CN104964679B - 陀螺仪传感器和电子设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供实现了小型化的陀螺仪传感器和电子设备。陀螺仪传感器具有：第1质量部，具有第1检测部；第2质量部，具有第2检测部；第1驱动部，使第1质量部在第1轴的方向上振动；力转换部，由锚部固定，第1质量部和第2质量部由力转换部连接，力转换部以锚部为轴进行移位，使第2质量部在平面视图中与第1轴交叉的第2轴的方向上振动，陀螺仪传感器具有：第3质量部，在第1轴上与第1质量部相对，且具有第3检测部；以及第2驱动部，使第3质量部在与第1质量部相反的第1轴的方向上振动，力转换部连接在第2质量部与第3质量部之间，并且，利用第1质量部和第3质量部的第1轴的方向的振动，使第2质量部在第2轴的方向上振动。

Description

陀螺仪传感器和电子设备

本发明专利申请是发明名称为“陀螺仪传感器和电子设备”、申请日为2012年05月17日、申请号为“201210153320.1”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及陀螺仪传感器和使用该陀螺仪传感器的电子设备。

背景技术

近年来，在汽车导航系统和摄像机的抖动校正等的姿势控制中，大量使用检测角速度的陀螺仪传感器。在这种陀螺仪传感器中，存在如下的传感器：在各轴具有能够检测绕着相互垂直的X轴、Y轴、Z轴的角速度的检测元件。

专利文献1所公开的陀螺仪传感器是检测相对于相互垂直的第1～第3检测轴的角速度的多轴角速度传感器，具有检测相对于第1检测轴的角速度的第1振动型角速度传感器元件、检测相对于第2检测轴的角速度的第2振动型角速度传感器元件、检测相对于第3检测轴的角速度的第3振动型角速度传感器元件、控制第1～第3振动型角速度传感器元件的IC以及收纳第1～第3振动型角速度传感器元件和IC的封装。在该陀螺仪传感器中，第1振动型角速度传感器元件的振动平面与第1检测轴平行，第2振动型角速度传感器元件的振动平面与第2检测轴平行，第3振动型角速度传感器元件的振动平面与第3检测轴垂直，实现薄型化。

专利文献1：日本特开2010-266321号公报

但是，现有的陀螺仪传感器检测绕3个轴的角速度，所以，当在芯片内排列各轴时，存在如下问题：安装面积增大，无法实现伴随器件整体小型化的要求的传感器元件的进一步小型化。

并且，振动按照每个轴的角速度传感器而独立，所以，必须按照每个角速度传感器设置驱动电路，单独需要集成电路(IC)，安装面积增大，难以使传感器小型化。并且，按照多个角速度传感器存在振动模式，所以，存在相互干涉的问题。

发明内容

为了解决上述现有技术的问题点，本发明的目的在于，提供实现了小型化的陀螺仪传感器。

本发明正是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，可以作为以下应用例来实现。

[应用例1]一种陀螺仪传感器，其特征在于，该陀螺仪传感器具有：第1质量部，其具有第1检测部；第2质量部，其具有第2检测部；第1驱动部，其使所述第1质量部在第1轴的方向上振动；以及力转换部，其由锚部固定，所述第1质量部和所述第2质量部由所述力转换部连接，所述力转换部以所述锚部为轴进行移位，使所述第2质量部在平面视图中与所述第1轴交叉的第2轴的方向上振动，所述陀螺仪传感器具有：第3质量部，其在所述第1轴上与所述第1质量部相对，且具有第3检测部；以及第2驱动部，其使所述第3质量部在与所述第1质量部相反的所述第1轴的方向上振动，所述力转换部连接在所述第2质量部与所述第3质量部之间，并且，利用所述第1质量部和所述第3质量部的所述第1轴的方向的振动，使所述第2质量部在所述第2轴的方向上振动。

根据上述结构，能够通过力转换部进行位移，使得第1轴的方向的驱动在第2轴的方向上振动。由此，能够使多个质量部的驱动部共同化，所以，能够实现传感器整体的小型化。

此外，改善了振动平衡，能够增大从第1轴的方向的振动向第2轴的方向的振动的转换，能够提高Q值。

[应用例2]根据应用例1所述的陀螺仪传感器，其特征在于，所述陀螺仪传感器具有第4质量部，该第4质量部在所述第2轴上与所述第2质量部相对，且具有第4检测部，所述力转换部连接在所述第3质量部与所述第4质量部之间以及所述第1质量部与所述第4质量部之间，所述力转换部利用所述第1质量部和所述第3质量部的所述第1轴的方向的振动，使所述第2质量部在所述第2轴的方向上振动，并且使所述第4质量部在与所述第2质量部相反的所述第2轴的方向上振动。

