CN104916242A - 显示装置及其测试垫 - Google Patents

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CN104916242A CN201410495851.8A CN201410495851A CN104916242A CN 104916242 A CN104916242 A CN 104916242A CN 201410495851 A CN201410495851 A CN 201410495851A CN 104916242 A CN104916242 A CN 104916242A
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Abstract

本发明公开一种显示装置及其测试垫,该显示装置包括:显示区;以及非显示区,相邻显示区,且包括:栅极驱动电路;驱动单元;及测试垫;其中驱动单元经由测试垫电连接至栅极驱动电路。

Description

显示装置及其测试垫
技术领域
本发明涉及显示装置,且特别是涉及一种具有测试垫的显示装置。
背景技术
随着数字科技的发展,显示装置已被广泛地应用在日常生活的各个层面中,例如其已广泛应用于电视、笔记本、电脑、行动电话、智能型手机等现代化资讯设备,且此显示装置不断朝着轻、薄、短小及时尚化方向发展。
然而,当面板分辨率提高造成芯片(例如驱动单元)所需的信号输出接点增加时,表示芯片输出线路增加,但可容纳线路的面积有限,且因有些线路会经过芯片下方,芯片下方空间也有限;因此当输出线路数量增加时,除了会压缩到原本用以容纳线路的面积,也影响芯片下方容许走线经过的空间不足的问题。
因此,业界亟须一种可解决芯片的输出线路空间不足且同时兼顾其制作工艺可靠度及制作工艺良率的显示装置。
发明内容
为解决上述问题,本发明提供一种显示装置,包括:显示区;以及非显示区,相邻显示区,且包括:栅极驱动电路;驱动单元;及测试垫;其中驱动单元经由测试垫电连接至栅极驱动电路。
本发明还提供一种测试垫,包括:导电层,导电层包括彼此电连接的第一区及第二区;其中第一区的导电层直接接触线路,而第二区的导电层与第一区的导电层分离,第二区的导电层与线路分离。
为让本发明的特征、和优点能更明显易懂,下文特举出优选实施例,并配合所附的附图,作详细说明如下。
附图说明
图1A为本发明实施例的显示装置的上视图;
图1B为图1A的显示装置的部分放大图;
图2为本发明实施例的测试垫的上视图;
图3A-图3B为图2的测试垫沿着线段3-3的剖视图;
图4为本发明另一实施例的测试垫的上视图;
图5为本发明另一实施例的测试垫的上视图;
图6为本发明另一实施例的测试垫的上视图;及
图7为本发明另一实施例的测试垫的上视图。
符号说明
100 显示装置;
102 基板;
104 显示区;
105 非显示区;
106 驱动单元;
107 栅极驱动电路;
109 测试垫;
110 线路;
110A 线路;
110B 线路;
110C 第一区块线路;
110D 第二区块线路;
111 栅极信号输出接点;
113A 区域;
113B 区域;
115 外部接脚连接区;
206 介电层;
206A 介电层;
206B 介电层;
211 连接层;
300 第一区;
300A 区块;
300B 区块;
300Aa 子区块;
300Ab 子区块;
302 第二区;
302A 区块;
302B 区块;
304 主间隙;
306 第一间隙;
308 区块内间隙;
310 线路内间隙;
312 第二间隙;
V1 导孔;
V2 导孔;
V3 导孔;
M 导电层;
M1 第一导电层;
M2 第二导电层;
W 宽度;
L 长度;
3-3 线段。
具体实施方式
以下针对本发明的显示装置及其测试垫作详细说明。应了解的是,以下的叙述提供许多不同的实施例或例子,用以实施本发明的不同样态。以下所述特定的元件及排列方式尽为简单描述本发明。当然,这些仅用以举例而非本发明的限定。此外,在不同实施例中可能使用重复的标号或标示。这些重复仅为了简单清楚地叙述本发明,不代表所讨论的不同实施例及/或结构之间具有任何关联性。再者,当述及一第一材料层位于一第二材料层上或之上时,包括第一材料层与第二材料层直接接触的情形。或者,也可能间隔有一或更多其它材料层的情形,在此情形中,第一材料层与第二材料层之间可能不直接接触。
