CN203578286U - 一种清洁装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种清洁装置，所述清洁装置包括支撑体和可移动地设置在所述支撑体上的清洁部，所述清洁部上开设有用于使气流通过的第一组气孔，所述第一组气孔包括多个气孔，通过所述多个气孔喷出的气流以清洁所述被清洁件。通过采用上述清洁装置设置可相对于支撑体移动的清洁部，并在清洁部上开设有第一组气孔，在清洁被清洁件时，只需要清洁部相对于被清洁件来回移动，即可清洁所述的被清洁件，而不必在被清洁件的纵向和横向上都移动。

Description

一种清洁装置

技术领域

本实用新型涉及电子技术的清洁技术领域，尤其涉及一种清洁装置。 

背景技术

掩膜板被广泛应用于微电子工艺中。为了保证成像的质量，在使用掩膜板之前，需要对掩膜板的清洁度实施了严格的控制，保证不会因为掩模板存在灰尘等物质，而影响到成像产生各种不良而造成重大损失。 

现有技术中，通常通过操作员手拿气枪，通过气枪在掩膜板上来回移动气枪，而使喷出的气体对掩膜板进行清洁，当清洁完一片掩膜板之后，再对另一片掩膜板进行清洁。 

但是上述现有技术存在如下技术问题： 

因为，气枪通常只有一喷嘴，在对掩膜板进行清洁时，需要在掩膜板的纵向和横向上移动，因此，清洁一片掩膜板的时间较长，从而导致清洁掩膜板的速度慢，效率低。 

实用新型内容

本申请提供一种清洁装置，解决了现有技术中清洁掩膜板的速度慢，效率低的技术问题，达到提高清洁效率的技术效果。 

一种清洁装置，用于清洁一被清洁件，所述清洁装置包括支撑体和可移动地设置在所述支撑体上的清洁部，所述清洁部上开设有用于使气流通过的第一组气孔，所述第一组气孔包括多个气孔，通过所述多个气孔喷出的气流以清洁所述被清洁件。 

优选地，所述第一组气孔包括N个并列第一气孔和P个并列第二气孔，从所述N个第一气孔出来的第一气流的方向和所述P个第二气孔出来的第二气流 的方向不同，其中N和P为大于等于1的整数。 

优选地，所述第一气孔的第一中心轴与所述第二气孔的第二中心轴的第一夹角大于0度小于135度，其中N和P为大于等于1的整数。 

优选地，所述第一夹角为45度。 

优选地，所述清洁部为长条形。 

优选地，所述清洁部具有弧形的端面，所述N个并列第一气孔和P个并列第二气孔开设于所述弧形的端面上。 

优选地，所述清洁装置还包括气源，所述第一组气孔与所述气源连接，所述气源气压大于大气压。 

优选地，所述支撑体为框体状。 

优选地，所述支撑体的第一边缘上开设有第二组气孔，与所述第一边缘相对的第二边缘上开设有第三组气孔，所述第二组气孔和所述第三组气孔与所述气源连接，所述第一组气孔位于所述第二组气孔和所述第三组气孔之间。 

优选地，所述清洁装置还包括设置于支撑体上的真空管。 

优选地，所述清洁部上设置有距离传感器，用于检测所述清洁部与所述被清洁件之间的距离。 

优选地，所述支撑体的第一边缘上设置有第一限位传感器，与所述第一边缘相对的第二边缘上设置有第二限位传感器，所述第一限位传感器和第二限位传感器用于检测所述清洁部移动的距离。 

优选地，所述清洁装置还包括控制面板，所述控制面板用于控制所述气源、所述距离传感器、所述第一限位传感器和所述第二限位传感器连接。 

优选地，所述清洁装置还包括用于驱动所述清洁部移动的驱动件。 

优选地，所述清洁装置还包括控制面板，所述控制面板与所述气源或/和驱动件连接。 

优选地，所述驱动件包括电机、与所述电机连接的齿轮，和设置于所述清洁部上并与所述齿轮啮合的齿条。 

优选地，所述驱动件具体为汽缸，所述汽缸的第一端固定于所述支撑体上，与第一端相对的第二端固定于所述清洁部上。 

本申请有益效果如下： 

通过采用上述清洁装置设置可相对于支撑体移动的清洁部，并在清洁部上开设有第一组气孔，在清洁被清洁件时，只需要清洁部相对于被清洁件来回移动，即可清洁所述的被清洁件，而不必在被清洁件的纵向和横向上都移动，解决了现有技术中清洁掩膜板的速度慢，效率低，达到提高清洁效率的技术效果。 