根据上述结构，能够使第1质量部和第3质量部、或第2质量部和第4质量部在相互相反的方向上驱动振动，即使施加例如角速度以外的加速度等物理量，也能够通过差动检测来抵消加速度成分，能够提高角速度检测的精度。

[应用例3]一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有应用例1所述的陀螺仪传感器。

根据上述结构，得到具有使多轴检测用的驱动部共同化来实现小型化，且能够高精度地检测角速度的陀螺仪传感器的电子设备。

附图说明

图1是示出本发明的陀螺仪传感器的概略结构的说明图。

图2是示出力转换部的概略结构的说明图。

图3是力转换部的作用的说明图。

图4是对绕X轴作用的旋转进行检测的说明图，(1)是立体图，(2)是(1)的a-a剖面图。

图5是对绕Y轴作用的旋转进行检测的说明图，(1)是立体图，(2)是(1)的b-b剖面图。

图6是对绕Z轴作用的旋转进行检测的说明图。

图7是力转换部的变形例1的说明图。

图8是力转换部的变形例1的作用的说明图。

图9是力转换部的变形例2的说明图。

图10是力转换部的变形例2的作用的说明图。

图11是示出本申请发明的变形例的说明图。

图12是应用了具有本发明的陀螺仪传感器的电子设备的手机的说明图。

标号说明

10：陀螺仪传感器；12：振动系统结构体；20：第2质量部；21：第2突起部；22：第2检测部；24：第2框体；25：空洞部；26a、26b：移位板；27a、27b：旋转轴；28：固定部；30：第4质量部；32：驱动弹簧部；40：第1质量部；41：第1突起部；42、42a、42b：第1检测部；44：第1框体；45a、45b：空洞部；46、46a、46b：移位板；47a、47b：旋转轴；50：内框部；52：弹簧部；54：第1弹簧部；56：第2弹簧部；57：检测部；58：可动电极；59：固定电极；60：第3质量部；62：固定部；64：驱动弹簧部；66：驱动弹簧部；70：驱动部；70a、70b：第1驱动部；70c、70d：第2驱动部；80、80a、80b：力转换部；82：第1锚梁；84：第2锚梁；86：梁(旋转体)；88：第2连接梁；89：第1连接梁；90、91、92、93：锚部；94：连结弹簧；95：第1连结弹簧部；96：第2连结弹簧部；100：旋转体；102：空洞部；104：弹簧；106：第2连接梁；108：第1连接梁；200：旋转体；202：第2连接梁；204：第1连接梁；206：弹簧；500：手机；502：操作按钮；504：接听口；506：发送口；508：显示部。

具体实施方式

下面，参照附图详细说明本发明的陀螺仪传感器和电子设备的实施方式。图1是示出本发明的陀螺仪传感器的概略结构的说明图。另外，在各图中，为了便于说明，作为相互垂直的3个轴，图示了X轴、Y轴、Z轴。并且，在本实施方式中，将与X轴(第1轴)平行的方向称为X轴方向，将与Y轴(第2轴)平行的方向称为Y轴方向，将与Z轴(第3轴)平行的方向称为Z轴方向。

图1所示的陀螺仪传感器10将在振动系统结构体12上形成的如下部分作为主要的基本结构：第1质量部40，其具有第1检测部，该第1检测部对在平面视图中与第1轴垂直的第2轴的绕轴移位进行检测(Y轴旋转检测)，并且对分别与第1轴和第2轴垂直的第3轴的绕轴移位进行检测(Z轴旋转检测)；第2质量部20，其具有对第1轴的绕轴移位进行检测(X轴旋转检测)的第2检测部；第3质量部60，其在第1轴方向上与第1质量部40相对，并且具有第1检测部；第4质量部30，其在第2轴方向上与第2质量部20相对，并且具有第2检测部；驱动部70，其具有在第1轴方向上驱动第1质量部40的第1驱动部和使第3质量部60在与第1质量部40相反的第1轴方向上振动的第2驱动部；4个力转换部80，其连接第1质量部～第4质量部的相邻的质量部彼此；锚部90，其固定力转换部80；以及驱动弹簧部。另外，移位例如包含基于旋转运动的移位。