必需了解的是,为特别描述或图示的元件可以此技术人士所熟知的各种形式存在。此外,当某层在其它层或基板「上」时,有可能是指「直接」在其它层或基板上,或指某层在其它层或基板上,或指其它层或基板之间夹设其它层。
此外,实施例中可能使用相对性的用语,例如「较低」或「底部」及「较高」或「顶部」,以描述图示的一个元件对于另一元件的相对关系。能理解的是,如果将图示的装置翻转使其上下颠倒,则所叙述在「较低」侧的元件将会成为在「较高」侧的元件。
在此,「约」、「大约」的用语通常表示在一给定值或范围的20%之内,优选是10%之内,且更佳是5%之内。在此给定的数量为大约的数量,意即在没有特定说明的情况下,仍可隐含「约」、「大约」的含义。
本发明实施例利用改变显示装置中线路的配置,以缩小此线路于集成电路中所占据的面积。此外,本发明实施例也使用一图案化测试垫以提升此显示装置的制作工艺可靠度及制作工艺良率。
首先,发明人已知的一种显示装置包括栅极驱动电路、驱动单元、测试垫及线路。此驱动单元包括栅极信号输出接点(Output Bump),且此栅极信号输出接点通过线路电连接至栅极驱动电路,并通过另一线路电连接至测试垫。由此可知,上述两线路分别占据了驱动单元中的两区域(对应图1B的区域113A与区域113B)。而当面板分辨率提高造成芯片(例如驱动单元)所需的信号输出接点增加时,会压缩到面板上原本用以形成线路的面积,也引发线路经过芯片下方时,芯片下方可容纳线路空间不足的问题。
因此,为了缩小线路所占据的面积,本发明提出另一种显示装置中线路的配置方式。参见图1A,该图是本发明实施例的显示装置的上视图。如图1A所示,显示装置100包括显示区104以及相邻此显示区104的非显示区105,其中显示区104指显示装置100中设有包括晶体管的像素显示的区域,而此晶体管例如可为薄膜晶体管。因此,显示区104也可称为显示像素区104。而非显示区105即为显示装置中除显示区104外的其它区域。在此实施例中,非显示区105包围显示区104,且其中包括位于显示区104两侧的栅极驱动电路(Gate Driver on Panel,GOP)107、与位于外部接脚连接区(OutLead Bonding,OLB)115中的驱动单元106以及测试垫109。此外,非显示区105中还包括线路110,且部分线路110设于上述外部接脚连接区115中。在其他实施例中,栅极驱动电路107可仅位于显示区104的单侧。
此显示装置100可为液晶显示器,例如为薄膜晶体管液晶显示器。此驱动单元106可用以提供源极信号至显示区104的像素(未绘示),或提供栅极信号至栅极驱动电路107。而栅极驱动电路107用以提供扫描脉冲信号至显示区104的像素,并配合上述源极信号一同控制设于显示区104内的各个像素(未绘示)进而令显示装置100显示画面。此栅极驱动电路107例如可为面板上栅极驱动电路(Gate on Panel,GOP)或其他任何适合的栅极驱动电路。
此外,此驱动单元106经由测试垫109电连接至栅极驱动电路107。此测试垫109可通过任何适合的方式电连接至栅极驱动电路107及驱动单元106,例如,在一实施例中,如图1A所示,测试垫109可通过线路110电连接至栅极驱动电路107及驱动单元106。
本发明通过将驱动单元106经由测试垫109电连接至栅极驱动电路107,可缩小线路110于驱动单元106中所占据的面积。详细而言,参见图1B,该图是图1A的显示装置的部分放大图。如该图所示,驱动单元106的栅极信号输出接点Output Bump)111通过线路110B电连接至测试垫109,接着,此测试垫109再通过另一线路110A电连接至栅极驱动电路107。相较于前述的发明人已知的一种显示装置,在已知的显示装置中,线路110A与110B分别自113A与113B输出,因此于驱动单元106下方,需同时提供113A与113B的面积,但于本发明的线路110仅占据驱动单元106中区域113B的面积,而未占据区域113A,随着面板分辨率越高,驱动单元106的输出线路数量越来越多的情况下,区域113A可提供其他输出线路使用,故可解决芯片(例如驱动单元)中线路空间不足的问题。