通过将第一气孔的第一中心轴与所述第二气孔的第二中心轴的第一夹角设置为大于0度小于135度，即保证了从第一气孔和第二气孔出来的气流能够吹到被清洁件的表面上，且从第一气孔中出来的气流的第一气流方向和从第二气孔出来的气流的第二气流方向与被清洁件表面有一定的夹角，从而不仅能够被清洁件的表面的灰尘等吹走，且更便于将被清洁件的凹槽内的灰尘等物质吹起，进一步提升被清洁件的清洁度。 

通过在清洁部上设置距离传感器，从而保证了清洁部与所述被清洁件之间的距离能够控制在预定的距离值内。 

通过在支撑体的相对两边缘上设置第二组气孔和第三组气孔，使得从第二组气孔和第三组气孔中出来的气流能够吹走停留在被清洁件边缘的灰尘等物质，进一步清洁所述被清洁件，提高所述被清洁被清洁后的清洁度。 

通过在支撑体的相对两边缘上设置第一限位传感器和第二限位传感器，用于检测所述清洁部移动的距离，以保证所述清洁部能够在预定的范围内移动。 

通过设置用于驱动清洁部移动的驱动件，在清洁被清洁件时，不需要操作员操作清洁部，避免发生因操作员的汗液等造成所述被清洁件再次被污染的可能。 

通过设置控制面板，在清洁被清洁件时，操作员操作控制面板，即可控制清洁部清洁被清洁件，从而实现自动控制所述的清洁装置清洁所述被清洁件。 

附图说明

图1为本申请第一较佳实施方式清洁装置的立体示意图； 

图2为图1中清洁装置的剖面示意图。 

具体实施方式

本申请实施例通过提供一种清洁装置，解决了现有技术中清洁掩膜板的速度慢，效率低的技术问题，达到提高清洁效率的技术效果。 

本申请实施例中的技术方案为现有技术中清洁掩膜板的速度慢，效率低的技术问题，总体思路如下： 

一种清洁装置，包括支撑体和可移动地设置在所述支撑体上的清洁部，所述清洁部上开设有用于使气流通过的第一组气孔。 

通过采用上述清洁装置设置可相对于支撑体移动的清洁部，并在清洁部上开设有第一组气孔，在清洁被清洁件时，只需要清洁部相对于被清洁件来回移动，即可清洁所述的被清洁件，而不必在被清洁件的纵向和横向上都移动，解决了现有技术中清洁掩膜板的速度慢，效率低，达到提高清洁效率的技术效果。 

为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。 

如图1所示，为本申请第一较佳实施方式清洁装置100的立体图。在本实施方式中，清洁装置100用于清洁掩膜板，在其他实施方式中，也可以用于清洁其他电子技术领域内需要清洁的被清洁件。 

清洁装置100包括支撑体10和可移动地设置在所述支撑体10上的清洁部20。清洁部20上开设有用于使气流通过的第一组气孔21。 

当采用清洁装置100用于清洁掩膜板等被清洁件时，将被清洁件平放，然后，向第一组气孔21里面通入气流，清洁部20在被清洁件上来回移动，高压气流通过第一组气孔21喷出，即可清洁所述被清洁件，因此，采用上述清洁装置100后，只需要清洁部20相对于被清洁件来回移动，而不必在被清洁件 的纵向和横向上都移动，解决了现有技术中清洁掩膜板的速度慢，效率低，达到提高清洁效率的技术效果。在本实施方式中，从第一组气孔21吹出的气流为清洁离子风，同时拥有去除静电的作用。 

具体地，清洁装置100还包括与第一组气孔21连接的气源200，所述气源200用于向第一组气孔21输入气流，所述气源200的气压大于大气压。 

进一步地，第一组气孔21包括N个并列第一气孔211和P个并列第二气孔212，从所述N个第一气孔出来的第一气流的方向和所述P个第二气孔出来的第二气流的方向不同，其中，N和P为大于等于1的整数。N个并列第一气孔211和P个并列第二气孔212分别设置于两条平行的直线上。具体地，所述第一气孔211的第一中心轴O1与所述第二气孔212的第二中心轴O2的第一夹角a在0度到135度之间，即大于0度小于135度，因此，即保证了从第一气孔211中出来的气流和从第二气孔212出来的气流能够吹到被清洁件的表面上，且从第一气孔211出来的气流的第一气流方向和从第二气孔212出来的气流的第二气流方向与被清洁件表面有一定的夹角，从而不仅能够被清洁件的表面的灰尘等吹走，且更便于将被清洁件的凹槽内的灰尘等物质吹起，进一步提升被清洁件的清洁度。 