作为基板的振动系统结构体12以硅为主要材料而构成，通过在硅基板(硅晶片)上使用薄膜形成技术(例如外延生长技术、化学气相生长技术等沉积技术)或各种加工技术(例如干蚀刻、湿蚀刻等蚀刻技术)加工成期望的外形形状，所述各部形成为一体。或者，也可以在对硅基板和玻璃基板进行贴合后，仅将硅基板加工成期望的外形形状，从而形成所述各部。振动系统结构体12的主要材料为硅，由此，能够实现优良的振动特性，并且能够发挥优良的耐久性。并且，能够应用硅半导体器件制作中使用的精密加工技术，能够实现陀螺仪传感器10的小型化。

首先，说明对绕第1轴(X轴)作用的旋转进行检测的部分。

如图1所示，设于第2质量部20的能够对绕X轴作用的旋转进行检测的第2检测部22具有第2框体24和移位板26a、26b。

第2框体24在内侧具有空洞部25，在以Z轴为法线的平面视图中为大致矩形的框体。第2框体24使在以Z轴为法线的平面视图中与Y轴交叉的侧面与驱动弹簧部32连接。

在第2框体24的空洞部25中设置一对移位板26a、26b。移位板26a、26b利用旋转轴27a、27b连结在第2框体24的与Y轴方向平行的侧面。旋转轴27a、27b形成在从各移位板26a、26b的重心偏移的位置。旋转轴27a、27b均以旋转方向沿着Y轴方向的方式设置。旋转轴27a、27b在施加了移位时，绕该轴扭转变形，使移位板26a、26b在Z轴方向上旋转。并且，移位板26a、26b被安装成，以基于重力(Z轴方向的移位)的旋转方向相对于旋转轴27a、27b为相互相反的方向的方式旋转。换言之，旋转轴27a、27b从移位板26a、26b的重心偏移的方向与旋转轴27a、27b从移位板26a、26b的重心偏移的方向是相互相反的方向。在与移位板26a、26b相对的部位，隔开规定间隔设置下部电极(未图示)。

第4质量部30采用与第2质量部20相同的结构，具有能够对绕X轴(第1轴)作用的旋转进行检测的第2检测部22。第2质量部20和第4质量部30被安装成在Y轴上相对。在第2质量部20和第4质量部30的外侧形成驱动弹簧部32。驱动弹簧部32连结第2框体24和固定部28。驱动弹簧部32由一对驱动弹簧部32a、32b构成，各驱动弹簧部32a、32b呈在X轴方向上往返且在Y轴方向上延伸的形状。并且，在以Z轴为法线的XY平面视图中，驱动弹簧部32a、32b相对于与振动系统结构体12的中心C相交的X轴对称地设置。通过使各驱动弹簧部32a、32b为这种形状，能够抑制第2质量部20和第4质量部30向X轴方向和Z轴方向变形，并且能够使其在Y轴方向上顺畅地伸缩。

接着，说明对绕第2轴(Y轴)和绕第3轴(Z轴)作用的旋转进行检测的部分。具体而言，说明设于第1质量部40的能够对绕Y轴或/和绕Z轴作用的旋转进行检测的第1检测部42。

首先，能够对绕Y轴作用的旋转进行检测的第1检测部42a如图1所示，在第1框体44的空洞部45a设置一对移位板46a、46b。移位板46a、46b利用旋转轴47a、47b连结在第1框体44的与X轴方向平行的侧面。旋转轴47a、47b形成在从各移位板46a、46b的重心偏移的位置。旋转轴47a、47b均以旋转方向沿着X轴方向的方式设置。旋转轴47a、47b在施加了移位时，绕该轴扭转变形，使移位板46a、46b在Z轴方向上旋转。并且，移位板46a、46b被安装成，以基于重力(Z轴方向的移位)的旋转方向相对于旋转轴47a、47b为相互相反的方向的方式旋转。换言之，旋转轴47a、47b从移位板46a、46b的重心偏移的方向与旋转轴47a、47b从移位板46a、46b的重心偏移的方向是相互相反的方向。在与移位板46a、46b相对的部位，隔开规定间隔设置下部电极(未图示)。