再者,为了提升图1A所示的显示装置100的制作工艺可靠度及制作工艺良率,本发明的显示装置100的测试垫109可为一图案化测试垫。详细而言,在测试显示装置100性能的测试步骤中,必须以探针接触测试垫109,探针会于接触测试垫109时于测试垫109的导电层该层上留下孔洞,而此导电层上的孔洞容易随着时间推移受到水氧等因素而腐蚀扩大,造成驱动单元106与栅极驱动电路107之间的线路异常或断路,进而降低显示装置100的可靠度及制作工艺良率。为解决上述技术问题,本发明实施例的测试垫可图案化成数个导电层彼此分离的功能性区块,而该些功能性区块再通过其他连接层电连接。
参见图2及图3A,其中图2是本发明实施例的测试垫109的上视图,而图3A是图2的测试垫109沿着线段3-3的剖视图。如以上两图所示,测试垫109包括设于基板102上的导电层M,且此导电层M包括第一区300及第二区302。此第一区300的导电层用以传递两线路110之间的信号,而此第二区302的导电层用以在测试步骤中与探针进行触碰。此第一区300的导电层直接接触线路110,而第二区302的导电层与第一区300的导电层分离设置,亦即仅观察导电层M该层时,第一区300与第二区302并无连接或接触,例如,第一区300的导电层与第二区302的导电层可通过一主间隙304分隔。此外,第二区302的导电层也与线路110分离。易言之,仅观察导电层M该层中,第二区302的导电层不直接接触第一区300的导电层以及线路110。第一区300及第二区302经由接触孔,由其他连接层电连接。
本发明通过将会与探针进行触碰的第二区302的导电层与用以传递信号的第一区300的导电层及线路110分离,可将测试步骤后的腐蚀现象仅局限于第二区302的导电层,而不会腐蚀至第一区300的导电层及线路110。因此,即使于测试步骤后发生腐蚀的现象,本发明的图案化测试垫109仍可良好地通过第一区300的导电层及线路110传递信号,因此,图案化测试垫109可提升此显示装置100的可靠度及制作工艺良率。
此外,导电层M的第一区300对第二区302的面积的比值范围为2至1000,例如为4至10。若此第一区300对第二区302的面积比值太大,例如大于1000,则用以与探针进行触碰的第二区302的导电层的面积太小,会使得测试步骤不易进行。然而,若此第一区300对第二区302的面积比值太小,例如小于2,则用以传递信号的第一区300的导电层的面积太小,会使电阻上升。此外,此测试垫109的尺寸为100μm至1000μm,例如为500μm至800μm。此测试垫109的尺寸可为测试垫109的长度L或宽度W。
参见图3A,导电层M设于基板102上。此导电层M可为一金属层,且其材料可为单层或多层的铜、铝、钨、金、铬、镍、铂、钛、铱、铑、上述的合金、上述的组合或其它导电性佳的金属材料。在其他实施例中,导电层M可为一非金属材料,只要使用的材料具有导电性,且受到腐蚀后会有腐蚀扩散的情况的材料即可。例如,在图3A所示的实施例中,导电层M为双层的导电层,其包括第一导电层M1以及第二导电层M2。在一实施例中,第一导电层M1与第二导电层M2的材料相同。然而,在其它实施例中,第一导电层M1与第二导电层M2的材料可以不同。此两导电层M1、M2之间设有介电层(ILD)206A。此第一导电层M1及第二导电层M2具有相同的图案,且相对应的图案之间通过设于介电层206A中的导孔V1电连接。上述介电层206A的材料可为氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、硼磷硅玻璃(BPSG)、磷硅玻璃(PSG)、旋涂式玻璃(SOG)、其它任何适合的介电材料、或上述的组合。上述经由导孔V1电连接第一导电层M1及第二导电层M2的材料可为第一导电层M1或第二导电层M2本身或其组合,或是其材料可包括铜、铝、钨、掺杂多晶硅、其它任何适合的导电材料、或上述的组合。
此外,在一实施例中,如图3A所示,第一区300的导电层与第二区302的导电层可通过连接层211电连接,因连接层211相对于导电层抗腐蚀能力较高,因此不接触的第一区300与第二区302通过连接层211电连接,也同时保护导电层不受水氧的影响而腐蚀。此连接层211的材料可为透明导电材料,例如为铟锡氧化物(ITO)氧化锡(TO)、氧化铟锌(IZO)、氧化铟镓锌(IGZO)、氧化铟锡锌(ITZO)、氧化锑锡(ATO)、氧化锑锌(AZO)、上述的组合或其它抗腐蚀能力较高的适合的透明导电氧化物材料。连接层211可通过设于介电层206B中的导孔V2电连接至第一导电层M1或第二导电层M2,并由此将第一区300的导电层与第二区302的导电层电连接。