优选地，所述第一夹角a为45度。通过多次实验证明，在所述第一夹角为45度时，所述被清洁件在被清洁后的清洁度最高。 

所述清洁部20上设置有距离传感器23，用于检测所述清洁部20与所述被清洁件之间的距离，保证清洁部20与所述被清洁件之间的距离能够控制在预定的距离值内。当所述清洁部20与所述被清洁件距离小于或者大于预定的距离值时，所述距离传感器23反馈检测信息。 

具体地，为了减少清洁装置100的重量，所述支撑体10设置为框体状。所述清洁部20的两端可移动地设置于框体上。另外，所述清洁部20为长条形，且具有弧形的端面，所述N个并列第一气孔和P个并列第二气孔开设于所述弧形的端面上。 

支撑体10的第一边缘11上开设有第二组气孔112，与所述第一边缘11相对的第二边缘12上开设有第三组气孔123。所述第二组气孔112和所述第三组气孔123均与所述气源200连接，且所述第一组气孔21位于所述第二组气孔112和所述第三组气孔123之间。使用时，从所述第二组气孔112中出来的气流和从所述第三组气孔123中出来的气流用于吹走停留在被清洁件边缘的灰尘等物质，进一步清洁所述被清洁件，提高所述被清洁被清洁后的清洁度。 

第一边缘11上设置有第一限位传感器111，第二边缘12上设置有第二限位传感器122。所述第一限位传感器111和第二限位传感器122用于检测所述清洁部20移动的距离，以保证所述清洁部20能够在预定的范围内移动，当所述清洁部20移动超出了预定范围时，所述第一限位传感器111和第二限位传感器122会反馈检测信息。在本实施方式中，所述第一限位传感器111和第二限位传感器122用于监测清洁部20在支撑体10的第一边缘11和第二边缘12之间的移动，避免清洁部20与第一边缘11和第二边缘12相撞。 

同时参阅图2，清洁装置100还包括用于驱动所述清洁部20移动的驱动件30，在清洁被清洁件时，启动驱动件30，驱动清洁部20相对于支撑体10移动，从而在清洁被清洁件时，不需要操作员操作清洁部20，避免发生因操作员的汗液等造成所述被清洁件再次被污染的可能。 

在本实施方式中，驱动件30包括电机31、齿轮33和齿条35。齿轮33与所述电机31连接，在所述电机31启动时，所述齿轮33能够转动。齿条35设置于所述清洁部20上，并与所述齿轮33啮合，在所述齿轮33转动时，所述齿条35会相对于支撑体10移动，从而带动清洁部20在所述支撑体10上移动。 

在其他实施方式中，为了实现驱动清洁部20在所述支撑体10上移动，所述的驱动件30也可以为汽缸，所述汽缸的第一端固定于所述支撑体10上，与第一端相对的第二端固定于所述清洁部20上，在所述汽缸启动时，汽缸的活塞杆伸出或者缩回外筒，从而带动清洁部20在所述支撑体10上移动。 

清洁装置100还包括控制面板40和真空管50。控制面板40与气源200、 距离传感器23、第一限位传感器111和第二限位传感器122以及驱动件30连接，用于控制气源200的打开和关闭，用于接收距离传感器23、第一限位传感器111和第二限位传感器122反馈的检测信息，用于控制驱动件30的启动和停止。 

当需要清洁被清洁件时，操作员操作控制面板40，首先，控制气源200打开，气流能够从清洁部20上的N个并列第一气孔211和P个并列第二气孔212以及支撑体10上的第二组气孔112和第三组气孔123吹出，吹走停留在被清洁件上的灰尘等物质，同时，距离传感器23检测所述清洁部20与所述被清洁件之间的距离，当所述清洁部20与所述被清洁件距离小于或者大于预定的距离值时，所述距离传感器23反馈检测信息，控制面板40根据反馈的信息调整清洁部20与所述被清洁件之间的距离；然后，再控制驱动件30启动，带动清洁部20相对于支撑体10移动，从而清洁部20能够相对于被清洁件来回移动，清除被清洁件表面的灰尘等物质；同时，在清洁部20来回移动的时，第一限位传感器111和第二限位传感器122用于检测所述清洁部20移动的距离，当所述清洁部20移动超出了预定范围时，所述第一限位传感器111和第二限位传感器122会反馈检测信息，控制面板40根据反馈的信息调整清洁部20移动的距离，从而保证清洁部20能够在预定的范围内移动。 

真空管50与第二组气孔112和第三组气孔123相对设置，用于吸走第二组气孔112和第三组气孔123从被清洁件边缘吹走的灰尘等物质，防止灰尘等物质漂浮在空气中，造成被清洁件的再次污染。在本实施方式中，真空管的上端口尺寸大于下端口，这样不仅上端口的尺寸较大，便于吸收灰尘等物质，而且会下端口也会节省空间。 

