CN104941972A - 掩模板表面微尘去除装置及除尘方法 - Google Patents

Abstract

一种掩模板表面微尘去除装置，包括：腔体，用于容置待除尘之掩模板，并设置进气孔、出气孔和进出门；承载平台，设置在腔体内，并在第一驱动装置的作用下以第一运动方式工作；吹扫装置，与外界气压源和第二驱动装置连接，并设置在掩模板之异于承载平台的一侧，且第二驱动装置驱动吹扫装置以第二运动方式工作，第一驱动装置驱动承载平台和吹扫装置以第一运动方式工作。本发明通过第一驱动装置按具体需要调节承载平台和吹扫装置之作业平面，并藉由吹扫装置和第二驱动装置之结合，不仅使得在一个吹扫周期中加大了单位时间内单位面积的吹扫频率，提高了掩模板之表面微尘的去除效率，而且全方位吹扫，除尘更为彻底。

Description

掩模板表面微尘去除装置及除尘方法

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种掩模板表面微尘去除装置及除尘方法。

背景技术

光刻掩模板作为半导体制造工艺中图案转移的载体，其图案质量直接决定了硅片表面图案的质量，进而影响终端产品的质量。光刻掩模板之图案质量缺陷产生的原因主要包括以下两个方面：第一、掩模板在制造和搬运过程中形成的缺陷；第二、掩模板在图案转移工艺过程中表面粘附的微尘形成之缺陷。明显地，前者缺陷可通过严格的出厂检验进行源头控制，防止流入后工艺制程；后者缺陷则必须进行微尘清理、消除污染，保证其满足必要的工艺要求。

但是，对所述掩模板在图案转移工艺过程中表面粘附的微尘形成之缺陷，通常采用人工手动清理方式，即手持高压气管对所述掩模板之表面进行吹扫。显然地，掩模板表面之微尘的除尘方法因人而异，不仅吹扫部位随机性较强、清理不彻底，品质难以保证，而且效率过低，甚至在吹扫过程中高压气管会伤及掩模板之膜面，导致更严重的质量缺陷。

寻求一种结构简单、使用方便，且高效除尘无死角的微尘去除装置和除尘方法已成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。

故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本发明一种掩模板表面微尘去除装置及除尘方法。

发明内容

本发明是针对现有技术中，传统的掩模板表面之微尘的除尘方法因人而异，不仅吹扫部位随机性较强、清理不彻底，品质难以保证，而且效率过低，甚至在吹扫过程中高压气管会伤及掩模板之膜面，导致更严重的质量缺陷等提供一种掩模板表面微尘去除装置。

本发明之第二目的是针对现有技术中，传统的掩模板表面之微尘的除尘方法因人而异，不仅吹扫部位随机性较强、清理不彻底，品质难以保证，而且效率过低，甚至在吹扫过程中高压气管会伤及掩模板之膜面，导致更严重的质量缺陷等提供一种掩模板表面微尘去除装置的除尘方法。

为实现本发明之目的，本发明提供一种掩模板表面微尘去除装置，所述掩模板表面微尘去除装置，包括：腔体，用于容置待除尘之掩模板，并在所述腔体上设置进气孔、出气孔和所述掩模板之进出门；承载平台，设置在所述腔体内，用以承载所述待除尘之掩模板，并在第一驱动装置的作用下以第一运动方式工作；吹扫装置，与外界气压源和第二驱动装置连接，并设置在所述待除尘的掩模板之异于所述承载平台的一侧，且所述第二驱动装置驱动所述吹扫装置以第二运动方式工作，所述第一驱动装置驱动所述承载平台和所述吹扫装置同步以第一运动方式工作。

可选地，所述第一运动方式为以所述承载平台的中心轴线为转轴，在所述第一驱动装置的作用下进行任意角度翻转。

可选地，所述第二运动方式为以所述待除尘掩模板之中部为起始点的半径渐增运动方式、以所述待除尘掩模板之角部为起始点的半径递减运动方式的至少其中之一。

可选地，所述吹扫装置，进一步包括：本体座，所述本体座内形成气体通路；第一通孔，设置在所述本体座之一侧，并通过气体管路与所述外界气压源连接；第二通孔，间隔设置在所述本体座之异于所述第一通孔的一侧，并与所述第一通孔连通。

可选地，所述第一通孔处设置气体喷嘴，所述第二通孔处分别设置气体喷嘴。

可选地，所述吹扫装置，进一步包括：气压监测装置，设置在所述第一通孔处，且所述气压监测装置之压力监测探头用于采集流经所述第一通孔气体之压力；警示装置，在所述气体压力监测装置之监测压力超过预设值时发出警示；压力调控装置，根据所述气体压力监测装置之监测压力对与所述第一通孔相连的气体管路之气压进行实时调控。