能够对绕Z轴作用的旋转进行检测的第1检测部42b如图1所示，在第1框体44内设置有内框部50、弹簧部52以及检测部57。

内框部50设于第1框体44的空洞部45b，外周由第1框体44包围。内框部50在以Z轴为法线的平面视图中为大致矩形的框体，使与Y轴交叉的侧面经由弹簧部52与第1框体44连接。

弹簧部52由第1弹簧部54和第2弹簧部56构成。第1弹簧部54由一对第1弹簧部54a、54b构成，各第1弹簧部54a、54b呈在X轴方向上往返且在Y轴方向上延伸的形状。并且，在以Z轴为法线的平面视图中，第1弹簧部54a、54b相对于与第1框体44的中心D相交的X轴对称地设置。通过使各第1弹簧部54a、54b为这种形状，能够抑制第1弹簧部54向X轴方向和Z轴方向变形，并且能够使其在检测方向即Y轴方向上顺畅地伸缩。并且，相对于与第1检测部42b的中心D相交的Y轴，第2弹簧部56的结构与第1弹簧部54对称地设置，第2弹簧部56由一对第2弹簧部56a、56b构成。通过使各第2弹簧部56a、56b为这种形状，能够抑制第2弹簧部56向X轴方向和Z轴方向变形，并且能够使其在检测方向即Y轴方向上顺畅地伸缩。

检测部57由可动电极58和固定电极59构成。可动电极58沿着作为驱动方向的X轴方向使两端与内框部50连接，以相邻的电极彼此隔开规定间隔的方式设置多个。固定电极59在可动电极58之间的间隙中沿着作为驱动方向的X轴方向设置，固定在下部基板(未图示)的锚上。这种可动电极58和固定电极59形成为交替配置的梳齿状。上述结构的检测部57通过未图示的电源对电极施加电压，由此，在各可动电极58与各固定电极59之间产生静电力。当内框部50在Y轴方向上移位时，可动电极58接近或远离固定电极59，由此，静电电容变化。能够检测该静电电容的变化从而求出Y轴方向的移位量。

第3质量部60采用与第1质量部40相同的结构，具有能够对绕Y轴或/和绕Z轴作用的旋转进行检测的第1检测部42。第1质量部40和第3质量部60被安装成在X轴上相对。在第1质量部40和第3质量部60的外侧设置驱动弹簧部64、66。驱动弹簧部64、66连结第1框体44和固定部62。驱动弹簧部64由一对驱动弹簧部64a、64b构成，各驱动弹簧部64a、64b呈在Y轴方向上往返且在X轴方向上延伸的形状。并且，在以Z轴为法线的平面视图中，驱动弹簧部64a、64b相对于与第1框体44的中心C相交的Y轴对称地设置。通过使各驱动弹簧部64a、64b为这种形状，能够抑制驱动弹簧部64向Y轴方向和Z轴方向变形，并且能够使其在驱动方向A即X轴方向上顺畅地伸缩。

并且，相对于与第1框体44的中心C相交的X轴，驱动弹簧部66的结构与驱动弹簧部64对称地设置，驱动弹簧部66由一对驱动弹簧部66a、66b构成。通过使各驱动弹簧部66a、66b为这种形状，能够抑制驱动弹簧部66向Y轴方向和Z轴方向变形，并且能够使其在驱动方向即X轴方向上顺畅地伸缩。

另外，第1质量部40和第3质量部60也可以构成为，具有能够对绕Y轴和Z轴作用的旋转进行检测的第1检测部42a、42b中的任意一方。

驱动部70具有使第1框体44在X轴方向上以规定频率振动的功能。即，驱动部70使第1框体44以重复在+X轴方向上移位的状态、和在-X轴方向上移位的状态的方式振动。驱动部70由未图示的驱动电极和固定电极构成，在与Y轴交叉的侧面设置一个。除此之外，只要是能够使第1框体在X方向上振动的结构即可，如果构成为设置在与Y轴交叉的两侧面，则能够进行更加稳定的驱动运动。固定电极具有隔着驱动电极在X轴方向上相对配置的梳齿状的一对电极片。这种结构的驱动部70通过未图示的电源对电极片施加电压，由此，在各驱动电极与各电极片之间产生静电力，使驱动弹簧部伸缩，并且使第1框体44以规定频率在X轴方向上振动。另外，驱动部70可以应用静电驱动方式、压电驱动方式或利用了磁场的洛伦兹力的电磁驱动方式等。