通过采用上述清洁装置100设置可相对于支撑体10移动的清洁部20，并在清洁部上开设有第一组气孔21，在清洁被清洁件时，只需要清洁部20相对于被清洁件来回移动，即可清洁所述的被清洁件，而不必在被清洁件的纵向和横向上都移动，解决了现有技术中清洁掩膜板的速度慢，效率低，达到提高清 洁效率的技术效果。 

通过将第一气孔211的第一中心轴O1与所述第二气孔212的第二中心轴O2的第一夹角a设置为大于0度小于135度，即保证了从第一气孔211和第二气孔212出来的气流能够吹到被清洁件的表面上，且从第一气孔211中出来的气流的第一气流方向和从第二气孔212出来的气流的第二气流方向与被清洁件表面有一定的夹角，从而不仅能够被清洁件的表面的灰尘等吹走，且更便于将被清洁件的凹槽内的灰尘等物质吹起，进一步提升被清洁件的清洁度。 

通过在清洁部20上设置距离传感器23，从而保证了清洁部20与所述被清洁件之间的距离能够控制在预定的距离值内。 

通过在支撑体10的相对两边缘上设置第二组气孔112和第三组气孔123，使得从第二组气孔112和第三组气孔123中出来的气流能够吹走停留在被清洁件边缘的灰尘等物质，进一步清洁所述被清洁件，提高所述被清洁被清洁后的清洁度。 

通过在支撑体10的相对两边缘上设置第一限位传感器111和第二限位传感器122，用于检测所述清洁部20移动的距离，以保证所述清洁部20能够在预定的范围内移动。 

通过设置用于驱动清洁部20移动的驱动件30，在清洁被清洁件时，不需要操作员操作清洁部20，避免发生因操作员的汗液等造成所述被清洁件再次被污染的可能。 

通过设置控制面板40，在清洁被清洁件时，操作员操作控制面板40，即可控制清洁部20清洁被清洁件，从而实现自动控制所述的清洁装置100清洁所述被清洁件。 

尽管已描述了本实用新型的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本实用新型范围的所有变更和修改。 

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。 

Claims (17)

1.一种清洁装置，用于清洁一被清洁件，其特征在于，所述清洁装置包括支撑体和可移动地设置在所述支撑体上的清洁部，所述清洁部上开设有用于使气流通过的第一组气孔，所述第一组气孔包括多个气孔，通过所述多个气孔喷出的气流以清洁所述被清洁件。 

2.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述第一组气孔包括N个并列第一气孔和P个并列第二气孔，从所述N个第一气孔出来的第一气流的方向和所述P个第二气孔出来的第二气流的方向不同，其中N和P为大于等于1的整数。 

3.如权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述第一气孔的第一中心轴与所述第二气孔的第二中心轴的第一夹角大于0度小于135度。 

4.如权利要求3所述的清洁装置，其特征在于，所述第一夹角为45度。 

5.如权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁部为长条形。 

6.如权利要求5所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁部具有弧形的端面，所述N个并列第一气孔和P个并列第二气孔开设于所述弧形的端面上。 

7.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括气源，所述第一组气孔与所述气源连接，所述气源气压大于大气压。 

8.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述支撑体为框体状。 

9.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述支撑体的第一边缘上开设有第二组气孔，与所述第一边缘相对的第二边缘上开设有第三组气孔，所述第二组气孔和所述第三组气孔与所述气源连接，所述第一组气孔位于所述第二组气孔和所述第三组气孔之间。 

10.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括设置于支撑体上的真空管。 

11.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁部上设置有距离传感器，用于检测所述清洁部与所述被清洁件之间的距离。 

12.如权利要求11所述的清洁装置，其特征在于，所述支撑体的第一边缘上设置有第一限位传感器，与所述第一边缘相对的第二边缘上设置有第二限位传感器，所述第一限位传感器和第二限位传感器用于检测所述清洁部移动的距离。 

13.如权利要求12所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括控制面板，所述控制面板用于控制所述气源、所述距离传感器、所述第一限位传感器和所述第二限位传感器连接。 

14.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括用于驱动所述清洁部移动的驱动件。 

15.如权利要求14所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括控制面板，所述控制面板与所述气源或/和驱动件连接。 

16.如权利要求14所述的清洁装置，其特征在于，所述驱动件包括电机、与所述电机连接的齿轮，和设置于所述清洁部上并与所述齿轮啮合的齿条。 

17.如权利要求14所述的清洁装置，其特征在于，所述驱动件具体为汽缸，所述汽缸的第一端固定于所述支撑体上，与第一端相对的第二端固定于所述清洁部上。 

Images