可选地，所述气体管路之气压调控为通过控制所述气体管路之流量进行压力调控。

为实现本发明之第二目的，本发明提供一种掩模板表面微尘去除装置之除尘方法，所述掩模板表面微尘去除装置之除尘方法，包括：

执行步骤S1：将待除尘之掩模板放置在所述承载平台上；

执行步骤S2：通过所述第一驱动装置驱动所述承载平台和所述吹扫装置以第一运动方式工作，调整工作平面；

执行步骤S3：通过所述第二驱动装置驱动所述吹扫装置以第二运动方式工作，执行表面除尘。

可选地，所述掩模板表面微尘去除装置之除尘方法，进一步包括：

执行步骤S4：启动所述气压监控装置、警示装置、压力调控装置，当所述吹扫装置之气体管路的气体压力大于预设值时，所述警示装置发出预警，所述压力调控装置进行气体压力调控。

可选地，所述第一运动方式为以所述承载平台的中心轴线为转轴，在所述第一驱动装置的作用下进行任意角度翻转；所述第二运动方式为以所述待除尘掩模板之中部为起始点的半径渐增运动方式、以所述待除尘掩模板之角部为起始点的半径递减运动方式的至少其中之一。

综上所述，本发明所述掩模板表面微尘去除装置可通过所述第一驱动装置按具体需要调节所述承载平台和所述吹扫装置之作业平面，并藉由所述吹扫装置和驱动所述吹扫装置进行半径渐变之第二运动方式工作的第二驱动装置之结合，不仅使得在一个吹扫周期中加大了单位时间内单位面积的吹扫频率，提高了所述掩模板之表面微尘的去除效率，而且全方位吹扫，除尘更为彻底。

附图说明

图1所示为本发明掩模板表面微尘去除装置的结构示意图；

图2所示为本发明掩模板表面微尘去除装置的吹扫装置结构示意图；

图3(a)～3(d)所示为本发明掩模板表面微尘去除装置之承载平台和吹扫装置的第一运动方式示意图；

图4(a)～4(b)所述为本发明掩模板表面微尘去除装置之吹扫装置的第二运动方式示意图。

具体实施方式

为详细说明本发明创造的技术内容、构造特征、所达成目的及功效，下面将结合实施例并配合附图予以详细说明。

请参阅图1，图1所示为本发明掩模板表面微尘去除装置的结构示意图。所述掩模板表面微尘去除装置1，包括：腔体11，所述腔体11用于容置待除尘之掩模板10，并在所述腔体11上设置进气孔(未图示)、出气孔(未图示)和所述掩模板10之进出门(未图示)；承载平台12，所述承载平台12设置在所述腔体11内，用以承载所述待除尘之掩模板10，并在第一驱动装置13的作用下以第一运动方式工作；吹扫装置14，所述吹扫装置14与外界气压源(未图示)和第二驱动装置15连接，并设置在所述待除尘的掩模板10之异于所述承载平台12的一侧，且所述第二驱动装置15驱动所述吹扫装置14以第二运动方式工作，所述第一驱动装置13驱动所述承载平台12和所述吹扫装置14同步以第一运动方式工作。

为了更直观的揭露本发明之技术方案，凸显本发明之有益效果，现结合具体实施方式，对本发明掩模板表面微尘去除装置的结构和除尘方法进行阐述。在具体实施方式中，所述掩模板表面微尘去除装置的具体尺寸、数量、形状等仅为列举，不应视为对本发明技术方案的限制。

请参阅图2，并结合参阅图1，图2所示为本发明掩模板表面微尘去除装置的吹扫装置结构示意图。所述吹扫装置14，进一步包括：本体座141，所述本体座141内形成气体通路；第一通孔142，所述第一通孔142设置在所述本体座141之一侧，并通过气体管路143与所述外界气压源连接；第二通孔144，所述第二通孔144间隔设置在所述本体座141之异于所述第一通孔142的一侧，并与所述第一通孔142连通。显然地，在所述本体座141内形成的气体通路包括由所述第一通孔142和所述第二通孔144连接形成的通路。为进一步调整所述第二通孔144之喷射气流，优选地，所述第二通孔144处分别设置气体喷嘴(未图示)。

请继续参阅图2，并结合参阅图1，为了避免外界气压源在吹扫除尘的过程中伤及掩模板10之膜面，优选地，所述吹扫装置14进一步包括：气压监测装置145，所述气压监测装置145设置在所述第一通孔142处，且所述气压监测装置145之压力监测探头146用于采集流经所述第一通孔142的气体之压力；警示装置(未图示)，所述警示装置在所述气体压力监测装置145之监测压力超过预设值时发出警示；压力调控装置(未图示)，所述压力调控装置根据所述气体压力监测装置145之监测压力对与所述第一通孔142相连的气体管路143之气压进行实时调控。