此外,导电层M也可为单层的导电层。例如,如图3B所示,基板102上仅形成有单层的导电层M,且第一区300的导电层与第二区302的导电层也可通过连接层211经由导孔电连接。例如,连接层211可通过设于介电层206中的导孔V3电连接至导电层M,以将第一区300的导电层与第二区302的导电层电连接。
再参照图2,在图2所示的实施例中,主间隙304可环绕第二区302的导电层。主间隙304的宽度可为10μm至100μm,例如为20μm至40μm。此外,主间隙304的宽度与测试垫109的宽度W的比值为0.01至0.25,例如为0.025至0.1。若此主间隙304的宽度太宽,例如其宽于100μm,或其与测试垫109的宽度W比值大于0.25,则主间隙304会占据过多测试垫109的面积,使导电层M的面积减少,造成电阻增加。然而,若此主间隙304的宽度太窄,例如其窄于10μm,或其与测试垫109的宽度W比值小于0.01,则此主间隙304无法有效防止第一区300的导电层不被腐蚀。例如,当主间隙304的宽度太窄时,若探针因偏移而触碰至主间隙304,仍可能造成第一区300的导电层的暴露,使第一区300的导电层被腐蚀。
此外,第一区300的导电层也环绕第二区302的导电层,且第一区300的导电层更可通过一或多条第一间隙306分隔成彼此分离的多个区块,亦即此多个区块之间不直接接触,例如图2所示的区块300A、300B。彼此分离的多个区块300A、300B可更进一步提升此显示装置100的制作工艺可靠度及制作工艺良率。详细而言,在测试步骤中,探针可能会因为偏移而触碰到第一区300的导电层,故第一区300的导电层也可能因此于测试步骤后发生腐蚀现象。此时彼此分离的区块300A、300B可将此腐蚀现象局限于被探针触碰到的区块内,而信号仍可通过第一区300的导电层中未被腐蚀的其它区块传递。例如,若探针触碰至区块300A,由于区块300A、300B彼此分离,故腐蚀现象被局限于区块300A内,而信号仍可通过未被腐蚀的区块300B传递。因此,将第一区300的导电层通过一或多条第一间隙306分隔成彼此分离的多个区块可更进一步提升此显示装置100的可靠度及制作工艺良率。
上述第一间隙306的宽度可为3μm至50μm,例如为10μm至20μm。或者,第一间隙306的宽度与测试垫109的宽度W的比值为0.0033至0.1,例如为0.01至0.02。若此第一间隙306的宽度太宽,例如其宽于50μm,或其与测试垫109的宽度W比值大于0.1,则第一间隙306会占据过多测试垫109的面积,使导电层M的面积减少,造成电阻增加。然而,若此第一间隙306的宽度太窄,例如其窄于3μm,或其与测试垫109的宽度W比值小于0.0033,则此第一间隙306无法有效分隔区块300A与区块300B。
再者,第一区300的彼此分离的多个区块300A、300B内可还包括一或多条区块内间隙308而将区块300A、300B分隔成多个子区块。上述多个子区块彼此大抵分离,仅通过一小部分彼此连接。例如区块300A可通过多条区块内间隙308分隔成多个子区块300Aa、300Ab,此子区块300Aa、300Ab之间彼此大抵分离,仅通过附图中左上及左下的一小部分彼此物理连接。上述彼此分离的多个子区块300Aa、300Ab也可进一步提升此显示装置100的制作工艺可靠度及制作工艺良率。例如,当探针因偏移而触碰到子区块300Ab时,由于子区块300Aa、300Ab仅通过一小部分连接,故腐蚀现象易被局限于子区块300Ab内,即使子区块300Ab因腐蚀而破坏,信号仍可通过未被腐蚀的区块300Aa传递。因此,将多个区块300A、300B通过区块内间隙308分隔成多个子区块(例如子区块300Aa、300Ab)可更进一步提升此显示装置100的可靠度及制作工艺良率。
上述区块内间隙308的宽度可为3μm至50μm,例如为10μm至20μm。或者,区块内间隙308的宽度与测试垫109的宽度W的比值为0.0033至0.1,例如为0.01至0.02。若此区块内间隙308的宽度太宽,例如其宽于50μm,或其与测试垫109的宽度W比值大于0.1,则区块内间隙308会占据过多测试垫109的面积,使导电层M的面积减少,造成电阻增加。然而,若此区块内间隙308的宽度太窄,例如其窄于3μm,或其与测试垫109的宽度W比值小于0.0033,则子区块300Aa、300Ab过于接近,内间隙308无法有效分隔腐蚀的影响。