驱动部70在第1质量部40的与Y轴方向交叉的侧面安装一对第1驱动部70a、70b，在第3质量部60的与Y轴方向交叉的侧面安装一对第2驱动部70c、70d。第1质量部40的驱动部70a、70b和第3质量部60的驱动部70c、70d施加相位错开180度的交变电压，由此，在各驱动电极与各电极片之间分别产生静电力。当驱动弹簧部64、66在X轴方向上伸缩时，第1质量部40和第3质量部60能够以相互相反的相位且以规定频率在X轴方向上振动。另外，第1驱动部70a、70b仅形成任意一方即可。第2驱动部70c、70d也同样。

力转换部80设置在第2质量部20与第1质量部40之间、第1质量部40与第4质量部30之间、第4质量部30与第3质量部60之间、第3质量部60与第2质量部20之间。图2是示出力转换部的概略结构的说明图。图2所示的力转换部80示出连接在第2质量部20与第1质量部40之间的结构。力转换部80具有：第1锚梁82，其从锚部90起在第1轴方向延伸；第2锚梁84，其从锚部90起在第2轴方向延伸；梁(旋转体)86，其连接所述第1锚梁82的端部和所述第2锚梁84的端部，且刚性比所述第1锚梁82和所述第2锚梁84的刚性大；第1连接梁89，其连接梁86和第1质量部40或第3质量部60；以及第2连接梁88，其连接梁86和第2质量部20或第4质量部30。

锚部90是固定力转换部80的部件，与下部基板(未图示)粘接固定。第1锚梁82的一端与锚部90连接，另一端在X轴方向上延伸。第2锚梁84的一端与锚部90连接，另一端在Y轴方向上延伸。第1锚梁82和第2锚梁84的另一端与作为旋转体的梁86连接。梁86形成为圆弧状，刚性比第1锚梁82和第2锚梁84的刚性大。第2质量部20在与Y轴交叉的侧面形成有第2突起部21。第2突起部21沿着Y轴方向延伸。第1质量部40在与X轴交叉的侧面形成有第1突起部41。第1突起部41沿着X轴方向延伸。第2连接梁88与梁86的端部和第2突起部21连接。第1连接梁89与梁86的端部和第1突起部41连接。另外，在第1突起部41、第2突起部21的前端设有梁连接用的突起。

图3是力转换部的作用的说明图，(1)示出初始状态，(2)示出在+X轴方向上移动的状态。当(1)所示的初始状态的第1质量部在+X轴方向(箭头A)上移动时，力转换部80以锚部90为轴，在刚性高的梁86维持形状的状态下，与第1锚梁82和第2锚梁84一起在箭头B的方向上旋转。第1连接梁89以与第2锚梁84连接的一侧从初始状态起向+Y轴方向弯曲的方式变形。另一方面，第2连接梁88与第2突起部21一起在箭头C方向上移动，与第2锚梁84连接的一侧向-X轴方向弯曲。

下面，说明上述结构的本发明的陀螺仪传感器10的作用。

一般地，科里奥利力能够如公式1那样表示。

Fcori＝2mv×Ω

其中，Fcori表示科里奥利力，m表示质量，v表示速度，Ω表示角速度。

图4是对绕X轴作用的旋转进行检测的说明图，(1)是立体图，(2)是(1)的a-a剖面图。通过驱动部在驱动方向A上驱动第1质量部和第3质量部。此时，驱动部在相互相反的方向上驱动所述第1质量部和所述第3质量部。经由力转换部与第1质量部和第3质量部连接的第2质量部20和第4质量部30以锚部为轴，使驱动方向A的振动移位而在Y轴方向上振动。

