一种用于IGBT模块的基板及IGBT模块的封装方法
技术领域
本发明主要涉及到IGBT的制作领域,特指一种适用于大功率IGBT模块的基板及IGBT模块的封装方法。
背景技术
IGBT是一种大功率半导体器件,其中文名称是:绝缘栅双极型晶体管。它是一种可通过外部信号控制其开通和关断的器件。所以在大功率电气、电力、电子领域,IGBT可以在电路起开关(Switch)作用,通过特定的电路,可以达到改变电流方向的作用。当IGBT在通大电流时,会因本身的通态阻抗而发热;当IGBT开通、关断时,因为高电压和大电流会有瞬时的重叠,也会产生热量。如果不能将热量有效散出,那么IGBT的温度就会逐渐上升,导致超过极限温度而发生失效。为了避免这种情况,IGBT必须要有良好的散热通道。如图9所示,基板1就是这样一个通道。基板1在制备时,先由SiC粉末堆积成均匀的多孔隙结构的预制件,如图1预制件纵剖面所示。然后将液态铝合金浸渗到预制件中,形成AlSiC材料(铝碳化硅),如图2所示。之所以选择AlSiC材料做基板1,是因为在所有热膨胀系数与Si材料比较接近的材料中,AlSiC材料的热阻、硬度都比较合适。参见图9,IGBT的芯片4被安装在基板1上,组成一个模块。模块使用前,要被安装在散热器上,基板1就是直接与散热器接触的部分。芯片4发热,通过基板1将热量传给散热器,使温度降低。所以基板1和散热器具备良好的热接触是非常重要的,要保证基板1所有底面面积都与散热器接触,基板1上接触不到散热器的微小缝隙,也要靠填充导热硅脂来进行改良。
由于上述原因,所以如图3所示,基板1都是带有外凸弧度的形状。基板1四周有螺丝安装孔。由于基板1表面存在一些细微的缝隙,所以在安装前,散热器或基板1要涂一层导热硅脂,填充缝隙,增强热传导率。IGBT被安装到平整的散热器上时,基板通过螺丝固定。基板中心接触散热器,同时基板四周受力,将基板压平。这样理论上基板的所有表面都能与散热器接触,多余的导热硅脂会被挤出。
各个厂商生产的大功率的IGBT模块,其AlSiC基板都呈一定的弧形,基板1的中心向外部凸出一定的高度(一般是100um~400um左右)。这是由于IGBT封装过程中,焊接工艺会造出基板1中心向内凹陷。这样在安装IGBT时,会造出中间凹陷区域无法接触散热器。为了避免这种现象,各个厂家都将IGBT的基板1设计成预先有一定弧度的形状。由于无法精确控制焊接工艺造成的内凹距离,原始设计的外凸距离会稍稍偏大一点。在完成焊接工艺后,由于内凹的抵消,外凸的弧度会减小,但是仍然有一定的弧度。
由于焊接工艺中,无法控制基板1内凹的程度,常常导致基板1的弧度发生一些意想不到的改变,如图4所示的外凸位置改变且外凸弧度过大、如图5所示的基板1出现不规则波浪形状等,导致基板1与散热器之间出现没有接触到的情况。
目前,业界有两种方案形成这种弧度。一种是采用弯折设备,使平面基板1变形,形成弧度。这样基板1的两面都有弧度,称之为“双面拱”型基板,如图4所示。另一种是使用球面磨设备,将基板1的底面磨出一个中心突出的球面,只有单面有弧度,称之为“单面拱”型基板1。但是因为AlSiC基板1的硬度很高,目前球面磨的成本比较高。
通过总结,上述传统方法的不足就在于:
(1)因传统IGBT基板1在工艺处理过程中会产生不可避免的变形,会对安装IGBT到散热器上造成潜在的缺陷。
(2)因传统IGBT基板1完全是由铝碳化硅组成的,其硬度较大,对其进行批量机械切割加工的难度较大、成本也较高。
发明内容
本发明要解决的技术问题就在于:针对现有技术存在的技术问题,本发明提供一种加工简便、加工成本低、能够提高可靠性的用于IGBT模块的基板及IGBT模块的封装方法。
为解决上述技术问题,本发明采用以下技术方案:
一种用于IGBT模块的基板,包括AlSiC层和铝合金层,所述铝合金层位于AlSiC层底部的表面形成待机械加工层。
本发明进一步提供一种基于上述基板的IGBT模块封装的方法,其步骤为:
(1) 制作基板;先由SiC粉末堆积成均匀的多孔隙结构的预制件,然后将液态铝合金浸渗到预制件中,形成AlSiC层;再继续注入液态铝合金,在基板的表面形成一层铝合金层;