继续参见图2,线路110的材料可为单层或多层的铜、铝、钨、金、铬、镍、铂、钛、铱、铑、上述的合金、上述的组合或其它导电性佳的金属材料,且线路110也可具有一或多条线路内间隙310。在一实施例中,至少一线路内间隙310与至少一第一间隙306连接。此线路内间隙310也可进一步提升此显示装置100的制作工艺可靠度及制作工艺良率。详细而言,若腐蚀现象由第一区300的区块300A延伸至第一区块线路110C,则线路内间隙310可将此腐蚀现象局限于此第一区块线路110C,使第二区块线路110D不会被腐蚀。因此,由于线路110不会被完全腐蚀,故可提升此显示装置100的制作工艺可靠度及制作工艺良率。在其他实施例中,连接层211也可覆盖于线路110上。
上述线路内间隙310的宽度可为3μm至50μm,例如为10μm至20μm。或者,线路内间隙310的宽度与线路110的宽度的比值为0.02至0.5,例如为0.05至0.2。若此线路内间隙310的宽度太宽,例如其宽于50μm,或其与线路110的宽度比值大于0.5,表示内间隙310过大会增加线路110断线的风险。然而,若此线路内间隙310的宽度太窄,例如其窄于3μm,或其与线路110的宽度比值小于0.02,则此线路内间隙310无法有效分隔线路内间隙310两侧的第一区块线路110C与第二区块线路110D间相互受到腐蚀的影响。此外,线路内间隙310的长度与测试垫109的长度L比值为0.03至3。线路内间隙310的长度最短可为3μm,或者,线路内间隙310的长度与测试垫109的长度L的比值最小可为0.03。而线路内间隙310的长度最长可等于线路110于外部接脚连接区115内的长度。若线路内间隙310太短,例如其长度短于3μm,或其长度与测试垫109的长度L的比值小于0.03,则此线路内间隙310无法有效分隔第一区块线路110C与第二区块线路110D。然而,线路内间隙310的长度不可长于外部接脚连接区115中的线路110的长度。
应注意的是,除上述图2所示的实施例以外,本发明的测试垫也可有其它图案,如图4-图7的实施例所示。本发明的范围并不以图2所示的实施例为限。
参见图4,该图为本发明另一实施例的测试垫的上视图。图4所示的实施例与前述图2的实施例的差别在于第二区302的导电层也通过一或多条第二间隙312分隔成彼此分离的多个区块302A、302B。易言之,此多个区块302A、302B之间不直接接触。此外,在此实施例中,第一区300的导电层不具有区块内间隙。
上述彼此分离的多个区块302A、302B也可进一步提升此显示装置100的制作工艺可靠度及制作工艺良率。例如,当探针仅触碰区块302A时,腐蚀现象被局限于区块302A,而未被腐蚀的区块302B也可经导孔通过连接层传递信号,故可提升此显示装置100的可靠度及制作工艺良率,并降低电阻。
上述第二间隙312的宽度可为10μm至100μm,例如为30μm至50μm。或者,第二间隙312的宽度与测试垫109的宽度W的比值为0.01至0.25,例如为0.05至0.1。若此第二间隙312的宽度太宽,例如其宽于100μm,或其与测试垫109的宽度W比值大于0.25,则第二间隙312会占据过多测试垫109的面积,使导电层M的面积减少,造成电阻增加。然而,若此第二间隙312的宽度太窄,例如其窄于10μm,或其与测试垫109的宽度W比值小于0.01,则此第二间隙312无法有效分隔区块302A与区块302B。
参见图5,该图为本发明又一实施例的测试垫的上视图。在图5所示的实施例中,第二区302的导电层也通过第二间隙312分隔成彼此分离的多个区块302A、302B。而此实施例与前述图4实施例的差别在于此实施例的第二间隙312对准第一间隙306以及线路内间隙310。
参见图6,该图为本发明另一实施例的测试垫的上视图。图6所示的实施例与前述图5实施例的差别在于第二区302的导电层通过三条第二间隙312分隔成彼此分离的四个区块302A、302B、302C与302D。此外,线路110具有两条线路内间隙310,且第一区300的导电层不具有第一间隙。