然后，在输入了X轴方向的绕轴角速度(Ωx)的情况下，科里奥利力作用在±Z轴方向上(箭头E)。当科里奥利力作用在Z轴方向上时，移位板26a、26b接近或远离下部电极，由此，静电电容变化。通过检测该静电电容的变化来求出Z轴方向的科里奥利力，由此，能够对绕X轴作用的旋转进行检测。第2质量部和第4质量部的Y轴方向的振动频率与第1质量部和第3质量部的振动频率一致。并且，第2质量部和第4质量部经由力转换部与第1质量部和第3质量部连接，所以，不需要在第2质量部和第4质量部上设置驱动部。因此，能够使多轴检测用的驱动部共同化，实现了传感器整体的小型化。

图5是对绕Y轴作用的旋转进行检测的说明图，(1)是立体图，(2)是(1)的b-b剖面图。通过驱动部在驱动方向A上驱动第1质量部40和第3质量部60。然后，在输入了Y轴方向的绕轴角速度(Ωy)的情况下，科里奥利力作用在±Z轴方向上(E)。当科里奥利力作用在Z轴方向上时，移位板46a、46b接近或远离下部电极，由此，静电电容变化。通过检测该静电电容的变化来求出Z轴方向的科里奥利力，由此，能够对绕Y轴作用的旋转进行检测。

图6是对绕Z轴作用的旋转进行检测的说明图。通过驱动部在驱动方向A上驱动第1质量部40和第3质量部60。然后，在输入了Z轴方向的绕轴角速度(Ωz)的情况下，科里奥利力作用在±Y轴方向上(箭头F)。当科里奥利力作用在Y轴方向上时，可动电极58接近或远离固定电极59，由此，检测部57检测到静电电容变化。通过检测该静电电容的变化来求出Y轴方向的科里奥利力，由此，能够对绕Z轴作用的旋转进行检测。

根据这种陀螺仪传感器10，能够使多轴检测用的驱动部共同化，能够实现传感器整体的小型化。

图7是力转换部的变形例1的说明图。图7所示的力转换部示出连接在第1质量部40与第2质量部20之间的结构。如图所示，变形例1的力转换部80a具有：旋转体100，其具有空洞部102；作为锚梁的弹簧104，其以能够伸缩的方式连接在配置在所述空洞部102中的锚部91与空洞部102的侧面之间；第2连接梁106，其连接所述旋转体100的一端和所述第2质量部20；以及第1连接梁108，其连接所述旋转体100的一端和所述第1质量部40。

在以Z轴为法线的平面视图中，旋转体100是在中心部具有比锚部91还大的空洞部102的大致矩形的部件，刚性比第1连接梁108和第2连接梁106的刚性高。在空洞部102中，以十字状安装配置在空洞部内的锚部91和能够伸缩的弹簧104。第2连接梁106的一端与旋转体100连接，另一端沿着Y轴方向延伸而与第2突起部21连接。第1连接梁108的一端与旋转体100连接，另一端沿着X轴方向延伸而与第1突起部41连接。

图8是力转换部的变形例1的作用的说明图，(1)示出初始状态，(2)示出在+X轴方向上移动的状态。当(1)所示的初始状态的第1质量部如(2)所示在+X轴方向(箭头A)上移动时，第1连接梁108与第1突起部41一起在+X轴方向上移动，与第1连接梁108连接的旋转体100使弹簧104弯曲，以锚部91为轴，如箭头G所示旋转。第1连接梁108向接近第1突起部41的方向弯曲。伴随旋转体100的旋转，与该旋转体100连接的第2连接梁106向+Y轴方向移动。第2连接梁106向远离第2突起部21的方向弯曲。然后，与第2连接梁106连接的第2突起部21向+Y轴方向移动(箭头C)。

图9是力转换部的变形例2的说明图。图9所示的力转换部80b示出连接在第1质量部40与第2质量部20之间的结构。如图所示，变形例2的力转换部80b具有旋转体200、第2连接梁202、第1连接梁204、弹簧206，并且，锚部92以旋转体200为中心相对地配置一对。

在以Z轴为法线的平面视图中，旋转体200是大致矩形的部件，刚性比第2连接梁202和第1连接梁204的刚性高。第2连接梁202的一端与旋转体200连接，另一端沿着Y轴方向延伸而与第2突起部21连接。第1连接梁204的一端与旋转体200连接，另一端沿着X轴方向延伸而与第1突起部41连接。弹簧206以能够伸缩的方式在穿过一对锚部92的直线上连接所述锚部92与旋转体200之间。