其中，所述气体压力之预设值可根据所述掩模板10之膜面的工艺特性进行设定，以所述气压预设值在可满足微尘清理的同时而不伤及掩模板10之膜面为宜。作为具体的实施方式，例如通过所述压力调控装置对所述吹扫装置14之压力进行实时调控的方法可以为通过控制所述气体管路143之流量进行压力调控。

作为本领域技术人员，容易理解地，为了增强所述气压监测装置145对所述第一通孔142处压力监测的有效性，保证所述第二通孔144处的气体喷嘴与所述气压监测装置145的一致性，优选地，所述第一通孔142处亦设置气体喷嘴(未图示)。

请参阅图3(a)～3(d)，图3(a)～3(d)所示为本发明掩模板表面微尘去除装置之承载平台和吹扫装置的第一运动方式示意图。图3(a)所示为所述待除尘之掩模板位于所述承载平台上方的示意图。图3(b)所示为所述待除尘之掩模板位于所述承载平台下方的示意图。图3(c)所示为所述待除尘之掩模板位于所述承载平台左侧的示意图。图3(d)所示为所述待除尘之掩模板位于所述承载平台右侧的示意图。具体地，所述掩模板表面微尘去除装置1之承载平台12和吹扫装置14的第一运动方式即以所述承载平台12的中心轴线121为转轴，在所述第一驱动装置13的作用下进行任意角度翻转。明显地，在所述第一驱动装置13的作用下，设置在所述承载平台12上的待除尘之掩模板10跟随所述承载平台12和所述吹扫装置14同步翻转，进而改变微尘与所述待除尘之掩模板10之间的粘附力，并藉由微尘之重力势能，实现微尘清理。

请参阅图4(a)～4(b)，图4(a)～4(b)所述为本发明掩模板表面微尘去除装置之吹扫装置的第二运动方式示意图。所述第二运动方式包括以所述待除尘掩模板10之中部为起始点的半径渐增运动方式、以所述待除尘掩模板之角部为起始点的半径递减运动方式的至少其中之一。显然地，所述待除尘掩模板10之中部和角部仅为便于理解所述技术方案而列举，所述第二运动方式和所述运动起始点的选择以满足所述待除尘之掩模板10的表面可全方位除尘为宜。作为本领域技术人员，容易理解地，本发明所述掩模板表面微尘去除装置1之吹扫装置14在所述第二驱动装置15的作用下可仅执行以所述待除尘掩模板10之中部为起始点的半径渐增运动方式，或者仅执行以所述待除尘掩模板10之角部为起始点的半径递减运动方式，亦或先后分别执行以所述待除尘掩模板10之中部为起始点的半径渐增运动方式和以所述待除尘掩模板10之角部为起始点的半径递减运动方式。

请继续参阅图3(a)～3(d)、图4(a)～4(b)，并结合参阅图1，作为本领域技术人员，容易理解地，本发明所述掩模板表面微尘去除装置1可通过所述第一驱动装置13按具体需要调节所述承载平台12和所述吹扫装置14之作业平面，并藉由所述吹扫装置14和驱动所述吹扫装置14进行半径渐变之第二运动方式工作的第二驱动装置15的结合，使得在一个吹扫周期中加大了单位时间内单位面积的吹扫频率，提高了所述掩模板10之表面微尘的去除效率。另一方面，本发明所述掩模板表面微尘去除装置1之吹扫装置14处设置气压监测装置145和压力调控装置，进一步降低了所述掩模板10之膜面受损风险。

请继续参阅图3(a)～3(d)、图4(a)～4(b)，并结合参阅图1，详述本发明掩模板表面微尘去除装置之除尘方法。所述掩模板表面微尘去除装置1之除尘方法，包括：

执行步骤S1：将待除尘之掩模板10放置在所述承载平台12上；

执行步骤S2：通过所述第一驱动装置13驱动所述承载平台12和所述吹扫装置14以第一运动方式工作，调整工作平面；

执行步骤S3：通过所述第二驱动装置15驱动所述吹扫装置14以第二运动方式工作，执行表面除尘。

在本发明中，所述吹扫装置14在执行第二运动方式工作时，所述吹扫装置14位于所述起始点的控制过程均为现有技术。例如，可采用手动的方式首先将所述吹扫装置14移动至所述待除尘之掩模板10的中部或者角部，亦或采用现有的定位技术实现起始点定位，在此不予限制。所述掩模板表面微尘去除装置1之除尘方法，进一步包括：

执行步骤S4：启动所述气压监控装置145、警示装置、压力调控装置，当所述吹扫装置14之气体管路143的气体压力大于预设值时，所述警示装置发出预警，所述压力调控装置进行气体压力调控。