(2)使用上述基板完成IGBT封装之后,基板的底部会向内凹陷;此时,采用机械加工将基板的底部加工平整,消除内凹的弧度。
作为本发明方法的进一步改进:在完成步骤(2)之后,使用机械加工将基板的底部打磨,降低基板的表面粗糙度,消除微小缝隙。
与现有技术相比,本发明的优点在于:本发明能够消除IGBT基板的弧度,使其形成平面,能够保证在安装IGBT时,基板平面能与散热器平面完全紧密接触;并且降低IGBT基板的粗糙度,从而在安装过程中,取消导热硅脂的使用。
附图说明
图1 是由SiC粉末堆积成的多孔隙结构预制件的示意图。
图2 是将SiC预制件掺入铝合金形成AlSiC材料的示意图。
图3是基板正常外凸情况的示意图。
图4是基板外凸位置改变且外凸弧度过大的示意图。
图5是基板出现不规则波浪形状的示意图。
图6是本发明基板的结构示意图。
图7是本发明基板在进行IGBT封装时的结构示意图。
图8是本发明方法的流程示意图。
图9是基板与芯片的装配示意图。
图例说明:
1、基板;2、AlSiC层;3、铝合金层;31、剩余铝合金层;32、机械加工去除铝合金层;4、芯片。
具体实施方式
以下将结合说明书附图和具体实施例对本发明做进一步详细说明。
如图6所示,本发明的一种用于IGBT模块的基板1,包括AlSiC层2和铝合金层3,所述铝合金层3位于AlSiC层2底部的表面形成待机械加工层。
在使用本发明的基板1完成IGBT封装之后,基板1的底部会向内凹陷。这时候,再采用机械加工对基板1底部的铝合金层3进行平整加工,消除内凹的弧度(如利用精密车床或者精密铣床进行加工)。这样,所去掉的距离不超过铝合金层3的厚度,而且处理后的IGBT的基板1底面呈一整块平面,能够保证散热器和IGBT的基板1之间全部接触。机械加工后的基板1会留下来一层较薄的铝合金层3,由于铝合金的热导率比铝碳化硅更好,所以保证了使用这种工艺方法处理的基板1不会使热阻增加,如图7所示。
进一步,还可以使用机械加工将基板1的底部打磨(如使用精密磨床),降低基板1表面粗糙度,消除微小缝隙。在安装IGBT到散热器上时,保证了IGBT基板1和散热器有效的直接接触面积达到99%,完全可以不使用导热硅脂,因此也排除了导热硅脂年久失效的问题。
本发明进一步提供了一种基于上述基板1的IGBT模块封装的方法,如图8所示,其步骤为:
第一步:制作基板1;先由SiC粉末堆积成均匀的多孔隙结构的预制件,然后将液态铝合金浸渗到预制件中,形成AlSiC层2(铝碳化硅)。液态铝合金在填充完预制件的孔隙,形成AlSiC层后,再继续注入液态铝合金,在基板1的表面形成一层铝合金层3,如图6所示。在基板1的厚度方面,铝合金层3的厚度远低于AlSiC层2的厚度,而本发明中基板的AlSiC层2的厚度应当比传统基板1的厚度小一些,这样本发明基板1的整体厚度比传统基板1的厚度稍微多一些。
第二步:在使用本发明的基板1完成IGBT封装之后,基板1的底部会向内凹陷。这时候,再采用机械加工将基板1底部加工平整,消除内凹的弧度(如利用精密车床或者精密铣床进行加工)。去掉的距离不超过铝合金层3的厚度,而且处理后的IGBT的基板1底面呈一整块平面,能够保证散热器和IGBT基板1之间全部接触。机械加工后的基板1会留下来一层较薄的铝合金层3,由于铝合金的热导率比铝碳化硅更好,所以保证了使用这种工艺方法处理基板不会使热阻增加。如图7所示,图中铝合金层3包括了剩余铝合金层31和机械加工去除铝合金层32。
第三步:使用机械加工将基板1底部打磨(如使用精密磨床),降低基板1的表面粗糙度,消除微小缝隙。在安装IGBT到散热器上时,保证了IGBT基板1和散热器有效的直接接触面积达到99%,完全可以不使用导热硅脂,排除了导热硅脂年久失效的问题。
以上仅是本发明的优选实施方式,本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例,凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰,应视为本发明的保护范围。