图10是力转换部的变形例2的作用的说明图，(1)示出初始状态，(2)示出在+X轴方向上移动的状态。当(1)所示的初始状态的第1质量部如(2)所示在+X轴方向(箭头A)上移动时，第1连接梁204与第1突起部41一起在+X轴方向上移动，与第1连接梁204连接的旋转体200使弹簧206弯曲，以锚部92为轴，如箭头H所示旋转。第1连接梁204向接近第1突起部41的方向弯曲。伴随旋转体200的旋转，与该旋转体200连接的第2连接梁202向+Y轴方向移动。第2连接梁202向远离第2突起部21的方向弯曲。与第2连接梁202连接的第2突起部21向+Y轴方向移动(箭头C)。

并且，如图7～图10所示，旋转体为矩形状，由此，能够增大以锚部为轴的旋转移位，能够增大将第1轴方向的振动转换为第2轴方向的振动的振动效率。

另外，在图1中，将第2质量部20和第4质量部30配置在第1质量部40与第3质量部60之间，但是，也可以将第2质量部20和第4质量部30配置在第1质量部40和第3质量部60的外侧。

图11是示出本申请发明的变形例的说明图。如图所示，与图1的结构的不同之处在于，在第1质量部40与第3质量部60之间形成连结弹簧94。其他结构采用与图1相同的结构，标注同一标号并省略详细说明。连结弹簧94由穿过配置在振动系统结构体12的中心C的锚部93并在X轴方向上延伸的第1连结弹簧部95、穿过锚部93并在Y轴方向上延伸的第2连结弹簧部96构成。第1连结弹簧部95是具有规定刚性的一对支承片，一端分别与第1质量部40和第3质量部60连接，另一端与第2连结弹簧部96连接。第2连结弹簧部96配置在构成第1连结弹簧部95的一对支承片之间。第2连结弹簧部96在中心与锚部93连接。第2连结弹簧部96在Y轴方向上延伸，刚性比第1连结弹簧部95的刚性小。因此，当第1连结弹簧部95在X轴方向上振动时，第2连结弹簧部96容易挠曲变形。

通过设置这种结构的连结弹簧94，具有如下优点：在将第1质量部40和第3质量部60的X轴方向的振动转换为第2质量部20和第4质量部30的Y轴方向的振动时，难以产生扭转。

图12是应用了具有本发明的陀螺仪传感器的电子设备的手机的说明图。如图所示，手机500具有多个操作按钮502、接听口504和发送口506，在操作按钮502与接听口504之间配置有显示部508。在这种手机500中内置有作为角速度检测单元发挥功能的陀螺仪传感器10。

Claims (3)

1.一种陀螺仪传感器，其特征在于，该陀螺仪传感器具有：

第1质量部，其具有第1检测部；

第2质量部，其具有第2检测部；

第1驱动部，其使所述第1质量部在第1轴的方向上振动；以及

力转换部，其由锚部固定，

所述第1质量部和所述第2质量部由所述力转换部连接，

所述力转换部以所述锚部为轴进行移位，使所述第2质量部在平面视图中与所述第1轴交叉的第2轴的方向上振动，

所述陀螺仪传感器具有：

第3质量部，其在所述第1轴上与所述第1质量部相对，且具有第3检测部；以及

第2驱动部，其使所述第3质量部在所述第1轴的方向上向与所述第1质量部的振动方向相反的方向振动，

所述力转换部连接在所述第2质量部与所述第3质量部之间，

并且，利用所述第1质量部和所述第3质量部的所述第1轴的方向的振动，使所述第2质量部在所述第2轴的方向上振动。

2.根据权利要求1所述的陀螺仪传感器，其特征在于，

所述陀螺仪传感器具有第4质量部，该第4质量部在所述第2轴上与所述第2质量部相对，且具有第4检测部，

所述力转换部连接在所述第3质量部与所述第4质量部之间以及所述第1质量部与所述第4质量部之间，

所述力转换部利用所述第1质量部和所述第3质量部的所述第1轴的方向的振动，使所述第2质量部在所述第2轴的方向上振动，并且使所述第4质量部在所述第2轴的方向上向与所述第2质量部的振动方向相反的方向振动。

3.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有权利要求1所述的陀螺仪传感器。