공우주연구원 밸브
AT519939A1 (de) * 2017-05-08 2018-11-15 Vat Holding Ag Führungseinrichtung für einen Membranbalg
US10687793B2 (en) 2017-07-18 2020-06-23 Obp Medical Corporation Minimally invasive no touch (MINT) procedure for harvesting the great saphenous vein (GSV) and venous hydrodissector and retractor for use during the MINT procedure
US10278572B1 (en) 2017-10-19 2019-05-07 Obp Medical Corporation Speculum
US10512519B2 (en) 2018-02-20 2019-12-24 Obp Medical Corporation Illuminated medical devices
US10799229B2 (en) 2018-02-20 2020-10-13 Obp Medical Corporation Illuminated medical devices
JP7213258B2 (ja) * 2018-03-22 2023-01-26 バット ホールディング アーゲー 安全装置、少なくとも１つの安全装置を備えたウェハ輸送容器、安全装置を備えた安全システムおよび方法
US10774943B2 (en) * 2018-04-17 2020-09-15 Mac Valves, Inc. Modular valve with O-ring valve set
USD911521S1 (en) 2019-02-19 2021-02-23 Obp Medical Corporation Handle for medical devices including surgical retractors
JP7313169B2 (ja) * 2019-03-19 2023-07-24 株式会社キッツエスシーティー 真空ベローズホットバルブ
USD904607S1 (en) 2019-05-07 2020-12-08 Obp Medical Corporation Nasal retractor
DE102019130157A1 (de) * 2019-11-08 2021-05-12 Vat Holding Ag Vakuumventil
US10959609B1 (en) 2020-01-31 2021-03-30 Obp Medical Corporation Illuminated suction device
US10966702B1 (en) 2020-02-25 2021-04-06 Obp Medical Corporation Illuminated dual-blade retractor
CN114811153A (zh) * 2021-01-21 2022-07-29 米洛创新(深圳)有限公司 集成盒及气动高真空挡板阀
US20230287993A1 (en) * 2022-03-09 2023-09-14 Pfeiffer Vacuum Technology AG Vacuum valve

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1947257A (en) * 1933-04-25 1934-02-13 Goodrich Co B F Valve structure
US2108256A (en) * 1936-05-13 1938-02-15 Mine Safety Appliances Co Breathing apparatus
US2599767A (en) * 1946-04-01 1952-06-10 Joe G Long Rubber seal joint
US2973978A (en) * 1957-08-21 1961-03-07 North American Aviation Inc Bimaterial back-up ring
DE29707063U1 (de) * 1997-04-21 1997-06-05 Kroll & Ziller Kg Flanschdichtung
US5678595A (en) * 1995-12-21 1997-10-21 Benkan Corporation Vacuum exhaust valve
CN2599332Y (zh) * 2003-03-04 2004-01-14 蒋武 可更换密封面的截止阀
DE102010060685A1 (de) * 2010-11-19 2012-05-24 Kempchen Leuna Gmbh Elastomer-Metall-Dichtring