明显地，本发明所述掩模板表面微尘去除装置1可通过所述第一驱动装置13按具体需要调节所述承载平台12和所述吹扫装置14之作业平面，并藉由所述吹扫装置14和驱动所述吹扫装置14进行半径渐变之第二运动方式工作的第二驱动装置15之结合，不仅使得在一个吹扫周期中加大了单位时间内单位面积的吹扫频率，提高了所述掩模板10之表面微尘的去除效率，而且全方位吹扫，除尘更为彻底。

综上所述，本发明所述掩模板表面微尘去除装置可通过所述第一驱动装置按具体需要调节所述承载平台和所述吹扫装置之作业平面，并藉由所述吹扫装置和驱动所述吹扫装置进行半径渐变之第二运动方式工作的第二驱动装置之结合，不仅使得在一个吹扫周期中加大了单位时间内单位面积的吹扫频率，提高了所述掩模板之表面微尘的去除效率，而且全方位吹扫，除尘更为彻底。

本领域技术人员均应了解，在不脱离本发明的精神或范围的情况下，可以对本发明进行各种修改和变型。因而，如果任何修改或变型落入所附权利要求书及等同物的保护范围内时，认为本发明涵盖这些修改和变型。

Claims (10)

1.一种掩模板表面微尘去除装置，其特征在于，所述掩模板表面微尘去除装置，包括：

腔体，用于容置待除尘之掩模板，并在所述腔体上设置进气孔、出气孔和所述掩模板之进出门；

承载平台，设置在所述腔体内，用以承载所述待除尘之掩模板，并在第一驱动装置的作用下以第一运动方式工作；

吹扫装置，与外界气压源和第二驱动装置连接，并设置在所述待除尘的掩模板之异于所述承载平台的一侧，且所述第二驱动装置驱动所述吹扫装置以第二运动方式工作，所述第一驱动装置驱动所述承载平台和所述吹扫装置同步以第一运动方式工作。

2.如权利要求1所述的掩模板表面微尘去除装置，其特征在于，所述第一运动方式为以所述承载平台的中心轴线为转轴，在所述第一驱动装置的作用下进行任意角度翻转。

3.如权利要求1所述的掩模板表面微尘去除装置，其特征在于，所述第二运动方式为以所述待除尘掩模板之中部为起始点的半径渐增运动方式、以所述待除尘掩模板之角部为起始点的半径递减运动方式的至少其中之一。

4.如权利要求1所述的掩模板表面微尘去除装置，其特征在于，所述吹扫装置，进一步包括：

本体座，所述本体座内形成气体通路；

第一通孔，设置在所述本体座之一侧，并通过气体管路与所述外界气压源连接；

第二通孔，间隔设置在所述本体座之异于所述第一通孔的一侧，并与所述第一通孔连通。

5.如权利要求4所述的掩模板表面微尘去除装置，其特征在于，所述第一通孔处设置气体喷嘴，所述第二通孔处分别设置气体喷嘴。

6.如权利要求4或5任一权利要求所述的掩模板表面微尘去除装置，其特征在于，所述吹扫装置，进一步包括：

气压监测装置，设置在所述第一通孔处，且所述气压监测装置之压力监测探头用于采集流经所述第一通孔气体之压力；

警示装置，在所述气体压力监测装置之监测压力超过预设值时发出警示；

压力调控装置，根据所述气体压力监测装置之监测压力对与所述第一通孔相连的气体管路之气压进行实时调控。

7.如权利要求6所述的掩模板表面微尘去除装置，其特征在于，所述气体管路之气压调控为通过控制所述气体管路之流量进行压力调控。

8.一种如权利要求1所述的掩模板表面微尘去除装置之除尘方法，其特征在于，所述掩模板表面微尘去除装置之除尘方法，包括：

执行步骤S1：将待除尘之掩模板放置在所述承载平台上；

执行步骤S2：通过所述第一驱动装置驱动所述承载平台和所述吹扫装置以第一运动方式工作，调整工作平面；

执行步骤S3：通过所述第二驱动装置驱动所述吹扫装置以第二运动方式工作，执行表面除尘。

9.如权利要求8所述的掩模板表面微尘去除装置之除尘方法，其特征在于，所述掩模板表面微尘去除装置之除尘方法，进一步包括：

执行步骤S4：启动所述气压监控装置、警示装置、压力调控装置，当所述吹扫装置之气体管路的气体压力大于预设值时，所述警示装置发出预警，所述压力调控装置进行气体压力调控。

10.如权利要求8或9任一权利要求所述的掩模板表面微尘去除装置之除尘方法，其特征在于，所述第一运动方式为以所述承载平台的中心轴线为转轴，在所述第一驱动装置的作用下进行任意角度翻转；所述第二运动方式为以所述待除尘掩模板之中部为起始点的半径渐增运动方式、以所述待除尘掩模板之角部为起始点的半径递减运动方式的至少其中之一。