参见图7,该图为本发明另一实施例的测试垫的上视图。图7所示的实施例与前述图2及图4-图6实施例的差别在于第一区300的导电层并未环绕第二区302的导电层,而是设于第二区302的导电层的一侧。且第二区302的导电层通过六条第二间隙312分隔成彼此分离的七个区块302A、302B、302C、302D、302E、302F与302G。在其他实施例中,第二间隙312的形状不限于直线,也不限于上述实施例的划分方式,只要可以将第二区302的导电层分隔成彼此分离的数个区块即可。
综上所述,通过将驱动单元经由测试垫电连接至栅极驱动电路,可缩小线路于驱动单元中所占据的面积,解决当面板分辨率提高时所造成的驱动单元中线路空间不足的问题。此外,通过使用图案化测试垫,可将测试步骤后的腐蚀仅局限于图案化测试垫的部分区域内,以提升此显示装置的制作工艺可靠度及制作工艺良率。
虽然本发明的实施例及其优点已公开如上,但应该了解的是,任何所属技术领域中具有通常知识者,在不脱离本发明的精神和范围内,可作更动、替代与润饰。此外,本发明的保护范围并未局限于说明书内所述特定实施例中的制作工艺、机器、制造、物质组成、装置、方法及步骤,任何所属技术领域中具有通常知识者可从本发明揭示内容中理解现行或未来所发展出的制作工艺、机器、制造、物质组成、装置、方法及步骤,只要可以在此处所述实施例中实施大抵相同功能或获得大抵相同结果都可根据本发明使用。因此,本发明的保护范围包括上述制作工艺、机器、制造、物质组成、装置、方法及步骤。另外,每一权利要求构成个别的实施例,且本发明的保护范围也包括各个权利要求及实施例的组合。

Claims (20)

1.一种显示装置,包括:
显示区;以及
非显示区,相邻该显示区,且包括:
栅极驱动电路;
驱动单元;及
测试垫;
其中该驱动单元经由该测试垫电连接至该栅极驱动电路。
2.如权利要求1所述的显示装置,其中:
该测试垫通过一线路电连接至该栅极驱动电路及该驱动单元,且该测试垫包括一导电层,该导电层包括彼此电连接的一第一区及一第二区,
其中该第一区的导电层直接接触该线路,而该第二区的导电层与该第一区的导电层分离,该第二区的导电层与该线路分离。
3.如权利要求2所述的显示装置,其中该第一区的导电层与第二区的导电层通过一导电层电连接。
4.如权利要求2所述的显示装置,其中该第一区的导电层与第二区的导电层通过一主间隙分隔。
5.如权利要求4所述的显示装置,其中该主间隙环绕该第二区的导电层。
6.如权利要求2所述的显示装置,其中该第一区的导电层通过一或多条第一间隙分隔成彼此分离的多个区块。
7.如权利要求6所述的显示装置,其中该第一区的该彼此分离的多个区块内还包括一或多条区块内间隙。
8.如权利要求2所述的显示装置,其中该第二区的导电层通过一或多条第二间隙分隔成彼此分离的多个区块。
9.如权利要求2至8中任一所述的显示装置,其中该线路具有一或多条线路内间隙。
10.如权利要求9所述的显示装置,其中当该第一区的导电层具有该一或多条第一间隙时,至少一该线路内间隙与至少一该第一间隙连接。
11.一种测试垫,包括:
导电层,该导电层包括一第一区及一第二区;
其中该第一区的导电层直接接触一线路,该第二区的导电层与该第一区的导电层分离,该第二区的导电层与该线路分离,且该第一区与该第二区通过一连接层电连接。
12.如权利要求11所述的测试垫,其中该导电层的第一区对第二区的面积比值为2至1000。
13.如权利要求11所述的测试垫,其中该第一区的导电层与第二区的导电层通过一主间隙分隔。
14.如权利要求13所述的测试垫,其中该主间隙环绕该第二区的导电层。
15.如权利要求11所述的测试垫,其中该第一区的导电层通过一或多条第一间隙分隔成彼此分离的多个区块。
16.如权利要求15所述的测试垫,其中该第一区的该彼此分离的多个区块内还包括一或多条区块内间隙。
17.如权利要求11所述的测试垫,其中该第二区的导电层通过一或多条第二间隙分隔成彼此分离的多个区块。
18.如权利要求11至17中任一所述的测试垫,其中该线路具有一或多条线路内间隙。
19.如权利要求18所述的测试垫,其中当该第一区的导电层具有该一或多条第一间隙时,至少一该线路内间隙与至少一该第一间隙连接。
20.如权利要求11所述的测试垫,其中该导电层材料为金属,该连接层材料为透明导电氧化物。
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