Family Cites Families (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US541714A (en) * 1895-06-25 Brake-pipe coupling
US2481214A (en) 1945-02-01 1949-09-06 Joseph J Harper Valve
GB990624A (en) 1960-09-06 1965-04-28 Vacuum Res Cambridge Ltd Improvements in and relating to fluid control valve structures
US3863668A (en) * 1971-11-12 1975-02-04 Fansteel Inc Lined fluid fixture
CH600223A5 (zh) 1975-07-01 1978-06-15 Vat Ag
DE3125034A1 (de) 1981-06-26 1983-01-27 Siegfried 9469 Haag Schertler "ventil, insbesondere fuer vakuumanlagen"
JPS639568U (zh) * 1986-07-07 1988-01-22
DE3717724A1 (de) 1987-05-26 1988-12-08 Schertler Siegfried Ventilschieber mit einem schiebergehaeuse
US5188150A (en) * 1988-06-09 1993-02-23 Esplin Trevor T Valve assembly
US5011162A (en) * 1989-07-20 1991-04-30 Parker Hannifin Corporation Bi-lobed sealing element and retainer
DE4023845C1 (en) 1990-07-27 1992-04-02 Vat Holding Ag, Haag, Ch Shut-off valve for semiconductor producinvacuum equipment - has valve disc pressed against valve seal by actuator and seal between disc and seat
NZ255478A (en) * 1992-09-04 1996-05-28 Raychem Sa Nv Seal: pliant gel carried by elastomeric o-ring
US5427358A (en) 1994-06-23 1995-06-27 Fisher Controls International, Inc. Sweep flow valve with removable valve seat
US5533543A (en) * 1995-01-19 1996-07-09 Johnson Worldwide Associates, Inc. Poppet seat for air regulating devices
US6003551A (en) * 1995-07-14 1999-12-21 Fisher Controls International, Inc. Bidirectional fluid control valve
DK1071901T3 (da) * 1998-04-11 2003-06-30 Tuchenhagen Gmbh Løfteventil
US6289932B1 (en) 1999-06-28 2001-09-18 Nor-Cal Products, Inc. Dual port soft start valve
CH695247A5 (de) 2000-06-16 2006-02-15 Balzers Hochvakuum Vakuumventil
US6761360B2 (en) * 2000-07-07 2004-07-13 Parker-Hannifin Corporation Interference-fit retainer gasket
JP3602421B2 (ja) * 2000-08-28 2004-12-15 Ｓｍｃ株式会社 流体切換弁
JP2004003541A (ja) * 2002-05-31 2004-01-08 Saginomiya Seisakusho Inc 弁装置用弁座部材および電磁制御弁
JP4117549B2 (ja) * 2003-02-14 2008-07-16 旭有機材工業株式会社 真空レギュレータ
JP4171900B2 (ja) * 2003-05-19 2008-10-29 Ｓｍｃ株式会社 真空調圧用バルブ
WO2005024281A1 (ja) * 2003-08-27 2005-03-17 Koganei Corporation 方向制御弁
JP2005098378A (ja) * 2003-09-24 2005-04-14 Smc Corp ガスケット
US7011294B1 (en) 2004-09-08 2006-03-14 Vat Holding Ag Vacuum valve
DE102005004987B8 (de) 2005-02-02 2017-12-14 Vat Holding Ag Vakuumventil
JP4884949B2 (ja) * 2006-12-12 2012-02-29 株式会社堀場製作所 真空バルブユニット
DE102008003725A1 (de) 2008-01-09 2009-07-16 Vse Vacuum Technology Vakuum-Ventil mit Dichtring
US20090194728A1 (en) 2008-02-05 2009-08-06 Evan Pickett Wide-Body Pneumatic Valve having Internalized Valve Actuator
US9349621B2 (en) 2011-05-23 2016-05-24 Lam Research Corporation Vacuum seal arrangement useful in plasma processing chamber
EP2914888B1 (en) * 2012-10-31 2017-05-31 Parker Hannifin Corporation Pump/compressor valve seat
CN202992212U (zh) 2012-12-27 2013-06-12 厦门盈硕科机械制造有限公司 一种真空角阀
EP2816265A1 (en) * 2013-06-18 2014-12-24 Egmo Ltd. Valve sealing assembly
KR102259116B1 (ko) * 2014-04-02 2021-06-01 배트 홀딩 아게 진공밸브

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1947257A (en) * 1933-04-25 1934-02-13 Goodrich Co B F Valve structure
US2108256A (en) * 1936-05-13 1938-02-15 Mine Safety Appliances Co Breathing apparatus
US2599767A (en) * 1946-04-01 1952-06-10 Joe G Long Rubber seal joint
US2973978A (en) * 1957-08-21 1961-03-07 North American Aviation Inc Bimaterial back-up ring
US5678595A (en) * 1995-12-21 1997-10-21 Benkan Corporation Vacuum exhaust valve
DE29707063U1 (de) * 1997-04-21 1997-06-05 Kroll & Ziller Kg Flanschdichtung
CN2599332Y (zh) * 2003-03-04 2004-01-14 蒋武 可更换密封面的截止阀
DE102010060685A1 (de) * 2010-11-19 2012-05-24 Kempchen Leuna Gmbh Elastomer-Metall-Dichtring

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107304742A (zh) * 2016-04-18 2017-10-31 罗伯特·博世有限公司 用于控制介质、尤其是燃料的控制阀

Also Published As

Publication number Publication date
US20150285382A1 (en) 2015-10-08
US9851012B2 (en) 2017-12-26
JP6594006B2 (ja) 2019-10-23
JP2015197221A (ja) 2015-11-09
KR102270597B1 (ko) 2021-06-29
KR20150114889A (ko) 2015-10-13
CN104976365B (zh) 2019-06-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104976365A (zh) 真空阀
US3040712A (en) Cylinder, piston and rod assembly
CN102713388A (zh) 用于封闭开口的门
JP2007191056A (ja) タイヤ空気圧導入装置
CN205101653U (zh) 耐高温快关式截止阀
CN105408640B (zh) 由流体促动的膜片驱动装置
CN105889585A (zh) 新型全量型安全阀
ITUB20152916A1 (it) Dispositivo di deviazione di un fluido
CN205841596U (zh) 一种扭力气弹簧
CN203703162U (zh) 耐高温蝶阀
CN206845951U (zh) 一种快开阀芯
CN206347115U (zh) 一种截止阀
CN208871071U (zh) 主汽门阀杆结构
CN205859029U (zh) 一种任意可锁定装置的压缩气弹簧
CN211852836U (zh) 一种新型蝶阀
CN205331451U (zh) 一种带有自补偿功能的偏心蝶阀结构
CN210949963U (zh) 一种节流阀的高密封结构
CN203477529U (zh) 一种截止阀
CN106641282A (zh) 一种截止阀
CN204387353U (zh) 一种大口径扩径蝶阀
CN203067641U (zh) 双油封三体稳中心导向防渗漏气弹簧
CN103615544A (zh) 直启多密封角式截止阀
CN202733007U (zh) 一种新型密封蝶阀
CN210290770U (zh) 轴流阀
CN108426044A (zh) 双阀体芯管阀

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant